利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学 微細加工プラットフォーム]　
[東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名 利用装置名
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0001]マイクロ電極を用いたバイオ応用 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0002]知能デバイス構築のための電極作製 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0003]マイクロ流体デバイスをベースにした水質モニタリング用センサの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0004]血液凝固検出用光センサチップの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0005]バイオ試料の熱物性を計測するセンサの開発 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0006]ファンアウト型ウエハレベルパッケージ作製 		F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0007]3 次元パワーSoC 実現に向けてのプロセス技術の開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0008]微小孔アレイデバイスを用いた細胞解析技術の構築 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0009]デバイス試作および試作品解析 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0010]MOS-CAP 構造を利用したゲート酸化膜評価 		F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0011]MEMS 技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0012]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0013]Ni マイクロメッキ接合技術を用いた太陽電池インターコネクションの信頼性の研究 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-374 組立測定装置群(29.デジタルマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0014]スライダ用マイクロ溝・パターンの試作 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0015]イオン注入シリコンウェーハ表面における結晶性回復挙動解析 		F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0016]レジストパターンの形状解析 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0017]歯質再生に用いる新規歯科材料の開発 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0018]機械加工面形状測定用MEMS デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-21-FA-0019]沸騰・蒸発伝熱のマイクロスケール計測 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0001]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0002]ウェハパターンめっきの形状、分析 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0003]山形Cu リードを用いた基板埋込型パワーデバイス実装技術の研究 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0004]感光性樹脂の 研究 		F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0005]多様な物性測定のための電極作製と評価 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0006]マイクロ電極を用いたバイオ応用 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0007]弾性表面波デバイスの作製及びグラフェンの物性評価 		F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0008]ファンアウト型ウエハレベルパッケージ作製 		F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0009]高感度水晶MEMS センサの開発 		F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0010]微小孔アレイデバイスを用いた細胞解析技術の構築 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0011]3次元パワーSoC実現に向けてのプロセス技術の開発 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0012]デバイス試作および試作品解析 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0013]機械加工面形状測定用 MEMS デバイスの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0014]ダイヤモンドの高耐圧パワーデバイス応用 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0015]位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0016]MEMS技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0017]バイオマイクロデバイスの製作 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0018]歯科材料の表面分析 		F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0019]マイクロ流体デバイスをベースにした水質モニタリング用センサの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0020]電子ビームによる微細パターンの描画 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0021]ダイヤモンドダイオードの電極作製 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0022]絶縁体ベース誘電泳動デバイスの開発 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0023]三相界線の局所熱流束を計測するMEMS 熱流束センサの開発 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0024]機能性伝熱面の作製 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0025]スライダ用マイクロ溝・パターンの試作 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-20-FA-0026]血液凝固検出用光センサチップの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0001]ファンアウト型ウエハレベルパッケージ作製 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-374 組立測定装置群(29.デジタルマイクロスコープ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0002]微小孔アレイと微小電極アレイを有する細胞解析デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0003]マイクロ電極を用いたバイオ応用 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0004]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0005]多様な形状を有する電極の作製による電気物性評価 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0006]高精度MEMS 傾斜センサの開発 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0007]ウェハパターンめっきの形状、分析 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0008]パワー半導体デバイスの研究 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0009]バイオマイクロデバイスの製作 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0010]位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0011]MEMS 熱流束センサーを用いたミニチャネル内流動沸騰の研究 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0012]パワーデバイス用Ni マイクロメッキ接合の高温信頼性の研究 		F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0013]Si メタサーフェスの作製 		F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0014]ペロブスカイト薄膜の熱電特性 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0015]歯科用CAD/CAM コンポジットレジンの接着特性 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0016]３次元パワーSupply on Chip のプロセス技術の開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
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[F-19-FA-0017]MEMS 技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0018]MOS 構造サンプルを用いたシリコンウェーハのCV 特性評価 		F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0020]ダイヤモンドトランジスタの微細ゲートとプロセス用フォトマスクの作製 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0021]機械加工面形状測定用MEMS デバイスの開発 		F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0022]水晶を用いた高感度MEMSセンサの開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0023]機能性伝熱面の作製 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0024]デバイス試作および試作品解析 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0025]血液凝固検出用光センサチップの開発 		F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
