利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学ナノテク融合技術支援センター微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学微細加工プラットフォーム]　
[東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名	利用装置名
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0001]哺乳類細胞移動アッセイ用新規マイクロデバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0002]超高エネルギー密度，本質安全および長寿命な鉄－空気二次電池Shuttle Batteryの開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0003]マイクロ波を用いた有機材料中の電荷・スピン輸送の計測	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0004]ハイドロゲルのAFM 測定	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0005]ナノ粒子の強誘電体特性評価	F-KT-306 強誘電体特性評価システム F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0006]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0007]研削工具の計測	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0008]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0009]MEMSデバイスを利用した半導体ナノワイヤの機械・電気連成特性評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0010]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0011]圧電デバイスの作製と評価	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0012]微細構造を利用した光学素子の研究	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-234 有機現像液型レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0013]アクリルアミド系ポリマーフィルムの強誘電性評価	F-KT-306 強誘電体特性評価システム F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0014]スパッタリング法を用いて作製した薄膜の構造解析および組成分析	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0015]高分子材料の表面形状観察	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0016]モルフォ発色体構造のアスペクト比変更に関する研究開発	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0017]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0018]マスクアライナーおよびRIE装置を用いたAlパターンの作製及びエッチング	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0019]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0020]テラヘルツ反射ミラーの作製	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0021]ドライ酸化による熱酸化膜	F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0022]ナノ構造による光制御技術	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-234 有機現像液型レジスト現像装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0023]感光性樹脂の露光評価	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0024]低損失微小共振器の作製	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0025]ナノフォーム	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0026]バイオマス由来微粒子の特性分析	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0027]半導体および絶縁体のナノ構造評価	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0028]生分解性蓄熱マイクロカプセルの作製	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0029]プラズマ暴露による機能性材料の粘弾性特性および電気特性変化の研究	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0030]オンチップ時空間制御による光合成細胞の環境応答機能の解明	F-KT-311 水蒸気プラズマクリーナ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0031]配線電極付き石英基板上TEOS厚膜のドライエッチング加工検証	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0032]二次元炭素材料の電気伝導特性解析	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0033]蛍光偏光法を用いたジェル型温度センサの開発	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0034]DOE(回折光学素子)の試作検討／偏光素子開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0035]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0036]無機有機ペロブスカイト膜の構造評価	F-KT-304 電子線蒸着装置（２）
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0037]ナノ粒子の表面電荷の解析	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0038]ウエハダイシング	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0039]MEMSデバイス	F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0040]長寿命改質オゾンUFB水のバブル粒径濃度測定	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0041]窒化物半導体のデバイス作製	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0042]構造性媒質と高強度レーザーとの相互作用による準定常強磁場生成の検証-1	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0043]ナノスケール共振器の作製と機械特性評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0044]微細穴構造の製造技術	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0045]ナノアンテナによる磁気光学効果の増強	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0046]固体発光性ジイミンホウ素錯体ホモポリマーの薄膜構造解析	F-KT-274 X線回折装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0047]MEMSガスセンサの開発	F-KT-304 電子線蒸着装置（２） F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0048]動的斜め蒸着法による薄膜の形態制御と応用	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0049]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0050]カロテノイド含有ミセル形成に与えるヨーグルトの影響	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0051]PDMSとガラスの結合	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0052]カーボンナノチューブ薄膜の基礎物性評価	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0053]培養細胞の力学特性測定	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0054]ナノアンテナシールによる積層ナノアンテナの開発	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0055]ポリマ光変調器の低消費電力化	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0056]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0057]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認 2	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0058]医療用マイクロデバイスのプロセス開発	F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0059]血中循環腫瘍細胞(CTC)の検出及び特性解析に関する共同研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0060]CUPAL 電子線描画装置入門コース	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0061]ダイヤモンドデバイスの作製	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-286 パワーデバイスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0062]ヒトオルガノイドを用いた重力応答機構の解析	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0063]酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0064]2次元サーモリフレクタンス法を用いたサブマイクロスケールネットワークの温度分布測定	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0065]探針増強ラマン分光用プローブに対するFIB加工	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0066]バイオガスを原料とした水素製造に於けるCO2削減に関する分離技術の開発	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0067]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0068]コンポジット材料界面の分析技術開発	F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0069]ガラス上のマイクロピラーの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0070]ダイヤモンド電極パターニング	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0071]半導体のドライエッチング加工と基板貼り合わせ	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0072]テラヘルツの分光技術を応用した生物・食品検査利用への研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0073]トリチウム増殖材の精密化学分析	F-KT-235 ICP質量分析装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0074]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0075]水電解触媒の高性能化に向けた構造解析	F-KT-235 ICP質量分析装置 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0076]表面プラズモン共鳴を利用した高周波超音波センサの開発	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0077]シリコン深掘り構造作製における欠陥形成機構の研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0078]MEMSデバイスの作製	F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機 F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0079]DRIEによるSiエッチング	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0080]ガラス基板へのナノインプリント	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0081]光ナノインプリント用カチオン重合型樹脂の開発	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0082]MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0083]MEMSデバイスの共振モードの実験確認	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0084]SEM観察を通じた各種煤粒子形態の比較	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0085]Janus粒子の合成	F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0086]Quartz結晶基板の切断	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0087]高分子材料の表面形状観察	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0088]超微細パターン石英ナノインプリントモールドの作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0089]固体中におけるスピン流輸送現象の解明	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0090]共有結合性有機構造体の結晶性の評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0091]細胞上で形成されるアミロイド線維構造のAFM-IRによる解析	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0092]表面及び内部に微細構造を形成したガラスの形態観察	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0093]インプリント転写検討	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0094]半導体用コーティング材料の開発	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0095]直接電子移動型酵素電極反応に適した多孔質金電極の作成	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0096]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0097]X線1分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0098]BN薄膜のMEMSデバイス応用へ向けた微細加工試験とカンチレバー試作	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0099]肺癌の病態における間質圧上昇の役割の解明と新たな治療法の開拓	F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0100]ハイドロゲルのAFM測定2	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0101]VLSボトムアップ成長シリコンナノワイヤの架橋集積技術の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0102]静電気力を利用した粉体ハンドリング技術の開発とその粉体ダイナミクスに関する研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0103]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス（２）	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0104]静電容量型加速度センサーの設計から試作・評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0105]大面積のメタマテリアルの作製	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0106]フィールドエミッタアレイの膜物性評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0107]テラヘルツ反射ミラーの作製（２）	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0108]表面弾性波共振器によるリザーバーコンピューティング	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0109]レーザー描画による厚膜レジストパターン形成 1	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0110]探針増強ラマン分光用プローブに対するFIB加工	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0111]テラヘルツの分光技術を応用した生物・食品検査利用への研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0112]歪フォトニック結晶の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0113]微細メッシュ構造基板を用いた細胞配向性制御	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0114]培養細胞の力学特性測定	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0115]ナノスケール共振器の試作と電気機械特性の研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0116]マイクロ波を用いた有機材料中の電荷・スピン輸送の計測	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0117]固体発光性ジイミンホウ素錯体ホモポリマーの薄膜構造解析２	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0118]無機有機ペロブスカイト膜の構造評価2	F-KT-304 電子線蒸着装置（２） F-KT-274 X線回折装置 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0119]熱流束を直接測定する積層センサの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0120]金属酸化物の光学応答特性	F-KT-251 レーザアニール装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0121]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成　２	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0122]原子層二硫化モリブデン作製と特性評価	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0123]生物を模倣したソフトロボットの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0124]ナノセルロース複合材料の物性評価	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0125]酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究2	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0126]高機能酸化物薄膜の作製と評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0127]ダイヤモンド表面ナノ加工	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0128]新規高性能半導体ウエハ接合技術の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0129]遊走ニューロンに関する研究	F-KT-272 全反射励起蛍光イメージングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0130]歪フォトニック結晶の作製2	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0131]アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセルの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0132]ナノ結晶及びポリマー等との複合材料の作製と評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0133]メタサーフェスミラーの開発 2	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0134]インダス式印章の製作技術に関する考古学的研究：SEM観察と製作実験に基づいた実証的検討からのアプローチ	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0135]ナノスケール共振器の作製および電気機械特性研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-281 マイクロシステムアナライザ F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0136]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0137]多孔質フィルムの開発	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0138]Genocelの膨潤状態の形状測定	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0139]フォトニッククリスタルを用いた狭角配光ＬＥＤの開発	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0140]ダイヤモンド表面ナノ加工	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0141]微小空間におけるタンパク質のダイナミクス解析	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0142]圧電デバイスの作製と評価 2	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0143]チップTSV	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0144]拡散レーザービームを用いたナノ粒子の高効率微細化	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0145]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0146]基板上へのAl微細パターンの形成	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0147]境界層を介したレーザー駆動準１次元衝撃波形成と新高エネルギー粒子加速法の開拓2	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0148]カーボンナノチューブ薄膜の基礎物性評価	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0149]細胞の機能解析	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0150]心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指す流体デバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0151]ナノフォーム	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0152]メタ表面による磁気光学効果の増強	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0153]プラズマ物理学とナノ工学の融合による極限物質科学への挑戦 (2)	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0154]プラズマ暴露による機能性材料の粘弾性特性および電気特性変化の研究	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0155]メタサーフェスミラーの開発	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0156]原子間力顕微鏡によるナノスケール表面下構造可視化	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0157]窒化物半導体のデバイス作製	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0158]微細構造を利用した光学素子の研究	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-234 有機現像液型レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0159]境界層を介したレーザー駆動準１次元衝撃波形成と新高エネルギー粒子加速法の開拓3	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0160]シリコン基板を用いた表面プラズモンの制御とその応用に関する研究	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0161]プラズマ物理学とナノ工学の融合による極限物質科学への挑戦	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0162]圧電デバイスの作製と評価３	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0163]肺癌の病態における間質圧上昇の役割の解明と新たな治療法の開拓	F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0164]レーザー描画による厚膜レジストパターン形成　２	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0165]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0166]スパッタリング法を用いて作製した薄膜の構造解析および組成分析	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0167]表面ナノテクスチャリングの創成による潤滑特性の向上とそのメカニズムの把握	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0168]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発-事業化フェーズ　２	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0169]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発-事業化フェーズ 3	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0170]粒子ハンドリングのための静電デバイスの作製	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0171]リグノセルロースから生産した抗ウイルス活性リグニンの作用機構の解明	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0172]超高エネルギー密度，本質安全および長寿命な鉄－空気二次電池Shuttle Batteryの開発 2	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0173]Siナノアンテナシールの作製	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0174]モルフォ発色体構造のアスペクト比変更に関する研究開発	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0175]低損失微小共振器の作製(2)	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0176]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0177]生分解性蓄熱マイクロカプセルの作製　2	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0178]薄膜弾性波を利用した高感度質量センサの創製	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0179]溶融塩およびイオン液体からの金属電析における電析金属の結晶成長メカニズムの解析	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0180]ナノ構造による光制御技術	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0181]DOE(回折光学素子)の試作検討／偏光素子開発 2	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0182]血中循環腫瘍細胞(CTC)の検出及び特性解析に関する共同研究 2	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0183]MEMSセンサの開発2	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0184]プラズモニック金ナノ構造集積MEMS共振器の作製と応用	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0185]ナノ粒子二量体配列を用いた高感度表面増強ラマン分光分析技術	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置 F-KT-311 水蒸気プラズマクリーナ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0186]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0187]コンポジット材料界面の分析技術開発	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0188]DOE試作	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0189]表面粗面化形状の形成	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0190]導波モード共鳴を用いた新規光学デバイスに関する研究	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0191]シリコンウェハとガラスウェハの陽極接合	F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0192]1 umギャップ電極作製	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0193]Ｘ線１分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0194]ダイヤモンドデバイスの作製、評価	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0195]酵母を用いた人工的タンパク質脂肪酸修飾システムの構築	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0196]ウェットエッチングによるAlパターニング	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0197]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認3	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-21-KT-0198]導波モード共鳴を用いた新規光学デバイスに関する研究２	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0001]窒化物半導体のデバイス作製	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0002]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0003]窒化ケイ素セラミックスの抗菌活効果と骨伝導効果の評価	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0004]MEMSデバイスを利用した半導体ナノワイヤの機械・電気連成特性評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0005]縮環型アゾベンゼンホウ素錯体を用いた非対称湾曲共役系高分子の薄膜状態の調査	F-KT-274 X線回折装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0006]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0007]モルフォ発色体構造のアスペクト比変更に関する研究開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0008]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0009]運動による細胞集団相分離メカニズムの階層横断的理解	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-234 有機現像液型レジスト現像装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0010]MEMSアレイセンサを用いた乱流熱伝達の評価手法に関する研究	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0011]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0012]親水疎水細密パターニング	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0013]ナノインデンターによるＳｉフォノニック結晶の機械的特性評価	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0014]臨床検査デバイスの開発	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0015]圧電デバイスの作製と評価	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0016]血中循環腫瘍細胞(CTC)の検出及び特性解析に関する共同研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0017]MEMSセンサの開発	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0018]ボールボンディングによるMEMSデバイスの電気的接続	F-KT-262 ボールワイヤボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0019]セラミックス薄膜被覆金属基板の疲労寿命特性に関する研究	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0020]祖先型パルマ藻の性状解析	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0021]RF-MEMSデバイスの研究	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0022]加工面の表面性状に基づく官能評価指標の定量化	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0023]スパッタリング法を用いて作製した薄膜の構造解析および組成分析	F-KT-274 X線回折装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0024]MEMS・マイクロ流路一体化デバイスの開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-311 水蒸気プラズマクリーナ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0025]固体高分子形燃料電池の電極触媒に関する研究	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0026]高分子材料の表面形状観察	