利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学ナノテク融合技術支援センター微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学微細加工プラットフォーム]　
[東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名	利用装置名
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0001]MEMS 技術を用いた機能性表面の創製	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-359 深掘りエッチング装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0003]ナノ物質ネットワークを計算資源とした情報処理の実現	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0004]ファンアウト型ウエハレベルパッケージ作製	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0005]超音波振動液滴室温マイクロコンタクトプリントによるDLCマイクロギヤの作製	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0007]水分解触媒電極のための製膜と膜厚測定	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0008]ガーネット材を用いたスピン流デバイスの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0009]複合材料を用いた微小管運動制御デバイスの開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0010]リチウム硫黄電池正極における硫黄含有中間体のin situ 解析	F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0011]ダイアモンド半導体上の電子ビームリソグラフィー	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0012]金属含有 DLC の研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0013]新規組成ネガ型レジストの露光評価	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0014]新しい漏れ検査技術の基礎検討	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0015]有機金属分解法により作製したガーネット薄膜の加工と評価	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0016]強磁性薄膜・微粒子とスピン流の相互作用に起因する磁化ダイナミクスに関する研究	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0017]感光性樹脂の研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0018]埋立廃棄物中の塩濃度を低減するためのバイオレメディエーション技術の開発	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0019]カルコゲナイド系相変化材料に関する研究	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0020]バイオマイクロデバイスの製作	F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0021]陽極酸化処理したアルミニウム合金の真空特性評価	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0022]透明ポリイミドフィルムの開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0023]機械加工面形状測定用MEMSデバイスの開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0024]耐水素脆化オーステナイト系鋼の開発	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0025]スパッタリングによる金属酸化物/窒化物薄膜の形成	F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-21-YA-0026]酸化鉄ナノ粒子の磁化測定	F-YA-364 振動試料型磁力計
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0001]MEMS技術を用いた機能性表面の創製	F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0002]超音波振動を利用した液滴室温ナノインプリントによるDLCマイクロギヤの作製	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0003]透明ポリイミドフィルムの開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0004]電気二重層キャパシタから発生するガスの分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0006]水分解触媒電極のための製膜と膜厚測定	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0007]新規半導体材料の開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0008]アルカリ現像型非化学増幅電子線レジストの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0009]複合材料を用いたマイクロヒータの開発	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0010]赤外光を用いたCu薄膜上での電解質分解挙動の解明	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0011]ファンアウト型ウエハレベルパッケージ作製	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0012]磁性流体のゲル化に伴う磁力変化	F-YA-364 振動試料型磁力計
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0013]粗面化したステンレス鋼の放熱特性評価	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0014]ガーネット材を用いたスピン流デバイスの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0015]多様な物性測定のための電極作製と評価	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0016]感光性樹脂の研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0017]NiとFeを組み込んだ酸化タングステンの酸素発生活性	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0018]金属含有DLCの研究	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0019]ガーネット薄膜のパターニング及び断面TEMによる評価	F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0020]強磁性薄膜・微粒子とスピン流の相互作用に起因する磁化ダイナミクスに関する研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0021]竹粉末燃焼時に生じるクリンカー生成メカニズムの解明	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0022]カルコゲナイド系相変化材料に関する研究	F-YA-363 マスクレス露光装置（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0023]ヘテロ構造磁性膜の光学定数スペクトル測定	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0024]各種フェライト粉末の磁化測定	F-YA-364 振動試料型磁力計
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0025]機械加工面形状測定用MEMSデバイスの開発	F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0026]種々の表面処理したアルミニウム合金の表面特性	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0027]薄膜太陽電池応用に向けてSiO2基板上に作製したBaSi2膜の光学特性分析	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0028]ピエゾ抵抗式圧力センサの開発	F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0029]陽極酸化処理したアルミニウム合金の真空特性評価	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0030]新しい漏れ検査技術の基礎検討	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0031]スパッタリングによる金属酸化物/窒化物薄膜の形成	F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0032]エリプソメータによる膜厚測定	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-20-YA-0033]ダイヤモンドダイオードの電極作製	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0001]新規半導体材料の開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0002]MEMS技術を用いた機能性表面の創製	F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0003]新規ポリマー型レジストのドライエッチング耐性評価	