利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学 微細加工プラットフォーム]　
[東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名 利用装置名
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0002]プラズマクリーナーによるレジスト除去 		F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0003]基板上への微細Al電極作成と基板の評価 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-129 i線ステッパ
F-TU-130 コータデベロッパ
F-TU-062 スプレー現像装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-114 直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0004]新カット水晶Lamb波レゾネータの開発 		F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0005]ヘテロ接合半導体ダイオードの製作と評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-133 JEOL FE-SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0006]シリコン導波路型光フォトニックバイオセンサの研究 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0007]ウェット酸化による熱酸化膜 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0008]エンドトキシン測定用くし型電極の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0009]触覚デバイスの開発と材料技術の検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-128 XRD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0010]極細径光ファイバ圧力センサの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
F-TU-108 赤外線顕微鏡
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0011]多段回折光学素子の試作開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0012]薄膜デバイスの微細加工プロセスの検討 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0013]マイクロポンプの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0014]微細構造の試作検討 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0015]MEMSデバイスの加工 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0017]テラヘルツ帯で動作する周期分極反転素子の作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0018]セラミックス空気1-3コンポジット超音波探触子の開発 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0019]感染症ウイルス検査用マイクロ流路チップの作製 		F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0021]メタマテリアル製作のための微細加工技術 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0022]圧電MEMSデバイスの研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0023]高真空ウェハレベルパッケージング真空度計測リゾネータ 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-108 赤外線顕微鏡
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0024]熱輻射制御用微細構造の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0025]中性子回折格子作製を目的としたGd基金属ガラス微細加工への挑戦 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0026]光ナノインプリント技術による微細構造形成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0027]MEMS/NEMS fabrication 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-067 メタル拡散炉
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0028]固体微細構造デバイスの作製 		F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0029]PZT単結晶薄膜を用いた高性能超音波デバイスの研究 		F-TU-129 i線ステッパ
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-128 XRD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0031]レーザ描画を用いたDOEの製作 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0032]Si表面荒らし加工 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-104 FE-SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0033]シリコン光カプラの開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-073 W-CVD装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0034]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0035]太陽電池セル作製プロセスの開発 		F-TU-068 LPCVD
F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0036]超長時間アニールを用いた宇宙用X線全反射鏡の平滑化の研究 		F-TU-066 ランプアニール装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0037]表面増強ラマン散乱を利用した超高感度バイオケミカルセンサーチップの開発 		F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0038]微細構造体の作製技術開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0039]いわて半導体アカデミー社会人向けプロセス実習 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-129 i線ステッパ
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0040]ミリ秒X線トモグラフィのための光学素子の作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0041]半導体ナノゲート構造の作成 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0042]炭化珪素基板の新規生産技術開発、デバイス試作とその特性評価 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0043]高真空ウェハレベルパッケージングを適用したMEMSセンサーの研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-108 赤外線顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0044]半導体ナノ構造の作成 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0045]感光性接着材料の接合評価 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0046]MEMSガスセルの開発 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0047]ジャイロスコープ用高性能振動子の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0048]情報環境（インフォスフィア）調和型 自己組織化ヘテロ集積システムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0050]Silicon wafers making 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0051]ナノポーラス構造の作製と評価 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0053]薄膜の元素分析 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0055]マイクロレンズアレイ加工 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0056]超高周波SAWデバイスの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0057]カーボンナノチューブ１本レベルの熱動態計測のためのMEMSヒータ作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0058]高精細発光素子のパターニング技術開発 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
F-TU-129 i線ステッパ
F-TU-130 コータデベロッパ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0060]MEMSデバイスの作製 		F-TU-096 EVG ウェハ接合装置
F-TU-097 EVG ウェハ接合用アライナ
F-TU-108 赤外線顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0061]サブマイクロ構造光学素子の試作 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0062]i線ステッパによるAl配線パタン形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
F-TU-129 i線ステッパ
F-TU-130 コータデベロッパ
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0065]圧電MEMSデバイスの応用研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
F-TU-048 膜厚計
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0066]MEMS device technology development 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0067]IoT for Safety and Security 		F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0068]水質モニタリング用センサーに関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0069]Siメタ表面の作製とKerker効果 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0070]光無線給電用の近赤外感度を有する超薄型透明太陽電池の研究開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0071]Pt-ALD成膜 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0072]対称性を制御した光メタマテリアルの作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0073]MEMSデバイス開発試作 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0074]3次元構造シリコンデバイス・プロセスに関する研究 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-122 ケミカルドライエッチャー(CDE)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0075]FAIS人材育成事業に活用するMEMS フォースセンサ作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0076]3D-IC用高アスペクト比ビアへの絶縁層形成に関する研究 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0077]MEMSフィジカルセンサ構造の作製プロセスの構築 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0078]ファンデルワールス材料物理 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0079]低直流電圧で駆動するMEMSアクチュエータに関する研究 		F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0080]LIDAR用MEMSマイクロミラーに関する研究 		F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0082]W-Cu接合界面の健全性評価 		F-TU-107 超音波顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0084]ヘテロ整合界面を有するSiCエピタキシャル成長技術開発とそれを用いたインテリジェントパワーICの実証 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0085]イオン照射によるナノ・マイクロ構造創成 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0086]プリンタブルエレクトロニクス技術を活用した放射線センサの開発 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0087]コンクリート3Dプリンタの層間補強に関する研究 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0088]磁歪Fe-Co粒子分散ソフトポリマー複合材料の粒子分散状態の確認 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0089]回折光学素子の作製 		F-TU-129 i線ステッパ
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-130 コータデベロッパ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0090]酸化ニオブ薄膜におけるO/Nb増加のための研究 		F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0091]加工基板作成 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0092]トポロジカル物質微細素子の作製 		F-TU-132 ECRロングスロースパッタ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0093]MEMSプロセスプラットフォーム開発 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0094]ALDを用いた酸化チタンナノチューブ薄膜への貴金属成膜 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0095]低損失微小共振器の作製 		F-TU-129 i線ステッパ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0096]いわて半導体アカデミー大学生向けプロセス実習 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-074 アネルバ スパッタ装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0097]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0098]重水酸化膜の特性評価 		F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0099]電鋳用グレイスケール露光実験 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-077 めっき装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0100]Siの垂直深掘り加工（ダメージ抑制） 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-048 膜厚計
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0101]フローセンサの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0103]プラズモニックナノ構造を用いた赤外線センサに関する研究 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0104]シリコン基板上での表面プラズモンの制御とその応用に関する研究 		F-TU-129 i線ステッパ
F-TU-130 コータデベロッパ
F-TU-133 JEOL FE-SEM
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[F-21-TU-0105]薄板型熱発電機の作製 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0106]ウェットエッチング用ウェハコーティング剤の開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-106 卓上型エリプソ
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[F-21-TU-0107]メタレンズの作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-21-TU-0109]MEMS microphone 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-077 めっき装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0111]レーザー直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの塗布方法の確立 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0112]固体酸化物形電解セル（SOEC）を用いた共電解における燃料極 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0113]DLC膜の微細エッチング加工 		F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0114]シリコンエミッタへのイオン注入 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0115]人工細胞による細胞ー細胞間力学環境の探求 		F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0117]MEMSフォースセンサ応用IoTモジュール試作実習 		F-TU-060 シンター炉
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-129 i線ステッパ
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0118]熱リン酸処理 		F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-21-TU-0119]有機電気化学トランジスタ用電極基板の作製 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0001]基板上への微細Al電極作成と基板の評価 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0002]TMAHによるSi貫通エッチ 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
F-TU-108 赤外線顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0003]エンドトキシン測定用くし型電極の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0004]微細構造への薄膜形成② 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-068 LPCVD
F-TU-069 熱CVD
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0006]MEMS技術の応用による反射防止構造の加工 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-098 UVインプリント装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0007]メタルグリッドの製作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0008]医療用マイクロデバイスの開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0009]対称性を制御した光メタマテリアルの作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0011]微細加工によるトポロジカルジョセフソン接合の作製 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0012]誘電体ナノ構造体を駆使した鏡像体選択的カイラリティ勾配力によるキラル結晶化制御 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0013]ミリ秒X線トモグラフィのための光学素子の作製 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0014]量子ビーム格子の開発と作製 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0016]MEMSデバイスの加工 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
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[F-20-TU-0017]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0018]マイクロナノ構造加工技術 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0019]薄膜デバイスの微細加工プロセスの検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0020]微細構造の試作検討 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0021]半導体プロセス基礎実験 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0022]マイクロポンプの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0023]微細構造体の作製技術開発 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0024]曲面デバイスの内部観察 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0025]マイクロレンズアレイ加工 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0028]材料開発評価とデバイス評価 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0029]圧電駆動型MEMSデバイスの耐久性の向上および長期安定性の向上 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-096 EVG ウェハ接合装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-122 ケミカルドライエッチャー(CDE)
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0030]HDD新高集積化方法による環境負荷低減技術確立 		F-TU-101 ウェハゴミ検査装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0031]強靭で高性能なPZT単結晶薄膜の研究 		F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
F-TU-128 XRD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0032]MEMS/NEMSの作製 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-067 メタル拡散炉