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0027]直接電子移動型酵素電極反応に適した多孔質金電極の作成	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0028]ナノフォーム	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0029]微細構造面における伝熱に関する研究	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0030]：テラヘルツの分光技術を応用した生物・食品検査利用への研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0031]YIG リング共振器を用いたマグノンーフォトン結合の観測	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0032]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0033]：量子ドットとナノファイバーからなる複合材料の特性評価	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0034]バイオマス由来微粒子の特性分析	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0035]新聴覚デバイス作製	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0036]センシング応用に向けた光集積技術開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0037]DOE（回折光学素子）の試作検討	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0038]光学素子の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0039]コンポジット材料界面の分析技術開発	F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0040]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0041]シリコン基板のエッチング加工検証	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0042]半導体プロセス基礎実験	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0043]圧電膜とピエゾ抵抗との相互干渉に関する研究	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0044]シリコンウエハへの貫通孔形成	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0045]プラズマインジケータの研究開発	F-KT-299 ICP-RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0046]半導体レーザーを用いたSi単結晶帯形成アニール装置の開発	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0047]フレキシブルデバイス表面の保護膜形成技術に関する研究	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0048]ウエハダイシング	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0049]蛍光偏光法を用いたジェル型温度センサの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0050]微小電極アレイを搭載したボディ・オン・チップの作製プロセス	F-KT-298 パリレン成膜装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0051]ナノインプリントを用いた蛍光材料の高性能化	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0052]無機有機ペロブスカイト膜の構造評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0053]二次元炭素材料の電気伝導特性解析	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0054]マイクロ流路デバイスを用いたセルロースナノクリスタルの調製・精製・ファイバー形成2	F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0055]X線1分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0056]プラズマ暴露による有機系薄膜の粘弾性特性変化および誘電率変化の研究	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0057]光トラップ中における単一原子の高分解能顕微鏡観測	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-240 真空蒸着装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0058]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0059]表面及び内部に微構造を形成したガラスの形態観察	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0060]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0061]ボールボンディングによるMEMSデバイスの電気的接続	F-KT-262 ボールワイヤボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0062]光ナノインプリント用カチオン重合型樹脂の開発	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0063]超高エネルギー密度，本質安全および長寿命な鉄－空気二次電池Shuttle Batteryの開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0064]表面プラズモン共鳴を利用した高周波超音波センサの開発	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0065]DNAカーテン法を用いてDNA上のタンパク質の動態を明らかにする	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0066]プラズマ照射によるSi系材料の電気伝導特性及び光学特性の変化に関する研究	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-299 ICP-RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0067]モルフォ発色体構造のアスペクト比変更に関する研究開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0068]MEMS デバイスを利用した半導体ナノワイヤの機械・電気連成特性評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0069]運動による細胞集団相分離メカニズムの階層横断的理解	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-311 水蒸気プラズマクリーナ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0070]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0071]加工面の表面性状に基づく官能評価指標の定量化	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0072]スパッタリング法を用いて作製した薄膜の構造解析および組成分析	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0073]高分子材料の表面形状観察	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0074]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0075]テラヘルツの分光技術を応用した生物・食品検査利用への研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0076]ナノフォーム	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0077]YIGリング共振器を用いたマグノンーフォトン結合の観測	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0078]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0079]テラヘルツ反射ミラーの作製	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0080]量子ドットとナノファイバーからなる複合材料の特性評価	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0081]テラヘルツ波偏光の高効率制御を可能にする反射型メタマテリアルの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0082]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0083]固体発光性ジイミンホウ素錯体ホモポリマーの薄膜構造解析	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0084]ガリウム及びインジウム化合物による細胞鉄恒常性の破綻と肺障害発生に関する研究	F-KT-235 ICP質量分析装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0085]グレースケールマスクを使用したシリコンエッチング	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0086]Si基板上へのSiC成膜	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0087]細胞の機能解析	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0088]グレイスケール露光を利用した光学デバイス用電鋳モールド作成技術の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0089]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0090]MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0091]CUPAL(Nanotec Career-up Alliance) 圧電デバイスコース2020年	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置 F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-306 強誘電体特性評価システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0092]マイクロ流路デバイス作製実習2020	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0093]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0094]フォトリソグラフィーによる回折光学素子DOEの作製とMEMSプロセス開発	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM) F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0095]微細穴構造の製造技術	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0096]DOE（回折光学素子)の試作検討	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0097]CUPAL　EB入門コース	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0098]CUPAL EB入門コース実習2020年	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0099]ナノ構造による光制御技術2	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0100]ナノインデンターによるＳｉフォノニック結晶の機械的特性評価	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0101]マイクロデバイス成形用樹脂モールドの開発2	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0102]犠牲層エッチングによる薄膜構造形成	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0103]医療用マイクロデバイスのプロセス開発	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0104]ナノインデンターによるＳｉフォノニック結晶の機械的特性評価2	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0105]グレースケール露光によるPDMS製マイクロバルブ／ポンプの作製	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0106]アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセル	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0107]プラズマ暴露による機能性材料の粘弾性特性および電気特性変化の研究	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0108]低損失微小共振器の作製	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-274 X線回折装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0109]低損失微小共振器の作製(2)	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0110]セラミックス薄膜被覆金属基板の疲労寿命特性に関する研究	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0111]プラズモニック金ナノ構造集積MEMS共振器の作製と応用	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0112]人口減少社会へむけた上水道システムの持続的再構築に関する総合研究2	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0113]MEMSアレイセンサを用いた乱流熱伝達の評価手法に関する研究	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0114]神経ネットワーク形成デバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-310 UVオゾンクリーナー・キュア装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0115]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認（2）	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0116]レーザー描画による厚膜レジストパターン形成	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0117]構造性媒質と高強度レーザーとの相互作用による準定常強磁場生成の検証（１）	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0118]ポーラスシリコンへの金属めっき	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0119]バイオガスを原料とした水素製造に於けるCO2削減に関する分離技術の開発	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0120]圧電デバイスの作製と評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0121]MEMSガスセンサの開発	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0122]血中循環腫瘍細胞(CTC)の検出及び特性解析に関する共同研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0123]Deep-RIEとダイシングの検証	F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0124]マイクロ流路デバイス作製実習2020	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0125]半導体および絶縁体のナノ構造評価	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0126]MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0127]チップTSV	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0128]MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造(2)	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-253 基板接合装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0129]光ナノインプリント用カチオン重合型樹脂の開発	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0130]チップTSV(3)	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0131]新方式アルミ製放熱材（メタマテリアル放熱材）の量産技術開発	F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0132]ミストCVD法を⽤いて形成した⾦属酸化物の新規応⽤展開	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0133]ウエハダイシング(2)	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0134]チップTSV (1)	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0135]光ナノインプリント用カチオン重合型樹脂の開発	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0136]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発(2)	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0137]グレイスケール露光のための形状補正ソフトウエアの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0138]半導体用コーティング材料の開発	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0139]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0140]医療用マイクロデバイスのプロセス開発	F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0141]コンポジット材料界面の分析技術開発	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0142]ダイヤモンド電極パターニング	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0143]ナノスケールの振動子の作製とその電気機械特性	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0144]微小電極アレイを搭載したボディ・オン・チップの作製プロセス	F-KT-298 パリレン成膜装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0145]3次元加工性を有するセルロースナノファイバー強化樹脂材料の開発	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-304 電子線蒸着装置（２）
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0146]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現(1)	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0147]オルガノイド培養用マイクロ流体デバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0148]微細メッシュ構造基板を用いた細胞接着機能制御	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-253 基板接合装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0149]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0150]表面ナノテクスチャリングの創成による潤滑特性の向上とそのメカニズムの把握	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0151]構造性媒質と高強度レーザーとの相互作用による準定常強磁場生成の検証-2	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0152]構造性媒質と高強度レーザーとの相互作用による準定常強磁場生成の検証-3	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0153]バイオガスを原料とした水素製造に於けるCO2削減に関する分離技術の開発2	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0154]ダイヤモンドデバイスの作製、評価	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0155]メカノバイオロジーを利用した細胞挙動制御法の開発	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0156]熱電子発電のためのへき開面ナノギャップ創製	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0157]ナノ・マイクロ加工技術による細胞機能制御	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0158]シリコンナノ構造を用いた生分解性微小センサの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0159]PDMSとガラスの結合	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0160]ダイヤモンドと異種材料の直接接合による高効率デバイスへの応用	F-KT-299 ICP-RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0161]圧電体による振動発電デバイスの作成	F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0162]ナノインプリントを用いたナノアンテナシールの開発	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0163]カーボンナノチューブ薄膜の基礎物性評価	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0164]二次元炭素材料の電気伝導特性解析	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0165]金属アレイによるコアーシェル型ナノ粒子のアップコンバージョン増強	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0166]ナノ粒子の表面電荷の解析	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0167]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現2	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0168]ポーラスシリコンへの金属めっき2	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-286 パワーデバイスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0169]基板上へのAl微細パターンの形成	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0170]スパッタ法による電極薄膜の作製	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0171]トリチウム増殖材の精密化学分析	F-KT-235 ICP質量分析装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0172]酸化ガリウム表面におけるヘテロエピタキシー初期過程の研究	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0173]微小電極アレイを搭載したボディ・オン・チップの作製プロセス2	F-KT-288 セルテストシステム F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0174]固体中におけるスピン流輸送現象の解明	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0175]水電解触媒の高性能化に向けた構造解析	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0176]微細構造面における伝熱に関する研究	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0177]X線1分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製2	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0178]動物用心拍数測定デバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0179]生体分子，細胞，組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0180]表面プラズモン共鳴を利用した高周波超音波センサの開発	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0181]表面及び内部に微細構造を形成したガラスの形態観察	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0182]マイクロ波を用いた有機材料中の電荷・スピン輸送の計測	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0183]接着接合部における超音波伝搬に対する界面モデリングの検討	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0184]シリコンマイグレーションシール（SMS)ウェハレベルパッケージング	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0185]MEMS真空封止評価技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0186]二段電極構造を有するイオン液体エレクトロスプレースラスタの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-20-KT-0187]近位尿細管のオンチップ再構成による臓器機能と腎毒性の評価	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0001]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0002]カーボンナノチューブを用いた極性分子吸着ガスセンサの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0003]キラル置換型ポリメタフェニレンエチニレンの凝集状態でのキラル反転	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0004]Observation of grinding tools	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0005]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究（１）	F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0006]光応答性液晶エラストマーのナノ構造解析	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0007]表面プラズモン共鳴を利用したポンププローブ分光計測における高感度化の検討	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0008]アパタイト核の複合化による生体活性骨修復材料の開発	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0009]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現（１）	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0010]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用（１）	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0011]窒化物半導体のデバイス作製	F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0012]接触面の形状計測	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0013]微細表面構造を有する機能性ポリマー薄膜の作製	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0014]超高エネルギー密度、本質安全および長寿命な鉄－空気二次電池Shuttle Batteryの開発（１）	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0015]マイクロ流体デバイス	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0016]人口減少社会へむけた上水道システムの持続的再構築に関する総合研究	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0017]プラズマエッチング装置用新規機能部品の開発（１）	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0018]誘電泳動力を用いた粒子整列用マイクロデバイス開発（１）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0019]半導体異種材料接合の研究（１）	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0020]プラズモンによる低光エネルギー駆動スイッチグデバイスの実現	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0021]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御（１）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0022]エッチングによる金属表面の形状制御	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0023]ペンタアザフェナレンを含む共役系高分子の膜厚評価	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0024]MEMSデバイスを利用した半導体ナノワイヤの機械・電気連成特性評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0025]MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造（１）	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0026]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発（１）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0027]三相界面における蒸発現象関す実験的研究	F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0028]各種光閉じ込めデバイスへの結合素子および機能基礎研究	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0029]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発（２）	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0030]固体高分子形燃料電池の電極触媒に関する研究	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0031]インダス式印章の製作技術に関する考古学的研究：SEM観察と製作実験に基づいた実証的検討からのアプローチ	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0032]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0033]高分子材料の表面形状観察	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0034]スパッタリング法を用いて作製した薄膜の構造解析および組成分析	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0035]直接電子移動型酵素電極反応に適した多孔質金電極の作成	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0036]液体ジェット生成用金属ノズルの開発	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0037]半導体デバイス組立て材料の高温環境試験に関する研究	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0038]YIGリング共振器を用いたマグノンーフォトン結合の観測（１）	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0039]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0040]量子ドットとナノファイバーからなる複合材料の特性評価	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0041]LiPO3ガラスの熱起電力特性	F-KT-288 セルテストシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0042]バイオマス由来微粒子の特性分析	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0043]半導体および絶縁体のナノ構造評価	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0044]窒化物半導体光集積デバイスの作製	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0045]プラズマエッチング装置用新規機能部品の開発（２）	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0046]MEMSデバイス	F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0047]シリコンナノグレーティング構造の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0048]ナノインデンターによるSiフォノニック結晶の機械的特性評価	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0049]プラズマ暴露による有機系薄膜の粘弾性特性および誘電率変化の研究	F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0050]熱起電モジュールの作製	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0051]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0052]接触面の形状計測	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0053]DNA上のタンパク質の動態研究	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0054]血中循環腫瘍細胞(CTC)の検出及び特性解析に関する共同研究	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0055]平板のゼータ電位測定	F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0056]COPレプリカモールドでの熱ナノインプリント	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0057]薄膜ピエゾの圧電特性	F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0058]MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造（２）	