利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学ナノテク融合技術支援センター微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学微細加工プラットフォーム]　
[東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名	利用装置名
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0001]ミリ波・マイクロ波計測	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0002]反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0003]微細構造試料を用いた光音響高速計測技術	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0004]量子センシングのためのマイクロ波アンテナの作製	F-UT-168 UVレーザープリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0005]ダイヤモンドの表面の洗浄と観察	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0006]ナノビーム共振器中の架橋カーボンナノチューブにおけるPurcell効果	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0007]カーボンナノチューブの決定論的配置によるナノデバイス作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0008]単層カーボンナノチューブ分割ゲート発光素子構造の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0009]Hexagonal boron nitride as an ideal substrate for carbon nanotube photonics	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0010]単層架橋カーボンナノチューブに対するアリルハライドを用いた気相機能化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0011]導波路結合型カーボンナノチューブ光源	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-162 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0012]Quantum Emission Assisted by Energy Landscape Modification in Pentacene-Decorated Carbon Nanotubes	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0013]FeVAl薄膜のドライエッチング	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0014]高解像度誘電体メタホログラムの製作	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0015]電子線描画装置を利用した可視光領域でのアキシコンメタレンズの開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0016]電子線描画装置および反応性イオンエッチング装置を用いた可視光用可変焦点メタレンズの製作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0017]可視光領域におけるシリコンナノ柱を用いた誘電体メタサーフェスホログラムの開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0018]シリコンナノ柱を用いたAlvarezメタレンズの製作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0019]メタサーフェスを用いたガスセンサ素子開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0020]Y3Fe5O12微細構造を用いたスピン波周波数分割多重化デバイス	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-162 電子顕微鏡 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0021]Lithographic in-mold patterning for CsPbBr3 nanocrystals distributed Bragg reflector single-mode laser	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0022]GaAs劈開表面の観測	F-UT-145 SEM F-UT-162 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0023]MEMS振動発電型エナジーハーベスタ	F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0024]天文分光用MEMSマイクロシャッタアレイ	F-UT-158 UVオゾンクリーナー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0025]ＭＥＭＳ波長可変光源	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0026]電子ビーム描画及び深掘りエッチング装置によるシリコンメタレンズの作成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0027]アモルファスSiサブマイクロ構造の試作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0028]単一細胞捕獲分析用マイクロデバイス作製	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0029]有機材料を用いた全塗布型・超高精細TFTアレイの開発	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0030]半永久的に退色しないフルカラー構造色パターニング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0031]高性能高スループット光学デバイス作製プロセス	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0032]金属被覆誘電体テラヘルツ波導波路における伝搬損失メカニズム	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0033]光触媒応用に向けた酸化チタン薄膜の形成	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0034]狭隘なトレンチで構成した回折格子を用いた再構成分光のための中赤外ディテクタ	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0035]金キラル構造を用いた反射防止フィルタ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-156 スプレーコーター　兼　自動エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0036]マイクロロボットを駆動可能な静電モータの作製に関する試行利用	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0037]パリレン薄膜の形成	F-UT-147 パリレンコーター
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0038]不連続なAu回折格子を用いた電流検出型SPR化学量センサの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0039]バイオアッセイへの応用に向けたシリコン製マイクロ流体デバイスの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0040]リフトオフによるナノ金属構造作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0041]次世代型半導体（ISFET）pHセンサーの開発	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0042]シリコンプラットフォームを用いた光集積回路	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-162 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0043]ポーラスSi薄膜の形成	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0044]軟Ｘ線イメージング用テストチャートの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0045]グラフェン・ナノスケール・デバイス作製に向けた微細加工	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0046]Si深堀エッチング用保護膜の開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0047]カーボンナノチューブ構造制御のための成長速度分析	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0048]Property investigations and Device applications of 1D van der Waals hetero-nanotubes	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0049]微細パターン評価技術開発に向けての電子線描画によるレジストパターン形成	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-152 枚葉式ZEP520自動現像装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0050]単層カーボンナノチューブを用いたヘテロ構造デバイスの作製とその電気計測	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0051]超伝導検出器の開発	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0052]DRIEを利用した静電アクチュエータの作製	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0053]試料のSEM観察	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0054]溝付き尖塔構造を持つエミッタアレイの作製	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0055]電子線描画装置を使用した1GHz OPAW振動子の電極パターニング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0056]シリコン深掘エッチングの品質向上(2)	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0057]熱電素子への成膜と電極基板の作製	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0058]ナノ粒子計測のためのナノ構造形成とデバイス作製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-145 SEM F-UT-168 UVレーザープリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0059]高分解能センサプローブを用いたPDMSビーズの硬さ計測	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0060]近接場光精密研磨	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-108 精密研磨装置 F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-162 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0061]ヘテロナノチューブの電気伝導特性評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0062]MIMプラズモン構造を用いた光電場計測素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0063]超伝導転移端センサ型光子数識別器の開発	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0064]音響波によるナノ粒子操作のためのマイクロ流路の作製	F-UT-155 汎用NLDエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-164 プラズマ表面改質装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0065]プラズモニックナノ構造による光駆動ナノアクチュエータの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0066]電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0067]人工ナノ構造を用いた広帯域集光素子の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-155 汎用NLDエッチング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0068]アモルファスカーボン膜の除去処理検討２	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-150 オージェ分光分析装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0069]InAs/(Ga,Fe)Sbの磁気伝導現象特性評価	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0070]自立型窒化シリコンナノ薄膜のウエハスケール加工	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0071]マイクロ流体デバイス作製用モールドの作製	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0072]酸化物半導体へのショットキー接合形成プロセス検討	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0073]IrOx薄膜の形成およびエッチング	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0074]グラフェン電界効果トランジスタ作製プロセスの検討	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0075]形態制御可能なカーボンナノ材料のSERSへの利用	F-UT-145 SEM F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-162 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0076]培養基板表面の微細構造が細胞に及ぼす作用の解析	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0077]金属亜鉛電池のその場観察技術開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0078]ZnO薄膜の作製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0079]骨伝導振動子の表面加速度の測定	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0080]Spin-orbit torque magnetization switching	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0081]磁性体薄膜を用いたマイクロメートル幅細線の形成	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0082]Fabrication of Diamond Like Carbon (DLC) based superhydrophobic surface	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0083]熱電対細線へのパリレン薄膜の形成	F-UT-147 パリレンコーター
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0084]シリコン基板における大面積ナノ溝配列構造の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-162 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0085]イットリア安定化ジルコニアの単一粒界におけるイオン伝導の計測	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0086]ガスセンシングSnO2デバイスの作製	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0087]NLDエッチングを用いた長尺透過型回折格子の作製	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-155 汎用NLDエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0088]表面弾性波による微量液滴撹拌技術とバイオエレクトロニクスの融合プロジェクト	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-158 UVオゾンクリーナー F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0089]Si基板への微細凹凸加工	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0090]物質の対称性やトポロジーに由来した新しい磁気輸送現象の開拓	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0091]ナノスケール幅のAuナノシート作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0092]マイクロ加工技術を利用した培養細胞間の相互作用に関する研究	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0093]0.8 μm CMOSプロセスを用いたMEMS加速度センサ	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0094]反磁性体を用いた微細反転素子の形成	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0095]MEMSデバイスを用いたTEMその場機械試験システムの構築	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0096]一軸圧縮ひずみGe-on-Insulator pチャネルMOSFET	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0097]圧電MEMSデバイスの開発	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0098]Geウエハ深掘りエッチング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0099]ガラス製ナノ流路の作製と観察	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0100]微細チャネルを用いた横型スピンバルブ素子の作製及び特性評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0101]光学測定用サンプルホルダーにおいて試料位置に生じる磁場を測定するためのプリント基板の作製	F-UT-142 NCプリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0102]Agナノ層およびポリイミド (基材) との密着状態の観察	F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0103]マイクロ加工デバイスを利用したナノスケール熱輸送現象の解明	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0104]濡れ性微細パターン表面におけるインク脱濡れの解析	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-147 パリレンコーター F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0105]微細蒸発界面を保持するためのナノ細孔アレイの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-145 SEM F-UT-162 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0106]カーボンナノチューブの階層的熱伝導測定	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0107]Development of rotational electret energy harvester with synchronous circuits	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0108]Development of push-button energy harvester with soft piezoelectret	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0109]Development of electret-enhanced pyroelectric energy harvester	F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0110]低消費電力MEMS Knudsenポンプの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0111](100)/(001) 配向PZT薄膜によるPMUTアレイの試作評価	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0112]誘電体ナノメンブレンフォトニック結晶作製技術の開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0113]デジタルホログラフィ光学系評価用のサブミクロンテストチャートの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0114]金属-絶縁体-金属構造の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0115]シリコンウエハ上への金属薄膜の形成	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0116]テラヘルツ電場誘起電子トンネリング計測用金属ナノギャップデバイスの作製	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0117]楕円筒小型X線ミラーの表面粗さ測定及びその集光性能評価に用いる試料作製	F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0118]MEMSを用いた波長可変VCSELの開発	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0119]MSCから骨芽細胞への分化制御のためのサブミクロン表面微細構造の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0120]微細加工技術の開発	F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0121]自動成膜・評価・ベイズ最適化の全自動サイクルによる高Liイオン伝導薄膜の探索	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-158 UVオゾンクリーナー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0122]原子分解能TEM用駆動デバイスの開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0123]金ナノ粒子7量体をアレイ型配置した近赤外共振器の設計と作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0124]リッジ構造を持つAlGaAsダイオード素子の電気特性評価	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-138 高速ランプアニール装置 F-UT-157 12インチプローバー F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0125]微細加工技術を利用したX線顕微イメージング手法の高度化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0126]トップダウン加工によるナノ流体デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-109 川崎ブランチスパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0127]高効率輻射光源の製作	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0128]メタサーフェス構造を使った宇宙機用極低温ラジエータの開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0129]超伝導量子デバイス開発	F-UT-150 オージェ分光分析装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0130]灌流培養チップのための電気駆動ポンプの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0131]硼素/チタン薄膜の形成	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0132]ポリマー/金属界面の電子構造	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0133]MEMSミラーの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0134]血中循環腫瘍細胞捕捉のためのマイクロ流体デバイスの開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0135]垂直入射型変調器に向けた薄膜ニオブ酸リチウム基板上金格子の作製	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0136]超音波振動子のキャビティ形成	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0138]電界放出源の高出力化の研究	F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0139]プラズモニック構造の作製と応用	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0140]Si基板上のショットキー電極開発	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-138 高速ランプアニール装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0141]低温ウェハ接合に関する研究	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0142]イオンスパッタリングによるリソグラフィ用銀薄膜生成	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0143]半導体光素子の作製	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0144]デバイスの微細表面形状の非破壊観察法の検討（１）	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0146]The formation of patterned Ni thin film	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0147]Performance evaluation of photonic integrated circuits-based OFDR sensing	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0148]新規ポリマーナノ薄膜の表面解析	F-UT-165 小型原子間力顕微鏡 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0149]コンフォーマルに製膜された薄膜の応力分布の測定法	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0150]広角ビームスプリッターの開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0151]塗布成膜有機/無機半導体の構造制御	F-UT-162 電子顕微鏡 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0152]サブマイクロスケールパターン表面の効率的試作	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0153]超流動ヘリウム研究用マイクロスリット構造の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-21-UT-0154]単一分子薄膜-細胞の電極準備	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0001]マイクロ加工技術を利用した培養細胞間の相互作用に関する研究	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0002]微細加工技術による機能性材料の物性に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0003]金ナノシートの形成プロセスの検討	F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0004]尖塔構造を持つエミッタアレイと引き出し電極の作製	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0005]温度センサ・マイクロヒーターを有する電気浸透流マイクロポンプチップの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0006]一分子検出に基づくDNA 消化酵素評価法	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-145 SEM F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0007]一軸圧縮ひずみGe-on-Insulator pチャネルMOSFET	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0008]FIB によるLSI の設計ミスの修正	F-UT-133 集積回路パターン微細加工（FIB）装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0009]0.8 μm CMOSプロセスを用いたMEMS加速度センサ	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0010]マイクロフルイディクスの石英基板のダイシング	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0011]AlGaAs リッジ上の露光アシスト・セルフアライメントによるレジストパターニング	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0012]単層CNTの成長制御効果の同位体ラベル法による分析	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0013]MEMS の試作	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0014]酸化物半導体へのショットキー接合形成プロセス検討	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0015]スパッタリングによる薄膜積層	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0016]電気化学インピーダンス計測のための電極形成プロセス検討	F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0017]アモルファスカーボン膜の除去処理検討	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0018]バイオアッセイへの応用に向けたシリコン製マイクロ流体デバイスの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0019]高効率輻射光源の製作	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0020]新規開発薄膜のドライエッチレート評価及び電子線描画によるリフトオフレジスト形成	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-152 枚葉式ZEP520自動現像装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0021]シリコンプラットフォームを用いた光集積回路	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0022]反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0023]赤外線連続照射による気液界面での分子内振動の緩和と溶剤乾燥に効果的な吸収帯の解明	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0024]エッチングによるマイクロレンズ構造の形成	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0025]絶縁基板上へのMoS2 環境発電デバイス作製	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0026]ナノ粒子計測のためのナノ構造形成とデバイス作製	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-145 SEM
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0027]大面積レーザーアレイのためのペロブスカイト自己集合リソグラフィの研究	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0028]Pt/Y3Fe5O12 ヘテロ構造におけるスピン波伝搬の電流制御	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-162 電子顕微鏡 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0029]Siウェハのステルスダイシング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0030]ＭＥＭＳ振動発電を用いたパーペチュアル・エレクトロニクス	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0031]ＭＥＭＳ波長可変光源	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0032]量子センシングのためのマイクロ波アンテナの作製	F-UT-142 NCプリント基板加工装置 F-UT-153 精密二次元NC加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0033]ダイヤモンドの表面洗浄と試料への接着	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-138 高速ランプアニール装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0034]プラズモニックキラルナノ構造の作製	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0035]Siペレットのダイシング	F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0036]可変3DキラルTHzメタマテリアルのための機械的変形方法の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-147 パリレンコーター