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0033]マイクロ・ナノ加工の高度化に関する研究開発 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0035]情報環境（インフォスフィア）調和型 自己組織化ヘテロ集積システムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0036]ポジ型化学増幅レジスト･FEP-171のサブミクロンサイズパターンへの応用 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0038]安全とセキュリティのためのIoT 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0039]マイクロウェルの試作 		F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0040]触覚デバイスの開発と材料技術の検討 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
F-TU-128 XRD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0041]Sapphireウェハ加工 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-077 めっき装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0042]多段回折光学素子の試作開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0043]シリコン光結合デバイスの開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0044]シリコン光カプラの開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-073 W-CVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0045]ナノインプリントリソグラフィを用いた微細構造形成 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0046]ファンデルワールス材料物理 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0047]アルカリイオンエレクトレットを用いた振動発電素子の開発 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0048]薄膜の元素分析 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0049]薄板型熱発電機の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0050]薄型バイパスダイオード内蔵太陽光発電モジュールに関する研究 		F-TU-107 超音波顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0051]MEMSデバイス加工 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0052]太陽電池セル作製プロセスの開発 		F-TU-069 熱CVD
F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0053]MEMSフォースセンサとIoTモジュールの試作実習 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0054]始原隕石の実験的有機物除去 		F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0055]MEMSフォースセンサとIoTモジュールの試作実習 		F-TU-060 シンター炉
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0056]金属と酸素イオン伝導体(OIC)の固相接合可能な表面粗度の検証 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0057]サブマイクロ構造光学素子の試作 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0058]高真空ウェハレベルパッケージング 		F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0059]衛星搭載を目指す宇宙用X線望遠鏡の Si 高温アニールと化学機械研磨を複合した新プロセスの確立 		F-TU-066 ランプアニール装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0060]Vapor HF エッチング装置による超伝導量子回路でのSiO2エッチング 		F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0061]パーティクル測定 		F-TU-101 ウェハゴミ検査装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0062]CGH製作 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0063]微細流路を持つマクロデバイス作成のためのモールド作り 		F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0064]Si基板上GaN系デバイスのプロセス開発 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0065]ナノインプリントに資するマイクロ－ナノ構造体の造形 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0066]PZT単結晶薄膜およびバッファ層のエピタキシャル成長の研究 		F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0067]圧電MEMSデバイスの研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-104 FE-SEM
F-TU-048 膜厚計
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0068]MEMS device technology development 		F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0069]めっき技術を用いた基板上の厚膜金属パターン形成に関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-077 めっき装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0070]唾液内ストレスマーカーを検出するシリコン導波路型バイオセンサ 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0071]Siの垂直貫通加工 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0072]W-Cu接合界面の健全性評価 		F-TU-107 超音波顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0073]ジャイロスコープ用高性能振動子の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-113 サーフェースプレーナー
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0074]サセプターの洗浄 		F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0076]いわて半導体アカデミー大学生1年次、及び社会人向けプロセス実習 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-074 アネルバ スパッタ装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0077]3DCP積層体の層間への金属繊維の挿入に起因する空隙の定量的解析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0078]光波センシングのためのフォトニック・ナノ構造の創製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0079]高真空ウェハレベルパッケージングを適用したMEMSセンサーの研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0080]三次元微細構造をインプリント加工した金属ガラスのリチウム二次電池集電体への応用 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-058 ダイサ
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0081]マイクロ流体デバイスをベースにした水質モニタリング用センサの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0082]原子力電池用表面電極蒸着用メタルマスクの作製 		F-TU-124 ウォーターレーザ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0083]バクテリア集団の揺らぎと応答の測定 		F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0084]セラミックス空気1-3コンポジット超音波探触子の開発 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0085]2次元シートデバイス開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0086]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0087]MEMSデバイス開発試作 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0089]カーボンナノチューブ１本レベルの熱動態計測のためのMEMSヒータ作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-127 マスクレスアライナ
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0091]レーザ描画を用いたDOEの製作 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0093]高信頼性MTJデバイスの開発 		F-TU-073 W-CVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0094]エレクトレットMEMS振動・トライボ発電 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-043 サンドブラスト
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0095]センサ素子の試作 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0096]MEMSデバイスの開発 		F-TU-096 EVG ウェハ接合装置
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0097]微細構造を用いた熱輻射のスペクトル制御 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0098]ALDを用いた酸化チタンナノチューブ薄膜への貴金属成膜 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0099]単一量子ドットトランジスタの作製とテラヘルツ素子応用 		F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0100]セラミックスのプラズマ耐性評価 		F-TU-049 Tenchor 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0101]メタマテリアルのための金属ナノパターン形成 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0102]感染症ウイルス検査用マイクロ流路チップの作製 		F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0103]微小サイズ薄膜蒸着に向けたCrマスクの作製 		F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0104]ナノ粒子/ポリマーコンポジット薄膜の空間構造制御 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0105]電気化学セル部品の微細加工 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0106]半導体ナノ構造の作成 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0107]PZT 単結晶薄膜を用いた超音波デバイスの研究 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0108]MEMSアレイ触覚デバイス開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0109]新カット水晶Lamb波レゾネータの開発 		F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0110]表面増強ラマン散乱を利用した超高感度バイオケミカルセンサーチップの開発 		F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0111]超薄型光入出力部品の開発 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0115]固体微細構造デバイスの作製 		F-TU-127 マスクレスアライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0116]メタマテリアル製作のための微細加工技術 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0117]極細径光ファイバ圧力センサの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-108 赤外線顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-20-TU-0118]Deep RIEによるSiの加工評価 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0001]ワイヤボンディング強度不足要因の調査と対策 		F-TU-109 TOF-SIMS
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0002]基板上への微細Al電極作成と基板の評価 		F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-114 直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0003]薄膜デバイスの微細加工プロセスの検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0004]不斉プラズモン近接場デザインに立脚したキラル核形成制御と電磁場パリティの開拓 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0005]フォトニック結晶を用いたフィルタアレイの開発 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0006]紫外線領域オプトデバイスの研究開発 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0007]Deep RIE装置によるSi etch 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-108 赤外線顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0008]医療用マイクロデバイス加工技術開発 		F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0009]対称性を制御した光メタマテリアルの作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0010]MEMSデバイスの加工 		F-TU-122 ケミカルドライエッチャー(CDE)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0011]シリコン光結合デバイスの開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-073 W-CVD装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0012]Metamaterial for THz-wave photonic devices 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0013]高温超伝導線材機械的ラップジョイント接合部の構造分析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0014]ナノインプリントリソグラフィを用いた微細構造形成 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0015]微細構造体の作製技術開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0016]マイクロポンプの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0017]Deep RIE加工時のレジストダメージ対策 		F-TU-082 DeepRIE装置#4
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0018]ミリ秒Ｘ線トモグラフィのための光学素子の作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0019]MEMSの試作 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-060 シンター炉
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-1000 アルバックICP-RIE#2
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0020]量子ビーム格子の開発と作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0021]大規模アレイテスト回路を用いた抵抗可変材料の統計的測定に関する研究 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0022]Sapphireウェハ加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-077 めっき装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0023]エピサセプターの酸洗浄 		F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0024]光波センシングのためのフォトニック・ナノ構造の創製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0025]圧電MEMSデバイスの開発 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0026]準粒子状態観測に向けた微細ジョセフソン接合の作製 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0029]ALDによって成膜したPt膜 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0030]MEMS/NEMS fabrication 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-067 メタル拡散炉
F-TU-073 W-CVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0031]微細構造の形成とその評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-077 めっき装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0032]ジャイロスコープ用高性能振動子の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-105 マイクロX線CT
F-TU-113 サーフェースプレーナー
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0033]MEMSデバイス開発試作 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0034]圧電駆動型MEMSデバイスの耐久性の向上および長期安定性の向上 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-096 EVG ウェハ接合装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-122 ケミカルドライエッチャー(CDE)
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0035]高真空ウェハレベルパッケージング 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0036]半導体プロセス基礎実験 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0037]多層グラフェン上へのW-CVD成膜評価 		F-TU-073 W-CVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0038]材料開発評価加工とデバイス評価 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0039]医療用MEMSデバイス プロセス開発 		F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0040]IoT for Safety and Security 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0041]Si格子構造の作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0042]次世代電子線レジスト開発のための描画条件（ビーム電流値）の影響調査 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0043] UVフォトディテクタ試作・評価 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-061 UVキュア装置
F-TU-087 ECRエッチング装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0044]情報環境（インフォスフィア）調和型 自己組織化ヘテロ集積システムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0045]エピタキシャルポリPZTの成膜 		F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0047]MEMS集積加工による小型磁気センサの作製と特性評価 		F-TU-043 サンドブラスト
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0048]極細径光ファイバ圧力センサの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
F-TU-108 赤外線顕微鏡
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0049]集積化MEMSセンサの開発 		F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0050]熱駆動MEMSアクチュエータの開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0051]単一量子ドットトランジスタの作製とテラヘルツ素子応用 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0052]水素アニールを用いたスルーシリコンビアのスキャロップ平滑化に関する研究 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0053]テラヘルツ帯で動作する周期分極反転素子の作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0054]シリコン光カプラの開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-073 W-CVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0055]MEMSによる固体蓄電池の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0056]Si 基板への微細加工技術に関する基礎研究 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-111 大口径AFM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0057]狭線幅面発光レーザに向けた薄膜光フィルタの試作 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0058]単結晶ニオブ酸リチウム積層探触子の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0059]モータコイルの内部構造解析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0061]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-058 ダイサ