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0059]血中循環腫瘍細胞(CTC)の検出及び特性解析に関する研究	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0060]装置磁気中性線放電ドライエッチング装置によるSiO2のドライエッチング	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0061]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成（１）	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0062]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0063]半導体プロセス基礎実験（１）	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0064]医療用マイクロデバイスのプロセス開発	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0065]センシング応用に向けた光集積技術開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0066]ECRエッチングプロセスを用いた有機膜の加工	F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0067]MEMSガスセンサの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0068]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成（２）	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0069]静電駆動型MEMS振動子の周波数制御に関する研究開発	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0070]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0071]圧電膜とピエゾ抵抗との相互干渉に関する研究	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0072]半導体プロセス基礎実験（２）	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0073]TEER計測用電極付マイクロ流体デバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0074]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0075]超高エネルギー密度、本質安全および長寿命な鉄－空気二次電池Shuttle Batteryの開発（２）	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0076]固体中におけるスピン流輸送現象の解明	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0077]細胞接着制御基板の作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0078]新規フッ素化合物電池材料の結晶構造解明	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0079]有機溶媒中のLi-P-S-Clの溶解度測定	F-KT-235 ICP質量分析装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0080]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究（２）	F-KT-253 基板接合装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0081]半導体異種材料接合の研究（２）	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0082]MEMSデバイスを利用した半導体ナノワイヤの機械・電気連成特性評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0083]圧電ミラーデバイスの開発	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0084]250℃耐熱フレキシブル熱電発電モジュールの実用化開発	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0085]ペンタアザフェナレンを含む共役系高分子の膜厚評価	F-KT-274 X線回折装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0086]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現（２）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0087]量子もつれ光発生のための高精度窒化シリコンリング共振器の実現（１）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0088]金属構造によるテラヘルツ電場増強と電子状態の解明	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0089]MEMSアレイセンサを用いた乱流熱伝達の評価手法に関する研究	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0090]センシング応用に向けた光集積技術開発（２）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0091]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発（２）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0092]ポーラスシリコン電極への金属めっき	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0093]RF-MEMSデバイスの研究	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0094]運動による細胞集団相分離メカニズムの階層横断的理解	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0095]現場で使える簡易検査用マイクロ流体デバイスの研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0096]高分子材料のXRDスペクトル分析	F-KT-274 X線回折装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0097]テラヘルツの分光技術を応用した生物・食品検査利用への研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0098]微細構造面における伝熱に関する研究	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0099]YIGリング共振器を用いたマグノンーフォトン結合の観測（２）	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0100]静的光散乱による線状高分子の慣性半径の評価	F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0101]生体外における腎機能と腎毒性評価のための近位尿細管チップの製作	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0102]高温環境下におけるプラズマ診断用電気素子の研究開発	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0103]固体発光性ジイミンホウ素錯体ホモポリマーの薄膜構造解析	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0104]銀膜/焼結銀界面結合強度における銀膜の結晶粒構造の効果	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0105]シリコンの化学エッチングによるレーザー照射用構造性ターゲット作製（１）	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0106]クレッチマン型表面プラズモンセンサにおける金属薄膜の膜厚測定	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0107](100)単結晶シリコンを用いた同調型振動リングジャイロスコープにおける形状補償	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0108]イオン液体エレクトロスプレースラスタの二段電極作製に向けたガラスの貫通加工	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0109]シリコンの化学エッチングによるレーザー照射用構造性ターゲット作製（２）	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0110]ナノインプリントを用いた蛍光材料の高性能化（１）	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0111]厚さを制御した高分子膜被覆による銀ナノ構造プラズモン共鳴のチューニング	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0112]誘電泳動力を用いた粒子整列用マイクロデバイス開発（２）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0113]DOE（回折光学素子)の試作検討（１）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0114]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0115]圧電膜とピエゾ抵抗との相互干渉に関する研究	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0116]令和元年度ナノテクノロジープラットフォーム学生研修プログラム	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0117]プラズモニック金ナノ構造集積MEMS共振器の作製と応用	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0118]ナノ粒子二量体配列を用いた高感度表面増強ラマン分光分析技術	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0119]微細表面構造を有する機能性ポリマー薄膜の作製（１）	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0120]生体分子、細胞、組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発（１）	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0121]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0122]微細メッシュ構造を用いた細胞接着制機能制御（１）	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0123]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御（２）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0124]MHz帯の超音波検出用表面プラズモン共鳴センサの作製	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0125]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0126]ポーラスシリコン電極への金属めっき	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0127]ナノフォーム	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0128]バイオガスを原料とした水素製造に於けるCO2削減に関する分離技術の開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0129]塗布型太陽電池の薄膜構造評価	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0130]脂質膜リポソーム上プリオン様タンパク質の動態変化	F-KT-268 高速液中原子間力顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0131]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現（３）	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0132]DNAカーテン法を用いてDNA上のタンパク質の動態を明らかにする（１）	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0133]DNAカーテン法を用いてDNA上のタンパク質の動態を明らかにする（２）	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0134]量子もつれ光発生のための高精度窒化シリコンリング共振器の実現（２）	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0135]ナノインプリントを用いた蛍光材料の高性能化（２）	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0136]スパッタ法による電極薄膜の作製	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0137]MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造（３）	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0138]微細表面構造を有する機能性ポリマー薄膜の作製（２）	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0139]弾性表面波を用いた高精度・高効率アクチュエータの開発	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0140]弾性表面波を用いた高精度・高効率アクチュエータの開発 2	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0141]金ナノギャップ配線の作製と電気的評価	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0142]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-231 スプレーコータ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0143]直接電子移動型酵素電極反応に適した多孔質金電極の作成（２）	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0144]RF-MEMSデバイスの研究（２）	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0145]生体分子、細胞、組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発（１）	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0146]二次元ナノ材料に対する局所機械的特性評価方法の開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0147]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用（２）	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0148]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス（２）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0149]量子ドットとナノファイバーからなる複合材料の特性評価（２）	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0150]生体分子、細胞、組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発（２）	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0151]ポリマ光変調器の低消費電力化	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0152]半導体および絶縁体のナノ構造評価（２）	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価) F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0153]接触面の形状計測（３）	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0154]微細メッシュ構造を用いた細胞接着制機能制御（２）	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0155]マイクロ流体デバイスを使った非アルコール性脂肪性肝疾患モデルの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0156]マイクロデバイス成形用樹脂モールドの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0157]PECVD-DLC傾斜多層膜を被覆したSi微小構造体の引張強度特性	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0158]固体中におけるスピン流輸送現象の解明（２）	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0159]CUPAL (Nanotec Career-up Alliance) マイクロ流路デバイスコース2019年	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0160]動物用心拍数測定デバイスの作製	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0161]SiとSOIウエハを用いたSiトーションミラーデバイスの開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0162]メカノバイオロジーを利用した細胞挙動制御法の開発	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0163]新規フッ素化合物電池材料の結晶構造解明（２）	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0164]超高エネルギー密度、本質安全および長寿命な鉄－空気二次電池Shuttle Batteryの開発（３）	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0165]基板上へのAl微細パターンの形成	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0166]医療用マイクロデバイスのプロセス開発（２）	F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0167]フォトリソグラフィーによる回折光学素子DOEの作製とMEMSプロセス開発	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0168]フォトリソグラフィによる微細構造を有する光学素子の作製	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0169]DOE(回折光学素子)の試作検討（２）	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0170]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成（２）	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0171]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製（２）	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0172]MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0173]4H-SiCウェハ上の微細表面構造創製	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0174]MEMSジャイロ高精度化のための微細加工調整プロセスの試行	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡 F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0175]フィブロイン基質上とSAM上における軟骨細胞挙動の比較	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0176]ペプチドナノチューブの電気的特性の解析	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0177]食糧タンパク質の品質に関する研究	F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0178]レーザダイシング装置を用いた超小型植物水分動態センサチップの切断	F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0179]臨床検査デバイスの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0180]フォノニック結晶の温度特性解明に関する研究	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0181]3次元加工性を有するセルロースナノファイバー強化樹脂材料の開発	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0182]CUPAL (Nanotec Career-up Alliance) 圧電デバイスコース2019年	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-274 X線回折装置 F-KT-306 強誘電体特性評価システム F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0183]臨床検査デバイスの開発（２）	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0184]レジストの塗布膜厚と残膜厚の関係	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0185]圧電デバイスの作製と評価	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0186]血中循環腫瘍細胞(CTC)の検出及び特性解析に関する研究（２）	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-234 有機現像液型レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0187]ボールボンディングによるMEMSデバイスの電気的接続	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-262 ボールワイヤボンダ F-KT-258 真空マウンター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0188]MEMSへき開創製した間隔制御電極におけ真空電子放出	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0189]ニオブ酸リチウムディスクジャイロスコープ	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0190]光吸収体集積マイクロ振動子を用いた近赤外光センサにおける梁形状の影響	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-19-KT-0191]マイクロプラズマアクチュエータの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0001]熱トンネル現象を用いた冷却素子及び熱発電素子の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0002]せん断型ひずみゲージ集積型試験片を用いた単結晶シリコン並列引張疲労試験	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0003]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0004]固体発光性ジイミンホウ素錯体ホモポリマーの薄膜構造解析	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0005]ナノフォーム	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0006]微細3次元ナノインプリントモールドの製作	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0007]微細3次元ナノインプリントモールドの製作	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0008]単結晶シリコンへき開破壊により形成したナノギャップの間隔制御・電流計測用MEMSデバイスの開発	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0009]臨床検査デバイスの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0010]ナノインプリントリソグラフィ用UV硬化樹脂の検討	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0011]プラズマインジケータの研究開発	F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0012]導体デバイス組立て材料の高温環境試験に関する研究	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0013]β-Ga2O3表面における窒化物成長初期過程の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0014]軟培養面を用いた細胞挙動制御	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0015]接触面の形状計測	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0016]プラズモンによる低光エネルギー駆動スイッチングデバイスの実現	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0017]Si またはSiO2 上のサブミクロンオーダーフォトレジストパターンの作製	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0018]ガラス部材の先端的加工技術開発	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0019]グラフェンデバイスの作製	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0020]PECVD DLCを被覆したSi微小構造体の引張強度特性に対する成膜バイアスの効果	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0021]MEMS創成技術によって形成したテクスチャ面でのスクイーズ弾性流体潤滑挙動の把握	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0022]スピネル接合基板のSAWデバイス特性評価	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0023]窒化ケイ素セラミックスの抗菌活効果と骨伝導効果の評価	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0024]各種光閉じ込めデバイスへの光結合素子および機能素子の基礎研究	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0025]食品ナノ粒子の構造・物性測定	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0026]MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0027]ミストCVD 法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0028]微小周期構造を持つクラッド層を用いたレーザ構造に関する研究	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0029]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0030](100)単結晶シリコンを用いた同調型振動リングジャイロスコープにおける形状補償	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0031]薄膜アクチュエータの研究開発	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0032]フォトリソグラフィーによる回折光学素子DOEの作製とMEMSプロセス開発	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0033]表面弾性波を利用した微量液滴撹拌による高感度電気化学検出	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0034]先進複合材料の破壊特性に関する微視的観察による評価	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0035]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0036]インダス式印章の製作技術に関する考古学的研究：SEM 観察と製作実験に基づいた実証的検討からのアプローチ	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0037]ウェハー加工技術開発	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0038]圧電体材料における結晶軸とGHz帯表面弾性波伝播特性の関係調査	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0039]ナノ構造による光制御技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0040]顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0041]金属薄膜形成及びドライエッチングによる試料加工技術の開発	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0042]SiGe薄膜の機械物性計測	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0043]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0044]原子間力顕微鏡によるナノスケール表面下構造可視化	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0045]糖鎖修飾ポリオキサゾリンが結晶化により形成する自己組織化体のXRDによる構造解析	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0046]固体高分子形燃料電池の電極触媒に関する研究	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0047]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0048]ポリマ光変調器の低消費電力化	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0049]ドライ酸化による熱酸化膜	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0050]塗布型太陽電池の薄膜構造評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0051]単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-223 露光装置(ステッパー)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0052]半導体および絶縁体のナノ構造評価	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0053]VUV光による酸化チタン薄膜とマイクロパターンの形成	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0054]キラル置換型ポリメタフェニレンエチニレンの凝集状態でのキラル反転	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0055]ナノディフェクトマネジメント	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0056]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0057]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0058]微細表面構造を有する機能性ポリマー薄膜の作製	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0059]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0060]量子ドットとナノファイバーからなる複合材料の特性評価	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0061]メタマテリアルを用いたバイオセンシング	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0062]二次元炭素材料の電気伝導特性解析	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0063]水処理膜の表面構造とろ過性能の明確化	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0064]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0065]ナノ粒子の表面電荷の解析	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0066]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0067]蛍光偏光法を用いたジェル型温度センサの開発	F-KT-272 全反射励起蛍光イメージングシステム F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0068]スパッタ法によるKNN薄膜の形成	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0069]接触面の形状計測　その２	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0070]塗布型太陽電池の薄膜構造評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0071]プラズマ暴露による有機系薄膜の粘弾性特性変化および誘電率変化の研究	F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0072]臨床検査デバイスの開発　２	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-297 ナノインプリント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0073]マイクロ流体デバイスの試作	F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0074]ナノインプリントを用いた光学材料の高性能化	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0075]固体中におけるスピン流輸送現象の解明	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0076]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現　その２	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0077]生体分子，細胞，組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0078]熱ナノインプリントにおける気泡欠陥	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0079]医療用マイクロデバイスのプロセス開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0080]プラズマエッチング装置用新規機能部品の開発	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0081]半導体デバイス組立て材料の高温環境試験に関する研究	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0082]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発 II	F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0083]プラズモンによる低光エネルギー駆動スイッチグデバの実現　その２	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0084]核沸騰現象における顕熱輸送に関する研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0085]直接電子移動型酵素電極反応に適した多孔質金電極の作成 1	