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0004]スパッタ装置を用いた W 基板への W 堆積層形成	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0005]各種金属の真空用表面処理の開発	F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0006]超音波振動液滴室温ナノインプリントによるDLCマイクロギヤの作製	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0007]透明ポリイミドフィルムの開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0008]新規機能性樹脂の開発	F-YA-359 深掘りエッチング装置 F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0009]ファンアウト型ウエハレベルパッケージ作製	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0010]水性亜鉛イオン二次電池のためのフレキシブル層状 MnO 2 正極の開発	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0011]電気二重層キャパシタから発生するガスの分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0012]金属含有DLCの研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0013]宇宙空間におけるオルガノイドの長期維持法の確立	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0014]複合材料を用いたマイクロヒータの開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0015]水分解触媒電極のための製膜と膜厚測定	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0016]感光性樹脂の研究	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0019]強磁性薄膜・微粒子とスピン流の相互作用に起因する磁化ダイナミクスに関する研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0020]イオン注入を利用した新しいスピンホール効果材料の開発	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0021]電子線描画装置によるナノパターンの作製	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0022]ガーネット材を用いたスピン流デバイスの開発	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0023]新規組成ポジ型レジストの露光評価	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0024]新型ガス分析器の基礎特性の調査	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0025]焼却灰を使用したジオポリマー硬化体から放散される揮発性有機化合物(VOC)の測定	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0026]アルミニウム合金の真空特性	F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0027]分子フローコントローラーによる真空計校正の検証	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0028]O/Nb 比を変えて製膜した非晶質酸化ニオブ薄膜中に存在する水素原子の比率	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0029]機械加工面形状測定用 MEMS デバイスの開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0030]陽極酸化処理したアルミニウム合金の真空特性評価	F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0031]微細構造による濡れ性制御	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0032]GeAu 同時蒸着金誘起層交換成長法で作製した結晶性Ge 薄膜の電気伝導特性	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0033]シリコンおよびジンクセレン半球への銅スパッタ	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0034]水素チャージ処理による金属表面状態変化に関する検討	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0035]伸線加工を施した磁性材料の磁気特性変化の観察	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-19-YA-0036]ZnSe系ハイブリッドAPDの開発	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0001]電解処理を用いた材料特性改質に関する研究	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0002]MEMS技術を用いた機能性表面の創製	F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0004]イソプロピリデン基を２つもつノボラック樹脂の合成とレジスト材としての応用	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0005]ガーネット材を用いたスピン流デバイスの開発	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0006]超音波液滴室温ナノインプリントプリントによるDLCドットアレイの作製	F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0007]Ti, Cuの2層スパッタ成膜、絶縁層キュア処理	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0008]複合材料を用いたマイクロヒータの開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0009]分光測定用薄膜の作製	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0010]各種金属の真空用表面処理の開発	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0011]低温成膜可能で安定性の高い感光性ポリイミドの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0012]感光性樹脂の研究	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0013]有機半導体薄膜太陽電池の作製と半導体層の物性評価	F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0014]金属含有DLCの研究	F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置 F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0015]加熱発生ガスの分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0016]表面処理したアルミニウム合金のガス放出特性	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】 F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0017]ガス放出速度測定装置の真空計の校正	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0018]分子フローコントローラーによる真空計校正の検証	F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0019]高圧液体漏れ検査装置開発のための基礎実験	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0020]新規半導体材料の開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0021]真空蒸着時のフィルムから発生するアウトガス分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0022]新規機能性樹脂の開発	F-YA-359 深掘りエッチング装置 F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0023]透明ポリイミドフィルムの開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0024]宇宙空間におけるオルガノイドの長期維持法の確立	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-359 深掘りエッチング装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0025]磁化ダイナミクス制御によるコヒーレントスピン波発信源に関する研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0026]水素チャージ処理による金属表面状態変化に関する検討	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0027]水性亜鉛イオン二次電池のためのフレキシブル層状MnO2正極の開発	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0028]カルコゲナイド系磁性半導体に関する研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0029]高感度非化学増幅型電子線レジストの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-18-YA-0030]電気二重層キャパシタから発生するガスの分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0001]SiN薄膜からの脱水素アニールの条件評価	