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0062]PZT気相1-3コンポジットの開発 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0063]Siの微細構造加工 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0064]キラル磁性体における量子輸送現象の研究 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0065]ビア穴底へのPE-CVD SiN成膜テスト結果 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0066]SiC基板の低温水素処理 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0067]光センサの構成部品であるIOC（Integrated optical circuit）の研究開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0068]リフトオフ法による金属配線形成 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0069]ワイヤレスMEMSの研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0070]Si 高温アニールと化学機械研磨を用いた宇宙用X線望遠鏡の鏡形状の平坦化の研究 		F-TU-066 ランプアニール装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0071]2次元シートデバイス開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0072]CO2超臨界乾燥プロセスの検証 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0073]リソグラフィによる微細光学素子作製手法の開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0074]マイクロレンズアレイ加工 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0075]エレクトレットMEMS振動・トライボ発電 		F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0076]ポリカーボネート基材上への透明導電膜の成膜とパターニング加工条件について 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0077]ワイヤーボンディング 		F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0078]システム機器診断のための超小型ハーネスフリーセンサシステム実現の基盤研究（JAXAイノベーションハブ研究） 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-069 熱CVD
F-TU-077 めっき装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0079]櫛歯アクチュエータの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0081]医療画像診断装置用の放射線検出器の開発 		F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0082]Siウェーハの欠陥解析 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0083]サブマイクロ構造光学素子の試作 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0084]ウォーターレーザーによるシリコンウェハのくり抜き加工 		F-TU-124 ウォーターレーザ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0085]バクテリア集団の揺らぎと応答の測定 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0086]ファンデルワールス材料物理 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0087]MEMSアレイデバイス開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0088]SiO2ウェハ上の薬品処理残渣パーティクル測定 		F-TU-101 ウェハゴミ検査装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0090]アルカリイオンエレクトレットを用いた振動発電素子の開発 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0091]摩擦撹拌接合部の健全性評価 		F-TU-107 超音波顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0093]SiCパワーデバイスのWプラグ形成 		F-TU-073 W-CVD装置
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[F-19-TU-0095]いわて半導体アカデミー大学生2年次向けMEMS製作実習 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-074 アネルバ スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0096]いわて半導体アカデミー大学生1年次、及び社会人向けプロセス実習 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-074 アネルバ スパッタ装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-104 FE-SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0097]金属と酸素イオン伝導体(OIC)の陽極接合を応用した接合開発 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0098]Si基板へのテーパーエッチング 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0099]MEMSグレーティングの試作 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0100]低損失Si導波路の作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0101]フェムト秒レーザ微粒子集積固化法で作製した機能性配線の特性評価 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
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[F-19-TU-0102]光半導体用パッケージの開発 		(登録なし)
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[F-19-TU-0103]ナノビームW-RHEEDによるSi基板の表面構造解析 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0104]微細構造への薄膜形成 		F-TU-068 LPCVD
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0106]受動部品の研究開発 		F-TU-067 メタル拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0107]薄膜材料の機械的特性評価技術の開発 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0108]低直流電圧で駆動するMEMSアクチュエータに関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-093 ワイヤボンダ
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0109]Siフォトニック結晶の可視光制御 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0110]Ga2O3薄膜のパターニング 		F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0111]放射線検出器用シンチレータアレー作製技術の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0112]MEMS加速度センサの試作 		F-TU-209 エッチングチャンバー
F-TU-060 シンター炉
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-086 アルバック アッシング装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-058 ダイサ
F-TU-093 ワイヤボンダ
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0113]プラズマガス種による耐プラズマ特性調査 		F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0114]透過型電子顕微鏡を用いた液中試料観察用カプセルの作製 		F-TU-068 LPCVD
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0115]Transport in topological magnetic insulator devices 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0116]振動発電素子の耐湿性向上 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0117]MEMSセンサの試作 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0118]二層構造厚み滑り振動子の基板接合強度に関する研究 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0119]Siの垂直深掘り加工 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-049 Tenchor 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0120]センサ素子の試作 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0121]バイパス回路内蔵太陽光発電モジュールに関する研究 		F-TU-107 超音波顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0122]薄膜樹脂接合 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0123]Ir錯体薄膜の成膜法の検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0124]Si酸化による屈折率分布レンズの製作 		F-TU-067 メタル拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0125]PZT resonator 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0126]φ8inchウェハー上のレジストパターンの線幅測長 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0127]エンドトキシン測定用くし型電極の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-209 エッチングチャンバー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-19-TU-0128]ナノ粒子/ポリマーコンポジット薄膜の作製 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0001]金属薄膜の高精度ドライエッチング検討 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0002]環境センサー用MEMS新工程開発 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0003]小型マイクロステージの開発 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0004]TMAHによるSi貫通エッチ 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-108 赤外線顕微鏡
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0007]基板上への微細Al電極作成と基板の評価 		F-TU-062 スプレー現像装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-114 直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0008]MEMSの試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0009]対称性を制御した光メタマテリアルの作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0010]金薄膜の形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0011]超絶縁性脂質二分子膜に基づくイオン・電子ナノチャネルの創成のためのシリコンデバイスの作製 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0012]量子ビーム格子の開発と作製 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0013]MEMSデバイス加工 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-122 ケミカルドライエッチャー(CDE)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0014]微細構造体の作製技術開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0015]高温超伝導線材機械的ラップジョイント接合部の構造分析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0016]MEMSデバイスの加工 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0017]微細構造の形成とその評価 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0018]PZT用エピタキシャルバッファ層の成膜法の研究 		F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0019]微細構造電極・誘電体薄膜の作成法に関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0020]医療用マイクロデバイス加工技術開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0021]ジャイロスコープ用高性能振動子の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-113 サーフェースプレーナー
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0022]触覚デバイスの開発と材料技術の検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0023]圧縮成形に及ぼす充填構造の影響の解析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0024]ファンデルワールス材料物理 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0025]シリコン光結合デバイスの開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-073 W-CVD装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0026]Siウェーハの欠陥解析 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0027]極細径光ファイバ圧力センサの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-108 赤外線顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0028]MEMS/NEMS fabrication 		F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
F-TU-067 メタル拡散炉
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0029]差圧センサデバイス構造解析 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0030]繰り抜き加工ウェハ上へのｉ線ステッパによる重ね合わせ露光精度実現 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-104 FE-SEM
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0031]半導体プロセス基礎実験 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0032]熱電変換素子評価用基板の作製 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0033]スピネル接合基板のSAWデバイス特性評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0034]集積化MEMSセンサの開発 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0035]Micron pattern devices for THz image system 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0036]充填層反応器内の空隙観察 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0038]Fe 基金属ガラスのナノインプリンティングによる磁性制御 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0039]グラフェンナノリボン応用ひずみ計測技術の開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0040]ダイボンディング部の非破壊観察 		F-TU-107 超音波顕微鏡
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[F-18-TU-0041]アルカリイオンエレクトレットを用いた振動発電素子の開発 		F-TU-068 LPCVD
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[F-18-TU-0042]三次元LSIの試作研究開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-18-TU-0043]シリコンフォトニクス用スポットサイズコンバータの試作 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
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[F-18-TU-0044]IoT for Safety and Security 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
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[F-18-TU-0045]ワイヤレスMEMS の研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
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[F-18-TU-0046]X線回折格子干渉計用超高アスペクト比鋳型の開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
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[F-18-TU-0047]異方性ウェットエッチング法によるマイクロチャネルアレイチップの高精度・低コスト加工 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-089 Si結晶異方性エッチング装置(KOH)
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
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[F-18-TU-0049]磁気-誘電ナノ複相膜による高周波複機能性に関する研究 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
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[F-18-TU-0050]紫外線領域オプトデバイスの研究開発 		F-TU-087 ECRエッチング装置
F-TU-098 UVインプリント装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
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[F-18-TU-0051]Fabrication technology development 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
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[F-18-TU-0052]UVフォトディテクタ試作・評価 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-061 UVキュア装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-087 ECRエッチング装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
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[F-18-TU-0053]次世代電子線レジスト開発のためのELS-G125描画条件の影響調査 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-18-TU-0054]LSI中TSVを用いた集積化MEMSの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-077 めっき装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-113 サーフェースプレーナー
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[F-18-TU-0055]HALSAWデバイスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-18-TU-0056]ALDによって成膜したPt膜 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
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[F-18-TU-0057]ナノインプリントリソグラフィを用いた微細構造形成 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-18-TU-0058]発光素子用薄膜形成 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
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[F-18-TU-0059]窒化物半導体のドライエッチング 		F-TU-123 アルバックICP-RIE
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[F-18-TU-0060]電磁環境改善技術の研究開発 		(登録なし)
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[F-18-TU-0061]電磁走査による前方視超音波内視鏡 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-18-TU-0062]超長時間アニールを用いた宇宙用X線全反射鏡の平滑化の研究 		F-TU-066 ランプアニール装置
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[F-18-TU-0064]ウエハ上へのAlマーク生成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
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[F-18-TU-0065]マルチビームレーザー干渉リソグラフィに基づく大面積2軸微細格子製作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-18-TU-0066]ナノ粒子/ポリマーコンポジット薄膜の作製 		F-TU-058 ダイサ
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[F-18-TU-0068]微細周期構造Siモールドの試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
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[F-18-TU-0069]グラフェン・テラヘルツデバイスの研究開発 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
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[F-18-TU-0070]2次元層状酸化物のデバイス化 		F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