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0086]β-Ga2O3表面における窒化物成長初期過程の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0087]RF-MEMSデバイスの研究	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0088]コヒーレントX線回折イメージングにおける試料調製手法の開発	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0089]4H-SiCウェハ上の微細表面構造創製　No.2	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-286 パワーデバイスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0090]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発　その２	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0091]フォトリソグラフィーによる射出成形金型の製作	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0092]各種光閉じ込めデバイスへの光結合素子および機能素子の基礎研究　２	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0093]エッチングによる金属表面の形状制御	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0094]半導体異種材料接合の研究, No.2	F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0095]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0096]センシング応用に向けた光集積技術開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0097]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究　No.2	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0098]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス　２	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0099]低分子ゲル化剤の会合体形成機構の解明 2	F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0100]インダス式印章の製作技術に関する考古学的研究：SEM観察と製作実験に基づいた実証的検討からのアプローチ　その２	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0101]新聴覚デバイス作製	F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0102]位相変調透過板に関する研究	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0103]直接電子移動型酵素電極反応に適した多孔質金電極の作成 2	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0104]4H-SiCウェハ上の微細表面構造創製	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0105]低分子ゲル化剤の会合体形成機構の解明	F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0106]ポリマ光変調器の低消費電力化　２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0107]ＭＥＭＳ加工技術を用いたセンサデバイスの開発	F-KT-251 レーザアニール装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0108]半導体および絶縁体のナノ構造評価 2	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0109]プラズマインジケータの研究開発2	F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0110]：YIGリング共振器を用いたマグノン-フォトン結合の観測	F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-302 ダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0111]軟培養面を用いた細胞挙動制御	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0112]高温パンチクリープ成形による力覚センサの開発, No1	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0113]フォノニック結晶の温度特性解明に関する研究　その１	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0114]フォノニック結晶の温度特性解明に関する研究　その２	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0115]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0116]MEMSガスセンサの開発	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0117]LEDデバイス開発	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0118]犠牲層エッチングによる静電駆動素子の作製	F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0119]Ｘ線１分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0120]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認　その１	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0121]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0122]Nanotech-CUPAL N.I.P KY002 電子線描画装置アドバンストコース <<短期型>>	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0123]アトムプローブ測定に用いるプロトン伝導セラミックスの FIB 加工	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0124]ナノインプリントを用いた光学材料の高性能化	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0125]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0126]ナノ微細表面構造の特性評価	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0127]MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0128]二次元炭素材料の電気伝導特性解析	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置 F-KT-286 パワーデバイスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0129]ＭＥＭＳ加工技術を用いたセンサデバイスの開発	F-KT-251 レーザアニール装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0130]医療用マイクロデバイスのプロセス開発	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0131]量子ドットとナノファイバーからなる複合材料の特性評価	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0132]新方式アルミ製放熱材（メタマテリアル放熱材）の量産化技術開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0133]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認　その２	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0134]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究	F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0135]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 F-KT-286 パワーデバイスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0136]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0137]3D-MEMS加工技術を利用したマイクロ宇宙推進機の抜本的な推進効率の向上	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0138]マイクロ流体デバイスを応用した細胞塊捕捉技術の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-295 移動マスク紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0139]バイオガスを原料とした水素製造に於けるＣＯ2削減に関する分離技術の開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0140]DOE(回折光学素子)の試作検討	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0141]ダイヤモンドデバイス用基板の結晶性評価　その１	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0142]ダイヤモンドデバイスの作製、評価　その２	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0143]フォトリソグラフィーによる射出成形金型の製作	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0144]生物の力学的特性測定を目的とした，分子機械型超微小ワイヤレス力センサの開発、その１	F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0145]生物の力学的特性測定を目的とした，分子機械型超微小ワイヤレス力センサの開発、その２	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0146]CUPAL　人材育成　MEMS後期	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0147]コヒーレントX線回折イメージング法の効率化に向けた試料作製法の開発	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0148](100)単結晶シリコンを用いた同調型振動リングジャイロスコープにおける形状補償	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0149]MEMS試作のフォトリソ工程最適化	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0150]TEER計測用電極付マイクロ流体デバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0151]微細構造面における伝熱に関する研究	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0152]静電駆動型MEMS振動子の周波数制御に関する研究開発	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0153]食品ナノ粒子の構造・物性測定	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0154]MEMS技術を用いた圧力・温度センサーの研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0155]メタマテリアルを用いたバイオセンシング	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0156]量子もつれ光発生のための、高精度窒化シリコンリング共振器の実現	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0157]Body-on-a-Chipへの搭載を目的としたイオン液体型圧力センサ	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0158]細胞局所刺激・応答計測可能なナノマイクロツール開発、その２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0159]Soil-on-a-chipデバイスの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0160]レーザー実験用擾乱ターゲットの製作	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0161]CUPAL EB描画装置入門コース	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0162]細胞局所刺激・応答計測可能なナノマイクロツール開発、その１	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0163]細胞間コミュニケーションのライブイメージング	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0164]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0165]Si基板の超微細加工	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0166]固体中におけるスピン流輸送現象の解明	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0167]熱起電モジュールの作製　１	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0168]ウエハ加工技術開発	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0169]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価　No.1	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-231 スプレーコータ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0170]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価　No.2	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-262 ボールワイヤボンダ F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0171]マイクロ流路デバイス作製実習および施設利用	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0172]バイオガスを原料とした水素製造に於けるＣＯ2削減に関する分離技術の開発２	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0173]液体金属電極ReRAMの簡易マスキングプロセス	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0174]DNAオリガミのサイズ分離用ANA(Anisotropic Nanofluidic Array)デバイス	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0175]CUPAL　人材育成　MEMS通年	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0176]圧電膜とピエゾ抵抗との相互干渉に関する研究	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0177]薄膜アクチュエータの研究開発	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0178]アパタイト核の複合化による生体活性骨修復材料の開発	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0179]誘電泳動力を用いた粒子整列用マイクロデバイス開発	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0180]ポーラスシリコン電極への金属めっき	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0181]シリコンへの化学エッチングによるレーザー照射用構造性ターゲット作製	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0182]色素増感太陽電池の作製	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0183]X 線格子の検討	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0184]光導波路サンプルの作製	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0185]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0186]カーボンナノチューブを用いた極性分子吸着ガスセンサの開発１	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-18-KT-0187]高温パンチクリープ成形による力覚センサの開発 No.2	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0001]MEMSガスセンサの開発	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0002]人工関節材料の潤滑特性評価	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0003]VUV還元酸化グラフェンFETの作製とその電気特性評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0004]薄層炭素繊維複合材料積層板の強度・破壊特性評価	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0005]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0006]ナノ構造による光制御技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-302 ダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0007]ナノ・マイクロ加工技術による細胞機能制御	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-268 高速液中原子間力顕微鏡 F-KT-272 全反射励起蛍光イメージングシステム F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0008]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0009]固体高分子形燃料電池の電極触媒に関する研究	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0010]シリコン系薄膜の機械特性に及ぼす寸法・温度効果	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0011]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0012]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究	F-KT-235 ICP質量分析装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0013]小口径半導体ウエハへの微細深溝作製	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0014]MEMSデバイス用Siドライエッチング加工その１	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0015]MEMSデバイス用Siドライエッチング加工、その２	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0016]フォトリソグラフィを用いたFTO薄膜のドライエッチング	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0017]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0018]Plasma etching評価	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0019]プラズマ用インジケータの開発	F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0020]接触面の形状計測	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0021]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0022]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0023]アパタイト核の複合化による生体活性骨修復材料の開発	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0024]塗布型太陽電池の薄膜構造評価	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0025]プラズマ暴露による有機系薄膜の粘弾性特性変化および誘電率変化の研究	F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置 F-KT-286 パワーデバイスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0026]コヒーレントX線回折イメージング用試料基板の開発	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0027]高分子材料の薄膜形成	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0028]水処理膜の表面構造とろ過性能明確化	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0029]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0030]生体模倣反応を用いたアパタイトカプセルの開発	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0031]精密ノズルの表面粗さ測定	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0032]ニューロン軸索ガイダンスにおける脳組織の物理的環境の作用機序	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0033]細胞内電気測定用無線デバイスとシステムの開発	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0034]圧電薄膜を用いたMEMS素子の作製	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0035]臨床検査デバイスの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0036]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0037]熱ナノインプリントにおける成形圧力と残膜厚の関係	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0038]MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-234 有機現像液型レジスト現像装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0039]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0040]気密封止パッケージ	F-KT-301 ウエハ接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0041]半導体デバイス組立て材料の高温環境試験に関する研究	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0042]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0043]フォトリソグラフィーによる回折光学素子DOEの作製とMEMSプロセス開発	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0044]ガラス部材の先端的加工技術開発	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0045]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0046]SiGe薄膜の機械物性計測	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0047]MEMS創成技術によって形成したテクスチャ面でのスクイーズ弾性流体潤滑挙動の把握	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0048]ペンタアザフェナレンを含む共役系高分子の膜厚評価	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0049]ナノディフェクトマネジメント	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0050]固体高分子形燃料電池の電極触媒に関する研究	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価) F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0051]半導体および絶縁体のナノ構造評価	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0052]位相変調透過板に関する研究	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0053]触媒粒子担持用のアルミナ薄膜の評価	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0054]ナノ構造による光制御技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0055]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0056]マイクロ流路を用いた液膜試料の生成	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-230 レジスト塗布装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0057]X線格子の検討	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0058]シリコン系薄膜の機械特性に及ぼす温度の効果	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0059]VUV還元酸化グラフェンFETの作製とその電気特性評価その２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0060]薄膜形成及びドライエッチングによる試料加工技術の開発	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0061]ウェット酸化による熱酸化膜	F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0062]3Dリソグラフィを応用したPDMS製マイクロバルブ/ポンプの高精度加工	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0063]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0064]DNAナノ構造体の機械的/電気的特性評価のためのMEMSナノピンセットの作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0065]琵琶湖における微生物群集の増殖解析	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0066]スパッタ法によるKNN薄膜の形成	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0067]液膜試料生成のためのマイクロ流路デバイスの作製	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0068]薄膜ピエゾの圧電特性	F-KT-274 X線回折装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0069]量子もつれ光発生のための、高精度窒化シリコンリング共振器の実現	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0070]位相変調透過板に関する研究	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0071]触媒粒子担持用のアルミナ薄膜の評価その２	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0072]半導体および絶縁体のナノ構造評価 2	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0073]DNA構造体の固定化によるナノポアセンシングデバイスの作製	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-300 簡易RIE装置 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0074]SPMを用いたナノレベルでのナノファイバー材料の表面構造・力学物性評価	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0075]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0076]超微小材料機械変形評価装置を用いた細胞強度の測定	F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0077]固体中におけるスピン流輸送現象の解明	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0078]生体分子，細胞，組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発 II	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0079]ガラス部材の先端的加工技術開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0080]高温超伝導体の微細構造を用いた新規物性研究	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0081]原子間力顕微鏡を用いたナノスケール表面物性評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0082]高性能圧電薄膜による高感度超音波トランスデューサの開発	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0083]シリコン深堀りドライエッチングを応用した3次元微細構造の作製	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0084]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発 1	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0085]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発、その１	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0086]ナノ微細表面構造の特性評価	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0087]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用	F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0088]マイクロ流路デバイス作製実習および施設利用	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0089]ガスセンサの開発	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0090]メタマテリアルを用いたバイオセンシング	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0091]有機薄膜太陽電池用SrTiO3ナノ構造体の作製と評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0092]湿式プロセスによる酸化亜鉛多孔体の形成	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0093]微細穴構造の製造技術　その１	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0094]細胞測定のための遮蔽型ナノ構造作製の試行	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0095]チタン材料の微視組織が深穴加工性に及ぼす影響	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0096]横波型薄膜共振子MEMSセンサの信号強度向上に向けたデバイス構造の開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0097]シリコンの化学エッチングによるレーザー照射用構造性ターゲット作製	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0098]Body-on-a-Chipへの搭載を目的としたイオン液体型圧力センサ	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0099]イオンチャネル固定化用窒化膜チップ	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0100]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 2	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0101]プラズモニック金ナノ構造集積MEMS共振器の作製と応用	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0102]微粒子を懸濁した作動流体の熱物性	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0103]微細穴構造の製造技術　その２	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0104]固体発光性ジイミンホウ素錯体ホモポリマーの薄膜構造解析　その２	F-KT-274 X線回折装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0105]圧電薄膜を用いたMEMS素子の作製	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-281 マイクロシステムアナライザ F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0106]半導体プロセス基礎実験	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0107]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製その２	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0108]ナノインプリントを用いた光学材料の高性能化　２	F-KT-297 ナノインプリント装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0109]二次元炭素材料の電気伝導特性解析	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0110]：圧電薄膜/高音速基板構造を利用した弾性表面波の励振	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0111]マイクロ流体デバイスを用いた微生物遊泳運動の流体実験	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0112]バイオミネラリゼーションに学んだアパタイト核機能の活用による生体環境適合マテリアルの構築	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0113]Sb2Se3を用いた無機-有機ハイブリッド太陽電池の作製と評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0114]ナノインプリントを用いた光学材料の高性能化 1	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0115]高速高精度電子線描画装置を用いたサブミクロンピッチ回折格子金型の製作	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0116]ダイヤモンドデバイスの作製、評価	