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0037]Siウエハ上におけるL&S構造の形成	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0038]ガラスエッチング用保護膜の開発	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0039]ガスセンシングデバイスの作製	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0040]Si深堀エッチング用保護膜の開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0041]微細加工技術の開発	F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0042]ガリウム砒素融着SOI基板のレーザーダイシング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0043]新規固体熱工学材料のナノスケール熱伝導測定	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0044]マイクロデバイスを用いたナノ構造材料の階層的熱伝導測定	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0045]メタルマスクとICP-RIEによるナノホール構造を有した石英モールドの製作	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0046]マイクロ・ナノ流体デバイスの開発と化学・バイオへの応用	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0047]空間周波数分解シュリーレン装置用空間バンドパス・ハイパスフィルタの作成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0048]火山噴出物シラスを原料とする親水性薄膜の形成	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0049]NMOSまたはPMOSのみのリングオシレータを搭載した集積回路の配線修正	F-UT-133 集積回路パターン微細加工（FIB）装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0050]経年劣化を抑制するスターブ型リングオシレータを搭載した集積回路の配線修正	F-UT-133 集積回路パターン微細加工（FIB）装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0051]sapphire基板への微細凹凸加工	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0052]ナノビーム共振器中の架橋カーボンナノチューブにおけるPurcell効果	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0053]カーボンナノチューブの決定論的配置によるナノデバイス作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0054]架橋カーボンナノチューブ発光ダイオード	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0055]Substrate effects on molecular adsorption onto individual carbon nanotubes	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0056]Hexagonal boron nitride as an ideal substrate for carbon nanotube photonics	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0057]単層架橋カーボンナノチューブに対するアリルハライドを用いた気相機能化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0058]導波路結合型カーボンナノチューブ光源	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-162 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0059]Directional exciton diffusion in pentacene-decorated carbon nanotubes	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0060]Porous carbon nanowire array for surface-enhanced Raman spectroscopy	F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0061]単層カーボンナノチューブの電気伝導特性評価	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0062]孤立単層カーボンナノチューブのオンチップイメージングおよび分光	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0063]Device applications of 1D hetero-nanotubes	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0064]単層カーボンナノチューブの電気伝導計測へ向けたデバイス作製	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0065]ヘテロナノチューブの元素分析と電気伝導特性評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-150 オージェ分光分析装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0066]アモルファスSiサブマイクロ構造のパターン試作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0067]アクア・プラズマ表面改質装置を用いたデバイス基板とダイヤモンド放熱基板の直接接合	F-UT-164 プラズマ表面改質装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0068]金回折格子型プラズモンを利用した超小型分光器の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0069]シリコン上のナノホールアレイを用いた背面照射型赤外検知法	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0070]送受相補型PMUTによる超音波プローブの試作	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0071]単一分子薄膜電極準備	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0072]光学測定用超伝導体薄膜に大電流を注入するためのプリント基板の作製	F-UT-142 NCプリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0073]静電モータで駆動するマイクロロボットの作製に関する試行利用	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0074]生体調和型有機・バイオMEMSデバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0075]静電回転ステージ製作のための反応性イオンエッチング装置の利用	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0076]可変焦点メタレンズ製作のための電子線描画装置および反応性イオンエッチング装置の利用	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0077]イットリア安定化ジルコニアの単一粒界におけるイオン伝導特性の計測	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0078]可視光領域におけるシリコンナノ柱を用いた誘電体メタサーフェスホログラムの開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0079]有機材料を用いた全塗布型・超高精細TFTアレイの開発	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0080]非晶質複合アニオン酸化物薄膜をチャネル層に用いた薄膜トランジスタの開発	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0081]THz導波路における伝搬損失のコーティング金属膜厚依存性	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0082]超高アスペクト比トレンチ構造の作製とトレンチ内製膜	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0083]自動成膜・評価・ベイズ最適化の全自動サイクルによる高Liイオン伝導薄膜の探索	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0084]トップダウン加工によるナノ流体デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-109 川崎ブランチスパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0085]濡れ性微細パターン表面におけるインク脱濡れの解析	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-147 パリレンコーター F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0086]蒸発界面を保持するためのナノ細孔アレイの作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-108 精密研磨装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0087]近接場光精密研磨	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-108 精密研磨装置 F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-162 電子顕微鏡 F-UT-165 小型原子間力顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0088]金ナノ構造からの電子放出を用いた光電場計測素子の開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-142 NCプリント基板加工装置 F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ― F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0089]Vibrational strong coupling in a plasmonic nanogap patch antenna cavity	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0090]水晶振動子を用いたワイドレンジ荷重センサの応用	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0091]グラフェンを用いたシリコンフォトニクス研究	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-145 SEM
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0092]ナノフルイディクスのためのナノ・マイクロチャネル製作	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-148 ニッケルメッキ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0093]亜鉛空気電池における亜鉛電極形状の劣化に与える影響の検証	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-129 精密フリップチップボンダー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0094]Development of Rotational Electret Energy Harvester with Synchronous Circuits	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0095]Development of Push-button Energy Harvester with Soft Piezoelectret	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0096]Development of Liquid-crystal-enhanced Electret Vibration Energy Harvester	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0097]Study on VOC Sensing Properties of Parylene E	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0098]グラフェン・ナノスケール・デバイス作製に向けたSiO2薄膜の微細加工	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0099]表面弾性波による微量液滴撹拌技術とバイオエレクトロニクスの融合プロジェクト	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-158 UVオゾンクリーナー F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0100]真空紫外光発生用誘電体ナノメンブレンの作製	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0101]人工ナノ構造を用いた集光素子の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0102]超短周期透過型回折格子の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0103]高効率ホログラムのための電子線描画装置利用	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0104]電子ビーム描画及び深掘りエッチング装置を用いたメタレンズの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0105]可変焦点メタレンズの研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0106]電子線描画装置を利用したアキシコンメタレンズ製作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0107]ステルスダイサーのトレーニング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0108]マイクロポンプ用フォトマスクの作製、SU-8エポキシ樹脂パターンの形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0109]微細構造を有する中性子遮蔽体の開発	F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-129 精密フリップチップボンダー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0110]光音響高速イメージングに向けた微細細胞コンテナの作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0111]テラヘルツ導波管変換器の試作	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0112]生体分子の高感度センシングを目的とした光学基板の創製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0113]MSCから骨芽細胞への分化制御のためのサブミクロン表面微細構造の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0114]Testing of photonic integrated circuits for OFDR-based sensing system	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0115]超撥水機能を備えた反射防止膜	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0116]電子線描画装置を使用した薄水晶ウェハへのAu電極パターニング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0117]エッチングによる微細加工検討とレーザー顕微鏡を用いた平坦性評価	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0118]テラヘルツ電場誘起電子トンネリング計測用金属ナノギャップデバイスの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0119]ルナドリームカプセルプロジェクト(LDCP)：電子線リソグラフィによる衛星搭載向けシリコンチップの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0120]新規ポリマー薄膜の表面解析	F-UT-165 小型原子間力顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0121]メタサーフェス型宇宙機用ラジエータの開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0122]偏光子集積フォトディテクタに向けた金格子の作製	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0123]線虫の塩走性における感覚・運動情報の統合メカニズムの解明	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0124]流量センサのための石英基板への電極構造の形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0125]電界放出源の高出力化の研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0126]半導体光制御素子の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0127]SnO2ガスセンサデバイスの作製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0128]DRIEを利用した静電アクチュエータの作製	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0129]超音波振動子と対向面によるポンプにおけるギャップ内圧力測定用センサの開発	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0130]ゼロコンプライアンス式微小力測定装置の開発	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0131]フォトマスク描画	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0132]フレキシブルなMEMS流量センサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0133]Si 深溝Pattern	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0134]Fabrication of mechanically strong structured superhydrophobic surface using Diamond Like Carbon (DLC)	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0135]M/S/M共振器熱光起電力電池の製作および発電特性に関する研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-134 ベルジャー蒸着装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0136]金ナノ粒子7量体をアレイ型配置した近赤外共振器の設計と作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0137]SOIウェハの深掘エッチングによる宙吊り構造の作製	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0138]血中循環腫瘍細胞捕捉のためのマイクロ流体デバイスの開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0139]金属-絶縁体-金属構造放射体に関する研究	F-UT-109 川崎ブランチスパッタリング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0140]SiC基板上における2次元構造の成長	F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0141]反磁性体を用いた微細反転素子の形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0142]超伝導転移端センサ型光子数識別器の開発	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0143]X線画像を用いた画像処理計測による電子パッケージ中のひずみ・応力評価手法の開発	F-UT-135 金メッキ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0144]磁性体薄膜を用いたマイクロメートル幅細線の形成	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0145]磁気光学効果の飛躍的増大を目指した微細構造の精密制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0146]ガラス製ナノ流路の作製と観察	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0147]超流動ヘリウム研究用シリコンマイクロスリット構造の開発	F-UT-127 エポキシダイボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0148]X線自由電子レーザーによるコヒーレント回折イメージングのための新規マイクロ流路デバイス構造の作製と評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-152 枚葉式ZEP520自動現像装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0149]高速アニールによるシリコンカーバイド膜表面変化	F-UT-138 高速ランプアニール装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0150]光非相反位相効果の評価用シリコン導波路の検討	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0151]テラヘルツ波伝送デバイスの作製	F-UT-168 UVレーザープリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0152]常温接合に関する研究	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0153]シリコン深掘エッチングの品質向上	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0154]膜面展開構造物のヘルスモニタリング向けフレキシブルワイヤレスセンサの実現	F-UT-129 精密フリップチップボンダー F-UT-128 セミオートボールボンダー F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ― F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0155]ナノインプリント金型洗浄	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0156]塗布成膜有機/無機半導体の構造解析	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0157]３D リソグラフィ法により作製した凹凸界面構造を有するトライボ発電デバイス	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0158]熱流入メカニズムに基づく高効率ドライ歯車研削の実現	F-UT-147 パリレンコーター F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0159]SiベースSpin機能デバイスの研究開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0160]スピンデバイスの作製と評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0161]InAs/(Ga,Fe)Sbの磁気伝導現象特性評価	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0162]スピンバルブ素子の作製及び特性評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0163]横型ジョセフソン接合の作製と評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-20-UT-0164]GaMnAs単層におけるスピン軌道トルク磁化反転の電界制御	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0001]2次元層状SnS圧電特性評価のためのデバイス作製	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0002]有機材料を用いた全塗布型・超高精細TFTアレイの開発	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0003]高効率光変調器に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0004]高性能トランジスタに関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0005]単層カーボンナノチューブ熱物性計測のデバイス作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0006]グラファイト上への単結晶単層六方晶窒化ホウ素の合成と分析	F-UT-150 オージェ分光分析装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0007]孤立架橋ヘテロナノチューブの合成と転写	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0008]Preparing individual SWNT-hBNNT heterostructure for electronic applications	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0009]水平配向単層カーボンナノチューブを用いたリチウムデンドライトの生成と消失の観察	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0010]同位体ラベルによる単一単層カーボンナノチューブの成長過程分析	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0011] １細胞由来染色体の番号識別を行うためのマイクロ流体デバイス開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0012]ナノ粒子計測のためのナノ構造形成とデバイス作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0013]誘電体ナノメンブレンを用いた真空紫外波長変換技術の開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0014]フォトニック結晶ナノメンブレンを用いた円偏光真空紫外波長変換技術の開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0015]Rotational Electret Energy Harvester with Self-powered SSHI	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0016]Liquid-crystal-enhanced Electret Vibration Energy Harvester	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0017]Parylene E-based VOC gas detector	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0018]Triangular Microwells for Cell Trapping	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0019]Hot-electron photodetector with wavelength selectivity in near-infrared via Tamm plasmon	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0020]高出力レーザーの研究開発	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-108 精密研磨装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0021]近接場光援用波数励起によるシリコン受光素子の開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0022]MEMS振動発電を用いたパーペチュアル・エレクトロニクス	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0023]MEMS波長可変光源	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0024]赤外天文分光器用MEMSマルチスリットアレイ	F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0025]ハロゲン化金属ペロブスカイト型半導体上の微細電極作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0026]Y3Fe5O12薄膜におけるスピン波伝搬と外場制御に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0027]LSI構造解析技術の研究	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0028]MEMSセンサに向けたTiNマイクロヒータの試作と評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0029]金ナノグレーティングによる光学変調	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0030]電子ビーム描画およびエッチング装置を用いた回転型可変焦点メタレンズの製作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0031]電子線描画及びダイボンダーを用いた光位相差変調素子の製作	F-UT-127 エポキシダイボンダ― F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0032]TiNスパッタリングを用いた熱電子発電素子の製作	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0033]TiNスパッタリングを用いた赤外輻射光源の製作	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0034]可視域におけるシリコンナノ柱を用いた誘電体メタサーフェスホログラム	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0035]SOI基板への電子線描画と反応性イオンエッチングによる静電回転ステージの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0036]金属／誘電体テラヘルツ導波管の作製に向けた金属材料選択	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0037]高アスペクト比トレンチによる超臨界流体薄膜堆積法のプロセス解析	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0038]Si基板上への窒化物半導体成長に向けたSiCバッファ層の形成メカニズム解析	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0039]イオン伝導体セラミックス欠陥におけるイオン伝導特性の計測	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0040]半導体光導波路デバイスの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0041]マイクロ加工技術を利用した神経・心筋細胞の機能評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0042]グラフェンを用いたシリコンフォトニクスの研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0043]マイクロロボットに用いる静電モータの作製に関する試行利用	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0044]電界放出源の高出力化の研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0045]放射線が引き起こすSiO2中のキャリアダイナミクス	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0046]ナノ・マイクロ加工デバイスを利用したナノスケール熱伝導測定	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0047]Si熱電素子の加工と実装	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0048]サブミクロン表面微細構造を用いた間葉系幹細胞から骨芽細胞への分化制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0049]光触媒機能・超親水機能を兼ね備えた反射防止誘電体多層膜	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0050]電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0051]P(VDF-TrFE)薄膜とCMOSのモノリシック構造による高感度超音波トランスデューサ	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0052]ナノホールパターン成型のためのナノインプリント原版作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0053]蒸発過程の計測に用いるナノ細孔膜の作成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0054]濡れ性パターン表面における脱濡れの計測	F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0055]自励振動マイクロヒートパイプの作成と性能評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0056]OrigamiSpeaker: 導電性インクの印刷で作る折り紙スピーカー	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0057]レジスト用ポリマーのドライエッチング耐性試験	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0058]赤外プラズモニクスを活用した振動分光および化学反応制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0059]ナノインプリントプロセスにおけるエッチングレートの比較検討	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0060]銀薄膜の作製	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0061]静電容量式CMOS-MEMS圧力センサの試作	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-147 パリレンコーター