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[F-18-TU-0071]MEMS薄膜アクチュエータデバイスの形成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
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[F-18-TU-0072]薄膜成膜と特性評価 		(登録なし)
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[F-18-TU-0073]低直流電圧で駆動するMEMSアクチュエータに関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-093 ワイヤボンダ
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[F-18-TU-0074]コンデンサマイクロホンの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-068 LPCVD
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
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[F-18-TU-0075]圧電駆動型MEMSデバイスの耐久性の向上および長期安定性の向上 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-122 ケミカルドライエッチャー(CDE)
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
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[F-18-TU-0076]ナノスケール表面平坦化のためのドライ研磨プロセスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-18-TU-0077]透過型電子顕微鏡を用いた液中試料観察用カプセルの作製 		F-TU-068 LPCVD
F-TU-058 ダイサ
F-TU-048 膜厚計
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[F-18-TU-0078]マイクロポンプの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
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[F-18-TU-0079]光波センシングのためのフォトニック・ナノ構造の創製 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-18-TU-0080]細胞培養用高分子薄膜製造のためのモールド作製 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
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[F-18-TU-0081]テラヘルツ量子カスケードレーザー(THz-QCL)の研究 		F-TU-104 FE-SEM
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[F-18-TU-0084]低温酸化膜成膜 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
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[F-18-TU-0085]超低電圧小型拡散センサの開発 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
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[F-18-TU-0086]微細周期構造の作成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
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[F-18-TU-0087]磁気抵抗素子の配線 		F-TU-093 ワイヤボンダ
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[F-18-TU-0088]シリコンセンサの開発 		F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
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[F-18-TU-0089]学生のMEMS試作実習 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
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[F-18-TU-0090]PECVD、LPCVDによるSiN、SiO2成膜と評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-068 LPCVD
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-106 卓上型エリプソ
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0091]EB描画ならびにレーザー直描装置を用いた微細パターンの作製 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0092]エピサセプターの酸洗浄 		(登録なし)
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[F-18-TU-0093]摩擦攪拌接合部の健全性評価 		F-TU-107 超音波顕微鏡
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[F-18-TU-0094]シリコンへのリンの拡散 		F-TU-044 酸化拡散炉
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[F-18-TU-0095]薄膜材料の機械的特性評価技術の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-048 膜厚計
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[F-18-TU-0096]Fabrication of gold nanorods and ZnO thin film photodetector 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-103 熱電子SEM
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[F-18-TU-0097]Sapphireウェハ加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-077 めっき装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
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[F-18-TU-0098]キラル磁性体における量子輸送現象の研究 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
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[F-18-TU-0099]薄板型熱発電機の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0100]ナノインプリント薄膜光フィルタ作製に向けた微細構造形成 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0101]フォトニック結晶を用いたフィルタアレイの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0102]遷移金属ダイカルコゲナイド層状物質を用いた高感度分子センサの研究開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0103]バクテリア集団の揺らぎと応答の測定 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0104]圧電MEMSアクチュエータ 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0105]Siの微細構造加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-089 Si結晶異方性エッチング装置(KOH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0106]熱駆動MEMSアクチュエータの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0107]エレクトレットMEMS振動・トライボ発電 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0108]グレイスケールリソグラフィ 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0109]単一量子ドットトランジスタの作製とテラヘルツ素子応用 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0110]宇宙素粒子実験のための超伝導素子開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0111]MEMS加工品のデモ機作成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-058 ダイサ
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-124 ウォーターレーザ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0112]高真空ウェハレベルパッケージング 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0113]メタマテリアルのパターン形成 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0114]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0115]MEMSデバイス開発 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0116]櫛歯アクチュエータの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0117]薄膜デバイスの微細加工プロセスの検討 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0118]MEMS音叉の試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0119]三次元レジスト形成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0121]大規模アレイテスト回路を用いた抵抗変化材料の統計的測定に関する研究 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0122]革新的エレクトレット材料の創成 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0123]水素アニールを用いたスルーシリコンビアのスキャロップ平滑化に関する研究 		F-TU-066 ランプアニール装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0124]Siナノピラーを用いた熱電変換素子の作製 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0125]金属とセラミクスの陽極接合を応用した接合開発 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0126]MEMSデバイス開発試作 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0127]SiウェハへのEpi-Si成膜検討 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0128]Siモールドの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
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[F-18-TU-0129]いわて半導体アカデミー社会人コース実習 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0131]超伝導転移端センサーによるトリウム229アイソマーエネルギーの測定 		F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0132]BN膜を用いたRF-MEMSスイッチの作製 		F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-18-TU-0133]サブマイクロ構造光学素子の試作 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
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[F-17-TU-0001]基板上への微細Al電極作成と基板の評価 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0002]粒子充填構造と通気性の関係の解析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0003]量子ビーム格子の開発と作製 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-122 ケミカルドライエッチャー(CDE)
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[F-17-TU-0004]シリコン光結合デバイスの開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0005]MEMSグレーティングの試作 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0006]HALSAWデバイスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0007]微細構造体の作製技術開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0008]半導体プロセス基礎実験 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0009]極細径光ファイバ圧力センサの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-068 LPCVD
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0010]SiN膜の成膜 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0011]ボッシュエッチによる貫通エッチ 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0012]音響光学素子フィルタの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-067 メタル拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0013]半導体ナノ構造の作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0014]金属薄膜の高精度ドライエッチング検討 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0015]Micron pattern devices for THz image system 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0016]ワイヤレスMEMSの研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0017]金属ガラスインプリンティングによる高アスペクト比二次元回折格子の作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0018]紫外領域オプトデバイスの研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-087 ECRエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0019]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0021]超絶縁性脂質二分子膜に基づくイオン・電子ナノチャネルの創成のためのシリコンデバイスの作製 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0022]MEMSデバイスの加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0023]ナノインプリントリソグラフィを用いた微細構造形成 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0024]Siウェーハの欠陥解析 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0025]MEMSデバイスの作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0026]充填層内の空隙の観察 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0027]触覚デバイスの開発と材料技術の検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0028]コンデンサマイクロホンの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-068 LPCVD
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0029]MEMSの試作形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0030]Siの微細構造加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0031]溶着ナイロンフィルムの形状測定 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0032]UVフォトディテクタの試作・評価 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-061 UVキュア装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-087 ECRエッチング装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0033]次世代センサの開発 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0034]IoT for Safety and Security 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0035]MEMS デバイス加工 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0036]長時間アニールを用いた衛星搭載用X 線望遠鏡の平滑化 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0037]グラフェンナノリボン応用ひずみ計測技術の開発 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0038]グリッド状構造体の形成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0039]高温超伝導線材機械的ラップジョイント接合部の構造分析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0040]繰り抜き加工ウェハ上のパターンにステッパで重ね合わせしたパターンを作製する 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-104 FE-SEM
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0041]樹脂基板上でのメンブレン作製技術開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0042]微細周期構造の作成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0043]多層膜貫通穴加工方法の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0044]グラフェンを用いた光電子デバイスの開発 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0045]シリコン基板上への高性能圧電トランスデューサ薄膜の開発 		F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0046]Fe基金属ガラスのナノインプリンティングによる磁性制御 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0047]磁歪センサ用カンチレバー構造の試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0048]ステンシルマスクの試作など 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0049]MEMS/NEMS fabrication 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-067 メタル拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0050]三次元LSIの試作研究開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0051]20 nmパターン解像と感度150 μC/cm2 （@50kV）を両立するレジストシステムの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0052]微細構造の形成とその評価 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0053]表面修飾ナノ粒子/ポリマーコンポジット薄膜の作製 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0054]面発光レーザ特性の特性ばらつき改善に向けたプロセスの確立 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0055]高温超伝導線材の界面抵抗測定 		F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0056]溝側壁への成膜 		F-TU-073 W-CVD装置
F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0057]微細構造電極・誘電体薄膜の作成法に関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0058]赤外熱輻射制御材料の開発と高効率冷却技術への応用 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0059]金属膜の多層構造形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0060]シリコン細線導波路光スイッチの製作 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0061]磁気駆動3Dマイクロアクチュエータ形成 		F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0063]MEMS多機能カンチレバーデバイスの形成 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0064]MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0066]サブ波長構造マルチスペクトフィターの開発 サブ波長構造マルチスペクトフィターの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0067]パワーデバイスプロセス評価 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0068]対称性を制御した光メタマテリアルの作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0069]Auバンプ切削平坦化を用いた触覚センサの開発 		F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0070]光センサの構成部品であるIOC（Integrated optical circuit）の研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0071]ジャイロスコープ用高対称振動子の作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0072]ミニマルウエハを用いたサブミクロンCMOS回路の作製 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0073]マルチビームレーザー干渉リソグラフィに基づく大面積2軸微細格子製作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0074]コークスの内部構造が強度に及ぼす影響 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0075]ウェハレベルパッケージング 		F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0076]医療用マイクロデバイス加工技術開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0077]シリコン基板上への薄膜および微細パターン形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-068 LPCVD