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-274 X線回折装置 F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0117]Nanotech-CUPAL N.I.P KY006圧電デバイスコース	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置 F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0118]Ｘ線１分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0119]MEMSデバイスを利用した半導体ナノワイヤの機械・電気連成特性評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0120]小口径半導体ウエハへの微細深溝作製その１	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0121]マイクロ流路内でのレーザー応力波干渉の応用	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0122]塗布型太陽電池の薄膜構造評価　その２	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0123]電子線描画装置入門コース	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0124]ナノインプリントを用いた光学材料の高性能化　3	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0125]医療用マイクロデバイスのプロセス開発その１	F-KT-253 基板接合装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0126]人口減少社会へむけた上水道システムの持続的再構築に関する総合研究	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0127]リサーチコンプレックス　マイクロ流路デバイス作製実習	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0128]GaN/AlGaN量子井戸とフォトニック結晶を用いた熱輻射光源の開発	F-KT-253 基板接合装置 F-KT-251 レーザアニール装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0129]高分子の多孔化とその物性	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0130]高性能圧電薄膜による高感度超音波トランスデューサの開発 2	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0131]分子を用いたグラフェンの電子状態変調	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0132]メソポーラスシリカのフォトニクス応用	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0133]UV硬化型PDMSを使ったマイクロ流体デバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-295 移動マスク紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0134]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0135]銀膜/焼結銀界面結合強度における銀膜の結晶粒構造の効果	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0136]半導体の基礎研究	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0137]4H-SiCウェハ上の微細表面構造創製その１	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0138]食品ナノ粒子の構造・物性測定 1	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0139]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-262 ボールワイヤボンダ F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0140]MEMSとDNA融合プロセスによるナノポアセンサデバイスの構築	F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0141]食品ナノ粒子の構造・物性測定 2	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0142]モルフォ発色体構造のアスペクト比変更に関する研究	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0143]4H-SiCウェハ上の微細表面構造創製その２	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-230 レジスト塗布装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0144]酸化ガリウムの結晶成長に関する研究	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0145]TiO2の成膜、評価	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0146]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発、その２	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0147]ポーラスシリコン電極への金属めっき	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0148]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0149]細胞局所刺激・応答計測可能なナノマイクロツール開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0150]ＭＥＭＳ加工技術を用いたセンサデバイスの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0151]犠牲層エッチングによる静電駆動素子の作製	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0152]微細表面構造を有する機能性ポリマー薄膜の作製	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0153]表面保護のための酸化膜形成	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0154]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0155]ガラスモールドの作製	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0156]金属薄膜形成による試料加工技術の開発	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0157]Nanotech-CUPAL N.I.P　KY007フォトニックコース	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0158]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究　II	F-KT-235 ICP質量分析装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0159]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成その１	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0160]GaN/AlGaN量子井戸をフォトニック結晶を用いた熱輻射光源の開発	F-KT-251 レーザアニール装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0161]MEMSジャイロ高精度化のための微細加工調整プロセスの試行	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0162]感光性ポリイミドを用いた、たんぱく質構造解析用チップの製作	F-KT-231 スプレーコータ F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0163]シリコン系薄膜の機械特性に及ぼす温度の効果	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0164]カルボキシメチルセルロースのアンモニウム塩のSEM観察	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0165]ナノ粒子の粒径分布	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0166]DNAオリガミのサイズ分離用ANA(Anisotropic Nanofluidic Array)デバイス	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-230 レジスト塗布装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0167]メタマテリアルを用いたバイオセンシング	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0168]プラズマ暴露による有機系薄膜の粘弾性特性変化および誘電率変化の研究	F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0169]炭化タングステンのカーボン添加による強度向上のメカニズム解明と実用化	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0170]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEB、レーザーによるフォトマスクの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0171]ナノ粒子二量体配列を用いた高感度表面増強ラマン分光分析技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0172]医療用マイクロデバイスのプロセス開発その２	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0173]リン脂質含有リポソームの生理機能と物性の相間研究	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0174]生体分子，細胞，組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発　I	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0175]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成その２	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0176]生体分子，細胞，組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発 III	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0177]高校生を対象としたエコサイエンスツアー2017の実施	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-17-KT-0178]MEMSセンサデバイスの応力評価	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0001]ポリマ光変調器の低消費電力化	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0002]半導体及び絶縁体のナノ構造評価	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0003]固体中におけるスピン流輸送現象の解明1	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0004]固体中におけるスピン流輸送現象の解明2	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0005]ガラス部材の先端的加工技術開発	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0006]電子線描画装置入門コース（CUPAL）	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0007]マイクロ蛍光偏光法による粘性計測	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0008]積層フィルムの断面観察	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0009]ブロックコポリマーの配向自己組織化を用いたナノリソグラフィー	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0010]π－π相互作用を介した共役ポリマー間のキラリティ転写	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0011]MEMSガスセンサの開発	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0012]MEMSガスセンサの開発 2	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0013]シリコン薄膜の機械特性に及ぼす温度の効果	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-230 レジスト塗布装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0014]半導体異種材料接合の研究	F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0015]位相変調透過板に関する研究	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0016]SiO2膜の成膜実験、およびSiO2とSiの加工実験	F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0017]かご型シルセスキオキサン誘導体の薄膜構造解析	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0018]VUV還元酸化グラフェンFETの作製とその電気特性評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0019]Sb2Se3を用いた無機-有機ハイブリッド太陽電池の作製と評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0020]マイクロ流路内でのレーザー応力波干渉の応用	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0021]熱ナノインプリントによる両面パターニングの研究	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0022]AFMによりRNAとタンパク質の結合様式を可視化する	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0023]原子間力顕微鏡を用いたナノスケール表面物性評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0024]ナノテクノロジーによる地球天然物を基にした新多機能性材料の開発	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0025]応力センサの特性評価に関する研究	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-298 パリレン成膜装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0026]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0027]高感度ガスセンサの開発	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0028]プラズマインジケータTMの研究開発	F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0029]プラズマインジケータTMの研究開発 2	F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0030]ナノ構造による光制御技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0031]ナノ構造による光制御技術　２	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0032]ナノプラ技術スタッフ交流プログラム・鉛フリー圧電薄膜の作製	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-280 触針式段差計(分析・評価) F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0033]振動デバイスの評価	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0034]MEMSプロセス技術の開発	F-KT-231 スプレーコータ F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0035]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0036]MEMS加速度センサの開発	F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0037]サブミクロンAu粒子による気密封止接合	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0038]AFM用バルクPZTセンサの開発	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0039]窒化物ナノ粒子アレイの作製とプラズモニック特性	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0040]メソポーラスシリカを基板とするAuメソグレーティングのSERS特性	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0041]Alナノ粒子アレイの作製と発光増強	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0042]階層的プラズモニック構造作製と光学特性	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0043]各種配水管材質に対する細菌、微粒子の付着特性	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0044]各種配水管材質に対する細菌、微粒子の付着特性２	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0045]標準シリコン酸化膜の膜厚測定 (2)	F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0046]圧電駆動方式MEMS光スキャナの開発	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0047]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0048]石英ガラスモールドの作製　１	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0049]石英ガラスモールドの作製　２	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-297 ナノインプリント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0050]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機 F-KT-286 パワーデバイスアナライザ F-KT-287 インピーダンスアナライザ F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0051]熱ナノインプリントにおける温度と残膜厚の関係	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0052]MEMSとDNA融合プロセスによりナノポアセンサデバイスの構築	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0053]層状金属水酸化物結晶の構造研究	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0054]静電容量型加速度センサーの設計から試作・評価まで	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0055]VAPOR HF DRY ETCH装置導入検討	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0056]Preparation of porous graphene-based composites	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0057]Porous metal oxide/graphene composites for energy storage applications	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0058]MEMSデバイスの温度特性改善	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0059]高解像度LEDプリントヘッド用LEDアレイチップの開発	F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0060]超薄型フリースタンディングテラヘルツ半波長板の開発	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0061]プリンタブルエレクトロニクス	F-KT-289 高周波伝送特性測定装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0062]共振子デバイスの開発２	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0063]フェムト秒レーザーによる極薄ガラスシートの加工検討	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0064]熱トンネル現象を用いた冷却素子	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0065]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0066]モルフォ発色体構造のアスペクト比変更に関する研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0067]SiGe薄膜の機械物性計測	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0068]4H-SiCウェハ上の微細表面構造創製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0069]臨床検査デバイスの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0070]応力センサの特性評価に関する研究　②	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-287 インピーダンスアナライザ F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0071]強誘電体PZTカンチレバーの性能確認	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-258 真空マウンター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0072]微細穴構造の製造技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0073]半導体プロセス基礎実験	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0074]３次元パワーSoC用の基板構成法の研究	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0075]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-287 インピーダンスアナライザ F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0076]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究	F-KT-235 ICP質量分析装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0077]水処理膜の表面構造とろ過性能の明確化－１	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0078]ナローバンド吸収特性を有するプラズモニック金ナノグレーティング構造	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0079]金ナノ粒子二量体配列を用いた高感度表面増強ラマン分光分析技術	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0080]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0081]食品ナノ粒子の構造・物性測定	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0082]リン脂質含有リポソームの生理機能と物性の相間研究	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0083]コヒーレントX線回折イメージング用試料基板の開発	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0084]Ｘ線１分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0085]MEMS創成技術によって形成したテクスチャ面でのスクイーズ弾性流体潤滑挙動の把握	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0086]MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-234 有機現像液型レジスト現像装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0087]せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス	F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0088]フォトニックコース（CUPAL）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0089]MEMSデバイス試作に関して	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0090]静電ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発	F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0091]MEMS可変形状ミラーに用いる静電ピストン構造の試作	F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0092]DLC薄膜でコーティングしたシリコンマイクロ構造の引張試験	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0093]シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0094]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0095]創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイスの開発①	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0096]細胞内物質導入の基礎研究	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0097]FPDフォトマスク向け高精細ペリクルの開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0098]ＭＥＭＳ加工技術を用いた音響センサデバイスの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0099]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEB、レーザーによるフォトマスクの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0100]自動車用エンジンの超高効率化のための給気ガス改質技術の開発	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0101]CSAC用MEMS型Csガスセルの開発（１）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-301 ウエハ接合装置 F-KT-302 ダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0102]ポーラスシリコン電極への金属コバルトおよび酸化テルビウムの共析	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0103]配線パターンの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0104]ミストデポジション法による有機半導体薄膜の作製	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0105]ナノテクノロジープラットフォーム学生研修プログラム	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0106]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0107]電気化学反応による高精度ポーラスシリコン電極の作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0108]PDMS埋め込み型電極アレイの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-298 パリレン成膜装置 F-KT-288 セルテストシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0109]スプレーコート法による高段差基板上レジスト膜形成	F-KT-231 スプレーコータ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0110]フォトリソグラフィー工程を用いた回折格子素子の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0111]スプレーコート法による超高段差基板上レジスト膜形成２	F-KT-231 スプレーコータ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0112]フォトリソグラフィー工程を用いた回折格子素子の開発　２	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0113]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成２	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0114]新規デバイス向けウェハ微細パターニング	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0115]ＭＥＭＳ加工技術を用いた音響センサデバイスの開発　②	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0116]3D-MEMS加工技術を利用したマイクロ宇宙推進機の抜本的な推進効率の向上	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0117]薄膜ピエゾの圧電特性	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0118]薄膜ピエゾの圧電特性　２	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-274 X線回折装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0119]漿液性子宮内膜腺癌においてシスプラチン感受性に対する研究	F-KT-235 ICP質量分析装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0120]超硬合金WC炭化タングステンのカーボン添加による強度向上とメカニズム解明	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置 F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0121]帯電微粒子の自己組織配列を利用したプラズモン構造色の色域拡大および大面積印刷	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0122]鋳型を用いた微細構造転写に基づく機能性ポリマー薄膜の創製	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0123]酸化アルミナを鋳型とした微細構造を有するポリマー薄膜の作製	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0124]圧電デバイスコース（CUPAL）	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-274 X線回折装置 F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0125]深紫外発光素子の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0126]マイクロ・スケールの熱流体現象の解明	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0127]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0128]Al2O3コーティングを施したステンレス表面における高温熱処理の影響	F-KT-274 X線回折装置 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0129]結晶方位データを用いた材料設計へのアプローチ	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0130]電極材料の構造特性評価	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0131]多孔性高分子の構造と物性	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0132]共振子デバイスの開発	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0133]CNT電気特性評価のための微小電極並列チップ作製	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0134]DNAオリガミのサイズ分離用ANA(Anisotropic Nanofluidic Array)デバイス	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0135]等速電気泳動を用いた一細胞スケールRNA 抽出における効率の評価	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0136]創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイスの開発⑤	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0137]CSAC用MEMS型Csガスセルの開発（２）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-301 ウエハ接合装置 F-KT-302 ダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0138]単結晶シリコンのへき開によるナノギャップ形成とギャップ間の熱・電子移動計測	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0139]抗原抗体反応の検出を目的とした横波型薄膜共振子MEMSセンサの創製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0140]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0141]多層膜による波長選択赤外線源の開発	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0142]臨床検査デバイスの開発 2	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0143]自動車用エンジンの超高効率化のための給気ガス改質技術の開発２	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0144]遷移金属ダイカルゴゲナイドとフラーレンの複合体	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0145]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0146]半導体プロセス基礎実験 2	F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0147]薄膜形成及びドライエッチングによる試料加工技術の開発2	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0148]ハサミアジサシ類のくちばしに見られる微細構造の機能解明	