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0062]プラズモニックリニアナノモーター駆動マイクロマシンの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0063]細胞-FET型バイオセンサのためのノイズ低減構造の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-143 半導体パラメータアナライザー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0064]MEMSセンサの試作	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0065]中性子用イメージングセンサーの開発のための硼素成膜と位置分解能評価マスクの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0066]機械的大変形可能な 3D キラル THz メタマテリアル	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0067]Au回折格子と背面照射による電流検出型SPR化学量センサの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0068]角度可変MEMSによる検出波長走査可能なプラズモニック金回折格子型光検出器	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0069]尖塔構造を持つエミッタアレイの作製	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0070]有機系浮遊粒子状物質を検出するMEMS形センサの開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0071]暗い励起子から明るい励起子への変換機構	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0072]ナノビーム共振器中の架橋カーボンナノチューブにおけるPurcell効果	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0073]カーボンナノチューブの超解像光学イメージング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0074]Photoconductivity spectroscopy of individual carbon nanotube	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0075]Dielectric screening effects on photoluminescence of carbon nanotubes on hexagonal boron nitride	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0076]単層架橋カーボンナノチューブに対するアリルハライドを用いた気相機能化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0077]架橋カーボンナノチューブ発光ダイオード	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0078]導波路結合型カーボンナノチューブ光源	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0079]分子による架橋カーボンナノチューブの光物性チューニング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0080]MEMSの試作	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0081]はんだ接合部におけるCr/Ni/Au、およびCr/Auの溶解耐性と濡れ性	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0082]MEMSガスセンサ開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0083]血中循環腫瘍細胞捕捉のためのマイクロ流体デバイスの開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0084]Siウェハのステルスダイシング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0085]平滑な金薄膜の形成と大気中低温接合への応用に関する研究	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0086]反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0087]異分野融合によるタンパク質探索ツールの開発と応用	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0088]プラズマドライエッチングによるアルミニウムホールアレイの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0089]超短周期透過型回折格子の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0090]宇宙機用極低温ラジエータ材料の開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0091]レジストの露光特性	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0092]微細加工技術による機能性材料の物性に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0093]金ナノ粒子の幾何学的構造による近赤外共振デバイスの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0094]レジスト材料の性能評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0095]単分子電流計測技術を用いた生体分子の高感度検出手法の開発	F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0096]Si深堀エッチング用保護膜の開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0097]境界設計によるバクテリア集団の秩序制御	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0098]ダイサーのトレーニング	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0099]Research on Photonic Integrated Circuits for OFDR sensing system	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0100]塩素系ICPエッチング装置(ULVAC CE-S)　Pt膜エッチングテスト結果	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0101]Rθ露光マスクレスリソグラフィ装置とDRIEを用いた8インチシリコンモールドの作成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0102]PtOx/ZnOショットキーダイオードの作製	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0103]サブマイクロ構造光学素子の試作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0104]大面積理想配列パターンを有するフレキシブルモールドの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0105]電子線描画装置を使用した薄水晶ウェハへのAu電極パターニング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0106]磁気光学効果の飛躍的増大を目指した精密制御微細構造の探索	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0107]ガスセンシングデバイスの作製	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0108]ナノスケール測定デバイスを用いた単一ナノ構造材料の電気・熱伝導性評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0109]トップダウン加工によるナノ流体デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-109 川崎ブランチスパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0110]光学測定用超伝導体薄膜への電極形成	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-138 高速ランプアニール装置 F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0111]心筋細胞の拍動の力の計測	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0112]樹脂基板への金属膜の成膜	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0113]メッシュ型金ゲート電極MOSキャパシタの作製	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0114]亜鉛空気電池電極間反応その場TEM観察	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0115]高純度エッチングガスの評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0116]硬質材料の加工性検証	F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-148 ニッケルメッキ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0117] バイオアッセイへの応用に向けたシリコン製マイクロ流体デバイスの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0118]らせん高分子による磁気抵抗率デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0119]微細加工技術の開発	F-UT-146 レーザー直接描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0120]グレーティング型バイオセンサーデバイスのモールド作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0121]ゼロコンプライアンス式微小力測定装置の開発	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0122]線虫の塩走性における感覚・運動情報の統合メカニズムの解明	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0123]エッチングおよびステルスダイシングによる微細加工検討	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0124]サブマイクロ構造光学素子のパターン試作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0125]水中マイクロスイマーの精密な重量同定手法	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0126]SiC上Caインターカレート単層グラフェンの作製・電気伝導測定	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0127]Yb修飾グラフェン/SiCの作製・電気伝導測定	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0128]ウルトラクリーン単一カーボンナノチューブトランジスタの作製プロセスの研究	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0129]軟X線分光用不等間隔回折格子の作製と評価	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-151 高精細電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0130]非晶質酸硫化亜鉛をチャネル層に用いた薄膜トランジスタの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0131]樹脂へのナノ構造体形成	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0132]超伝導転移端センサの開発	F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ― F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0133]ナノカーボン材料の電気特性評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0134]光アイソレータ用Si導波路の検討	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0135]光変調器に向けたシリコン格子の作製	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0136]FHEデバイスへのベアチップ実装	F-UT-129 精密フリップチップボンダー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0137]エッチングによるマイクロレンズ構造の形成	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0138]SnO2ガスセンサの作製	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0139] SiO2の高速VHFエッチングの研究	F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0140]シリコン薄膜メカニカル構造の作製	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0141]Development of a novel silicon nanodisk array for molecular sensing	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0142]GaAs上サブミクロン周期パターンの形成	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0143]微細構造体の機械特性評価	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0144]M/S/M共振器熱光起電力電池の製作および発電特性に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0145]塗布成膜有機/無機半導体の構造制御	F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0146]熱活性化遅延蛍光薄膜の製膜プロセス最適化	F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0147]ガラス製ナノ流路の加工と観察	F-UT-151 高精細電子顕微鏡 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0148]有機膜の膜厚計測	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0149]微小気泡を用いた血液型診断用マイクロ流体デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0150]微細加工試料を用いた全光学的光音響イメージング技術	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0151]ナノフルイディクスのための流路製作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-146 レーザー直接描画装置 F-UT-149 LL式高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0152]内視鏡レンズによる付着物の抑制技術／半導体微細加工(ナノ加工)を用いて防汚技術をインフラ技術へ展開	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0153]高温アニール樹脂膜の物性評価（膜厚、光学定数）	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0154]CYTOP 薄膜の形成	F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0155]2D/3D微細積層構造からなる3次元細胞共培養基材	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0156]3次元微細構造を有するイオンゲル振動発電デバイス	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0157]プログラマブル微小体向け静電マイクロアクチュエータとワンチップ高電圧太陽電池	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-19-UT-0158]超流動ヘリウム研究用シリコンマイクロスリット構造の開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ― F-UT-127 エポキシダイボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0001]高出力レーザーの研究開発	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-108 精密研磨装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0002]近接場光援用波数励起によるシリコン受光素子の開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0003]FIBによるGaN ICからのGaNHEMT切り出し	F-UT-133 集積回路パターン微細加工（FIB）装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0004]中性子用イメージングセンサーの開発に向けた硼素薄膜の最適化	F-UT-145 SEM
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0005]酸化バナジウムをチャネルとする新規トランジスタの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0006]海洋生命理工学の戦略的研究開発	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0007]2次元層状SnSの圧電特性評価のための電極作成	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0008]有機半導体薄膜の構造・物性制御	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0009]樹脂シートのエッチング加工開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0010]メタサーフェスを使った宇宙機用ラジエータ材料の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0011]トポロジカル絶縁体の輸送特性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0012]エクソソームナノアレイのためのナノスケールパターン形成	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-141 UVレーザープリント基板加工装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0013]有機材料を用いた全塗布型・超高精細TFTアレイの開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0014]Thermal conductivity measurement of single-walled carbon nanotubes by suspended micro thermometer	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0015]ヘテロ積層ナノチューブの合成と分析	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0016]同位体ラベルによる単層カーボンナノチューブ成長過程の分析	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0017]基板上での単層カーボンナノチューブ熱伝導率測定デバイスの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0018]単層カーボンナノチューブの再成長の同位体ラベル分析	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0019]シリコンマイクロ流路による希釈冷凍機の開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0020]湿度/酸素センサの開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0021]MEMS静電駆動マイクロシャッタのマルチスリット多天体分光器応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0022]エレクトレットＭＥＭＳ振動・トライボ発電	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0023]電子線リソグラフィのトレーニング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0024]電界放出源の高出力化の研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0025]Development of a Silicon Spiral Nanoflower with Giant Optical Activity	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0026]Development of mid-infrared Ge photonic integrated circuits	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0027]ナノインプリントプロセスにおける残膜除去処理の検討	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0028]石英基板上へのシリコンナノディスクパターン形成	F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0029]輻射制御構造のプロセス最適化に関する研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0030]電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0031]単分子電流計測技術を用いた生体分子の高感度検出手法の開発	F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0032]電子ビーム描画を利用した複屈折可変メタサーフェスの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0033]Si深堀エッチング用保護膜の開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0034]HFガスをガラスに当てた場合のガラス表面の変化について	F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0035]超短周期透過型回折格子の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0036]高フッ酸耐性膜の探査	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0037]先鋭化タングステン線へのスパッタリングによる窒化チタンの成膜	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0038]マイクロ流体デバイスを用いた１細胞由来染色体の識別技術の開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0039]メタマテリアルの製作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0040]MEMSデバイスの作成	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0041]レーザー加工によるミリ波整流回路の試作	F-UT-141 UVレーザープリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0042]タムプラズモンとキャビティのカップリングによる狭スペクトル幅熱エミッタの研究	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0043]有機強誘電体薄膜による超広帯域超音波センサーの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0044]光音響高速サイトメトリーにおける，微細細胞コンテナの作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0045]静電容量式MEMS加速度センサ・圧力センサの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0046]半導体プロセス基礎実験	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0047]光触媒機能・超親水機能を兼ね備えた反射防止誘電体多層膜	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0048]高アスペクト比トレンチを用いた超臨界流体薄膜堆積法の反応解析	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0049]GaNセンサ作製へ向けた要素プロセス検討	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0050]Si基板上への高品質窒化物半導体結晶成長に向けたSiCバッファ層形成手法の検討	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0051]エッチングおよびステルスダイシングによる微細加工検討	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0052]シリコンナノ溝周期配列のエッチング法による作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0053]レジスト材料の性能評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0054]フォトリソグラフィによるNi-W合金を用いた狭ギャップ熱電子発電素子の製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0055]ナノカーボン材料の電気特性評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0056]シリコン深堀装置を用いた太陽熱光発電のためのアブソーバ・エミッタの開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0057]誘電体大面積フォトニック結晶加工技術の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0058]防水ピトー管	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0059]硬さセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0060]MEMS力センサを用いた液滴衝突の制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0061]昆虫型羽ばたき機を用いた圧力差計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0062]LEDを用いた露光機	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0063]局所滑り覚センサを用いた衝突中における路面滑りやすさの評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0064]ピエゾ抵抗型ジャイロセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0065]水中ピトー管	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0066]可動培養基板とカンチレバー型変位センサによるiPS細胞に由来する心筋細胞の伸展長さと拍動の力の計測	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0067]ヒータによる可変焦点液体レンズの焦点距離変化量向上	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0068]細胞利用型バイオセンサのための測定ノイズ低減手法の検討	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-143 半導体パラメータアナライザー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0069]ナノインプリント法によるニッケル電鋳向けの樹脂型の加工技術	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0070]Enhanced Raman scattering of graphene using double resonance in silicon photonic crystal nanocavities	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0071]架橋カーボンナノチューブにおける励起子ーキャリア相互作用に対する分子遮蔽効果	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0072]シリコン微小共振器による単一光子発生レートの増強	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0073]架橋カーボンナノチューブにおける分子遮蔽効果	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0074]カーボンナノチューブの超解像光学イメージング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0075]Photoconductivity spectroscopy of individual carbon nanotube	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0076]シリコンナノビーム共振器とカーボンナノチューブの光結合最適化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0077]架橋カーボンナノチューブ発光ダイオード	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0078]極小ピクセル Ir-TES を用いた単一光子検出器の開発	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0079]新奇非晶質半導体を用いた薄膜トランジスタの開発	F-UT-145 SEM F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0080]プラズモニック金回折格子を備えた振動MEMSによる近赤外分光器	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0081]Au回折格子と背面照射による電流検出型SPR化学量センサの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0082]Research on Photonic Integrated Circuits for OFDR sensing system	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0083]化合物半導体光デバイスの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0084]血中循環腫瘍細胞捕捉のためのマイクロ流体デバイスの開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0085]プラズマ利用イオン注入法を用いたグラフェンのSiO2/Si基板への直接合成	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0086]微細加工技術による機能性材料の物性に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0087]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0088]燃焼研究のための無線温度センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0089]Parylene E-based MEMS gas sensor	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0090]Push-button kinetic energy harvester	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0091]Electric instability of Cassie droplets on superlyophobic surfaces	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0092]界面電磁場制御技術の乾燥炉への適用	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0093]反応物・乾燥物の赤外線吸収帯で放射するエミッタの研究開発と放射効果の実証	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0094]X線用高精度光学素子の開発	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0095]ポリフェノール類の膜耐熱性評価	F-UT-138 高速ランプアニール装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0096]金属ナノ構造による光駆動ナノアクチュエータの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0097]プラズモン増強近接場を利用した振動ラダークライミング・化学反応制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0098]塩素系ICPエッチング装置(ULVAC CE-S)　PZT膜エッチングテスト結果	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0099]非侵襲グルコースセンサの開発	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0100]高品質SiC上グラフェンの作製と評価	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0101]ガラス製ナノ流路の加工と観察	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0102]破骨細胞の制御に適した電子線リソグラフィによるマイクロパターンの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0103]天文観測のための超伝導HEBミクサ素子の開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0104]SOIウェハのステルスダイシング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0105]Si基板表面の微細パターン加工による濡れ性の温度応答性の強化	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0106]その場制御用液相ＴＥＭサンプルホルダ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0107]ナノスケール熱伝導計測のためのマイクロ/ナノスケール微細加工	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0108]シリコン光集積回路	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0109]III-V族半導体トランジスタ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0110]光ディスク用Rθ露光装置による直描マッピングパターンを使ったシリコンモールド作成	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0111]静電トランスの作製と特性評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0112]圧力計アレイの製作	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0113]無機-有機ハイブリッド半導体薄膜の構造・物性制御	F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0114]テラヘルツ波伝送デバイスの作製	F-UT-141 UVレーザープリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0115]光変調器に向けたシリコン格子の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0116]癒着防止用スポンジ材料の構造評価	F-UT-145 SEM