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0002]ビスフェノール類を用いた柔軟性をもつフォトレジスト用樹脂の開発	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0003]昇温脱離ガス分析装置（ダイナミック型）による電子部品の発生ガス調査	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0004]層状マンガン酸化物の酸素発生活性	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0005]多分岐電子線レジストによるBlazed Circleの形成	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0006]UV-PDMSモールドを用いた液滴室温リバーサルマイクロコンタクトプリントによるDLCドットアレイの作製	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0007]MEMS技術を用いた機能性表面の創製	F-YA-359 深掘りエッチング装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0008]金属含有DLCの研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0009]各種金属の真空用表面処理の開発	F-YA-354 ガス放出速度測定装置 F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0010]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0011]新規半導体材料の開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0012]複合材料を用いたマイクロヒータの開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0013]水素チャージ処理による金属表面状態変化に関する検討	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0014]ガーネット材を用いたスピン流デバイの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0015]ポリウレタンディスパージョンの乾燥過程におけるレオロジー挙動	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0016]磁気光学効果を利用したデバイスの研究開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0017]鉄鋼材料に含有する水素量分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0018]アモルファスカーボンで生成するOHラジカルを利用した生体成分分析システムの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0019]感光性樹脂の研究	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0020]デュアル光コム分光エリプソメーターの開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0021]ミニマルファブシステム装置を利用したC-セミサービス事業の実現可能性の研究	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0022]真空プロセス装置開発のための基礎実験	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0023]バイオリフレクタを利用したデバイス応用に関する研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0024]有機半導体薄膜太陽電池の作製と半導体層の物性評価	F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0025]省合金型二相ステンレス鋼の真空容器向け使用特性評価	F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0026]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEB、レーザーによるフォトマスクの作製	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0027]新規機能性樹脂の開発	F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0028]電解処理を用いた材料特性改質に関する研究	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0029]表面処理したアルミニウム合金のガス放出特性	F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】 F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0031]強磁性ナノ粒子集合体の磁化ダイナミクス評価素子の作製	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0032]ガス放出速度測定装置の真空計の校正	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0033]TiO2の成膜、評価	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0034]分子フローコントローラーによる真空計校正の検証	F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0035]カルコゲナイド系磁性半導体に関する研究	F-YA-362 ECRエッチング装置 F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-17-YA-0036]高感度非化学増幅型電子線レジストの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0001]新規半導体材料の開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0002]各種金属の真空用表面処理の開発	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0003]MEMS技術を用いた機能性表面の創製	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0004]GaN系半導体光・電子デバイスの開発	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0005]金属含有DLCの研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0006]電気化学法を用いた鉄酸化物薄膜の合成	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0007]ビスフェノール類を用いた柔軟性をもつフォトレジスト用樹脂の開発	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0008]アモルファスカーボンで生成するOHラジカルを利用した生体成分分析システムの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0009]高解像電子線レジストのプロセス開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0010]感光性樹脂の研究	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0011]粘土鉱物-導電性高分子ハイブリッド膜の電気伝導率の評価	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0012]昇温脱離ガス分析装置（ダイナミック型）によるチップコンデンサの発生ガス調査	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0013]省合金型二相ステンレス鋼の真空容器向け使用特性評価	F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0014]真空プロセス装置開発のための基礎実験	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0015]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0016]液体による微量漏れ検出技術の開発	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0017]複合材料を用いたマイクロヒータの開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0018]液滴室温ナノインプリントによるダイヤモンドライクカーボンエミッタの作製	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0019]酸化物オーミック電極を用いた酸化ガリウムデバイス作製	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0021]カルコゲナイド系磁性半導体に関する研究	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0022]マグネシウム電池用3Dポリマー電解質の開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-359 深掘りエッチング装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0023]高感度非化学増幅型電子線レジストの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0024]新規構造を有するスチレン系共重合ポリマーの合成と電子線レジストへの応用	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0026]表面処理したアルミニウム合金のガス放出特性	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】 F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0027]ガーネット材を用いたスピン流デバイスの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0028]水素吸蔵金属を用いたセラミックス－金属間の接合	