F-FA-374 組立測定装置群(29.デジタルマイクロスコープ)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0026]イオン注入によるコンタクト形成方法の調査 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0027]Al-SiO2 サーメットの生成 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0028]小角X 線溶液散乱のためのマイクロ流体デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0029]ナノ機能材料の合成及びナノエネルギーデバイスへの応用 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0030]感光性樹脂の研究 		F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0031]ヒータ作製 		F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0032]誘電泳動デバイスの開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-19-FA-0033]CMOS 集積回路要素技術実習 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0001]石英基板へのパターンめっき 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0002]パワーデバイス用Ni マイクロメッキ接合の機械的強度と微細組織の研究 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0003]表面放射電波デバイスの作製に関する研究（Ⅱ） 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0004]4×4電極の作製 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0005]マイクロ電極を用いたバイオ応用 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0006]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0007]CMOS試作によるシリコンウェーハの評価 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0008]窒素ドープされたチョクラルスキーシリコン単結晶の酸素析出挙動調査 		F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0009]イオン注入シリコンウェハの熱処理挙動 		F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0010]ナノ機能材料の合成及びナノエネルギーデバイスへの応用 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0011]酸化シリコンの面方向熱伝導率測定 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0012]薄膜積層型MEMS熱流束センサを用いた高分解能沸騰熱伝達計測の研究 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0013]MEMS傾斜センサの開発 		F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0014]位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0015]パワーデバイスに関する研究 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0016]超音波カッティング装置による半導体サンプル切断面観察 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0017]露光条件調整におけるレジスト膜厚評価 		F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0018]高感度水素センサの研究開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0019]超音波センサ向けTx/Rx回路の開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0020]Siの可視・近赤外ナノフォトニクス応用 		F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
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[F-18-FA-0022]ハーフインチFOWLPの試作開発 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
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[F-18-FA-0023]機械加工面形状測定用MEMSデバイスの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0024]金銀パラジウム合金に対するアルミナブラスト処理の作用機序 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0025]MEMS技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0026]ダイヤモンドトランジスタの微細ゲート作製 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0027]微小孔アレイと微小電極アレイを有する細胞解析デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
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[F-18-FA-0028]３次元パワーSupply on Chipのプロセス技術の開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0029]マイクロファブリケーションプロセスを用いた材料表面の機能化 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0030]超親水性微細構造を用いたミニチャネル内流動沸騰熱伝達促進 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0031]SiCウェハーのチップ加工 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
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[F-18-FA-0032]界面活性剤を添加した水のプール沸騰気泡底部のミクロ液膜厚さの計測 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0033]マイクロストリップ線路上に作成した平行電極による循環腫瘍細胞検出に関する研究 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
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[F-18-FA-0034]液体金属駆動による熱スイッチング素子の開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0035]半導体デバイスの腐食評価 		F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
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[F-18-FA-0036]歪みセンサーの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
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[F-18-FA-0037]SiO2膜付Siウェハ上へのSiN厚膜堆積 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
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[F-18-FA-0038]感光性樹脂の研究 		F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
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[F-18-FA-0039]ペロブスカイト太陽電池の開発 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
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[F-18-FA-0040]ダイヤモンド・パワーデバイスの高耐圧化構造作製プロセスの構築 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0041]電極間に固定化したDNAの電気的特性評価 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0042]機能性伝熱面の作製 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-18-FA-0043]4重極電極の製作 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
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[F-18-FA-0044]光MEMS センサの開発 		F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-374 組立測定装置群(29.デジタルマイクロスコープ)
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[F-18-FA-0045]CMOS集積回路要素技術実習 		F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0001]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0002]セラミックス基板へのパターンめっき 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0003]光モードスイッチの試作開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0004]マイクロ電極を用いたバイオ応用 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0005]炭化ケイ素コーティングのＣＶＤ合成 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0006]デバイス試作および試作品解析 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