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0078]学生のMEMS試作実習 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0079]SiC溶液成長時の溶媒インクルージョン発生挙動の調査 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0080]フォトニック結晶を用いたフィルタアレイの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0081]シリコンステンシルマスク作製 		F-TU-124 ウォーターレーザ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0082]貫通電極構造太陽電池における不純物ドープと窒化膜形成 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0083]ウォーターレーザを用いた塗装ノズル加工 		F-TU-124 ウォーターレーザ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0084]微細構造の機能研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0085]胃液保持MEMS電池の高性能化 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0086]MEMSデバイスの開発 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0087]ナノスケール表面平坦化のためのドライ研磨プロセスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0088]宇宙素粒子実験のための超伝導素子開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0089]窒化物半導体のドライエッチング 		F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0090]FPCへのICベアチップ実装における不良モードの解析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0091] MEMSデバイスの開発試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0092]単一エアロゾル解析のためのマイクロ光学素子 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0093]調光デバイスの研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0094]TEM用液体セル 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0095]2次元フォトニック結晶の可視光制御 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0096]マイクロヒータの試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0098]メタマテリアルの作製と評価 		F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0099]炭素材料へのホウ素クラスターの担持 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0100]MEMS圧力センサの製作 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0103]差圧センサデバイス構造解析 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0104]次世代通信5G用SAWフィルタに向けた圧電単結晶接合基板の作製 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0105]圧電MEMS型超音波トランスデューサの研究開発 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0106]アルカリイオンエレクトレットを用いた振動発電素子の開発 		F-TU-068 LPCVD
F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0107]金属同士の直接接合 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0108]プラズマ用インジケータの開発 		F-TU-073 W-CVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0110]BN膜のRFMEMSデバイスへの応用 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-087 ECRエッチング装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0111]DLCを用いた電子透過膜の作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0112]異方性ウェットエッチング法によるマイクロチャネルアレイチップの高精度・低コスト加工 		F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
F-TU-089 Si結晶異方性エッチング装置(KOH)
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0113]2次元シートデバイス開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0001]応力センサの特性評価に関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-085 Al-RIE装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-060 シンター炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0002]紫外領域オプトデバイスの研究開発 		F-TU-111 大口径AFM
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-098 UVインプリント装置
F-TU-087 ECRエッチング装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0003]金属薄膜の高精度ドライエッチング検討 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0004]MEMSグレーティングの試作 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0005]高温超伝導線材機械的ラップジョイント接合部の構造分析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0006]ICP processing 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0007]基板上への微細Al電極作成と基板の評価 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-062 スプレー現像装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-086 アルバック アッシング装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-114 直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0008]ITO塗布膜のエッチングおよびパターンニング形成技術の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0009]HAL弾性波デバイスの開発 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0010]Micron pattern devices for THz image system 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0011]Si ウェーハの欠陥解析 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0012]低温動作のための容量型変位センサを集積化した静電駆動XYZマイクロステージ 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0013]Auバンプ切削平坦化を用いた触覚センサの開発 		F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0014]触覚デバイスの開発と材料技術の検討 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0015]次世代のエレクトロニクスデバイスの試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0016]プラズモニックカラーフィルタの製作 		F-TU-098 UVインプリント装置
F-TU-100 エキシマ洗浄装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0017]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0018]MEMSデバイスの開発 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0019]金属ガラスインプリンティングによる高アスペクト比Ｘ線回折格子の開発 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0020]シリコン異方性ウエットエッチングのグリーンプロセス研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0021]半導体プロセス基礎実験 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0022]シリコン基板上への高性能圧電トランスデューサ薄膜の開発 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0023]次世代センサの開発 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0024]先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム「マイクロシステム融合研究　開発「光マイクロシステムの研究」 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0025]Cr2O3薄膜の微細加工 		F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0026]三次元LSIの試作研究開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0027]Arスパッタリングを用いた有機物(粘着剤やその他高分子材料)の測定 		F-TU-109 TOF-SIMS
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0028]極微細パターン形成のためのEB描画条件（bss値）の最適化 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0029]貫通穴形状を持ったＭＥＭＳ構造物の製造方法と、高段差ウエハのダイシング方法開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0030]電子デバイスの微細加工 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-098 UVインプリント装置
F-TU-099 熱インプリント装置
F-TU-100 エキシマ洗浄装置
F-TU-113 サーフェースプレーナー
F-TU-109 TOF-SIMS
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0031]コンデンサマイクロホンの作製 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-068 LPCVD
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0032]音響光学素子フィルタの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-095 4インチウェハ研磨装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0033]MEME/NEMSによる高感度物理量センシング 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-058 ダイサ
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0034]超並列電子線直接描画 (MPEBDW) 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0035]ナノインプリントリソグラフィによる金属ナノ構造体作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-058 ダイサ
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0036]ダイアフラム構造の作成 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0037]微細構造電極・誘電体薄膜の作成法に関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0040]ワイヤーアレイ構造のシリコン太陽電池に関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0041]円筒状センサのDRIE形状の確認 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0044]磁歪センサ用カンチレバー構造の試作 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0046]微細周期構造の作成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0047]量子ビーム格子の開発と作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0049]遷移金属の新しいエッチング方法の検討 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0050]プラズマCVDを用いた絶縁膜形成 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0051]ウェハレベル真空パッケージに関する研究 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0052]貫通電極構造太陽電池における不純物ドープと窒化膜形成 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0053]マイクロ流路構造の作製検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0054]シリコン細線導波路の開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-073 W-CVD装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0055]多層膜貫通穴加工方法の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-081 DeepRIE装置#3
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0056]3-D IC作製のための高アスペクト比ビアへのバリア/シード層形成に関する研究 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0057]微細構造体の作製技術開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0058]非珪素系次世代MEMSプラットフォームの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0060]グラフェンナノリボン応用ひずみ計測技術の開発 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0061]フォトダイオードアレイとプラズモニックナノ周期構造の一体化 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0062]全方位スキャナ 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0063]高塗着効率塗装を実現する超臨界液滴吐出ヘッドの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0064]小型電子部品の電極の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0065]多孔質体を用いたガスセンサの開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0066]MEMS構造体の試作・検討 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-068 LPCVD
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0067]ウェハレベルパッケージング 		F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0068]低電圧駆動RF-MEMSスイッチの研究開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-060 シンター炉
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0070]MEMS基礎技術の研究 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0071]シリコン細線導波路光スイッチの製作 		F-TU-108 赤外線顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0072]抵抗値出力均一化を図る為の金属配線形成方法 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0073]MEMSデバイス加工 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0074]MEMS-LSI集積化技術 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-058 ダイサ
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0076]多層エピ成長による新CMOSプロセス 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0077]単一量子ドットトランジスタの作製とテラヘルツ素子応用 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0078]胃液保持MEMS電池の高性能化 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0079]永久レジストの剥離プロセスの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0080]Si Nano Wallの異方性エッチングによる形成 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0082]超絶縁性脂質二分子膜に基づくイオン・電子ナノチャネルの創成のためのシリコンデバイスの作製 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0084]ワイヤレスMEMSの研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0085]カリウムイオンエレクトレット技術の開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0087]結晶異方性エッチングを用いた任意形状加工 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0090]学生のMEMS試作実習 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0091]2次元シートデバイス開発 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-16-TU-0092]MEMS胃酸電池 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-16-TU-0093]炭素材料へのホウ素クラスターの担持 		F-TU-069 熱CVD
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[F-16-TU-0094]耐熱接合技術の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-107 超音波顕微鏡
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[F-16-TU-0095]MEMSの試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
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[F-16-TU-0096]スピン流の検出と制御のためナノメカニカルデバイス 		F-TU-108 赤外線顕微鏡
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[F-16-TU-0098]超常磁性自由層を有するトンネル磁気抵抗(TMR)センサの作製 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-16-TU-0099]IOC(Integrated optical circuit )の研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
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[F-16-TU-0100]レジスト材料の性能評価 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-082 DeepRIE装置#4
F-TU-064 中電流イオン注入装置
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[F-16-TU-0101]調光デバイスの研究開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
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[F-16-TU-0102]導波モード共鳴格子の製作 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-16-TU-0103]標準シリコン酸化膜の膜厚測定(2) 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-106 卓上型エリプソ
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[F-16-TU-0104]医療用マイクロデバイス加工技術開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
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[F-16-TU-0107]太陽電池用単結晶Si基板のAl電極Si界面の分析 		F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
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[F-16-TU-0108]CZTS系太陽電池材料の金属‐半導体接触の形成とその評価 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-16-TU-0109]New materials for MEMS application 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-16-TU-0110]Alが成膜されたSOIウエハに対するSiO2エッチング 		F-TU-108 赤外線顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0112]半導体ナノ構造の作製 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-16-TU-0113]石英基板の微細加工 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
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[F-16-TU-0114]冷凍Cycle用MEMS機能部品開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-16-TU-0116]プリント基板表面濡れ性の改質 		F-TU-042 ブランソン アッシング装置
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[F-16-TU-0117]ストレスマイグレーションによる微細材料創製の制御 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
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[F-16-TU-0118]高耐圧静電誘導サイリスタ試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
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[F-16-TU-0119]MEMSデバイスの開発 		F-TU-091 イオンミリング装置