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0149]固体高分子形燃料電池の電極触媒に関する研究	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価) F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0150]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0151]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究　その２	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-235 ICP質量分析装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0152]希土類添加酸化物薄膜を用いた無機ELの開発	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0153]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0154]微量化学物質除去に及ぼす有機膜表面のゼータポテンシャルの影響の検討	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0155]金属メタマテリアルによるテラヘルツ電場制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0156]プラズモニック金ナノ粒子凝集体構造を有するMEMS共振器	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0157]単独金ナノ粒子二量体の表面増強ラマン分光特性	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0158]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析２	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0159]色素増感太陽電池用対極基板のＦＴＯガラスのパターニングの検討	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0160]水晶振動子の不良再現試験	F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0161]セルロースナノファイバー開発に関する相談	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0162]3次元加工性を有するセルロースナノファイバー強化樹脂材料の開発	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0163]高分解能電流経路映像化システムの開発	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0164]バイオMEMSデバイス試作に関して	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0165]サブミクロンパターンの試作	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0166]電子線描画装置アドバンストコース（CUPAL）	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0167]プラズマ曝露による絶縁薄膜の粘弾性特性変化の研究　２	F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0168]シリコンフォトニック結晶の作製と構造評価	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0169]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析３	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0170]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価　２	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-16-KT-0171]プラズマ曝露されたSi基板表面の反応層の解析	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0001]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0002]マイクロ構造を有するPDMS薄膜の作成	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0003]感光性材料の加工技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0004]シリコンコロイドから作る多孔質Si膜の電気的性質	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0005]低蒸気圧有機溶媒を利用した新規マテリアル創生に関する研究	F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0006]GRENE先進環境材料・デバイス創製スクール「フォトニックコース」実習編	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0007]プラズマスパッタによる Si ナノワイヤ形成	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0008]マイクロ構造を有するPDMS薄膜の作成	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0009]異方的な物性をもったコロイド粒子の作製	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0010]ポリイミド膜上での微細銅パターンの作成	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0011]薄膜材料の反応生成モデリングおよび電極材料の構造特性評価その１	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0012]薄膜材料の反応生成モデリングおよび電極材料の構造特性評価　その2	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0013]単結晶薄膜ACoO3 (A=Ca, Sr)の構造評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0014]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0015]高性能圧電薄膜による高感度超音波トランスデューサの開発	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0016]ガラス部材の先端的加工技術開発	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0017]シリコンの機械特性に及ぼす寸法・温度効果	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0018]シリコンの機械特性に及ぼす寸法・温度効果、その２	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0019]残光性量子ドットの合成と残光機構	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0020]カンチレバーを用いた高周波ESR測定法の開発	F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0021]金属薄膜の微細加工に関する一考察	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0022]樹脂モールドの耐久性検討	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0023]X線位相イメージング用位相格子の作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0024]高解像度LEDプリントヘッド用LEDアレイチップの開発	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0025]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-235 ウェハ汚染計測装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0026]半導体および絶縁体のナノ構造評価　その１	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0027]半導体および絶縁体のナノ構造評価　その２	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0028]π－π相互作用を介した共役ポリマー間のキラリティ転写	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0029]積層フィルムの断面観察	F-KT-228 液滴吐出描画装置 F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0030]ポリマーMEMS製作技術の開発	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0031]酸化アルミナを鋳型とした微細表面構造を有するポリマー薄膜の作製	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0032]レリーフ効果のホログラム試作	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0033]各種配水管材質に対する細菌、微粒子の付着特性の検討	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0034]ナノ構造による光制御技術	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-251 レーザアニール装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0035]ナノテクノロジーによる地球天然物を基にした新多機能性材料の開発	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0036]臨床検査デバイスの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0037]臨床検査デバイスの開発その２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0038]サブミクロンパターンの試作	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0039]ポリマ光変調器の低消費電力化	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0040]ポリマ光変調器の低消費電力化その２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0041]ＩＴＯナノドットアレイの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0042]窒化チタンプラズモニックアレイの作製	F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0043]メソポーラスシリカ薄膜を利用した異方性プラズモニック構造の作製	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0044]創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイスの開発 ①	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-295 移動マスク紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0045]創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイスの開発 ②	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0046]圧電膜を利用した音響センサ作製	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0047]薄膜形成及びドライエッチングによる試料加工技術の開発	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0048]サブミクロンAu粒子による気密封止接合	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0049]塗布型太陽電池の薄膜構造評価	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0050]圧電薄膜の作成	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0051]ファインバブルの無機材料合成への応用	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0052]走査型プローブ顕微鏡を用いた細胞集合体の強度測定	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0053]DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0054]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開 (2)	F-KT-302 ダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0055]GRENEフォトニックコース実習	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0056]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0057]多点同時レーザー照射によるガラス組成の空間分布の制御	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0058]半導体異種材料接合の研究	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0059]標準シリコン酸化膜の膜厚測定	F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0060]二酸化バナジウムを用いたキャパシティブ・インダクティブ特性の切り替え可能なテラヘルツメタ表面の実現	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0061]ガラスの微細加工	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0062]低温陽極接合をもちいたパッケージング技術の封止性能評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0063]GRENEフォトニックコース実習２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0064]二酸化バナジウム膜のドライエッチングによるパターニング	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0065]VUV還元酸化グラフェンFETの作製とその電気特性評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-292 半導体パラメータアナライザ F-KT-289 マニュアルプローバ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0066]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0067]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究 (2)	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0068]3D-MEMS加工技術を利用したマイクロ宇宙推進機の抜本的な推進効率の向上	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0069]プラズマ暴露による有機系薄膜の誘電率変化の研究	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0070]感光性ポリイミドを用いた、たんぱく質構造解析用チップの製作	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0071]石英ガラスモールドの作製	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0072]プラズマ用インジケータの開発	F-KT-299 ICP-RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0073]Ｘ線１分子動態計測用低ノイズマイクロチャンバの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-295 移動マスク紫外線露光装置 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0074]マイクロ流体デバイスの埋め込み型の金属配線パターン作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置 F-KT-300 簡易RIE装置 F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0075]イオン液体型圧力センサの作製プロセスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0076]結晶系太陽電池ウェハの微細表面構造創製	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0077]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0078]メタマテリアルを用いたバイオセンシング	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0079]圧電薄膜を用いたMEMS素子の作製	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0080]浮遊微粒子捕集用マイクロ流路デバイスの作製	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0081]固体中におけるスピン流輸送現象の解明	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0082]固体中におけるスピン流輸送現象の解明、その２	F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-274 X線回折装置 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0083]MEMSデバイスの温度特性改善	F-KT-285 真空プローバ F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0084]ポーラスシリコン電極への金属めっき	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0085]強誘電体材料を用いた高効率燃料電池の実証	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0086]強誘電体材料を用いた高効率燃料電池の実証２	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0087]MEMSセンサ	F-KT-292 半導体パラメータアナライザ F-KT-289 マニュアルプローバ F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0088]ナローバンド吸収特性を有するプラズモニックナノ構造	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0089]メタマテリアルを用いたバイオセンシング, その２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0090]高感度表面増強ラマン分光分析技術のための金ナノ粒子二量体配列の作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0091]INCONEL alloy617 合金の微細析出物の観察	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0092]内部酸化銀の微細酸化物の観察	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0093]架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0094]80 μm角センサの10×10アレイを用いたSOI静電容量型加速度センサ	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0095]自己組織化ナノ細孔を用いたナノポアDNAセンサの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡 F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0096]ナノ粒子表面状態と細胞との相互作用に関する研究	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0097]ひずみゲージ集積型単結晶シリコンマイクロ構造の並列引張疲労試験	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0098]単層グラフェンの破壊特性評価	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0099]多孔性高分子の構造と物性	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0100]一本鎖DNAを修飾した単層CNTの金ナノ電極への架橋アセンブルと特性評価	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0101]へき開破壊によるナノギャップ創製MEMSデバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0102]DLC薄膜でコーティングしたシリコンマイクロ構造の引張試験	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0103]多孔性高分子の構造と物性　２	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0104]Siウェハへの微細穴加工の実施	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0105]植物の成長モニタリング用MEMSセンサの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0106]高集積化可能な強誘電体メモリー素子の作成	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0107]局所プラズモン共鳴によって誘起されたマランゴニ流における表面の濡れ性の影響	F-KT-276 三次元粒子トラッキングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0108]VO2薄膜のサーモクロミズムによる熱ふく射の波長制御	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0109]金属メタマテリアルによるテラヘルツ電場制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0110]新方式アルミ製放熱材の量産技術開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0111]GRENE事業　「高効率照明用窒化物蛍光体材料開発と省エネ照明デバイスの実証」	F-KT-263 ダイボンダ F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0112]GRENE事業　「高効率電力変換用パワーデバイス材料開発とデバイスの実証」	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0113]GRENE事業　「新規鉛フリー圧電体材料開発と高周波振動発電デバイスの実証」	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0114]GRENE事業　「高効率照明用窒化物蛍光体材料開発と省エネ照明デバイスの実証」	F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ F-KT-263 ダイボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0115]GRENE事業　「高効率電力変換用パワーデバイス材料開発とデバイスの実証」	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0116]大面積超高精度電子線描画装置を用いたサブミクロンピッチ回折格子金型の製作	F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0117]ナノポーラスSiO2エレクトレット開発にむけたSi熱酸化膜形成およびその評価	F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0118]混合潤滑特性に及ぼす表面ディンプルパターンの影響	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0119]Si微細構造形成の研究	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0120]抗原抗体反応の検出を目的とした横波型薄膜共振子MEMSセンサの創製	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0121]新規デバイス向けウェハ微細パターニング	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0122]色素増感太陽電池への自然材料の応用	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0123]寸法効果を利用したサブミクロンギャップ垂直櫛歯型SOI加速度センサアレイ	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0124]電子線描画装置入門コース（CUPAL）	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0125]細胞内物質導入の基礎研究その２	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0126]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0127]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価　その２	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0128]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0129]MEMSチップステージの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0130]せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0131]新規鉛フリー圧電体材料開発と高周波振動発電デバイスの実証　２	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置 F-KT-251 レーザアニール装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0132]光学顕微鏡の結像ユニットの作製1	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0133]光学顕微鏡の結像ユニットの作製２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0134]メッシュ培養法を用いた高次細胞構造の作製技術	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0135]静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0136]シリコン加工技術を用いた300 GHz帯導波管型平面アンテナの研究	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0137]GRENEフォトニックコース実習 No.3	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0138]創・省エネデバイスコース実習セミナー	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0139]溶液プロセスによる有機薄膜トランジスタの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0140]光学式バイオセンサの研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0141]セルロース系単層カーボンナノチューブ分散材料の開発とトランジスタ応用	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0142]リン脂質含有リポソームの生理機能と物性の相関研究	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0143]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-302 ダイシング装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0144]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析　２	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0145]セラミック微粒子へのW電極形成	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0146]金属塩含有疎水性イオン液体中の水分	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0147]圧電薄膜の形成	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0148]フォトリソグラフィー工程を用いた回折格子素子の開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0149]DNAオリガミのサイズ分離用ANA(Anisotropic Nanofluidic Array)デバイス	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0150]MEMS技術支援に関する相談	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0151]MEMS加速度センサの開発	F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0152]細胞内物質導入の基礎研究	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0153]サーモバイルデバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0154]ガラス基板の表面粗さの接合性に及ぼす影響	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0155]コロイドプローブAFMおよびMEMS創成技術を用いた極限流体潤滑の実現と評価	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0156]バイオ・MEMS実践セミナー実習コース	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0157]大面積超高精度電子線描画装置を用いたサブミクロンピッチ回折格子金型の製作 2	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0158]キラルネマチック相を示す液晶性イオン液体反応場でのヘリカルPEDOTの電解重合	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0159]SiO2膜の成膜実験	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0160]単結晶シリコンマイクロ構造高温機械特性に及ぼす構造寸法と結晶異方性の影響	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0161]SOFC(Solid Oxide Fuel Cell)の実験及び数値解析	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0162]平成２７年度ナノテクノロジープラットフォーム学生研修プログラム	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0163]電子線描画装置中級者コース（CUPAL）	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0164]ナノプローブを用いたマイクロ流路内流体温度計測技術の開発	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0165]生体筋の特徴を有したバイオアクチュエータの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-242 熱酸化炉