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0117]コプレーナ線路によるスピン波検出と外場制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0118]空間周波数分解シュリーレン装置用空間バンドパスフィルタの作成とアーク乱流測定	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0119]Siウェハのステルスダイシング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0120]カーボンナノチューブの光物性測定	F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0121]熱電変換材料の無次元性能指数評価	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0122]実装工学における接合研究 1	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0123]実装工学における接合研究　2	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0124]実装工学における接合研究 3	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0125]実装工学における接合研究 4	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0126]実装工学における接合研究 5	F-UT-143 半導体パラメータアナライザー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-138 高速ランプアニール装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0127]実装工学における接合研究 6	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0128]有機電気化学トランジスタを用いた生体計測	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0129]グラーフェンを用いたシリコンフォトニクスの研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0130]神経軸索に対する選択的薬理刺激用マイクロデバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0131]フィッシュネット金属/半導体/金属構造共振器熱ふく射起電力電池の開発	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0132]光デバイス応用のための架橋構造体の作製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0133]SiO2の高速異方性化学エッチング技術の研究	F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0134]ガスセンシングデバイスの作製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0135]トライボロジー計測のためのマイクロデバイス開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0136]微小液滴によるアジャスタブル希釈・混合器の開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0137]バイオデバイス向けDIY-MEMSのためのシームレス加工技術	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0138]メカニカルメタマテリアル構造を用いた圧電振動発電デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0139]オンチップ可動マイクロロボットスイマーの作製	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-134 ベルジャー蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0140]レジスト用ポリマーのドライエッチング耐性試験	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0141]無機半導体薄膜の構造・物性制御	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0142]次世代電池用複合ナノ材料の開発	F-UT-145 SEM
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0143]Fabrication of 10 nm-scale gold nanocrystals arrays for biosensing application	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0144]Lamb波振動子の電極パターン形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0145]電気泳動用マイクロ流路デバイスの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0146]マイクロマシン教育のための静電マイクロアクチュエータ設計	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0147]Origami Speaker: 導電性インクの印刷だけで作る折り紙スピーカー	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0148]薄膜のレーザー加工と加工性能計測のための電気的テスト構造	F-UT-141 UVレーザープリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0149]微細パターンを有する大面積スタンプ形成	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0150]生体内留置可能なフォトニックデバイスモジュールの微細加工	F-UT-141 UVレーザープリント基板加工装置 F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ― F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0151]静電アクチュエータの作製に関する試行利用	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0152]ポーラス膜の剥離強度測定	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-18-UT-0153]レーザー加工装置によるステンシルマスク作製	F-UT-141 UVレーザープリント基板加工装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0001]マイクロ流体デバイスを用いた1細胞からの染色体単離技術の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0002]歪み希土類鉄ガーネット薄膜における誘電特性の膜厚依存性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0003]トポロジカル絶縁体の輸送特性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0004]Thermal conductivity measurement of single-walled carbon nanotubes by suspended micro thermometer	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0005]半導体単層カーボンナノチューブアレイの基板上精製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0006]水平配向単層カーボンナノチューブの合成と分析	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0007]架橋孤立単層カーボンナノチューブの伝熱特性測定	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0008]Morphology control of single-walled carbon nanotubes	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0009]MEMS低消費電力ガスセンサの開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0010]単層カーボンナノチューブ観察用TEMグリッドの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0011]誘電体メンブレン加工技術の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0012]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0013]合体による超撥水表面での液滴のジャンピング：計測とモデル	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0014]心筋細胞の拍動力計測のためのMEMSピエゾ抵抗型カンチレバーアレイ	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0015]回転プリズムを用いた回転傾斜露光を用いたPEGDAマイクロニードル	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0016]壁面ドープのカンチレバーを用いた空気流れのせん断応力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0017]ショウジョウバエの着陸時の最大許容力	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0018]EB描画を用いた石英ガラス上のナノ構造体の作製	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0019]限られた空間で細胞のトラクション力を計測するためのカンチレバーアレイ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0020]超撥水メンブレンを有したMEMS圧力センサを用いた液滴振動の計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0021]接触面の静止摩擦係数と3 軸力を同時計測可能なMEMS 触覚センサ	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0022]iPS細胞に由来する心筋細胞の拍動力評価のためのMEMS力センサアレイ	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0023]チョウの離陸時における地面効果の評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0024]Development of a novel germanium photonic integrated circuit for molecular fingerprinting	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0025]伸展刺激に対するiPS心筋細胞の収縮力変化	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0026]高感度差圧センサとナノホールアレイを用いた防水ピトー管	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0027]基板の運動制御による固体表面と液滴との衝突における接触時間の短縮	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0028]前翅固定翼による羽ばたき飛翔への影響計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0029]定常風下でのハエの飛翔力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0030]MEMS音響センサを用いた構造ヘルスモニタリング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0031]アリの歩行時の足裏反力計測のためのフォースプレート	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0032]MEMS 局所滑り覚センサを用いた滑りやすい路面と滑りにくい路面の判別	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0033]イオン液体液滴の表面張力波を用いたガスセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0034]Au/Siショットキー障壁を用いた表面プラズモンシステムによる塩分濃度の定量化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0035]SPR センサ上に形成したイオン交換膜を利用したイオンのリアルタイム計測	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0036]熱輻射制御のためのメタマテリアル	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0037]シリコンナノピラーによる中赤外検出素子の研究	F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0038]Si回折格子上のSPRを利用した小型分光器の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0039]電流検出型SPRセンサの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0040]MEMSチップのダイシング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0041]血中循環腫瘍細胞捕捉のためのマイクロ流体デバイスの開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0042]ランダムテレグラフノイズを測定するための集積回路の配線修正	F-UT-133 集積回路パターン微細加工（FIB）装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0043]ソフトエラー耐性を測定するための集積回路の保護膜除去	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0044]ミリ波による無線電力伝送用レクテナの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0045]ボッシュ法を用いた高アスペクト構造体の形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0046]スパッタにて成膜したタングステン膜の評価	F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0047]反応性スパッタ法による二酸化バナジウム薄膜の成膜	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0048]機械共振器応用に向けた単層カーボンナノチューブデバイスの作製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0049]高アスペクトSi回折格子の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0050]金属-酸化物積層膜の微細加工	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0051]細胞分化制御に適した電子線リソグラフィによるマイクロ・ナノパターンの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0052]マイクロ微細加工技術によるシリコンナノ構造体と熱物性計測デバイスの製作	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0053]酸化亜鉛の量子デバイス応用を目指したナノ構造作製	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0054]単一架橋カーボンナノチューブにおける光子相関	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0055]カーボンナノチューブにおける光双安定性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0056]空気モードシリコンナノビーム共振器とカーボンナノチューブの光結合制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0057]カーボンナノチューブ分割ゲート素子における	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0058]Enhanced Raman Scattering of Graphene using Silicon Photonic Nanocavity	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0059]プラズモニック表面増強効果を利用した超高速振動分光法の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0060]MEMSピンセットによる単一細胞の機械的特性計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0061]UVナノインプリントによるAlワイヤーグリッド偏光子の作製	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0062]電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0063]静電容量式MEMS圧力センサの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0064]エクソソームナノアレイのためのナノスケールパターン形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0065]放射線が引き起こすSiO2中のキャリアダイナミクス	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0066]振動発電に向けたOHAセラミックエレクトレットの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0067]回転型エレクトレット振動発電器の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0068]高周波数帯域MEMSエレクトレット振動発電器の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0069]Soft X-ray Charged Piezoelectret with Embedded Electrodes	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0070]Electrostatic Unsteady Thermal Energy Harvester Using Nematic Liquid Crystal	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0071]Fluorinated Nematic Liquid Crystal for High-power Electret Energy Harvester	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0072]ワイヤレスフレキシブル温度センサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0073]Parylene-Based MEMS Gas Sensor	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0074]気管挿管デバイスのための小型風速センサの開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0075]ICPエッチングによる石英ガラス上の微細構造作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0076]超短周期透過型回折格子の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0077]樹脂転写用金型の試作評価プロジェクト	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0078]多層配線の形成	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0079]超伝導細線軟X線検出器を用いたイメージング検出器の開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0080]熱処理によるIC特性変動調査	F-UT-132 イナートガスオーブン
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0081]極低温用ラジエータ材料の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0082]国立研究開発法人海洋研究開発機構運営費	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0083]MEMSデバイス開発	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0084]ガラス製ナノ流路の加工と観察	F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0085]塗布成膜有機/無機半導体の構造解析	F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0086]MEMSセンサ開発プロジェクト	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0087]電界放出源の高出力化の研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0088]各種エラストマーにおけるハロゲンプラズマ耐性の評価	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0089]レジスト材料の性能評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0090]ロボットハンド搭載用マイクロ吸盤の造形	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0091]切削チップ用セラミックスコーティング技術の開発	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0092]マイクロ加工技術を用いた新規神経インタフェースに関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0093]光学応用を目指したポリマー三次元構造への超臨界流体を用いた金属コーティング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0094]シリコン結晶製の高パワー赤外LEDの開発	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0095]テラヘルツ偏光変換用シリコンプリズムの作製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0096]超短パルス高次高調波用光学素子の開発	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0097]超臨界流体薄膜堆積法(SCFD)での無残留応力Cu薄膜の製作	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0098]ナノ短冊周期配列の大面積構造の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0099]電池モデル電極の微細加工	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0100]神経髄鞘形成評価マイクロデバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0101]Si基板上への高品質GaN結晶作製に向けたAlNバッファ層成長プロセスの開発	F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0102]電子ビーム描画を利用した金属メタサーフェス光変調素子の製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0103]フォトリソグラフィによるNi-W合金を用いた狭ギャップ熱電子発電素子の製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0104]金を用いた光デバイスによる光学特性の変調	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0105]EB描画を用いた空間光位相変調器のための光デバイスの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0106]フォトリソグラフィを用いた光制御フィールドエミッタアレイの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0107]高密度圧電MUTアレイによる超音波1Dトランスデューサの開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0108]色素増感太陽電池の膜厚測定	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0109]柔軟ポリマー構造を用いた振動発電デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0110]スピン流注入プローブの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0111]ハードマスク作成の為のパタ－ニング及びエッチング	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0112]トライボロジー計測のためのマイクロデバイス開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0113]昆虫嗅覚受容体発現細胞とFETを融合したバイオハイブリッド匂いセンサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-143 半導体パラメータアナライザー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0114]SiハイブリッドMOSキャパシタを用いた光集積回路	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0115]ナノワイヤInGaAsトンネルFETの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0116]シリコン上選択成長ゲルマニウム中貫通転位密度低減法の開拓	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0117]SOQ基板上にエピタキシャル成長したGeのバンドエンジニアリング	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0118]ゲルマニウム受光器の研究	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0119]エッチングによる石英ガラスへの溝形成	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0120]微細構造の大面積転写	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0121]化合物半導体マイクロリング共振器素子の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0122]圧電薄膜応用デバイスの裏面加工	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0123]エレクトレットＭＥＭＳ振動・トライボ発電	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0124]バイオ計測応用薄膜トランジスタ・プラットフォーム	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0125]サファイア基板のエッチング条件探索	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0126]光学材料のドライエッチング評価	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0127]アニーリングにおけるZnO薄膜のCL発光空間均一性評価	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0128]光駆動マイクロマシンの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0129]選択波長近接場光輸送によるTPV発電に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0130]マイクロヒータの試作	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0131]SrCeO3およびSr0.5Ce0.5F2.5薄膜への櫛型電極作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0132]生体分子のセンシング向けのナノポアメンブレンの形成プロセスの開発	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0133]Plasmonic nanochannel structure for narrow-band selective thermal emitter	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0134]高速有機電気化学トランジスタの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0135]伸縮性を示すグリッド基板開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0136]有機系浮遊粒子状物質を検出するMEMS形センサの開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0137]フリップチップ素子の実装	F-UT-129 精密フリップチップボンダー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0138]Fabrication of a nanopore silica supporter	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0139] a-C:H膜の摩擦摩耗特性	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0140]シリコン深堀装置を用いた太陽熱光発電のためのアブソーバ・エミッタの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0141]近接場光援用波数励起によるシリコン受光素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0142]高出力レーザーの研究開発	F-UT-108 精密研磨装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0143]SOIウェハのステルスダイシング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0144]白金とチタンを用いた圧電薄膜用下地金属基板の製作	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0145]ステルスダイサーを用いたSiNメンブレン形成基板の個片化検証	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0146]天体観測のためのテラヘルツ帯ホットエレクトロンボロメータの開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0147]多自由度MEMSスキャナおよびMEMSカンチレバの評価	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0148]界面電磁場制御技術の乾燥炉への適用	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0149]輻射制御に関する研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0150]微小構造周りの界面流動と抵抗低減に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0151]赤外単一光子検出のための極小ピクセル Ir-TES の開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0152]線形可変円形光共振器の作製	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0153]フレキシブルLSI実現に向けた実装法の研究	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0154]金薄膜ナノメカニカル振動子の作製	