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[F-16-TU-0122]微細構造の形成とその評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0123]MEMS多機能カンチレバーデバイスの形成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-16-TU-0125]圧力センサ試作実習 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-060 シンター炉
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0127]充填層内の空隙の観察 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-16-TU-0128]抵抗変化メモリ(ReRAM)用機能性酸化物とハードマスク材料のArミリングレート比のイオンビーム条件依存性 		F-TU-091 イオンミリング装置
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[F-16-TU-0129]電極成膜 		F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
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[F-16-TU-0130]SiN成膜 		F-TU-068 LPCVD
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[F-16-TU-0132]ナノインプリント法を用いた櫛形電極の作製 		F-TU-098 UVインプリント装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0001]超絶縁性脂質二分子膜に基づくイオン・電子ナノチャネルの創成のためのシリコンデバイスの作製 		F-TU-042 ブランソン アッシング装置
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[F-15-TU-0002]ITO塗布膜のエッチングおよびパターンニング形成技術の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0003]ナノインプリントプロセスにおけるダスト管理 		F-TU-101 ウェハゴミ検査装置
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[F-15-TU-0004]貫通穴形状を持ったＭＥＭＳ構造物の製造方法と高段差ウエハのダイシング方法開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-108 赤外線顕微鏡
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[F-15-TU-0005]微細構造の機能研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-098 UVインプリント装置
F-TU-099 熱インプリント装置
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
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[F-15-TU-0006]磁歪薄膜MEMSセンサ開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-077 めっき装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
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[F-15-TU-0007]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-063 レーザ描画装置
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[F-15-TU-0008]基板上への0.6 µm L&SのAl電極作成と基板の評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-062 スプレー現像装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
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[F-15-TU-0009]MEMSグレーティングの試作 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
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[F-15-TU-0010]微細構造の形成とその評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-077 めっき装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0011]触覚デバイスの開発と材料技術の検討 		F-TU-058 ダイサ
F-TU-067 メタル拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0012]ウェハレベルパッケージング 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0013]ワイヤレスMEMSデバイスの研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-086 アルバック アッシング装置
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[F-15-TU-0014]接触力センサの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0015]窒化膜誘電体によるキャパシタ形成 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0016]粘着剤(ポリアクリル酸エステル)表面の成分分布状態の解析 		F-TU-109 TOF-SIMS
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0017]MEMSデバイスの開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0018]紫外オプトデバイス製造プロセスの研究開発 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-085 Al-RIE装置
F-TU-110 AFM
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[F-15-TU-0021]コンデンサマイクロホンの作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-068 LPCVD
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0022]UVフォトディテクター試作・評価 		F-TU-037 パターンジェネレータ
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-085 Al-RIE装置
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0024]フォトマスク開発　/　大型マスク製造のためのレーザー描画用レジストの選定 		F-TU-063 レーザ描画装置
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[F-15-TU-0025]MEMS技術を利用した超高精度2次元穴アレイの開発 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0026]Ｘ線・中性子回折格子干渉計のためのSi回折格子モールドの作製 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0027]微小角入射小角Ｘ線散乱イメージング法の開発 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0028]MEMSデバイスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-068 LPCVD
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-073 W-CVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-082 DeepRIE装置#4
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-104 FE-SEM
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0029]ワイヤーアレイ構造のシリコン太陽電池に関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0030]近赤外用ナノフォトニック・デバイスの研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0031]Siウェーハの欠陥解析 		F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-111 大口径AFM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0032]先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム「マイクロシステム融合研究　開発「光マイクロシステムの研究」 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0033]音響多層膜構造広帯域共振子の開発 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-101 ウェハゴミ検査装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0036]新規LIFTプロセスによるサブミクロン微細構造の形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0037]音響光学素子フィルタの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-067 メタル拡散炉
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-095 4インチウェハ研磨装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0038]Auバンプ切削平坦化を用いた触覚センサの開発 		F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0039]薄膜の応力制御 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0040]ステンシルマスクの作成など 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-077 めっき装置
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0041]微細構造電極・誘電体薄膜の作成法に関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0042]マイクロ流路構造の作製検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0043]次世代センサの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0044]磁気共鳴力顕微鏡の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-058 ダイサ
F-TU-059 CO2超臨界乾燥装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0046]中性粒子ビームを用いた微細加工 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0048]三次元LSIの試作研究開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0051]Bit patterned recording media 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0052]メタマテリアルの作製と評価 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0054]センサ試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0055]量子ホール系におけるエッジ状態間の相互作用の測定 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0056]MEMSデバイス加工 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0057]熱輻射スペクトル制御によるサーマルマネジメント技術に関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0058]電子デバイスの微細加工 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-098 UVインプリント装置
F-TU-099 熱インプリント装置
F-TU-100 エキシマ洗浄装置
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[F-15-TU-0061]ダメージフリー薄膜を用いたナノデバイスに関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0062]エレクトレット素子の作成 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0063]多層膜貫通穴加工方法の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0064]ウェハレベル低温接合の評価 		F-TU-111 大口径AFM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0066]光通信波長帯に適した光導波路用の窒化シリコン薄膜形成 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-068 LPCVD
F-TU-106 卓上型エリプソ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0067]ナノインプリントリソグラフィによる金属ナノ構造体作製 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0068]2次元シートデバイス開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0069]金属薄膜の高精度ドライエッチング工法検討 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0070]ウェハレベル真空パッケージに関する研究 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0072]フォトダイオード上のカラーフィルタ製作 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0073]全方向スキャナ 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0074]Si Nano Wall の異方性エッチングによる形成 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0075]素粒子実験用素材の表面汚染の測定 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0077]高温超伝導線材機械的ラップジョイント接合部の構造分析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0079]MEMS デバイスの作製 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0081]圧電薄膜物性の材料依存性評価 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0082]微細周期構造の作成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0083]波長選択エミッタを用いた化学反応促進効果における反応機構解析 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0084]IOC(Integrated optical circuit )の研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0085]Si 深堀エッチ加工 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0086]銀ナノワイヤメッシュの溶断現象の解明 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0087]電気化学発光のスペクトル制御 		F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-085 Al-RIE装置
F-TU-098 UVインプリント装置
F-TU-099 熱インプリント装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0088]高効率-裏面電極型結晶シリコン太陽電池作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0089]機能性材料の微細加工 		F-TU-043 サンドブラスト
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0090]差圧センサデバイス試作 		F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0091]MEMS-LSI集積化技術 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-077 めっき装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-108 赤外線顕微鏡
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0092]貫通電極構造太陽電池における不純物ドープと窒化膜形成 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0093]TFT層間膜と各種メタル、無機膜との密着性評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0095]AFMによる生分解ポリマー構造解析 		F-TU-111 大口径AFM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0097]学生のMEMS試作実習 		F-TU-058 ダイサ
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0099]Micron pattern devices for THz image system 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0100]ナノスケール表面平坦化のためのドライ研磨プロセスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0103]量子ビーム格子の開発と作製 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0104]絶縁膜の形成 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0105]ウェットエッチングによるAFM用基板の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0106]水素が及ぼすシリコンの機械特性への影響 		F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0108]MEMS構造体の試作 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-068 LPCVD
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0110]MEMSカンチレバーデバイスの形成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0111]胃液保持MEMS電池の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-058 ダイサ
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0112]THzメタマテリアルに関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0113]a-Siを用いた発電可能な構造色利用カラーフィルタ 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0114]マイクロ構造体の形成 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0116]高屈折材料を用いた熱放射促進技術の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0117]シングルナノを実現するナノインプリント用モールドの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0118]次世代のエレクトロニクスデバイスの試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0120]Agナノ粒子を用いたガラス基板の接着 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0121]標準シリコン酸化膜の膜厚測定 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-106 卓上型エリプソ
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0122]RF-MEMSスイッチの作製及び評価 		F-TU-077 めっき装置
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0125]SON熱処理実験 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0126]ピエゾ抵抗デバイスのプロセス条件の検討 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0127]応力センサの特性評価に関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-048 膜厚計
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-085 Al-RIE装置
F-TU-102 Dektak 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0129]MEMS構造体の試作 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0130]片持ちはりの深堀Siエッチング 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-15-TU-0135]太陽光発電セルの貫通穴加工技術に関する研究 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-082 DeepRIE装置#4
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0001]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0004]機能性薄膜を用いたセンサーおよびアクチュエーターの研究 		F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0005]シリコンウェハ上の微細流路作製 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0006]基板上への1 µm L&SのAl電極作成 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-114 直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0007]磁歪薄膜MEMS センサー開発 		F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0009]中性粒子ビームを用いた微細加工 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0010]Vapor-HF エッチング技術を用いた3D 構造形成 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0011]金属薄膜の高精度ドライエッチング工法検討－２ 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0012]コンデンサマイクロホンの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-068 LPCVD
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0013]ステンシルマスク作成ほか 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-077 めっき装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0015]光電子制御プラズマを用いた超精密ドライ研磨プロセスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0016]ダイアフラム構造の作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0017]機能性材料の微細加工 		F-TU-043 サンドブラスト
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0019]MEMS デバイスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-102 Dektak 段差計