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0166]次世代集積ガラスバイオ流体デバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0167]機能性材料薄膜形成についての技術相談	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-15-KT-0168]有機ポリマー微細加工	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0001]固体酸化物形燃料電池コンポジット電極の微細構造解析	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0002]温度反転液晶を用いたらせん状高分子の制御	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0003]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0004]多結晶シリコンMEMS構造共振特性評価	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0005]ナノポーラス金属薄膜の創製と特性評価　その２	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0006]光学顕微鏡の開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0007]創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイスの開発　その２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0008]微小化された細胞内膜電位記録用電子回路の作成	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0009]半導体および絶縁体内部に形成したナノ構造の評価	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0010]メタマテリアルを用いたバイオセンシング	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0011]GRENE先進環境材料・デバイス創製スクール「フォトニックコース」実習編	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0012]π－π相互作用を介した共役ポリマーの凝集体形成	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0013]X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0014]シリコンナノワイヤの熱伝導率測定	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0015]微粒子の振動輸送	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0016]マイクロ流体デバイス中での等速電気泳動を用いた抗原抗体反応の促進	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0017]キネシンモータタンパク質固定のためのナノピラーの作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0018]単結晶薄膜ACoO3 (A=Ca,Sr)の構造評価	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0019]ＮｂドープＰＺＴスパッタリングターゲットによる成膜とその特性評価	F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0020]ステルスダイサーを用いたSi基板のチップ化	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0021]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0022]自立薄膜形成方法の検討	F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0023]圧電薄膜を用いたMEMS素子の作製	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0024]フォノンエンジニアリングに向けたグラフェンヘテロ構造の界面制御	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0025]DNAオリガミのサイズ分離用ANA(Anisotropic Nanofluidic Array)デバイス	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0026]高分子系複合材料の機能性発現に関する微視的材料メカニクスの解明	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0027]強誘電体材料を用いた高効率燃料電池の実証	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0028]ポリイミド膜のドライエッチング評価とそれに基づく改良検討	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0029]貫通穴形状を持ったMEMS構造物の製造方法と、高段差ウエハのダイシング方法開発	F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-302 ダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0030]圧延再結晶集合組織金属テープを用いた高温超伝導線材の開発研究	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0031]薄膜ピエゾの圧電特性	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0032]ナノテクプラットフォーム技術支援者交流プログラム	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0033]Van Der Pauw法による半導体膜（炭素系）の抵抗測定	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0034]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御；擬似表面プラズモンを用いた光の起動角運動量に関する光学遷移選択則の研究	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0035]燃料電池用触媒の開発	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0036]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究　その２	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0037]放射性核種の環境動態に関するナチュラルアナログを用いた研究　その１	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0038]ポリイミド基板上の絶縁破壊の条件に関する研究	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0039]ポリイミド基材上での微細加工	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0040]電子線描画装置入門コース（CUPAL）	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0041]感光性ポリイミドを用いた、たんぱく質結晶成長デバイスの開発	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0042]ナノポーラス金属薄膜の創製と特性評価	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0043]サブミクロンAu粒子による気密封止接合	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-297 ナノインプリント装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0044]半導体異種材料接合の研究 (1)	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0045]半導体異種材料接合の研究 (2)	F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0046]MEMS技術を用いたマイクロ流路の作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0047]光電子デバイス応用へ向けた原子層材料の光学特性の解明	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0048]圧電MEMS用下部電極材料の開発	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0049]高Ｑ値シリコンフォトニック結晶ナノ共振器の高度化に向けた検討	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0050]高解像度LEDプリントヘッド用LEDアレイチップの開発　その２	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0051]フォトリソグラフィー工程を用いた回折格子素子の開発	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0052]ダイヤモンド上への反転フォトリソグラフィー手法の確立	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0053]高解像度LEDプリントヘッド用LEDアレイチップの開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0054]ナノ構造による光制御技術　２	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0055]高抵抗アルミナ膜作製の基礎検討	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-289 マニュアルプローバ F-KT-292 半導体パラメータアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0056]結晶系太陽電池ウェハの微細表面構造創製	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0057]結晶系太陽電池ウェハの微細表面構造創製　２	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0058]ナノ構造による光制御技術　２	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0059]MEMSセンサ	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0060]MEMSセンサ　(2)	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0061]溶融塩電気化学プロセスで得られた炭素めっき膜の構造解析	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0062]カルコパイライト型リン化物を用いた新規太陽電池の創製	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0063]Siウエハ独立回路への無電解めっきプロセス	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0064]半導体および絶縁体内部に形成したナノ構造の評価　２	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0065]単結晶シリコンマイクロ構造高温機械特性に及ぼす構造寸法と結晶異方性の影響	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0066]動的解析を用いた非対称シリコン・マイクロミラーの高励振効率化に関する研究	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0067]GRENE事業　「強誘電体材料を用いた高効率燃料電池の実証」	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0068]シリコン単結晶薄膜の衝撃破壊特性に及ぼす温度の効果（その１）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0069]シリコン単結晶薄膜の衝撃破壊特性に及ぼす温度の効果 (その２)	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0070]酸化バナジウムを用いたアクティブパーフェクトアブソーバの開発	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0071]金属ナノ粒子粒度測定	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0072]溶液中のカーボン粒子分散状態とその安定性検討	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0073]ガラス基板の表面粗さの接合性に及ぼす影響	F-KT-253 基板接合装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0074]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0075]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製　（２）	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0076]軽金属用電気伝導率推定システムの開発	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0077]フェムト秒レーザーによるエレクトライド活性	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0078]金属アルミニウムの腐食を利用した水素発生装置の作製	F-KT-231 スプレーコータ F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0079]自己補対メタ表面の周波数無依存応答	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0080]キャビティ付SOIウェハの作製	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0081]圧電薄膜を用いたMEMS素子の作製（２）	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0082]ダイヤモンド成長とデバイス応用	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0083]DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0084]MEMSデバイスの振動状態観察	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ F-KT-285 真空プローバ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0085]MEMSデバイスの温度特性改善	F-KT-285 真空プローバ F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0086]リソグラフィーを用いた微細構造形成技術の開発	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0087]真空蒸着による極薄金属膜の作製	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0088]単結晶シリコンのへき開によるナノギャップ形成	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0089]ナノ構造の試作	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0090]単結晶シリコン自立マイクロ構造のKrFエキシマレーザ局所アニールによる表面改質および機械的信頼性向上	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0091]ナノゲル集積マテリアルの構造と物性に関する研究	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0092]誘電体膜のナノパターニング加工（2）	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0093]寸法効果を用いたサブミクロンギャップを有するSOI静電容量型加速度センサアレ	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0094]アルミニウム薄膜の微細加工に関する研究	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0095]微粒子表面の観察	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0096]FeSi2薄膜を用いた赤外線吸収・放射特性の制御	F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0097]MEMS技術を用いた高機能マイクロハンドエンドエフェクタの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0098]赤血球変形能計測用マイクロデバイスの開発	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0099]赤血球変形能計測用マイクロデバイスの開発　２	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0100]イオン液体潤滑膜のマイクロトライボロジー	F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0101]レーザー集光照射によって生じた石英ガラス内部の微細構造の解析	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0102]多点同時レーザー照射によるガラス組成の空間分布の制御	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0103]ポリマ光変調器の低消費電力化	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0104]ポリマ光変調器の低消費電力化２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0105]数10nm～数100nm径Hole Array，Pillar ArrayおよびGratingの形成、その２	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0106]数10 nm～数100 nm径Hole Array，Pillar ArrayおよびGratingの形成,その３	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0107]非鉛圧電膜の加工技術	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0108]駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの作製	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-249 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0109]poly-Si擬2次元周期微細構造の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0110]自立膜を形成したウェハのレーザーダイシング検討	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0111]酸化アルミナを鋳型とした微細表面構造を有するポリマー薄膜の作製	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0112]高性能圧電薄膜による高感度超音波トランスデューサの開発	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0113]Si構造体を用いたVOCガス吸着体	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0114]熱溶解積層3Dプリンタにおけるプラスチック固化過程の可視化解析用マイクロデバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0115]波長以下の超微細金型加工の研究	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0116]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発	F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-302 ダイシング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0117]非対称シリコン・マイクロミラーの高励振効率化に関する研究	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0118]ガス分離ポリマー膜の開発	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0119]カーボンナノチューブセンサーアレー	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0120]有機ポリマー微細加工	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0121]ポリマーMEMS製作技術の開発	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0122]多孔性高分子の構造と物性	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0123]新規デバイス向けウェハ微細パターニング	F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0124]新規デバイス向けウェハ微細パターニング　２	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0125]大面積超高精度電子線描画装置を用いたナノインプリント用シリコンモールドの作製	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0126]高配向メソポーラスシリカ薄膜を基板とする金属メソグレーティング構造の作製	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0127]ナノインプリントを用いた金ナノ粒子周期構造の作製	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0128]フォトマスクおよびナノインプリント用モールド開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0129]ポリマーMEMS製作技術の開発２	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0130]薄い膜厚のコロイド結晶の形成	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0131]サブミクロン周期の三次元周期構造体形成	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0132]「プラズマインジケータ」の研究開発	F-KT-299 ICP-RIE装置 F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0133]「プラズマインジケータ」の研究開発　(２)	F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0134]塗布型太陽電池の薄膜構造評価	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0135]GRENE事業　「高効率電力変換用パワーデバイス材料開発とデバイスの実証」	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0136]樹脂とカーボンの複合体作製と評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0137]GRENE事業　「創・省エネデバイス実習セミナー」	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0138]GRENE事業　「新規鉛フリー圧電体材料開発と高周波振動発電デバイスの実証」	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0139]ナノ粒子配列を用いた高感度表面増強ラマン分光分析技術	F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0140]ナノ粒子配列ナノ流体デバイスを用いた表面増強ラマン分光分析技術　２	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0141]ナローバンド光吸収特性を有するプラズモニック金ナノ構造の作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0142]創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイスの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-295 移動マスク紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0143]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0144]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発　３	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0145]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発　２	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0146]Si基板のドライエッチングによる大面積微細構造形成	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0147]難加工材のドライエッチング加工	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0148]リン脂質含有リポソームの生理機能と物性の相関研究	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0149]ナノ要素集合薄膜の変形剛性特性評価 No.2	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0150]圧延再結晶集合組織金属テープを用いた高温超伝導線材の開発研究　２	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0151]キラルネマチック相を示す液晶性イオン液体反応場でのヘリカルPEDOTの電解重合	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0152]COI 「細胞組織化と血液検査」	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0153]COI 「細胞組織化と血液検査」 (2)	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0154]圧電駆動方式MEMS光スキャナの開発	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0155]X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発　２	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0156]抗原抗体反応の検出を目的とした横波型薄膜共振子センサの開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0157]一本鎖DNA修飾した単層カーボンナノチューブの電気・機械特性評価	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0158]ブロックコポリマーの配向自己組織化を用いたナノリソグラフィー	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0159]ひずみゲージ集積型単結晶シリコンマイクロ構造の並列引張疲労試験	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0160]金属共振器を用いた高効率テラヘルツ磁気励起手法の開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-14-KT-0161]波長以下の超微細金型加工の研究2	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0001]圧電膜を利用した音響センサ製作	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0002]ナノ構造薄膜を用いた発熱の空間的時間的制御	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0003]多段ICP-RIEプロセスによるSiナノワイヤのMEMS集積化	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-299 ICP-RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0004]液相法による機能性ナノ・マイクロ構造の構築	F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0005]高分子系複合材料の機能性発現に関する微視的材料メカニクスの解明	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0006]マイクロ機械構造体の信頼性向上のための単結晶シリコンの破壊特性評価	F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0007]フォトリソグラフィーを使ったメタマテリアルの作製（１）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0008]微細回折格子の作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0009]無機材料物性の光学特性と構造の解析による評価	F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0010]ポリマ光変調器の低消費電力化	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-274 X線回折装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0011]シリコン単結晶のマイクロ疲労試験	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0012]金属塩含有疎水性イオン液体中の水分	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0013]ナノポーラス金属薄膜の創製と特性評価	F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0014]Zr合金酸化膜中の重水素拡散に及ぼすイオン照射の影響	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0015]ブロックコポリマーの配向自己組織化を用いたナノリソグラフィー	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0016]シリコン単結晶の脆性延性遷移に及ぼす寸法効果の評価	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0017]ナノポーラス金属薄膜上の細菌・細胞観察	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0018]中枢神経軸索の再生	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0019]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0020]微細構造プラズモニックチップの射出成形金型加工	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0021]細胞培養用ハイドロゲル基盤のAFM顕微鏡システムによる弾性測定	F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0022]一本鎖DNAを修飾したSWCNTの電気、機械特性評価	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0023]カーボンナノチューブの機械特性評価のためのMEMS引張試験デバイスの製作	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0024]抵抗変化薄膜の光学特性の評価	F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0025]高分子系複合材料の機能性発現に関する微視的材料メカニクスの解明（２）	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0026]ナノギャップ熱伝達測定デバイスの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0027]ドライエッチングによるフォトマスクの作製	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM) F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0028]シリコン単結晶の脆性延性遷移に及ぼす寸法効果の評価（その２）	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0029]延性脆性遷移温度における単結晶シリコン薄膜のマイクロ引張試験	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0030]3DプリンタによるSOFC 電極微構造の拡大再構築および形状再現性の評価	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0031]細胞親和性付与のための高分子表面改質	F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0032]両側静電駆動MEMS光チョッパによる時間分解顕微ラマン分光	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0033]フォトリソグラフィーを使ったメタマテリアルの作製 (2)	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-301 ウエハ接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0034]多原子分子イオンを用いた表面改質および新規マテリアル創生に関する研究	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0035]光学波面補償のための静電型可変形状ミラーの作製	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0036]ナノ・マイクロ加工技術による細胞機能制御	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-276 三次元粒子トラッキングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0037]強誘電体材料を用いた高効率燃料電池の実証	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0038]ジブロック共重合体の自己組織化を用いたフェリチンの配列制御に関する研究	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0039]GRENE先進環境材料・デバイス創製スクール「フォトニックコース」実習編	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0040]エキシマレーザアニールによるシリコンマイクロ構造の表面改質	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0041]非鉛圧電膜の加工技術	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0042]インプリント用ガラスモールドの量産課題検討	F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0043]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0044]MEMSデバイスの小型化	F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0045]Van Der Pauw法による半導体膜（炭素系）の抵抗測定	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0046]SAWデバイスの評価	F-KT-289 マニュアルプローバ F-KT-290 RFプローブキット