F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0155]簡易糖尿病診断のためのSnO2ガスセンサの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0156]ブレンドポリマーの誘導自己組織化における配列乱れの抑制	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0157]超流動ヘリウム研究用シリコンマイクロスリット構造の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0158]グラーフェンを用いたシリコンフォトニクスの研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0159]厚さ数十ナノメートルの平滑なチタン薄膜を用いた大気中ウェハ接合技術の開発	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0160]実装工学における接合研究(テラス構造の作製）	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-144 ブレードダイサー F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0161]実装工学における接合研究(水素ラジカル)	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0162]実装工学における接合研究（インジウムバンプ）	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0163]チタンを利用したSiO2の高速化学エッチング	F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0164]気相フッ酸エッチングにおけるアルミニウムのエッチング支援効果	F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0165]光変調器に向けたシリコン格子の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0166]メタマテリアルの製作	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0167]8インチシリコンウエハのダイシング加工	F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-17-UT-0168]Microrheology experiment on dense assembly of active colloids	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0001]ナノピンホール研究開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0002]薄膜太陽電池のための、銀スロット電極の作製	F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0003]マイクロパターン化培養系を利用した神経可塑性の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0004]電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0005]電子線リソグラフィにより作製した微細表面パターンによる細胞分化制御技術の検討	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0006]振動発電素子の動作挙動解析	F-UT-121 ブレードダイサー F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0007]レジスト材料の性能評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0008]イオン注入法によるグラフェンの合成	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0009]DRIEを用いた貫通孔作製プロセスの検討	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0010]UWB-IR Pulse Generator by CMOS Flipped on Glass	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0011]Plasmonic nanochannel photodetector with spectral-selectivity	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0012]ICPエッチングによる石英ガラス上の微細構造作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0013]III-V/Siハイブリッド光変調器	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0014]Ge-on-Insulator基板を用いた集積フォトニクス	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0015]AZO周期的微細構造による近接場光輸送の波長制御と促進に関する研究	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0016]Thermal conductivity measurement of single-walled carbon nanotubes	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0017]半導体単層カーボンナノチューブアレイの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0018]単層カーボンナノチューブの熱伝導率測定のためのデバイス作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0019]グラフェン電界効果トランジスタの作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0020]単層カーボンナノチューブのクローニング合成	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0021]スリット基板上架橋単層カーボンナノチューブの作製と光学評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0022]ナノカーボン材料の電気特性評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0023]微細加工技術を利用したマイクロ/ナノスケールの熱伝導・流体現象の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0024]燃焼場計測のためのMEMS無線温度センサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0025]近接場効果を用いたMEMSラジエータの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0026]Study on the Cassie-to-Wenzel Transition over MEMS-Based Pillared Surface	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0027]Parylene-based MEMS Gas Sensor for High-Sensitivity VOC Detection	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0028]紫外線荷電を用いたMEMSエレクトレット振動発電器の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-119 機械特性評価装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0029]Development of Piezoelectret Energy Harvester	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0030]Development of Electret-based Unsteady Thermal Energy Harvester	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0031]Development of Liquid-Crystal-Enhacned Electret Generator	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0032]MEMS技術を用いた回転型エレクトレット発電器の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0033]大面積ナノ構造のレーザアシストロール成形	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0034]アルミ表面へのインプリントによる沸騰伝熱面	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0035]MEMS振動発電素子	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0036]光MEMSデバイスのOCT応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0037]ナノパターン転写装置	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0038]ナノ微細構造からの熱輻射に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0039]バルク光学材料の塩素系ドライエッチング特性評価	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0040]MEMS金属ナノピラーを用いたSi赤外線ディテクタの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0041]DRIEを用いたマイクロデバイス加工	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0042]架橋カーボンナノチューブにおけるトリオン生成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0043]単一架橋カーボンナノチューブにおける光子相関	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0044]カーボンナノチューブにおける暗い励起子の電界活性化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0045]カーボンナノチューブにおける光双安定性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0046]カーボンナノチューブ分割ゲート素子における電界発光	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0047]マイクロ流体デバイスを用いた動物細胞クロマチンの操作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0048]マイクロ流体デバイスを用いた染色体単離	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0049]空気モードシリコンナノビーム共振器とカーボンナノチューブの光結合制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0050]マイクロ流体デバイスを用いた1対1電解集中型細胞融合とその応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0051]シリコンフォトニック結晶共振器によるグラフェンのラマン散乱増強	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0052]カーボンナノチューブ分割ゲート素子におけるフォトルミネッセンス特性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0053]昆虫嗅覚受容体発現細胞とISFETを融合したバイオハイブリッドセンサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0054]微小振動子振動特性の測定	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0055]厚いSiウエハのステルスダイシング	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0056]Development of mid-infrared air-cladding suspended membrane devices	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0057]Development of suspended membrane silicon nanowires for on-chip nonlinear optical signal processing	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0058]プラズモニックナノモーター駆動マイクロマシンの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0059]ミリ波を用いた無線電力伝送に向けた整流回路開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0060]ポリイミド上の金属膜形成条件の検討	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0061]半導体プロセス基礎実験	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0062]HSQレジストを用いた自己組織化用テンプレートの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0063]Si基板の実装	F-UT-129 精密フリップチップボンダー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0064]太陽熱光発電のための自立膜型Ni-Wアブソーバ・エミッタに関する研究	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0065]熱駆動Auナノグレーティングを用いた光位相変調素子の製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0066]Ni-W合金を用いた狭ギャップ熱電子発電素子に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0067]有機系浮遊粒子状物質を検出するMEMS形センサの開発	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0068]微細加工技術を用いた高精度放射線センサーの研究	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0069]金ナノアンテナの電場増強効果を利用した赤外非線形分光計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0070]小型自励振動ヒートパイプの試作および熱流動解析	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0071]マイクロロボットの機械部品加工に関する試行利用	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0072]金ナノ短冊周期配列構造のリフトオフ法による作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0073]メタルグリッドを用いた透明バイオ信号センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0074]大面積極薄有機光デバイスの作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0075]電子顕微鏡の内部で駆動するマイクロマシンの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0076]シリコンナノピンセットを用いた単一細胞の機械特性計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0077]MEMSデバイスによるDNAと金属イオンのリアルタイム反応計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0078]混成半導体集積回路HySIC整流回路のためのシリコンRF受動集積回路部の試作	F-UT-121 ブレードダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0079]化合物半導体マイクロリング共振器素子の作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0080]ナノテクノロジー・プラットフォームを利用した純スピン注入プローブの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0081]3次元UVリソグラフィ法を用いたマイクロデバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0082]ナノディスク構造による熱ふく射スペクトルの制御	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0083]CVD皮膜の成膜機構の検証	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0084]圧電カンチレバーの微細加工	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0085]高強度モードロックレーザーのための要素技術開発	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0086]スパッタリングにより形成した極薄Co(W)薄膜の特性評価	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0087]超高アスペクト比トレンチを利用したSiC気相化学含浸法(CVI)の反応解析	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0088]Si上に集積するSAWフィルタの開発に関する研究	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0089]Si基板上発光素子に向けた横方向成長Ge薄膜の作製と評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡 F-UT-108 精密研磨装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0090]Si上n型Geエピタキシャル層の研究	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0091]ひずみSiGeを用いたSi上Ge層のバンドエンジニアリング	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0092]ゲルマニウム受光器の研究	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-125 絶縁膜スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0093]バルクSi上SiNx光導波路の下部クラッド層の薄膜化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0094]n型シリコン上への低リーク電流ゲルマニウムpin受光器の作製と評価	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0095]Ge/SiGeヘテロ接合を用いたアバランシェフォトダイオードの作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0096]ナノインプリントによって形成された微細構造による反射特性の制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0097]エクソソームナノアレイのためのナノスケールパターン形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0098]表面弾性波を用いたオプトメカニクスの構築	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0099]MEMSセンサ開発プロジェクト	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0100]シリコンの深掘加工	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0101]UVナノインプリントによるAlの微細加工	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0102]ガスセンサの開発	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0103]近接場光の原理に基づく高出力Siレーザの研究開発	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-108 精密研磨装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0104]近接場光援用シリコン受光素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0105]天体観測のためのテラヘルツ帯ホットエレクトロンボロメータの開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0106]SOI基板上でのカーボンナノメカニカル構造体の作製	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0107]Au/ITO/SiO2/Auからなる光学多層膜の形成に関する研究	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0108]Alを利用したナノ構造作製に関する研究	F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0109]X線コヒーレント光発生用薄膜試料の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0110]非線形メタマテリアル応用に向けた微細金属ナノ構造作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0111]熱処理によるIC特性変動調査	F-UT-132 イナートガスオーブン
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0112]e-beam nanopattern fabrication for optical applications	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0113]切り紙構造を用いた微細構造とそのアプリケーション	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0114]MEMS加速度センサの製作と評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0115]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0116]2THz帯ホーン導波路型超伝導HEBミクサ素子の微細加工	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0117]放射線が引き起こすSiO2中のキャリアダイナミクス	F-UT-137 汎用平行平板RIE装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0118]電子ビーム微細加工によるTDS-THzバイオセンシング用メタマテリアル作製2017/02/17	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0119]圧電薄膜応用デバイスの裏面加工	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0120]多周波共振構造による広帯域Piezoelectric MUT Arrayの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0121]誘電体極薄バルク結晶の作製	F-UT-108 精密研磨装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0122]ドレスト光子フォノンを用いたSi LEDの研究開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0123]FIBによる半導体回路修正技術習得	F-UT-133 集積回路パターン微細加工（FIB）装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0124]動脈圧直接測定用光導波型圧力センサに関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0125]反応性スパッタリング法によるTiNマイクロヒータの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0126]無線通信向けインダクタの評価用パターンの形成	F-UT-133 集積回路パターン微細加工（FIB）装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0127]超流動ヘリウム研究用シリコンマイクロスリット構造の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0128]非侵襲血圧計測のためのMEMS超音波センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0129]液体のインパクト時の力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0130]標準シリコン酸化膜の膜厚測定(2)	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0131]マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS気流せん断応力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0132]生体分子１分子デジタル計数デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-121 ブレードダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0133]MEMSフォースプレートを用いたショウジョウバエの跳躍力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0134]音響放射現象のためのMEMS多軸ピエゾ抵抗効果センサ	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0135]マイクロビーズのばね定数計測のためのMEMS力変位センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0136]MEMS滑り覚センサを利用した二足歩行ロボットの歩行中における路面滑り状態の推定	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0137]微小孔を持つ液面の振動に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0138]超撥水面で合体する液滴のジャンピング力	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0139]エピタキシャル NiFe2O4 薄膜のSi(111) 基板上への作製	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0140]MEMSアコースティックエミッションセンサによる弾性波計測	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0141]集束イオンビームを用いたグラフェンの片持ち梁構造への加工	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0142]有機ナノ構造体を利用した近赤外光検出器	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0143]ピエゾ抵抗を形成した両持ち梁を用いた静止摩擦係数を検出するための触覚センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0144]細胞の牽引力計測のためのMEMS高感度三軸力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0145]細胞のけん引力を計測するための高剛性MEMSフォースプレート	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0146]微細構造を有した表面を滑り落ちる液滴の振動の計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0147]露光量の違いを利用したマイクロニードルの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0148]NIR spectrometer using a Schottky photodetector enhanced by grating-based SPR	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0149]電子線描画装置F5112を利用したサブミクロン加工の検討３～OEBR-CAPl12～	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0150]EB描画による微細パターン基板作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0151]光変調器に向けたSi格子の作製	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0152]微細パターンの連続転写における残膜制御	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0153]GaMnAsの価電子帯のスピン分裂に起因するトンネル磁気抵抗効果	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0154]カーボンナノチューブ分割ゲート発光素子の性能向上	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0155]Fe/Mg/SiOxNy/Si接合を用いたSiへのスピン注入	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0156]Fe/Mg/MgO/Si構造におけるスピン注入シグナルとデッドレイヤーの関係	F-UT-121 ブレードダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0157]電界放出源の高出力化の研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0158]SiO2上に成膜された金属パターンの応力剥離	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0159]面内伝導型スピンバルブトランジスタにおけるスピン依存伝導と電流変調	F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0160]Bias-dependent magneto-conductance in n-type ferromagnetic semiconductor (In,Fe)As-based Esaki diodes	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0161]光学材料ドライエッチング用レジストパターンのEB描画特性評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-16-UT-0162]各種エラストマーにおけるハロゲンプラズマ耐性の評価	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0001]波長選択近接場光輸送促進のためのタングステン製ピラーアレイ構造放射体の創成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0002]金属単層カーボンナノチューブの全長除去	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0003]量子ナノ素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0004]Thermal transport property measurement of single-walled carbon nanotubes	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0005]Field effect transistors using single-walled carbon nanotube films	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0006]Field effect transistors using horizontally aligned single-walled carbon nanotubes	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0007]単層カーボンナノチューブの熱物性測定	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0008]CNT-silicon solar cells	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0009]熱処理によるIC特性変動調査	F-UT-132 イナートガスオーブン