F-TU-103 熱電子SEM
F-TU-106 卓上型エリプソ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0020]皮膚添付型生体成分センサの開発 		F-TU-043 サンドブラスト
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0021]MEMS 素子の加工 		F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0022]コンデンサマイクロホンの作製 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-068 LPCVD
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0023]触覚デバイスと材料技術の検討 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-077 めっき装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0024]熱酸化膜成膜 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0025]波長選択エミッタを用いた化学反応促進効果における反応機構解析 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0026]2 次元シートデバイス開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0027]グラフェンテラヘルツレーザーの創出 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0028]グラフェントランジスタの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0029]MEMS 構造体における薄膜制御 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0030]MEMS とメタマテリアルの融合による動的発光制御の実現 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0031]マイクロシステム融合のための低温金属封止接合の研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0032]ナノインプリントリソグラフィによる金属ナノ構造体作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0033]TFT 層間膜と各種メタル、無機膜との密着性評価 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0034]熱放射制御技術を用いた電子デバイス冷却に関する研究 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0035]極細径光ファイバ圧力センサの開発 		F-TU-068 LPCVD
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0038]シリコン基板上への高性能圧電トランスデューサ薄膜の開発 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0039]音響光学フィルタの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-058 ダイサ
F-TU-067 メタル拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0040]チューナブルフィルタの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0041]ウェハレベルパッケージング 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0042]MEMS を利用した超高精度2 次元穴アレイの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-058 ダイサ
F-TU-097 EVG ウェハ接合用アライナ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0043]超並列電子線直接描画 (MPEBDW) 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0044]機能性材料を用いたMEMS/NEMS 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0045]三次元LSI の試作研究開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0046]Bit patterned recording media 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0047]電子デバイスの微細加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-069 熱CVD
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0048]樹脂モスアイパターンへの金属膜の成膜加工 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
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[F-14-TU-0049]接触力センサの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-103 熱電子SEM
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[F-14-TU-0050]高屈折率差光導波路の開発 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-14-TU-0051]MRFM 用Si ナノワイヤープロブ 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-14-TU-0052]ウェハレベル真空パッケージに関する研究 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-068 LPCVD
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[F-14-TU-0054]3-D IC 作製のための高アスペクト比ビアへのバリア/シード層形成に関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
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[F-14-TU-0055]高機能炭素材料を応用した医療介護用超高感度小型ひずみセンサの開発 		F-TU-044 酸化拡散炉
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[F-14-TU-0056]MEMS センサ用配線検討 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
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[F-14-TU-0057]生体試料の高感度熱計測 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0059]テラヘルツ帯で動作する周期分極反転素子の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0060]メタマテリアルの作製と評価 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0061]貫通穴形状を持ったMEMS 構造物の製造方法と、高段差ウエハのダイシング方法開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0062]ナノインプリント用微細金型の開発 		F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-14-TU-0063]超小型光学式エンコーダ用複合光学素子の開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-063 レーザ描画装置
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[F-14-TU-0064]共振振動を用いた焦点可変ミラー 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
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[F-14-TU-0066]ウェハへの狭ピッチ穴加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-14-TU-0068]MEMSを用いた光デバイス用アクチュエータの開発 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0069]Si ウェハへの窒化膜形成 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0070]撥水評価用Si モールドの試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0071]UV フォトディテクター試作・評価 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-085 Al-RIE装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0072]RF-MEMS スイッチの作製及び評価 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-077 めっき装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0073]新規LIFT プロセスによるサブミクロン微細構造の形成 		(登録なし)
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[F-14-TU-0074]グラフェンの微細パターニング 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-103 熱電子SEM
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[F-14-TU-0075]紫外線発光素子の光取出し効率の改善 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0076]表面弾性波を用いたナノパーティクル形成の研究 		F-TU-043 サンドブラスト
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[F-14-TU-0077]赤外線－可視光変換デバイスの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0078]環境振動発電の研究 		F-TU-043 サンドブラスト
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0079]低ダメージ成膜および微細加工プロセス技術に関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-037 パターンジェネレータ
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
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[F-14-TU-0080]MEMS 可変光メタマテリアルの製作 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0081]ナノインプリントプロセスにおけるダスト管理 		F-TU-101 ウェハゴミ検査装置
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[F-14-TU-0082]光学デバイス製作の為のメンブレン構造試作 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-083 アネルバ RIE装置
F-TU-103 熱電子SEM
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[F-14-TU-0083]Ｘ線回折格子干渉計のためのSi 位相格子の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-14-TU-0084]マイクロ流体デバイスに関する検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-14-TU-0086]極薄酸化膜の形成とその評価 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-055 エッチングチャンバー
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
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[F-14-TU-0087]微小金属錯体結晶の電気測定用電極の作製 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0088]極限量子ビーム微細加工プロセスの創成 		F-TU-073 W-CVD装置
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[F-14-TU-0089]シリコン基板へのEB リソグラフィー 		F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-103 熱電子SEM
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[F-14-TU-0090]光電気効果により発生する誘電泳動効果を用いた、ナノ流体デバイス内における微小粒 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
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[F-14-TU-0091]学生のMEMS 試作実習 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-14-TU-0092]n 型拡散層の不純物密度及び深さの測定 		F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
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[F-14-TU-0093]電極構造の異なるMOS キャパシタの信頼性評価 		F-TU-055 エッチングチャンバー
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[F-14-TU-0094]平面微小電極アレイチップの作製と構造解析 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
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[F-14-TU-0095]ワイヤーアレイ構造のシリコン太陽電池に関する研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-14-TU-0096]中性子回折格子干計のためのSi回折格子モールドの作成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-103 熱電子SEM
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[F-14-TU-0097]ウエハ平坦化用TEOS-CVD 開発 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0098]TSV 加工方法開発 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
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[F-14-TU-0099]走査型透過電子顕微鏡用位相板の高度化 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0100]サブ波長構造をもつカラーフィルタ製作 		F-TU-066 ランプアニール装置
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[F-14-TU-0101]Si ウェーハの欠陥解析 		F-TU-103 熱電子SEM
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[F-14-TU-0103]成膜条件がSn 薄膜構造に与える影響の解明 		F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
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[F-14-TU-0104]全方向スキャナの開発 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0105]金属薄膜サンプルパターン作成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0106]電気化学発光のスペクトル制御 		F-TU-098 UVインプリント装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0107]MEMS カンチレバーデバイスの形成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0108]熱音響効果の研究 		F-TU-078 MOCVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0109]イオン液体を用いてゲートされたNdNiO3 薄膜のその場顕微ラマン観察 		F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0110]次世代センサの開発 		F-TU-068 LPCVD
F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0111]多層膜貫通穴加工方法の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0112]MEMS 構造体の試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0113]粘着剤(ポリアクリル酸エステル)表面の成分分布状態の解析 		F-TU-109 TOF-SIMS
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0114]MEMS グレーティングの試作 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0115]MEMS デバイス開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0116]容量検出型 MEMSフォースセンサの作成実習 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-14-TU-0119]薄型太陽光セルに関する加工技術の検討 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0001]Deep-RIE によるSi 基板のホールパターン加工 		F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-047 電子顕微鏡群
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0002]SiNパッシベーション膜の評価 		F-TU-035 PECVD群
F-TU-036 スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0004]三次元集積システム用Si貫通配線(TSV)のためのエッチング技術に関する研究 		F-TU-040 DeepRIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0005]3-D IC作製のための高アスペクト比ビアへのバリア/シード層形成に関する研究 		F-TU-035 PECVD群
F-TU-036 スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0006]生体試料の高感度熱計測 		F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-051 ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0007]LEDとフォトダイオードを集積したマイクロ蛍光分析デバイスの製作 		F-TU-045 イオン注入装置一式（イオン注入装置、ランプアニール炉）
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0008]ナノインプリントリソグラフィによる金属ナノ構造体作製 		F-TU-036 スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0010]高出力紫外発光デバイスの開発 		F-TU-036 スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0011]触覚デバイスと材料技術の検討 		F-TU-036 スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0012]レーザ剥離転写プロセス 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-051 ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0013]先端融合領域イノベーション創出拠点の形成 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-051 ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0014]極細径光ファイバ圧力センサの開発 		F-TU-041 RIE装置群
F-TU-054 LPCVD群
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0015]近赤外ベクトルビーム生成用光導波路の形成技術の開発 		F-TU-035 PECVD群
F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-041 RIE装置群
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0016]超高Δガラス膜の成膜および微細加工 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-040 DeepRIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0017]コンデンサマイクロホンの作製 		F-TU-054 LPCVD群
F-TU-051 ウェハ接合装置
F-TU-056 Si結晶異方性（アルカリ）エッチング装置群一式（KOH、TMAH）
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0018]波長選択性熱ふく射の狭帯域化に関する研究 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0019]表面周期微細構造を用いた波長選択性熱放射によるメタン改質反応の促進 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0021]ラッチ機構を備えたシリコン細線導波路光スイッチの製作 		F-TU-047 電子顕微鏡群
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0022]Si上GaNLED基板を用いたモノリシック集積型マイクロ光エンコーダ 		F-TU-045 イオン注入装置一式（イオン注入装置、ランプアニール炉）
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0023]貫通穴形状を持ったMEMS構造物の製造方法と、高段差ウエハのダイシング方法開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-047 電子顕微鏡群
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0024]ヘテロ集積化初期試作 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-051 ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0025]ワイヤレスMEMSデバイスの研究 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0026]銅結晶塑性に起因するCu/SiN 界面じん性値の異方性 		F-TU-035 PECVD群
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0028]MEMSピアース型面電子源アレイの開発 		F-TU-040 DeepRIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0029]MEMSデバイス加工 		F-TU-040 DeepRIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0030]陽極接合技術を用いたマイクロSOFC用パッケージの性能向上 		F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-051 ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0031]MEMS可変光メタマテリアルの製作 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0033]皮膚添付型生体成分センサの開発 		F-TU-043 サンドブラスト
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0034]磁気共鳴力顕微鏡の開発 		F-TU-043 サンドブラスト