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0047]固体電解質の研究開発	F-KT-263 ダイボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0048]MEMSデバイスの小型化	F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0049]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製(2)	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0050]MEMSウエハSD加工	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0051]数10nm～数100nm径Hole Array，Pillar ArrayおよびGratingの形成	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0052]血管内皮細胞HUVECの培養デバイスの製作	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0053]蛋白質1分子動態計測に用いるナノインプリント法でサイズ制御した金ナノ結晶の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0054]微細パターン形成用金属系ナノ粒子及びその分散液の開発	F-KT-228 液滴吐出描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0055]３次元リソグラフィ用プロセス最適化シミュレータの開発（２）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0056]創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0057]X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバーの開発	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-241 プラズマCVD装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0058]Siウエハ（Alパッド）への表面処理について	F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0059]小型原子磁気センサ用アルカリ金属蒸気セルの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0060]小型原子磁気センサ用アルカリ金属蒸気セルの開発②	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0061]ナノインプリントによる３次元フォトニック結晶の作製	F-KT-254 ナノインプリントシステム F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0062]ダイヤモンド成長とデバイス応用	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0063]CVD法を用いて合成した単層MoS2の発光測定	F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0064]圧電薄膜を用いたMEMS素子の作製	F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-260 エキスパンド装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0065]ナノファイバーの物性研究	F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0066]メソポーラスシリカのフォトニクス応用	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0067]有機強誘電体の面内分極反転	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0068]細胞内物質導入の基礎研究	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-276 三次元粒子トラッキングシステム F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0069]MEMSセンサ	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価) F-KT-257 ダイシングソー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0070]Deep-RIEのエッチング高速化と加工壁面の平滑化	F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0071]感光性樹脂を用いた微細加工	F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0072]強誘電体材料を用いた高効率燃料電池の実証	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0073]マイクロ流路中でキネシンにより駆動される微小管フィラメントの構造情報に基づく運動方向制御	F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0074]誘電体膜のナノパターニング加工1	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0075]誘電体膜のナノパターニング加工2	F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0076]サブミクロンAu粒子による気密封止接合	F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0077]超低電圧駆動ポリマ光変調器	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0078]ナノインプリントによる３次元フォトニック結晶の作製（２）	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0079]「プラズマインジケータ」の研究開発	F-KT-299 ICP-RIE装置 F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0080]サブミクロン周期構造に関するプロセス課題抽出	F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0081]MEMSデバイスの温度特性改善	F-KT-285 真空プローバ F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0082]MEMSデバイスの温度特性改善（２）	F-KT-285 真空プローバ F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0083]高解像度LEDプリントヘッド用LEDアレイチップの開発	F-KT-223 露光装置(ステッパー) F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0084]CNT複合体の膜形成技術の開発	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0085]新規鉛フリー圧電体材料開発と高周波振動発電デバイスの実証	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0086]新規鉛フリー圧電体材料開発と高周波振動発電デバイスの実証（２）	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-251 レーザアニール装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0087]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0088]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発（２）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-227 紫外線露光装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0089]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0090]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御（２）	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0091]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御（３）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0092]接点変調によるチェッカーボード型メタ表面の転移現象	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0093]ナノインプリントを利用した三次元周期構造形成	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0094]ナノインプリントを利用した三次元周期構造形成（２）	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0095]医療診断用銀微粒子プラズモン電場増強素子とその応用装置の開発	F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0096]接点変調によるチェッカーボード型メタ表面の転移現象	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0097]CVD法により形成した絶縁膜の評価解析	F-KT-284 プローバ F-KT-286 パワーデバイスアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0098]ナノインプリント用モールド開発	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0099]表面増強ラマン分光におけるナノ粒子配列の方向依存性評価	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0100]多点微小流体を用いたマイクロバイオマニピュレーションに関する研究	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-242 熱酸化炉 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0101]フィルム基材上の薄膜構造解析	F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-274 X線回折装置 F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0102]マイクロ流路の作製（MEMS実践セミナー）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM) F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0103]高感度光導波路型センサの開発	F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0104]カルコパイライト型リン化物を用いた新規太陽電池の創製	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0105]マイクロ流路を有する水素供給セルの作製と燃料電池への応用	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0106]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0107]poly-Si擬2次元周期微細構造の作製	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0108]金ナノ粒子配列を用いた4,4’-ビピリジンの高感度ラマン分光分析	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0109]マイクロ流路の試作	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0110]多点同時レーザー照射によるガラス組成の空間分布の制御	F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0111]溶液中における微細粒子の会合状態検討	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-274 X線回折装置 F-KT-278 ダイナミック光散乱光度計
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0112]カルコパイライト型リン化物を用いた新規太陽電池の創製（２）	F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0113]細胞コロニーの大きさを制御するためのマイクロポア膜の開発	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0114]AFM用シリコン先鋭化探針の作製	F-KT-251 レーザアニール装置 F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0115]ナノ粒子配列マイクロナノ流体デバイスを用いた表面増強ラマン分析	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0116]Si基板への金属ナノ構造形成	F-AT-083 走査プローブ顕微鏡SPM2〔SPM-9600/9700〕
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0117]ナノ粒子直鎖配列を用いた高感度表面増強ラマン分光分析技術	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0118]溶液中における微細粒子の会合状態検討（２）	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0119]MEMS加工を用いた中空構造の形成	F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価) F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0120]圧電膜を利用した音響センサ製作（２）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0121]有機ポリマー微細加工	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0122]薄膜ピエゾの圧電特性	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0123]GRENE Project新規鉛フリー圧電体材料開発と高周波振動発電デバイスの実証	F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B) F-KT-251 レーザアニール装置 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0124]半導体基板加工	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1 F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0125]微小管運動アッセイ用マイクロ流体デバイスの製作	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-296 両面マスクアライナ露光装置 F-KT-301 ウエハ接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0126]多点櫛形電極の作成	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2 F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0127]医療用マイクロ濃縮機における構造の最適化に関する研究	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置 F-KT-253 基板接合装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0128]赤血球変形能計測用マイクロデバイスの開発	F-KT-276 三次元粒子トラッキングシステム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0129]炭化物ナノシートの評価	F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0130]圧延再結晶集合組織金属テープを用いた高温超伝導線材の開発研究	F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0131]薄膜ピエゾの圧電特性（２）	F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0132]貫通穴形状を持ったMEMS構造物の製造方法と、高段差ウエハのダイシング方法開発	F-KT-255 赤外透過評価検査 / 非接触厚み測定機 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0133]ポリマーMEMS製作技術の開発	F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0134]高効率電力変換用パワーデバイス材料開発とデバイスの実証	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 F-KT-274 X線回折装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0135]多点櫛形電極の作成（２）	F-KT-244 深堀りドライエッチング装置2
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0136]GRENE Project 　創エネデバイス（圧電）コース実習	F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A) F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-258 真空マウンター F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0137]赤血球変形能計測用マイクロデバイスの開発（２）	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0138]マスクレス露光装置を用いた立体構造ＰＣ基板露光	F-KT-225 高速マスクレス露光装置 F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0139]有機機能性微小単結晶を用いた薄膜電子デバイス作成	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置 F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置 F-KT-230 レジスト塗布装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-246 ドライエッチング装置 F-KT-239 真空蒸着装置1 F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0140]微細加工技術を用いた水晶センサの製作	F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置 F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0141]GRENE Project 高効率照明用窒化物蛍光体材料開発と省ｴﾈ照明ﾃﾞﾊﾞｲｽの実証	F-KT-262 ボールワイヤボンダ F-KT-263 ダイボンダ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0142]ダイヤモンド上への反転フォトリソグラフィー手法の確立	F-KT-226 両面マスクアライナー F-KT-240 真空蒸着装置2 F-KT-279 触針式段差計(CR) F-KT-257 ダイシングソー F-KT-256 レーザダイシング装置 F-KT-258 真空マウンター F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0143]配向性を有する細胞シートの作製と評価	F-KT-224 レーザー直接描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0144]テラヘルツ波用パッチアンテナに関する研究	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置 F-KT-232 レジスト現像装置 F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0145]磁石薄膜とSiウェハとの密着性検討	F-KT-257 ダイシングソー F-KT-259 紫外線照射装置 F-KT-260 エキスパンド装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0146]イオン液体潤滑膜のマイクロトライボロジー	F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0147]細胞接着のマイクロ・ナノスケール解析	F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0148]ナノインプリント用モールド開発	F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0149]多結晶シリコンMEMS構造共振特性評価	F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-13-KT-0150]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開	F-KT-257 ダイシングソー
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0001]医療診断用銀微粒子プラズモン電場増強素子とその応用装置の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0002]細胞分裂期の細胞膜にかかる張力と分裂軸制御	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0003]CKプロジェクト・バイオイメージングデバイス開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0004]X線1分子計測法の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0005]サイズ制御されたナノ粒子の作製	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0006]プログラマブル・セルフ・アセンブルを用いたＭＥＭＳとナノ構造の融合	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0007]ナノ粒子表面状態と細胞との相互作用に関する研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0008]薄膜材料の反応生成モデリングおよび電極材料の構造特性評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0009]ナノインプリントを利用した三次元周期構造形成	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0010]細胞親和性付与のための高分子表面改質	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0011]薄膜複合材料の機能性発現に関する微視的材料メカニクスの解明	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0012]MEMS流量センサーの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0013]表面状態の改質	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0014]高分子溶液を用いた電池の研究開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0015]MEMSデバイスの小型化	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0016]PZT圧電薄膜微細加工	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0017]圧電膜を利用した音響センサ製作	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0018]３次元リソグラフィ用プロセス最適化シミュレータの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0019]多チャンネルマイクロチップを用いる血清試料中のがんマーカーの高感度検出法の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0020]DNA/Siメモリトランジスタの基板作製	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0021]細胞操作用マイクロハンドならびに力センサの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0022]節付きBoschプロセスによる3層構造の作製	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0023]エキシマレーザアニールによるシリコンマイクロ構造の表面改質	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0024]MEMS振動型ジャイロスコープの加速度感度の低減	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0025]ビオチン修飾1本鎖DNAを用いたSWCNTの孤立アセンブル	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0026]SOG構造を用いた光MEMSチョッパの試作	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0027]マイクロ機械構造体の信頼性向上のための単結晶シリコンの破壊特性評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0028]多段ICP-RIEプロセスによるSiナノワイヤの作製	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0029]エレクトロポレーション技術を用いた細胞内物質導入の研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0030]細胞局所刺激用マイクロデバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0031]細胞間相互作用計測デバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0032]細胞外微小溶液環境調節デバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0033]ナノ構造体の機械特性評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0034]ナノ構造体の機械特性評価2	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0035]KNN圧電薄膜微細加工	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0036]GRENE教育事業「マイクロ・ナノ材料コース」	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0037]次世代グリーンセンサデバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0038]PZT圧電薄膜の転写加工	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0039]μ-TAS・MEMS用光硬化性樹脂組成物の光パターニング性評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0040]KNN圧電薄膜のコンビナトリアル成膜	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0041]Si基板上に形成した圧電薄膜の構造解析	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0042]生体分子とマイクロナノ構造の融合	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0043]ヒューマンエレクトロニクスに関するデバイス及びシステムの研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0044]マイクロ流路の作製及び構造計測	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0045]フィルム基材上の薄膜構造解析	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0046]圧延再結晶集合組織金属テープを用いた高温超伝導線材の開発研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0047]合成化合物の解析	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0048]薄膜ピエゾの圧電特性	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0049]μ-TAS・MEMS用光硬化性樹脂の細胞培養適性の評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0050]センシング研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0051]医用材料の表面修飾法の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0052]細胞分析のためのマイクロ流体システムの構築	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0053]グラフェンの走査プローブ顕微鏡による評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0054]クルクミンを用いた新規がん治療法の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0055]Shearing干渉計を用いたAt-wavelength波面計測法の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0056]多結晶ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0057]Si基板への金属ナノ構造形成	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0058]GRENE夏期集中講義　「創エネデバイス（圧電）コース」実習セミナー	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0059]細胞･生体分子のバイオメカニクス実験手法の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0060]ナノ光学用金属ナノ構造体の微細構造観察	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0061]金属材料の微細領域における力学的組織変形の観察	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0062]ナノゲル集積マテリアルの構造と物性に関する研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0063]多点同時レーザー照射によるガラス組成の空間分布制御	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0064]ソーダ石英ガラスのヒーリング挙動について	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0065]生体分子とマイクロナノ構造の融合	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0066]MEMSデバイスの温度特性改善	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0067]原子レベルで制御された極性結晶界面の開発とデバイスの実証	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0068]細胞内物質導入の基礎研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0069]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0070]セラミックス材料のエキシマレーザーアニールに関する研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0071]MEMSデバイス	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0072]マイクロ電極を用いた微小繊維の導電性評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0073]貴金属代替プラズモニクス材料の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0074]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0075]カルコパイライト型リン化物を用いた新規太陽電池の創製	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0076]医療用マイクロ濃縮機における構造の最適化に関する研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0077]液相法による機能性ナノ・マイクロ構造の構築	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0078]テラヘルツ波用パッチアンテナに関する研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0079]細胞内物質導入の基礎研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0080]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0081]ナノ粒子を用いた化学センサに関する研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0082]非鉛圧電膜の加工技術	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0083]基板ダイシング加工	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0084]高温斜め蒸着によるGa2O3ナノワイヤの成長に関する研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0085]光ピンセットを用いたマイクロ粒子に働く誘電泳動力の計測	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0086]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0087]マイクロ流路を用いた強磁場環境下における赤血球の磁気特性解明	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0088]摺動膜のヤング率測定	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0089]飲料水の研究開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0090]ポリマー微小光素子の研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0091]金ナノ構造体の微細構造観察	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0092]ナノ微細加工を応用した新規光学材料・デバイスの研究開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0093]メタマテリアルを用いたバイオセンシング	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0094]β-FeSi2薄膜による熱ふく射の制御	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0095]光学調整用基材へのSiO2スパッタ膜の密着性検証	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0096]強誘電体材料を用いた高効率燃料電池の実証	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0097]ナノインプリント用モールド開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0098]MEMSミラーに関する研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0099]新規デバイス向けウエハへの微細パターンニング	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0100]修飾方法の検討と評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0101]強誘電体材料を用いた高効率燃料電池の実証②	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0102]赤血球変形能計測用マイクロデバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0103]ポリイミド膜のドライエッチング評価とそれに基づく改良検討	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0104]小型、ローコストMEMSデバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0105]イオン液体潤滑膜のマイクロトライボロジー	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0106]Si流路加工	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0107]高密度光ストレージの研究開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0108]ナノインプリント用ガラスモールドの量産課題検討	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0109]誘電体薄膜のナノパターニング加工	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0110]ナノインプリントによる接着性能の改善	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0111]MEMS技術を応用したマイクロ流路の作製（ﾅﾉﾌﾟﾗ学生実習）	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0112]圧電薄膜を使用したMEMSデバイスの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0113]新しい太陽電池の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0114]水素化合物におけるγアルミナの触媒特性の研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0115]高効率照明用窒化物蛍光体材料開発と省エネ照明デバイスの実証	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0116]高効率電力変換用パワーデバイス材料開発とデバイスの実証	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0117]新規鉛フリー圧電材料開発と高周波振動発電デバイスの実証	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0118]ナノ構造体の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0119]MEMS技術を用いた新しい人工内耳の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0120]MEMSデバイスの作製プロセス開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0121]MEMSセンサの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0122]Si加工技術開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0123]ドライエッチングによる立体加工	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0124]Siナノワイヤの電子物性に関する基礎研究	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0125]石英基板の加工	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0126]X線回折測定による粉末試料の評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0127]インナー素材の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0128]SEMを用いたろ過膜の表面観察と膜ファウリング評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0129]ナノ微細構造の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0130]電子顕微鏡による細胞組織観察	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0131]MOSFETの絶縁膜厚とドレイン電流の関係調査	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0132]バイオMEMSの開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0133]強誘電体薄膜の開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0134]新規半導体薄膜形成のための原料開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0135]リチウムイオン電池の電極材料開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0136]有機トランジスタ素子の電気物性評価及び塗布による素子作製	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0137]光学機能性材料の加工性開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0138]微細回折格子の作製	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0139]透明導電膜の評価	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0140]貫通穴形状を持ったMEMS構造物の製造方法と、高段差ウエハのダイシング方法開発	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0141]多点櫛形電極の作製	(登録なし)
京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点 [F-12-KT-0142]溶液中における微細粒子の会合状態検討	(登録なし)