F-FA-375 ケミカルプロセス装置群(8.UVクリーナー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0007]超音波カッティング装置による半導体サンプル切断面観察 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0008]ミニマルファブシステム装置を利用したC-セミサービス事業の実現可能性研究 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0009]３次元パワーSupply on Chipのプロセス技術の開発 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0010]酸化シリコンの面方向熱伝導率測定 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0011]デバイス試作および試作品の開発 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0012]細胞解析用微小孔アレイデバイスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0013]マイクロ・ナノ構造を用いたミニチャネル内流動沸騰熱伝達促進 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0014]グラフェンナノリボンを用いた次世代ナノ配線の開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0015]ダイヤモンドMOSET作製技術の研究 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0016]プール沸騰におけるミクロ液膜の形成・伝熱特性の研究 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0017]細胞外電位計測デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0018]細胞の生存環境をコントロールするマイクロデバイスの開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0019]高感度水素センサの研究開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0020]イオン注入シリコンウェハの熱処理挙動 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0021]MEMS傾斜センサの開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0022]機械加工面形状測定用MEMSデバイスの試作 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0023]レジスト膜厚の推移と装置内温湿度との関連性の評価 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0024]熱電マイクロジェネレーター 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0025]表面放射電波デバイスの作製に関する研究（Ⅱ） 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0026]MEMS技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0027]金銀パラジウム合金に対するアルミナブラスト処理の作用機序 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0028]革新的機能性高分子絶縁材料の開発に関する研究 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0029]位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0030]シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0031]シリコン基板への深溝構造の作製 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0032]機能性伝熱面の作製 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0033]PECVD 膜形成によるシリコンウェーハ中の元素拡散挙動の解析 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0034]循環腫瘍細胞の誘電特性測定用デバイスの開発 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0035]パワーデバイスの研究開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0036]放射光実験用試料のチップ状加工 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0037]ポテンショスタット法のためのオンチップ抵抗の実装方法の開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0038]アルミニウム薄膜のアノード酸化による絶縁層の形成 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0039]シリコンナノピラー群の作製 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0040]歪みセンサーの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0001]循環腫瘍細胞検出のためのマイクロウェルアレイの作製 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0002]細胞解析用微小孔アレイデバイスの製作 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0004]3次元積層パワーSoC用オンチップキャパシタの検討 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0005]マイクロはんだバンプの形成 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0006]陽極酸化法による粗面化処理 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0008]デバイス試作および試作品解析 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0009]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0011]電気ニッケルめっきを用いる電気自動車用SiCパワーモジュールの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0013]炭化ケイ素コーティングのＣＶＤ合成 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0014]Fabrication of single layer graphene nanoribbon field effect transistor and controlling its property 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0015]シリコン太陽電池の裏面パッシベーションのためのSiN膜の最適化 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0016]MEMS技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0018]OHラジカル水のレジスト剥離 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0019]Ag/Ag2S Core-Shell微粒子配列を用いた回路作製 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0020]水素センサの最適形状検討 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0021]細胞解析用微小孔・微小電極アレイデバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0022]超親水性マイクロ･ナノ階層構造によるプール沸騰限界熱流束促進 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0023]酸化シリコンの面方向熱伝導率測定 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0024]ミニチャネル内流動沸騰実験用MEMSセンサの製作 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0026]血管誘導機能を有する透明人工殻の開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0028]ガンマ線検出用位置検出型TES(超伝導転移端温度計)型マイクロカロリメータの開発 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0029]ポリイミド塗れ性確認 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0030]シリコンエッチング 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0034]シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0035]パワー半導体素子のボンディングワイヤ密着性の評価 		F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0036]レーザー干渉法による沸騰気泡底部のミクロ液膜厚さの計測 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0038]オペアンプのレイアウト依存製造性評価 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0039]金銀パラジウム合金に対するアルミナブラスト処理の作用機序 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0041]γ‐(AlxGa1‐x)2O3混晶系薄膜の解析 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0042]ポリマー複合材を用いた熱スイッチの研究 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0043]抵抗変化型メモリ素子を用いたニューラル学習回路の開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0044]構造的アプローチによる平面測定用5点法MEMS変位計デバイスの高精度化 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0045]濡れ性こう配の製作 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0047]細胞マイクロパターン技術の開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-16-FA-0048]マイクロギャップ電極用マスクの作成 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0001]細胞解析用微小孔・微小電極アレイデバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0002]電気化学計測のためのマイクロピラミッドアレイ電極の作製 