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0010]微細構造による反射特性の制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0011]三次元積層チップへの内装を目指した小型自励振動式ヒートパイプの試作と熱流動解析	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0012]金属ナノ構造による電場増強効果を利用した赤外分光計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0013]"多機能性酸化物薄膜におけるマイクロパターン構造及び電気刺激における細胞応答研究	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0014]エレクトレットＭＥＭＳデバイスの研究	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0015]ナノドットレジストパターンの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0016]高速細胞分取装置開発のための表面弾性波デバイスの開発	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0017]高速ドロップレット分取装置のための誘電泳動デバイスの開発	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0018]超高速イメージングによる高速細胞同定装置のための細胞整列用マイクロ流体デバイスの開発	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0019]アスペクト比1000トレンチを使用したSiC気相化学含浸法(CVI)の反応解析	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0020]物理気相蒸着法（PVD）で作成したCo(W)膜のバリア性の評価	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0021]金属‐絶縁体‐金属構造からなる赤外吸収体	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0022]スピンポンピングを用いたトポロジカル結晶絶縁体SnTeにおける起電力	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0023]エレクトロアクティブマイクロウェルアレイの開発と１細胞解析への応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0024]Observation of spontaneous spin-splitting in the band structure of n-type ferromagnetic semiconductor (In,Fe)As	F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0025]ナノカーボン材料の電気特性評価	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0026]ICPエッチング装置を用いた圧電素子微細加工	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0027]集束イオンビームを用いた半導体試料の加工	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0028]金属膜の加工	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0029]ドレスト光子を利用したＳｉ受発光素子の開発	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-108 精密研磨装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0030]近接場光援用ダイヤモンド受光素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0031]2 mm 厚シリコンに成膜されたDLCを用いたSEM測定用試料作製法の研究	F-UT-121 ブレードダイサー F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0032]e-beam nanopattern fabrication for optical applications	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0033]電界放出源の高出力化の研究	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0034]電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0035]ナノインプリントプロセスによる高アスペクトパターンの作製	F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0036]ISFETを用いた昆虫嗅覚受容体発現細胞の電気信号測定の評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0037]DRIEを用いた高アスペクト比エッチングの検討	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0038]ポリイミドの等方性ドライエッチング条件の検討	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0039]炭素機能材料の集束イオンビーム加工	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0040]Plasmonic nanochannel structure for sensing application	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0041]架橋カーボンナノチューブにおけるトリオン生成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0042]単一架橋カーボンナノチューブにおける励起子拡散および緩和過程	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0043]カーボンナノチューブにおける暗い励起子の電界活性化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-126 マニュアルウエッジボンダ―
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0044]カーボンナノチューブ分割ゲート素子における電界発光	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0045]空気モードシリコンナノビーム共振器の性能向上	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0046]シリコンフォトニック結晶共振器の最適化	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0047]カーボンナノチューブ分割ゲート素子の広帯域化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0048]ゲルマニウムのレーザーアニールの研究	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0049]革新的Si/Geアクティブフォトニクスデバイスの研究開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0050]Si上高濃度n型Ge結晶層の研究	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0051]ゲルマニウム受光器の研究	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0052]ナノリソグラフィによる高感度Piezoelectric MUTの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0053]ショートチャンネル有機トランジスタおよび有機電気化学トランジスタの集積回路	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0054]リフトオフ法による金属ナノギャップの作製と観察	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0055]多自由度MEMSスキャナの評価	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0056]天体観測のための超伝導HEBミクサの開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0057]新材料スイッチの形成のための基板作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0058]電子ビーム露光装置F7000SによるInP系光導波路デバイスの作製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0059]人工淘汰のための大規模タンパク質マイクロアレイの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0060]SiO2上横方向成長Geの速度論	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0061]スピン流注入プローブの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0062]シリコンフォトニクスに向けた量子ドットレーザのプロセス技術開発	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0063]酸化物半導体材料評価用トランジスタの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0064]Si基板の実装	F-UT-129 精密フリップチップボンダー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0065]マイクロ流体デバイスを用いたクロマチン操作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0066]マイクロ流体デバイスを用いた１対１電気細胞融合とその応用展開	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0067]集積イメージセンサ向け高機能化合物薄膜の微細加工利用	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0068]人体の動きを用いた回転型MEMSエレクトレット発電機	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0069]A Microfluidic Chip Coupled with Magnetophoretic and Dielectrophoretic Forces for Separating Malaria-infected Red Blood Cells	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0070]Flexible Wireless Wall Temperature Sensor for Unsteady Thermal Field	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0071]共有ばねを有する近接場熱ふく射を利用した高開口率MEMSラジエータの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0072]Electric Instability of Cassie Droplets on Super-Lyophobic Pillar Surface: Pull-in Versus Electrowetting	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0073]Liquid-Crystal-Enhanced Electrostatic Vibration Generator	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0074]In-plane Gap-closing MEMS Vibration Electret Energy Harvester on Thick BOX Layer	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0075]大面積ナノ構造のレーザアシストロール成形	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0076]陽極酸化アルミナナノホールアレイの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0077]金属配線のダマシン加工	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0078]セラミクスグリーンシートへのナノインプリント	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0079]沸騰伝熱面の熱伝達率向上のためのアルミ表面へのナノインプリント	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0080]異種材料集積を用いた光電子集積回路プラットフォーム	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0081]卍型梁構造ゲルマニウムの歪みとバンド構造に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0082]高効率化のための裏面散乱層を適用した裏面電極型太陽電池の作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0083]超高速蛍光画像識別型セルソーターの開発	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0084]MEMS多軸力センサを用いたハエの飛翔力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0085]高感度・高剛性を両立するピエゾ抵抗型3軸力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0086]蝶の離陸時の飛翔力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0087]ナノピラーを用いたSiによる近赤外検出器	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0088]側壁への細胞の接着を防ぐマイクロピラー	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0089]細胞計測のための力センサを組み込んだ微小流路	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0090]液体のインパクト時の力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0091]液体の滑り時の力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0092]筋音の高周波成分計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0093]表面粗さ変化によるカンチレバー型気流せん断応力センサの感度向上効果	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0094]三次元積層ICチップへの内装を目指したシリコンマイクロ流体素子の作製と封止	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0095]ローレンツ力を用いたばね定数10倍可変の持ち梁	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0096]作用力および摩擦係数の同時計測のための触覚センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0097]カンチレバーを用いた真空計	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0098]MEMSカンチレバーアレイを用いた細胞の振動の計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0099]ショウジョウバエのジャンプ力を計測するフォースプレート	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0100]熱応答を利用した機能材料集積型化学センサ	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0101]広帯域のアコースティックエミッションセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0102]可動MEMSスパイラル構造による偏光変調デバイス	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0103]MEMS 3軸力センサを用いた細胞の接着力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0104]液体の振動時の力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0105]光MEMS熱物性センシングデバイスの開発	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0106]マイクロカンチレバー作製と振動特性評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0107]光学デバイスへの応用に向けた自己組織化構造の作製	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0108]ImPACT「セレンディピティの計画的創出による新価値創造」における1細胞多角的次世代解析技術の開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0109]ステルスダイサーを利用したシリコンウェハー精密カット2	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0110]電子線描画装置F5112を利用したサブミクロン加工の検討２～OEBR-CAP112～	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0111]センサ試作のための配線パターニングの検討	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0112]リフトオフ法により作成した金ナノ四角柱周期構造における赤外増強吸収	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0113]透過型電子顕微鏡の内部で動かすマイクロマシンの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0114]センサネットワーク用高効率マイクロエナジーハーベスター	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0115]バイオ試料の機械的特性評価のためのシリコンナノピンセット	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0116]モータータンパク質を利用したタウタンパク検出	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0117]側壁電極による陽極酸化を用いた一括ナノリソグラフィー	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0118]ナノスケール熱伝達計測のための温度測定システム	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0119]電子顕微鏡での水中観測を可能にするMEMS液体セル	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0120]昆虫型マイクロロボットのパーツ作製に関する微細加工プラットフォーム試行利用	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0121]縦型スピン電気二重層トランジスタ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0122]反強磁性体の超高速スピン制御に向けた試料作製	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0123]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0124]X線コヒーレント光発生用薄膜試料の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0125]シリコンフォトニクスにおけるMidex(中位屈折率差系)AWGの試作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0126]触覚MEMSデバイス用の成膜評価	F-UT-119 機械特性評価装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0127]Si/Ge量子細線多接合型太陽電池のためのSi上Ge薄膜pinダイオードに関する研究	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0128]超流動ヘリウム研究用シリコンマイクロスリット構造の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0129]微細構造の側壁薄膜を電極に用いた局所陽極酸化によるナノパターン転写装置の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0130]光干渉断層計測法装置のための波長可変光源ＭＥＭＳファブリ・ペロ干渉計の開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0131]液晶ディスプレィ用TFTドライバ技術を用いた細胞操作用µTASの開発	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0132]MEMS加速度センサの作成とその特性評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0133]微細加工を用いた切り紙構造	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0134]ブロックコーポリマーPS-PMDSによる10nm以下ハーフピッチ、ラインアンドスペースパターンの形成	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0135]シリコンナノビーム共振器と単一カーボンナノチューブの高効率光結合	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0136]単一カーボンナノチューブを用いたゲート制御式光パルス列生成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0137]光ナノメカニカル振動子の作製MEMS加速度センサの作成とその特性評価	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0138]DLCナノメカニカルスイッチの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0139]SiO2ナノ構造作製のためのVHF高速エッチングに関する研究	F-UT-121 ブレードダイサー F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0140]表面弾性波(SAW)を用いたオプト・エレクトロメカニクス	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0141]3D nanostructures fabricated by advanced stencil lithography	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0142]腫瘍細胞分離のための2段階誘電泳動デバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0143]神経－心筋マイクロ共培養系の構築	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0144]太陽熱光発電のためのアブソーバ・エミッタの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0145]金属ナノスリットアレイによる高効率マイクロ波長板の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0146]熱駆動金属ナノグレーティングを用いた光位相変調素子の製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0147]マイクロマシン教育のための静電マイクロアクチュエータ設計	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0148]銀ナノ粒子インクを印刷したPETフィルム観察	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群 F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0149]金属Mg挿入によるSiベース磁気トンネル接合の電流電圧特性への影響	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0150]オンチップ集積高電圧太陽電池を用いた遠隔光駆動型MEMSの高速動作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0151]電子線重合を利用した機能性高分子薄膜の創製	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0152]圧電型MEMS共振器とウェイクアップモジュールに関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0153]低アスペクトL&S構造の作製技術開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0154]高繰り返し高強度コヒーレント光源用ミラーの作製	F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0155]ステルスダイサーによるΦ8"/1mm厚Si基板のΦ6"切り出し加工	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0156]標準シリコン酸化膜の膜厚測定	F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0157]表面の微細構造および電荷による動的濡れ挙動の制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0158]低次元物質を用いたナノデバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-15-UT-0159]微小管の動的自己組織化における空間的制約効果の影響	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0001]単一架橋カーボンナノチューブにおける励起子のシュタルク効果	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0002]シリコンナノビーム共振器と単一カーボンナノチューブの高効率光結合	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0003]単一カーボンナノチューブを用いたゲート制御式光パルス列生成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0004]フォトニック結晶共振器における局在導波モードと共振器モードによる双共鳴	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0005]強磁性体・カーボンナノチューブ二層構造における強磁性共鳴	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0006]単一架橋カーボンナノチューブにおける励起子拡散および緩和過程	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0007]単一架橋カーボンナノチューブの励起分光における電界誘起ピーク	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0008]カーボンナノチューブ分割ゲート素子における電界発光	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0009]空気モードシリコンナノビーム共振器の最適化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0010]架橋カーボンナノチューブにおけるトリオン生成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0011]カーボンナノチューブの化学気相成長用触媒におけるアルミナの影響	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0012]架橋カーボンナノチューブの発光におけるパルス励起強度依存性	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0013]高効率金属ナノ光学素子に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0014]熱駆動可変金属ナノスリットに関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0015]超高速イメージングによる高速細胞分取装置のための表面弾性波発生デバイス試作	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0016]微細構造を有する波長選択性光源の研究	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0017]集積化電極基板による培養細胞活動計測	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0018]マイクロ熱電子発電に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0019]光源と検出器を集積化したプラズモン共鳴センサに関する研究	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0020]ボース・アインシュタイン凝縮体の高分解能非破壊イメージングのための位相板の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0021]銀ナノインクの表面処理および特性評価	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0022]細胞内部構造制御用のマイクロ構造基材作製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0023]プラモニックキャビティの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0024]バイポーラPBII法によるマイクロトレンチへのDLCコーティング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0025]φ０．３μｍホール形状の大面積シームレス描画	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0026]金属微細構造を用いた赤外光応答制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0027]半導体材料評価用のトランジスタ素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0028]光MEMSを用いた熱物性センサの開発	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0029]細胞解析用一細胞アレイ基板作製用フォトマスクの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0030]FIB-CVDによるWCナノワイヤの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0031]櫛形電極作製による酸化物薄膜のインピーダンス測定	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0032]SiO2/Au/SiO2積層構造体の作製	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0033]Au/SiO2/Au積層構造体の作製	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0034]SiO2メッシュ架橋構造の作製	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0035]超高速イメージングによる高速細胞分取装置のための細胞分取用マイクロ流路	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0036]浮遊グラフェンの電気伝導度特性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0037]金属ナノ構造を用いた赤外域の電場増強と新規光学現象の発現	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0038]周期的チャネル構造表面の光学的特性に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0039]電流注入型濡れ層発光LEDのゲート制御	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0040]金属性単層カーボンナノチューブの全長除去	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0041]単層カーボンナノチューブの合成制御	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0042]グラフェンを用いた電界効果トランジスタ	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0043]電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0044]単一浮遊細胞のハンドリング、固定可能なマイクロ流路デバイスの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0045]窒化物半導体用成膜過程の解析用の高精度マスクの作成	F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0046]Fe/SiO2/Siトンネル接合素子における３端子Hanle効果の起源	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0047]シリコンリブ型導波路の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0048]スピンポンピングによるスピン流の注入と検出	F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0049]強磁性半導体GeFeにおける、室温において存在する局所的な室温強磁性と、そのナノスケールでの成長過程	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0050]マイクロパターン基板を用いた細胞力学特性の計測に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0051]櫛歯電極を持つMEMSエレクトレット発電器の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0052]軟Ｘ線荷電されたフレキシブルエレクトレット発電器の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0053]回転型エレクトレット発電器の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0054]近接場熱輻射を用いた高開口率MEMSラジエータの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0055]近接場熱輻射計測のためのMEMSデバイスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0056]超撥液面を用いた液体耐性エレクトレットの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0057]MEMSワイヤレス温度センサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0058]高性能圧電薄膜とMEMS技術を用いた高感度超音波トランスデューサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0059]イオン注入機を利用したシリコン基板へのＰ，ＢＦ２打ち込みとその電気評価	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0060]半導体デバイス向けのリソグラフィ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0061]電子線描画装置F5112を利用したサブミクロン加工の検討	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0062]ステルスダイサーを利用したシリコンウェハー精密カット	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0063]微細加工表面の濡れ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0064]くし歯型MEMS共振器の共振特性と蓄積エネルギー	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0065]ドレスト光子を利用したＳｉ受発光素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0066]ダイヤモンドパワーデバイス	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0067]レジンコート紙の微少穴測定	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0068]フレキシブル電極の微細形成　極薄有機光検出器の作製	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0069]ナノカーボン材料の電気抵抗測定	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0070]低アスペクトL&S構造の作製技術開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0071]周期的円柱ピラー形状の作製技術開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0072]大面積ナノ構造のレーザアシストロール成形	