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0029]有機半導体薄膜太陽電池の作製と半導体層の物性評価	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0030]分散系のレオロジーと成膜挙動に関する研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0031]電子線露光による非化学増幅系レジストパターン作製プロセスに関する技術相談	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0032] 標準シリコン酸化膜の膜厚測定 (2)	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0033]酸素分圧を変えて製膜した非晶質酸化ニオブ薄膜中に存在する水素原子の比率	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0034]新規機能性樹脂の開発	F-YA-360 ECRエッチング装置 F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0035]鉄鋼材料に含有するガス成分分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-16-YA-0036]SiN薄膜からの脱水素アニールの条件評価	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0001]次世代レジスト材料の開発	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0002]電解処理を用いた材料特性改質に関する研究	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0003]種々の材料の真空分圧測定	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0004]新規機能性樹脂の開発	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0005]反応性スパッタ膜の研究・開発	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0007]昇温脱離ガス分析（TDS）を用いたカーボン粉末の発生ガス分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0008]高解像・高感度電子線レジストのプロセス開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0009]感光性樹脂の研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0010]金属含有DLCの研究	F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0011]MEMS技術を用いた機能性表面の創製	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0012]有機化合物によるエレクトロニクス素子の開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0013]アモルファスカーボンで生成するOHラジカルを利用した生体成分分析システムの開発	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0014]省合金型二相ステンレス鋼の真空容器向け使用特性評価	F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0015]液体による微量漏れ検出技術の開発	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0016]ウエハへのマイクロビアの作製および銅薄膜	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-359 深掘りエッチング装置 F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0018]金属材料の微細加工	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0019]銅合金の真空表面処理の開発	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0020]高感度ネガ型電子線レジストの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0021]磁気光学効果を利用したデバイスの研究開発	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0022]ポリマー型電子線レジストの高度化に関する研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0023]カルコゲナイド系磁性半導体に関する研究	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0024]ビスフェノール類を用いた柔軟性をもつフォトレジスト用樹脂の開発	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0025]不純物ドープ窒化物薄膜の作製と評価に関する研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0026]水素吸蔵合金を用いたセラミックスー金属間の接合	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0027]電気化学法を用いたマンガン酸化物薄膜の作製	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0028]標準コンダクタスエレメトを用いた種々のガ分析計感度調査に関する研究	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0029]表面処理したアルミニウム合金のガス放出特性	F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】 F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0030]尿酸結晶あるいはグアニン結晶と強磁性物質によるハイブリッド膜の作製	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0031]スピン波デバイス伝搬特性の研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0032]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEBレーザーによるフォトマスクの作製	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0033]ハイブリッド対抗スパッタによる透明導電膜の作製	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0034]標準シリコン酸化膜の膜厚測定	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0035]大小混在パターンに対応可能なMEMS向けレジストとプロセスの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】 F-YA-360 ECRエッチング装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-15-YA-0036]Siウエハー上に置ける有機膜からのアウトガス成分分析／ダイナミックTDS測定	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0001]次世代レジスト材料の開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0002]厚膜用電子レジストの合成に関する研究	F-YA-357 エリプソメータ【分光型】 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0003]新規機能性樹脂の開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0004]反強磁性層を挿入したトンネル接合に関する研究	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0005]アモルファスカーボンで生成するOHラジカルを利用した生体成分分析システムの開発	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0006]電気化学法を用いたマンガン酸化物薄膜の合成と分析化学的応用	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0007]磁性体を使ったホログラフィーによる３D画像表示の研究	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0008]微細構造による濡れ性制御	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0009]表面処理したアルミニウムのガス放出特性	F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】 F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0010]高解像・高感度電子線レジストのプロセス開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0011]金属材料の微細加工	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0012]種々の材料の真空分圧測定	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0013]表面処理したチタンの摺動によるガス放出特性	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0014]電解処理を用いた材料改質に関する研究	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0015]粘土鉱物-導電性高分子ハイブリッド膜の電気伝導率の評価	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0016]金属含有DLCの研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0017]省合金型二相ステンレス鋼の真空容器向け使用特性評価	