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0035]ナノインプリント用微細金型の開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0036]光電子制御プラズマを用いた超精密ドライ研磨プロセスの開発 		F-TU-036 スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0037]微細構造加工方法の検討 		F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0040]ステンシルマスク作成など 		F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0041]超低損傷成膜および微細加工プロセス技術に関する研究 		F-TU-037 パターンジェネレータ
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0042]接触力センサの開発 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-045 イオン注入装置一式（イオン注入装置、ランプアニール炉）
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0043]樹脂モスアイパターンへの金属膜の成膜加工 		F-TU-036 スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0046]感温塗料を用いた低コスト赤外線イメージャーの開発 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-041 RIE装置群
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0047]半導体素子特性変動を軽減させる金属配線構成の調査 		F-TU-041 RIE装置群
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-13-TU-0049]マイクロ化フーリエ変換赤外分光計の開発 		F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-043 サンドブラスト
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[F-13-TU-0051]高性能・低電力三次元集積回路の開発 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-040 DeepRIE装置
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[F-13-TU-0052]薄膜赤外線ｾﾝｻの開発 		(登録なし)
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[F-13-TU-0055]微細構造電極・誘電体薄膜の作製法 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
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[F-13-TU-0056]基板上への1µm L&SのAl電極作成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-041 RIE装置群
F-TU-042 アッシング装置
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[F-13-TU-0057]MEMSデバイス開発 		F-TU-035 PECVD群
F-TU-041 RIE装置群
F-TU-056 Si結晶異方性（アルカリ）エッチング装置群一式（KOH、TMAH）
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[F-13-TU-0059]プラズマCVD成長グラフェンの精密キャリア輸送特性評価 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-13-TU-0060]グラフェントランジスタの開発 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-13-TU-0061]熱ふく射の波動性制御による電子デバイスの冷却効果の数値化 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-047 電子顕微鏡群
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[F-13-TU-0062]単層カーボンナノチューブ太陽電池の開発 		F-TU-036 スパッタ装置
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[F-13-TU-0067]高屈折率差光導波路の開発 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-041 RIE装置群
F-TU-053 EB描画装置
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[F-13-TU-0068]特殊マスクの作製 		F-TU-047 電子顕微鏡群
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[F-13-TU-0069]微細周期構造の作成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-040 DeepRIE装置
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[F-13-TU-0071]微細構造による高効率光取出しの検討 		F-TU-035 PECVD群
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[F-13-TU-0073]フォトリソグラフィ法による金厚膜回路形成 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-047 電子顕微鏡群
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[F-13-TU-0074]光学デバイス製作の為のメンブレン構造試作 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-055 エッチングチャンバー一式
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[F-13-TU-0075]MEMSセンサ用配線検討 		F-TU-045 イオン注入装置一式（イオン注入装置、ランプアニール炉）
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[F-13-TU-0076]精密研磨加工の評価技術開発 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
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[F-13-TU-0078]エミッター開発 		F-TU-047 電子顕微鏡群
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-BA-092 スパッタリング装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
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[F-13-TU-0079]シリコン異方性ウエットエッチング加工の低コスト，高精度化 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
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[F-13-TU-0080]原子内包フラーレンを用いたデバイスの作成 		(登録なし)
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[F-13-TU-0081]バイオテンプレート極限加工を用いたグラフェン量子ドットの作製 		F-TU-036 スパッタ装置
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[F-13-TU-0086]マイクロ構造のナノ制御デバイス開発 		F-TU-041 RIE装置群
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[F-13-TU-0087]中性粒子ビームを用いた微細加工 		F-TU-036 スパッタ装置
F-TU-055 エッチングチャンバー一式
F-TU-047 電子顕微鏡群
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[F-13-TU-0088]電子デバイスの微細加工 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-049 段差計
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[F-13-TU-0089]電子線誘起電流イメージングを用いたシリコンの機械的疲労損傷の観察 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-045 イオン注入装置一式（イオン注入装置、ランプアニール炉）
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[F-13-TU-0090]UV硬化型エッチングマスク用レジストの開発 		F-TU-041 RIE装置群
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[F-13-TU-0092]共振振動を用いた焦点可変ミラーに関する研究 		F-TU-040 DeepRIE装置
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[F-13-TU-0096]サファイア基板の加工 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
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[F-13-TU-0097]N型シリコン基板へのリン拡散 		F-TU-044 酸化拡散炉
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[F-13-TU-0098]MEMSとメタマテリアルの融合による動的発光制御の実現 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-13-TU-0099]MEMS構造体の試作 		F-TU-037 パターンジェネレータ
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-055 エッチングチャンバー一式
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[F-13-TU-0100]ウェハレベル真空パッケージに関する研究 		F-TU-036 スパッタ装置
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[F-13-TU-0101]高感度センサーの開発 		F-TU-035 PECVD群
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[F-13-TU-0103]宇宙・衛星技術分野への応用に向けたMEMSデバイスの試作・研究 		F-TU-055 エッチングチャンバー一式
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[F-13-TU-0104]SON化熱処理実験 		F-TU-055 エッチングチャンバー一式
F-TU-047 電子顕微鏡群
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[F-13-TU-0105]機能性薄膜を用いたセンサーおよびアクチュエーターの研究 		F-TU-053 EB描画装置
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[F-13-TU-0106]イオン注入による酸化物ガラスの高機能化 		F-TU-045 イオン注入装置一式（イオン注入装置、ランプアニール炉）
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[F-13-TU-0108]CARE法による車載用SiC及びGaN基板の洗浄技術の開発 		F-TU-055 エッチングチャンバー一式
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[F-13-TU-0109]音響光学波長可変フィルタの開発 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-055 エッチングチャンバー一式
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[F-13-TU-0110]Siピエゾ素子の試作 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-041 RIE装置群
F-TU-045 イオン注入装置一式（イオン注入装置、ランプアニール炉）
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[F-13-TU-0111]テラヘルツ帯で動作する周期分極反転素子の作製 		(登録なし)
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[F-13-TU-0112]石英ガラスの微細加工 		(登録なし)
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[F-13-TU-0113]カーボンナノチューブの電気伝導特性ひずみ依存性 		F-TU-044 酸化拡散炉
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[F-13-TU-0115]MEMSカンチレバーデバイスの形成 		F-TU-040 DeepRIE装置
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[F-13-TU-0116]磁歪薄膜MEMSセンサー開発 		F-TU-040 DeepRIE装置
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[F-13-TU-0117]大面積高速電子線描画用アジャスタ基板の短ＴＡＴ試作 		F-TU-040 DeepRIE装置
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[F-13-TU-0118]MEMSデバイスの開発 		F-TU-035 PECVD群
F-TU-048 膜厚計
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[F-13-TU-0119]加速度センサの作製 		F-TU-035 PECVD群
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-045 イオン注入装置一式（イオン注入装置、ランプアニール炉）
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[F-13-TU-0120]複数のタンパク質モーターによる協同的なビーズ輸送 		F-TU-037 パターンジェネレータ
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-055 エッチングチャンバー一式
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[F-13-TU-0121]MEMSを用いた光デバイスの開発 		F-TU-055 エッチングチャンバー一式
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[F-13-TU-0122]MEMS実習 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-040 DeepRIE装置
F-TU-047 電子顕微鏡群
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[F-13-TU-0123]金属薄膜の高精度ドライエッチング工法検討 		F-TU-041 RIE装置群
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[F-13-TU-0124]波長選択性熱放射を用いた共鳴励起による化学反応促進に関する研究 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-040 DeepRIE装置
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[F-12-TU-0001]電子デバイスの構造解析と加工 		(登録なし)
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[F-12-TU-0002]シリコン微細構造体加工検討 		(登録なし)
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[F-12-TU-0003]ナノインプリントリソグラフィによる金属ナノ構造体作製 		(登録なし)
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[F-12-TU-0004]コンデンサマイクロホンの作製 		(登録なし)
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[F-12-TU-0005]電気化学LSI へのダイヤモンド電極の集積化プロセスの開発 		(登録なし)
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[F-12-TU-0006]MEMS デバイスの試作 		(登録なし)
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[F-12-TU-0007]ワイヤレスMEMS デバイスの研究 		(登録なし)
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[F-12-TU-0008]超臨界流体を用いた製膜プロセス 		(登録なし)
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[F-12-TU-0009]超並列電子源のアクティブマトリックス化 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0010]グラフォアセンブリーによる三次元積層型光電子集積システム・オン・チップ 		(登録なし)
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[F-12-TU-0011]マイクロ化フーリエ変換赤外分光計の開発 		(登録なし)
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[F-12-TU-0012]MEMS センサ用配線検討 		(登録なし)
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[F-12-TU-0013]磁気共鳴力顕微鏡の開発 		(登録なし)
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[F-12-TU-0014]有機導電性高分子の電気伝導機構の解明へ向けた研究 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0015]シリコンウェハ上の微細流路作製 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0016]RF-MEMS のパッケージング 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0017]中性粒子ビームエッチングによるMEMS 特性向上 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0018]大開口面積シリコンRIE 加工方法の開発 		(登録なし)
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[F-12-TU-0019]スマートカット法によるSiC カンチレバー 		(登録なし)
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[F-12-TU-0020]基板上への1μmL&S のAl 電極作成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置群(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 アッシング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0021]半導体素子特性変動を軽減させる膜応力構成の調査 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0022]MEMS ピアース型面電子源アレイの開発 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0024]薄膜の成膜 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0025]電気光学ポリマーの配向プロセスに関する研究 		(登録なし)
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[F-12-TU-0026]ヘテロ集積化初期試作 		(登録なし)
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[F-12-TU-0027]高分解能・高速非接触温度計測技術の開発 		(登録なし)
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[F-12-TU-0028]エミッター開発 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0029]気密封止技術 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0030]ワイヤボンディングの接着確認 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0031]樹脂モスアイパターンへの金属膜の成膜加工 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0032]配線保護膜の形成 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0033]三次元集積システム用Si 貫通配線(TSV)のためのエッチング技術に関する研究 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0034]3-D IC 作製のための高アスペクト比ビアへのバリア/シード層形成に関する研究 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0035]高アスペクト比静電櫛歯構造の作製 		(登録なし)
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[F-12-TU-0036]SOI 基板を用いたMEMS 構造体の試作 		(登録なし)
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[F-12-TU-0037]SOI 基板を用いたMEMS デバイスの試作 		(登録なし)
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[F-12-TU-0038]近赤外波長ベクトルビーム生成用光導波路デバイスの開発 		(登録なし)
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[F-12-TU-0039]陽極接合技術を用いたマイクロSOFC用パッケージの開発 		(登録なし)
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[F-12-TU-0040]レーザによるBST 剥離転写プロセス 		(登録なし)
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[F-12-TU-0041]光学デバイス製作の為のメンブレン構造試作 		(登録なし)
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[F-12-TU-0042]SOI基板を用いたMEMS構造体の試作 		(登録なし)
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[F-12-TU-0045]カーボンMEMSの試作 		(登録なし)
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[F-12-TU-0056]微細構造電極・誘電体薄膜の作成法に関する研究 		(登録なし)
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[F-12-TU-0057]水素吸蔵合金充填層の充填構造変化の観察 		(登録なし)
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[F-12-TU-0058]Si上GaNLED 基板を用いたモノリシック集積型マイクロ光エンコーダ 		(登録なし)
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[F-12-TU-0059]Thin Film型高出力紫外発光素子の開発 		(登録なし)
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[F-12-TU-0078]デバイスの試作 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-045 イオン注入装置群（イオン注入装置、ランプアニール炉）
F-TU-038 両面アライナ露光装置群(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-058 ダイサ
F-TU-035 PECVD
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[F-12-TU-0080]シリコンウエハの酸化 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0081]プラ-ズマCVD成長グラフェンの精密キャリア輸送特性評価 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-12-TU-0082]ステンシルマスク作成 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
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