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0073]陽極酸化アルミナナノホールアレイの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0074]金属配線のダマシン加工	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0075]ナノパターンを有するバイオプレートの射出成形	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0076]セラミクスグリーンシートへのナノインプリント	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0077]沸騰伝熱面の熱伝達率向上のためのアルミ表面へのナノインプリント	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0078]実験実習用MOEMS教材開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0079]リフトオフ法による金ナノ四角柱周期構造の形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0080]PDMSを用いた単一細胞分泌測定デバイスの開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0081]シリコン導波路型光デバイス開発に向けた高速電子線露光	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0082]光学式測定装置の研究・開発向け微細サンプルの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0083]免疫治療に向けた電界集中型細胞	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0084]１細胞エピジェネティック解析に向けた動物細胞染色体の操作技術の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0085]マイクロメッシュを用いた配向性細胞シートの作製と評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0086]マイクロアレイチップ技術を用いた高速タンパク質進化システムの創製	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0087]マイクロ波LC共振器とナノメカニクス薄膜振動子の結合の観測，および振動子のサイドバンド冷却	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0088]深宇宙彫刻DESPATCHの打ち上げ最大加速度を測定するMEMSセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0089]ルナ・ドリームカプセルプロジェクトで子供達の夢・メッセージを電子線描画装置・エッチング装置を用いてシリコンウェーハに描画	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0090]酸化チタンナノシートへの導電性付与	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0091]微細ゲートホールの加工検討	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0092]電界放出源の高出力化の研究	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0093]半導体分岐可変多モード干渉カップラ素子の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0094]半導体マイクロリングレーザを用いた全光インバータの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0095]クロストークを低減可能な凸型マイクロセンサアレイ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0096]マイクロ力センサを用いたウェアラブル血圧計測デバイス	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0097]マイクロ3軸力センサによる足底と足側面に加わる力の計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0098]テラヘルツ天体観測のための超伝導HEBミクサの開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0099]ゲルマニウムのレーザーアニールの研究	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0100]格子ひずみ制御によるシリコン上ゲルマニウム受発光デバイスの長波長動作	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0101]マイクロマシン教育のための静電マイクロアクチュエータ設計	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0102]鉄系酸化物半導体トンネル接合素子形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0103]シリコンプラットフォームによるバイオセンサの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0104]革新的Si/Geアクティブフォトニクスデバイスの研究開発	F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0105]ゲルマニウム発光デバイスの検討	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0106]単一架橋カーボンナノチューブにおける巨大円二色性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0107]カーボンナノチューブにおける励起子の自発的解離	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0108]シリコン深掘エッチングガスの開発	F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0109]咀嚼時における歯の振動の伝播測定	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0110]羽ばたき機を用いた8の字羽ばたき運動時の翼面圧力差計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0111]サイドドープを用いたピエゾ抵抗型気流せん断応力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0112]音響インピーダンス整合したMEMS筋音センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0113]センサフュージョンによる高感度絶対圧計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0114]運動靴のスパイクピンのための6軸力/トルクセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0115]MEMSセンサウェハのステルスダイシングによる分割の検討	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0116]液滴の動的な振る舞いを解明するためのMEMS力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0117]メンブレン状のSOI構造の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0118]薄膜片持ち梁を用いた脈波計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0119]ステルスダイシング装置によるMEMSセンサのチップ化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0120]小型カテーテルのための超音波センサを利用したドップラー効果による速度計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0121]アザミウマの毛状翼を規範とした差圧センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0122]アリの床裏反力計測のためのMEMSフォースプレート	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0123]ピエゾ抵抗型センサの側面ドープの不純物濃度計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0124]AlNカンチレバーを用いた微小圧力変化検出スイッチ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0125]パリレン膜のガラス転移を利用した3次元構造形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0126]マイクロヒーターによる細胞の熱的観測	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0127]MEMS心音センサの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0128]イオン液体を用いたCO2ガスセンサの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0129]薄膜 Si 上に形成した MEMS 可変メタマテリアルにおけるフレームの影響	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0130]分光器のための金回折格子による表面プラズモン型ショットキーIRディテクタの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0131]熱伝導率分布センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0132]弾性体中の微小カンチレバーの動的特性解析	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0133]弾性表面波計測センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0134]集積化マイクロアンテナ研究に向けたMEMS振動子設計試作評価基礎技術の習得	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0135]生体適合性高分子によるピラー構造の作製	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0136]ショートチャンネル有機トランジスタの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0137]可変周波数アンテナのための大変形貫通流路型液体アクチュエータ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0138]静電アクチュエータ設計演習	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0139]モード共鳴回折格子の試作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0140]深宇宙彫刻DESPATCHとともに太陽を回る未来の人類への子供達のメッセージチップ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0141]高濃度n型不純物導入によるGe成長および発光特性に関する研究	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0142]シリコンフォトニクスのためのＭＩＤＥＸ（中程度屈折率差系）光学系の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0143]選択成長を用いたGe内の歪み制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0144]非交差導波路を用いた光スイッチに関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0145]スパッタSiNによるシリコンフォトニクスプラットフォームに関する研究	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0146]歪SiGe光変調器の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0147]II-V CMOSフォトニクスプラットフォームを用いた高性能光変調器	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0148]LSI動作解析用磁界プローブの試作	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6 F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0149]半導体MEMS-LSI技術を利用したマルチモーダルバイオセンサ	F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0150]ナノ・マイクロ光機能デバイスの試作と評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0151]圧電効果直接駆動によるFET型高感度・広帯域超音波受信器の開発	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0152]光放射圧による粒子輸送機能の屈折率差を用いた光スイッチング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0153]ジュール熱および光熱効果を用いた物質輸送による表面反応促進	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0154]エッチング条件だしのためのパタ－ニング	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0155]マイクロドロップレットチャンバーを利用したデジタルバイオロジー	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0156]三次元積層チップへの内装を目指した小型自励振動式ヒートパイプの試作と熱流動解析	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0157]ブロックコーポリマーを用いた自己組織化法によるシングルナノラインアンドスペースパターンの形成	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0158]固体表面の構造および電荷による動的濡れ制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0159]常温接合によるシリコン／ゲルマニウム接合界面の特性	F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0160]Ar 高周波プラズマ活性化処理による金薄膜を介したウェハ常温接合	F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0161]集積イメージセンサ向けの高機能膜微細加工利用の迅速立ち上げと汚染評価	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0162]微細構造の側壁薄膜を電極に用いた局所陽極酸化によるナノパターン転写装置の開発	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0163]ＭＥＭＳ光スキャナを用いたインタラクティブ画像ディスプレィ開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0164]光干渉断層計測法装置のための波長可変光源ＭＥＭＳ光スキャナの開発	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0165]液晶ディスプレィ用ＴＦＴドライバ技術を用いた細胞操作用μＴＡＳの開発	F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0166]電子線リソグラフィのトレーニング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0167]AlGaAs/Alox反転積層高屈折率差導波路型波長変換素子の開発	F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0168]超高速蛍光画像識別型セルソーターの開発	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0169]バックサイドXPSを用いたCoWバリア膜のバリア性の評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0170]超高アスペクト比ミクロキャビティを用いた化学気相含浸プロセスの解析	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0171]三元系化合物半導体の局所組成分析	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0172]多接合太陽電池応用に向けたGaAs/Ge表面活性化接合技術の検討	F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置 F-UT-121 ブレードダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0173]ナノスケール熱伝達計測のための温度測定システム	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0174]SmartBlocksIIプロジェクト：自律動作する集積化繊毛アクチュエータによる搬送ブロック	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0175]熱発電素子を目指した集積ナノワイヤーのトップダウン作製	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0176]ナノインプリント用モールド開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0177]電子線制御のための微細構造加工の研究	F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0178]フォトニック結晶を用いたバイオセンサーの開発	F-UT-109 川崎ブランチスパッタリング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-14-UT-0179]アルゴンプラズマエッチングを利用した金属ナノ構造体の試作	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 汎用ICPエッチング装置 F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0001]モード多重光ファイバ伝送におけるモード変換用位相板の試作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0002]MEMS技術で作製する高機能プローブ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0003]集積化MEMSによる細胞電位計測システム	F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0004]コンクリート表面へのテクスチャ加工に関する研究	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0005]MEMSマイクロロボット用人工神経回路網LSIチップの微細加工	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0006]テラヘルツ波リアルタイムバイオメディカルイメージング研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0007]テラヘルツ波プラズモン計測用のマイクロ流路チップ研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0008]DNA自律ジョイントを用いたマイクロ部品の自動位置決めに関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0009]天体観測のためのテラヘルツ帯ホットエレクトロンボロメータ・ミクサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0010]放射光を用いたXANESスペクトル測定時のチャージアップ効果に関する研究	F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0011]ＮＥＭＳ可変カラーフィルタの製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0012]シリコンナノピンセット上でのDNA恒温増幅とDNAの機械・電気検出	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0013]単結晶シリコンの精密異方性エッチング法	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0014]透過電子顕微鏡用液体セル	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0015]MEMS-in-TEM によるナノ物性その場観測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0016]ナノ接合を通じた熱伝達測定	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0017]振動型バイオセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0018]MEMS構造を利用したナノリソグラフィー	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0019]超低電力・多波長同時制御マイクロリング・マッハツェンダー光スイッチ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0020]半導体マイクロリングレーザを用いた全光フリップフロップおよびインバータの実現	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0021]医療ＯＣＴ用ＭＥＭＳ型高速波長可変光源	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0022]ＭＥＭＳ可変静電容量による無線用ＶＣＯ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0023]静電容量検出回路とアクチュエータの集積化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0024]MEMS光スキャナによるインタラクティブ画像ディスプレイ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0025]ＭＥＭＳマイクロミラーアレイの画像ディスプレィ応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0026]３次元集積回路の撮像素子応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0027]プログラマブルＭＥＭＳ共振子アレイ	F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0028]ＭＥＭＳ型スプリットリング共振子のテラヘルツ空間フィルタ応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0029]ＭＥＭＳマイクロシャッタアレイの天文分光器応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0030]ＭＥＭＳ耐摩耗性プローブ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0031]NEDO 省エネルギー革新技術開発事業「極低消費電力III-V族化合物半導体CMOS　　の研究開発」	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0032]総務省SCOPE「100Gbit/s超級歪SiGe光変調器の研究開発」	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0033]フッ化グラフェンメカニカル振動子の作製	F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0034]波長選択近接場光輸送を促進するナノサイズピラーアレイ構造の創成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0035]プラズモニックメタサーフェスを用いたマイクロ光学位相子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0036]近接場光エッチングを用いたシリコン側壁低温平坦化プロセスの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0037]波長選択性熱輻射光源の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0038]可視アクティブメタマテリアルの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0039]プラズモン共鳴を援用した熱電子放出素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0040]酸化物ナノシートを用いた電界効果トランジスタの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0041]酸化物エピタキシャル薄膜の電気測定用電極の作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0042]NEDO革新的太陽光発電システムの技術開発	F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0043]ナノキャビティ構造による熱ふく射スペクトルの制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0044]単一光子LEDの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0045]マイクロ燃焼における化学的消炎効果の解明	F-UT-108 精密研磨装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0046]無線モジュールの開発研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0047]高性能触媒層の開発	F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0048]MEMS圧電ポリマー構造の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0049]液滴高速駆動のためのMEMS ピラー構造を用いた超撥液表面の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0050]寄生容量を低減したMEMSエレクトレット振動発電器の開発	F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0051]ワンマスク・プロセスによるMEMS エレクトレット発電器の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0052]粒子数を制御した金属ナノ粒子一次元配列作製のための超微細加工基板の形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0053]リフトオフ法による二次元ナノ周期構造の形成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0054]3次元光学結晶のための立体積層技術に関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0055]ラメラ様金属構造による高性能表面増強ラマン分光チップに関する研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0056] ドレスト光子を利用したＳｉ受発光素子の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0057]格子ひずみ制御によるシリコン上ゲルマニウム受発光デバイスの長波長動作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0058]シリコンプラットフォームによるバイオセンサの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0059]ゲルマニウムのレーザーアニールの研究	F-UT-101 光リソグラフィ装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0060]微細構造メッシュシートを用いた細胞シート作製及び細胞培養技術の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-101 光リソグラフィ装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0061]1対1細胞融合技術を用いた体細胞初期化に必要なES細胞数の検討	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0062]MEMS共振器の製作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0063]シリコン微小ディスク共振器における双共振による単一カーボンナノチューブの発光制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0064]単一架橋カーボンナノチューブにおける巨大円二色性	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0065]カーボンナノチューブにおける励起子の自発的解離	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-101 光リソグラフィ装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0066]架橋カーボンナノチューブの発光に対するオゾン暴露の影響	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0067]エタノール化学気相成長法によるシリコン基板上におけるカーボンナノチューブ合成の最適化	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0068]カーボンナノチューブの化学気相成長における触媒のアニール及び還元プロセスの最適化	F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0069]埋め込みゲート式架橋カーボンナノチューブ素子	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0070]強磁性体・カーボンナノチューブによるハイブリッド素子	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0071]走査プローブ顕微鏡観察用ナノチューブ電界効果トランジスタ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0072]単一カーボンナノチューブとシリコンナノビーム共振器の光結合	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0073]架橋カーボンナノチューブのフォトルミネッセンスにおける交流ゲート電圧の影響	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0074]超高速イメージングによるがん診断技術の開発	F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0075]フレキシブル電極の微細形成	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0076]金属性単層カーボンナノチューブの広範囲除去	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0077]単層カーボンナノチューブの合成制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0078]高分解能ＭＲＩ画像計測のための高感度マイクロコイルの研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0079]小型３軸力センサを用いたトノメトリ法による血圧計測デバイス	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0080]温度画像と色画像の同時取得のためのシリコン‐ガラスハイブリッドレンズ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0081]金属ナノ構造を用いた赤外域の電場増強と新規光学現象の発現	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0082]スパイラルメタマテリアルによる光学活性の動的制御	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0083]マイクロピラーアレイ上で成長したフィブロブラスト細胞の大きさと形状	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0084]イオン液体をゲートとするグラフェンFETガスセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0085]超音波領域をカバー出来る三軸力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0086]エミッター開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0087]Few-layer Grapheneを用いた片持ち梁構造の機械特性計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0088]MEMSピエゾ抵抗型カンチレバーを用いた細胞のトラクション力計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0089]弦楽器演奏中に指先にかかる3軸力	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0090]サブミクロンギャップの制御を用いたTHz可変メタマテリアル	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0091]高消光比2層型ワイヤーグリッド偏光子	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0092]積層型メタマテリアルの透過特性評価方法	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0093]可変焦点液体レンズを用いた多軸距離計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0094]イオン性液体を用いたフレキシブル三軸力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0095]ピエゾ抵抗カンチレバーを用いた筋音計測用圧力センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0096]キャビティ構造を用いた高感度な3軸触覚センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0097]微小凹凸構造の表面上の水滴の滑りにおける力	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0098]液体中での超音波発信を実現する熱誘起超音波発信器の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0099]表面ドープとサイドドープを用いた6軸応力センサの設計	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0100]翅脈の弾性が異なる羽ばたき機を用いた翼面圧力差計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0101]MEMSせん断力センサを用いたスティック型粘度計	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0102]液体嚥下時の喉を通過する液体の流速測定	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0103]PZT