F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置【高感度型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0018]水素吸蔵金属を用いたセラミックス－金属間の接合	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0019]めっき鋼鈑中の水素測定	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0020]昇温脱離ガス分析（TDS）を用いたカーボン粉末の発生ガス分析	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0021]高感度ネガ型電子線レジストの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0022]GaN系トランジスタ用電極の作製	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0023]スパッタ法によるYIG薄膜の成膜	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0024]多分岐ポリマー電子線レジストの描画・エッチング性能評価	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0025]感光性樹脂の研究	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0026]GaN系半導体光・電子デバイスの開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0027]半導体微細領域の電気特性	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0028]反応性スパッタ膜の研究開発	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0030]標準コンダクタンスエレメントを用いた種々のガス分析計の感度調査に関する研究	F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置【ダイナミック型】
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0031]液体による微量漏れ検出技術の確立	F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-14-YA-0032]有機化合物によるエレクトロニクス素子の開発に関する技術相談	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0001]次世代レジスト材料の開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0002]チタン材料の光刺激ガス脱離の研究	F-YA-353 超高・極高真空ガス分析装置群
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0003]金属材料の微細加工	F-YA-353 超高・極高真空ガス分析装置群
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0004]静電吸着による付着粒子の除去	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0005]アモルファスカーボンで生成するOHラジカルを利用した生体成分分析システムの開発	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0006]表面処理したチタンの摺動によるガス放出特性	F-YA-353 超高・極高真空ガス分析装置群
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0007]顕微鏡用の微小流路の作製	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-GA-325 走査電子顕微鏡群
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0008]微小磁性体の高周波ダイナミクスの研究	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0009]種々の材料の真空分圧測定	F-YA-353 超高・極高真空ガス分析装置群
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0010]電気化学法を用いたマンガン酸化物薄膜の作製	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0011]磁性体を使ったホログラフィーによる３D画像表示の研究	F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0012]有機化合物によるエレクトロニクス素子の開発	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0013]不純物ドープ窒化物薄膜の作製と評価に関する研究	F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0014]高解像・高感度電子線レジストのプロセス開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-351 触針式表面形状測定装置 F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0015]磁性薄膜と電極の成膜実験	F-YA-350 UHV10元スパッタ装置 F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0016]表面処理したアルミニウムのガス放出特性	F-YA-353 超高・極高真空ガス分析装置群
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0017]電解処理を用いた材料特性改質に関する研究	F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0018]非対称人工ピンを導入する超伝導素子に関する研究	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0019]微細構造による濡れ性制御	F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む） F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む) F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0020]新規機能性樹脂の開発	F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む) F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0021]チタン製真空装置の高性能化に係る相談	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-13-YA-0022]真空装置の設計に係る技術相談	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0001]チタン製真空フランジの真空封止性能の検討	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0002]種々の材料の真空分圧測定	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0003]チタン材料の光刺激ガス脱離の研究	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0004]金属材料の微細加工	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0005]不純物ドープAlN膜の作成と評価に関する研究	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0006]UHV10元スパッタ装置を用いたPt電極の成膜実験	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0007]高解像・高感度電子線レジストのプロセス開発	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0008]微小磁性体の高周波ダイナミクスの研究	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0009]磁性体を使ったホログラフィーによる３D画像表示の研究	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0010]色素含有薄膜の二光子吸収機能	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0011]'ｱﾓﾙﾌｧｽｶｰﾎﾞﾝで生成するOHラジカルを利用した高感度生体成分分析システムの開発	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0012]窒化物被膜の機械的特性等の研究	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0013]電気化学法を用いたマンガン酸化物薄膜の作成、化学法を用いたシリコン薄膜の作製	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0014]静電吸着力による付着微粒子の除去	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0015]電解処理を用いた材料特性改質に関する研究	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0016]非対称人工ピンを導入する超伝導素子に関する研究	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0017]顕微鏡マイクロリアクターの溶液トラップ作製	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0018]スパッタ法によるYIG薄膜の成膜	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0019]金属材料のガス放出特性に関する技術相談	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0020]真空部品の真空特性に関する技術相談	(登録なし)
山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室 [F-12-YA-0021]LED用AｌN下地膜の作製	(登録なし)