カンチレバーを用いた高感度低消費電力の差圧センサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0104]イオンゲルを用いたCO2ガスセンサ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0105]位相遅れを用いた熱拡散率の非破壊計測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0106]弾性体中片持ち梁構造を用いた触覚センサの動的応答	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0107]ピエゾ抵抗型カンチレバーのギャップを液体で封止した構造を利用したハイドロフォン	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0108]表面プラズモン共鳴を用いた波長選択型シリコン近赤外検出器	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0109]非透明なマイクロ構造のリリース状況を可視化するためのテスト構造の開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0110]高性能波長変換デバイスの研究開発	F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0111]ｎ型ゲルマニウムレーザ発振用ファブリ・ペロー共振器	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0112]極薄太陽電池における光散乱層としてのSiナノ粒子の研究	F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0113]光デバイス作製に向けたサブミクロン領域でのゲルマニウム選択エピ成長の研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0114]フランツケルディシュ効果を利用した1550nm での導波路型ゲルマニウム電界吸収型光変調器	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0115]シリコンの応力誘起バンドギャップ、屈折率変化	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0116]中性ビーム酸化によるシリコン光導波路のトリミング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0117]n 型不純物添加によるゲルマニウムの物性評価	F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0118]フォトリソグラフィー・電子線リソグラフィのトレーニング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-101 光リソグラフィ装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0119]沸騰伝熱面の熱伝達率向上のための金属表面へのナノインプリント	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0120]高性能イオン伝導ポーラス膜のためのアルミナナノホールの生成	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0121]大面積ナノ構造のためのロール成形	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0122]光取出しフィルムのためのマイクロレンズアレイの成形技術	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0123]バイオテンプレートの射出成形のための高アスペクト比金型の試作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0124]超音波支持ギャップ内圧力計測用センサの開発	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0125]Smart BlocksII向けMEMS電子制御回路の試作と評価	F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0126]体内発電を目指した集積化発電素子(1)加工技術	F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0127]集積化MEMS向けシングルエンドキャパシタンス読み出し回路	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0128]スマートボロメータセンサ向け電子回路と微細構造の集積化試験	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0129]多層グラフェンを用いたＭＥＭＳ共振器による質量センサの製作	F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0130]窒素ドープ単層カーボンナノチューブによる電界効果トランジスタ作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0131]単一カーボンナノチューブにおけるゲート電圧誘起ピークの観測	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0132]フォトニック結晶ナノ共振器によるカーボンナノチューブの発光増強	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0133]単一架橋カーボンナノチューブの光伝導度分光	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0134] 微細内壁構造の非破壊計測のためのMEMS素子研究	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0135]CMOS-MEMS集積型新規センサに向けたCMOSポストプロセスの実施及び評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0136]半導体デバイス向けのリソグラフィ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0137]ステルスダイサーを利用したシリコン光学素子の作製	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0138]マイクロ・ナノスケールトレンチパターンへの三次元DLCコーティング	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0139]MEMSデバイス作製技術習得のためのプラットフォーム試行的利用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0140]遠赤外線用ゲルマニウム検出器のためのプラットフォーム試行的利用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0141]接触力センサ開発のためのプラットフォーム試行的利用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0142]単一細胞の機械的特性評価を目指した両短針駆動シリコンナノピンセット	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0143]MEMS デバイス試作のためのプラットフォーム試行的利用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0144]金属ナノパターンの作製	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0145]電力再利用機構を備えたマイクロ波帯無線送信器のためのプラットフォーム試行的利用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-103 シリコン深掘りエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0146]新規半導体材料開発のための評価用トランジスタ素子の開発Ⅱ	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置 F-UT-104 反応性プラズマエッチング装置 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群 F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0147] 電子線直接描画の高スループット化実現のための多軸・多ビーム化技術	F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0148] 多自由度MEMSスキャナの試作	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群 F-UT-105 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0149]疑似スピン電界効果型トランジスタのマルチプロジェクトウェハ上への作製と特性評価	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-13-UT-0150]折り畳み可能なマイクロプレートを用いた細胞の立体的な形状変化における細胞の機能測定と再生医療への応用	F-UT-099 高速大面積電子線描画装置 F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0001]集積化NEMS-LSI技術による高光効率・低消費電力可変カラーフィルタ（科研若手Ｂ）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0002]表面プラズモン超集束を用いた高密度光制御電子源アレイの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0003]金属ナノスリットを用いた軸対称偏光子アレイの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0004]サファイアモノリシック耐食性圧力センサの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0005]波長選択性熱輻射光源の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0006]高効率熱電子発電のためのマイクロ電子源アレイ	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0007]高分解能ＭＲＩ画像計測のための高感度な折り畳み式マイクロコイルの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0008]３軸力センサを用いたトノメトリ法による血圧計測デバイスの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0009]強磁性体薄膜への微細加工による磁気特性・電気伝導特性制御の研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0010]ジブロック共重合体によるミクロ相分離構造の制御の研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0011]MEMS型高速波長可変光源（民間等共同研究）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0012]携帯無線機用MEMS 型可変マイクロ波回路	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0013]内閣府／日本学術振興会　最先端・次世代研究開発支援プログラム「集積化ＭＥＭＳ技術による機能融合・低消費電力エレクトロニクス」	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0014]レーザー描画ディスプレィ用ＭＥＭＳ光スキャナ	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0015]ステルスダイシングを用いた素子のカット	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0016]高性能波長変換デバイスの研究開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0017]３次元集積回路	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0018]ＭＥＭＳプローブアレイのストレージ応用	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0019]プログラマブルＭＥＭＳ共振子アレイ	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0020]光を用いた微小液滴の非接触ハンドリング技術の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0021]光放射圧を用いたマイクロチップ内微粒子分離	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0022]電気物性の温度依存性を利用した結合反応の促進	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0023]フェニテックCMOS試作によるラジカルセンサ（STARC/科研費採択プロジェクト）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0024]フェニテックCMOS試作による多重書き込み回避型ReRAM回路（科研費採択プロジェクト）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0025]フェニテックCMOS試作による高速サーモビジョンセンサ（科研費採択プロジェクト）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0026]フェニテックCMOS試作による触覚センサ（JST採択プロジェクト）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0027]細胞の自己組織化現象の操作と理解	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0028]超高効率一次元ナノワイヤー熱電変換素子の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0029]マイクロデバイスを用いた細胞融合に基づく細胞機能制御に関する研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0030]テラヘルツ波リアルタイムバイオメディカルイメージング研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0031]テラヘルツ波プラズモン計測用のマイクロ流路チップ研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0032]MEMS深掘り加工によるSi振動子の作製	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0033]超音波支持ギャップ内圧力測定プロジェクト	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0034]超低電力・多波長同時制御マイクロリング・マッハツェンダー光スイッチの開発（科研費・基盤研究B）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0035]波長チャネル制御を用いる半導体マイクロリングプロセッサの研究（科研費・基盤研究Sと同じ）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0036]γ線超伝導転移端マイクロカロリメータ	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0037]不揮発性および再構成可能な機能をもつ半導体材料とデバイスの研究開発（科学研究費特別推進研究）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0038]シリコンベース多端子デバイスによるスピン注入と検出	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0039]強磁性半導体GaMnAsのバンド構造：共鳴トンネル分光法による解析	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0040]強磁性半導体GeFeの伝導と磁性	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0041]ｎ型強磁性半導体(In,Fe)Asの作製と物性	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0042]マイクロ流体界面電気化学測定法の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0043]ナノ細孔におけるイオン輸送現象の解明	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0044]実物形状によるシミュレーションのデバイス設計への活用	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0045]Smart BlocksIIプロジェクト-紫外線パターン可能なポリイミドを用いたマイクロアクチュエータの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0046]化合物半導体とSi回路とを融合させる新規複合デバイスの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0047]小型・低価格放射線量モニタリングネットワークシステム	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0048]環境発電に用いるマイクロデバイスの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0049]無線モジュール電源の開発研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0050]レーザー計測とMEMS技術の融合による代替燃料の燃焼特性の解明	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0051]マイクロ燃焼における化学的消炎効果の解明	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0052]高性能触媒層の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0053]光電離を用いたエレクトレット荷電方法の研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0054]MEMS圧電ポリマー構造の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0055]宇宙用MEMSアクティブラジエータの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0056]液滴高速駆動のためのMEMSピラー構造を用いた超撥液表面の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0057]非線形ばねを用いたMEMSエレクトレット振動発電器の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0058]テラヘルツヘテロダインセンシングによる星間分子雲の化学進化の探究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0059]戦略的創造研究推進事業先端的低炭素化技術開発(ALCA) 超高耐圧高効率小型真空パワースイッチ	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0060]フォノン援用エネルギー上方変換を用いた革新的色素増感型太陽電池の創製および挑戦的萌芽機能創発型光プロセスを用いた革新的エネルギー下方変換デバイスの開発若手A	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0061]ステルスダイシングを用いたウエハ劈開特性の研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0062]極微細シリコン立体構造を用いた流体システム	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0063]五神研究室プラズモニックナノ構造プロジェクト	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0064]五神研究室テラヘルツ時空間制御プロジェクト	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0065]五神研究室コヒーレントX線プロジェクト	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0066]マイクロ流路システムの構造パターンによる細胞移動の方向性制御	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0067]格子ひずみ制御によるシリコン上ゲルマニウム受発光デバイスの長波長動作	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0068]格子歪みを誘起したシリコン基板上への無転位ゲルマニウム層の形成	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0069]シリコンプラットフォームによるバイオセンサの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0070]ナノキャビティ構造による熱ふく射スペクトルの制御	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0071]長距離電子スピン状態転送を実現する荷電状態制御単一光子素子の研究（文科省科研費・新学術領域・量子サイバネティクス）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0072]NEDO革新的太陽光発電システムの技術開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0073]ナノ物体評価のためのシリコンナノピンセットの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0074]X線照射がDNAに与える損傷をシリコンナノピンセットで測る研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0075]MEMS-in-TEM実験系の構築によるナノ接合機械試験の「その場」観察	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0076]シリコンナノ接合の熱伝導測定	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0077]MEMS液体セルを用いた液中現象のTEM「その場」観察	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0078]科研費　挑戦的萌芽研究（H24-25）「金属ナノ構造を利用した中赤外電磁場の増強と時空間制御」	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0079]単一細胞の力刺激反応計測のためのＭＥＭＳカンチレバー	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0080]JST 先端計測分析技術・機器開発プログラム　要素技術タイプ「内視鏡のための単眼三次元異種情報計測システムの開発」	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0081]科学研究費補助金　若手（B) 「金ナノディスクペアの局所表面プラズモン共鳴を利用した光計測型応力センサの研究」	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0082]液体アクチュエータデバイスの実現	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0083]NEDO受託研究「グリーンセンサ・ネットワーク技術開発プロジェクト」	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0084]生体分子１分子デジタル計数デバイスの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0085]裏面金属ナノ構造による太陽電池の光マネジメント	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0086]サーメットスラリー作製のための高効率マイクロミキサーの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0087]ナノインプリント・陽極酸化・再陽極酸化を用いた酸化ジルコニウムナノワイヤの生成	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0088]沸騰伝熱面のナノインプリント転写構造が熱伝達率に与える影響	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0089]微細構造を樹脂フィルムに転写するためのローラ成形技術の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0090]フォトニック結晶のための一括リソグラフィ技術の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0091]Si基板上のエピタキシャル強誘電体薄膜を用いた圧電駆動型MEMSデバイスの研究開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0092]水平配向SWNTによる電界効果トランジスタの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0093]グラフェンチャネル電界効果トランジスタの研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0094]フォトニック結晶ナノ共振器によるカーボンナノチューブの発光増強	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0095]カーボンナノチューブの発光における軸方向電界効果	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0096]架橋カーボンナノチューブにおける励起子拡散長のカイラリティ依存性	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0097]強磁性共鳴を用いたカーボンナノチューブへのスピン注入	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0098]埋め込みゲート式架橋カーボンナノチューブ発光素子	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0099]単一の窒素ドープカーボンナノチューブの架橋構造作製	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0100]単一の窒素ドープカーボンナノチューブの光学評価	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0101]単一カーボンナノチューブにおける円二色性測定	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0102]シリコン微小ディスク共振器の作製と評価	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0103]科学研究費補助金　基盤研究(A)　大気中常温接合の新手法	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0104]実装接合に関する研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0105]熱光起電力発電（TPV 発電）を目指した近接場光の波長制御に関する研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0106]文部科学省地域イノベーション戦略支援プログラム「京都環境ナノクラスター」オンサイト血液診断装置の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0107]ブロックコーポリマーを用いた自己組織化法による微小ドット形成の可能性	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0108]梁構造を用いたGe導波路のﾊﾞﾝﾄﾞｷﾞｬｯﾌﾟの動的制御（NTT共同研究）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0109]SiNによる歪み印加を用いたGe電界吸収型光変調器の研究 (FIRST/PECST　ﾌｫﾄﾆｸｽ/ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ融合ｼｽﾃﾑ基盤技術開発)	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0110]選択Ge成長膜中の歪み評価（FIRST/PECST フォトニクス/エレクトロニクス融合システム基盤技術開発）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0111]中性ビームエッチングを用いたリング共振器（東北大学流体科学研究所一般公募共同研究）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0112]GCIBを用いたリング共振器の共振波長制御（日本学術振興会/先端拠点事業／JSPS Core-to-Core Program）	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0113]Siフォトニック結晶を用いた光変調器の研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0114]テクスチャー表面上での濡れ性についての研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0115]ドロネー研ナノアンテナアレイプロジェクト	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0116]ドロネー研プラズモニックプロジェクト	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0117]医療用マイクロガスセンサプロジェクト	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0118]皮質脳波計測用神経電極の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0119]分散型超多点神経信号計測システムの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0120]マイクロ加工技術を用いた培養神経細胞ネットワークの解析	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0121]エミッター開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0122]表面拡散による形態変化を利用した３次元微細構造形成	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0123]光学式マイクロ拡散センサーの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0124]光学式マイクロ粘性センサーの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0125]NEDO 省エネルギー革新技術開発事業「極低消費電力III-V族化合物半導体CMOSの研究開発」	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0126]ナノ微細加工技術を用いた電子物性評価技術	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0127]量子もつれ中継技術の研究開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0128]フォトリソグラフィを用いたMOEMS技術の教材開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0129]JST-CRESTプロジェクト「ナノシートをシード層とする機能性薄膜成長」	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0130]1チップ上多色発光LED形成に向けたMOVPEによるGaN選択成長プロセス構築	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0131]シリコンナノピンセットを用いた恒温DNA増幅と電気検出	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0132]微小管・モータタンパク質を用いたタウタンパク質検出方法の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0133]新規センサを目指すCMOS-MEMS 集積化技術	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0134]半導体デバイス向けのリソグラフィ	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0135]新規半導体材料開発のための評価用トランジスタ素子の開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0136]3次元電子線リソグラフィシミュレータ FabMeister-ELによるサブ100nm 微細断面形状のシミュレーション精度向上	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0137]システムとして機能を発揮するVLSI研究に向けた微細加工試行利用	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0138]集積化音響システムのための微細加工プラットフォーム試行利用	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0139]集積六足自立歩行ロボットのための微細加工プラットフォーム試行利用	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0140]集積化ＭＥＭＳによる細胞電位計測システム	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0141]集積化 MEMS で創るエネルギー自立型水上走行素子	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0142]集積化 MEMS によるLSI プロービングシステム	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0143]多層膜を利用したナノパターン法とその応用	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0144]微小領域選択有機金属気相成長を用いたIII-V on Si 光デバイス	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0145]コンクリート表面へのテクスチャ加工に関する研究	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0146]高周波アンテナの集積化に向けた微細加工プラットフォーム試行利用	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0147]DNA自律ジョイントを用いたマイクロ部品のセルフアセンブリ	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0148]省電力・長寿命 MEMS メモリを目指すマイクロラッチ機構設計と作製	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0149]曲げによる理想的な曲面を持つ光 MEMS	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0150]低炭素消費型社会に貢献するマイクロ・ナノスマート電荷センサの開発	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0151]マイクロ・ナノスケールトレンチへの三次元DLCコーティング	(登録なし)
東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター [F-12-UT-0152]SOI基板上標準CMOS回路の後加工による高機能化と発電素子応用	(登録なし)