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0004]炭化ケイ素のＣＶＤ合成 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0005]表面音響光学効果を用いたポイントオブケア向け高感度バイオセンサーの開発 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0006]誘電体ナノ粒子の生成と物性測定 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0007]TES(超伝導転移端温度計)型ガンマ線マイクロカロリーメータの製作と性能評価 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0008]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0009]MEMS センサを用いたミニチャネル流動沸騰熱伝達 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0010]SiO2 自立薄膜の面方向熱伝導率測定 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0011]デバイス試作および試作品解析 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0012]機能性透明人工殻の開発 		F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0013]セラミックスの耐食性評価 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0014]マイクロはんだバンプの形成 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0016]シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0018]高感度水素センサの開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0019]パワーSoC 用3 次元積層基板構成法の研究 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0021]半導体基板の膜厚減少量評価 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0023]リフトオフ用Wf．の作製 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0025]沸騰熱伝達メカニズム研究用MEMS センサの製作 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0027]高効率インバータ用シリコンパワーダイオードの高速化 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0031]シリコン太陽電池の表面パッシベーションのためのSiN 膜の最適化 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0032]自立膜基板の作成 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0034]パワーデバイス用シリコン基板の開発 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0035]濡れ性こう配の製作 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0039]LED 評価基板のワイヤーボンディングとダイシング 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0041]誘電泳動を用いた血液細胞解析のための電極設計 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0042]MEMS 技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0044]部分的金属被覆DNA を用いたDNA 分解酵素センサの開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0046]平面測定用5 点法MEMS 変位計デバイスの高精度化 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0047]セラミックサンプル作製 		F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0049]パワーデバイスの作製 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0052]電解エッチング法による微小孔を有するTi 箔の作製 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0058]光モードスイッチの研究 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0059]ダイシング加工によるSiC チップ試料作製 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-15-FA-0061]超小型変位センサに関する研究 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0002]細胞解析用微小孔・微小電極アレイデバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0003]フォトリソグラフィーおよびリフトオフを用いたMTJ素子作製 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0004]シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0005]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0006]パワーSupply on Chip用多層積層基板の開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0008]マイクロはんだバンプの形成 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0009]炭化ケイ素の低温合成 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0010]オンチップマイクロロボットを用いた遊泳微生物の刺激応答計測 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0011]非接触給電・通信システムで使用するMEMS傾斜角センサの開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0012]1 本鎖／2 本鎖DNA 複合体の部位特異的金属被覆 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0013]光モードスイッチの研究 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0014]ナノ構造Si 自立薄膜を用いた熱輸送と電子輸送現象の解明 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0015]ナノ構造化白金触媒を利用した高感度水素センサの開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0017]デバイス試作および試作品解析 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0018]ガンマ線検出用TES(超伝導転移端温度計)型マイクロカロリーメータの製作と性能評価 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0019]平面測定用マルチカンチレバー変位計デバイスの製作 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0020]微細構造表面の沸騰熱伝達特性 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0022]パワーデバイスの作製 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0023]リン添加酸化亜鉛薄膜の形成 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0025]電気化学計測のためのマイクロピラミッドアレイ電極の作製 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0028]ナノ・マイクロ構造面における固液気三相界面の機能制御と工学的応用 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0030]μバリスタの表面処理および表面観察 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0032]機能性伝熱面の創製 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0036]誘電泳動力を用いた細胞の分離技術の開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0037]溝付きシリコンウエハーの作製 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0039]沸騰熱伝達メカニズム研究用MEMS センサの製作 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0042]次世代パワーモジュールの高温・高電圧実装技術に関する研究 		F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-14-FA-0048]ワイドギャップ半導体のレーザー顕微鏡観察 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0001]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0002]傾斜角センサ作製プロセスの改善 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0004]MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0005]局在表面プラズモン共鳴を利用した血液検査マイクロデバイスの開発 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-372 組立測定装置群(恒温恒湿槽)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0006]半導体、太陽光発電パネル開発のための成膜加工 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0007]ブロックコポリマーを用いたミクロ相分離構造とポーラスフィルムの作製 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0009]マイクロはんだバンプの形成 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0011]DNAの金属被覆によるナノワイヤの形成 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-372 組立測定装置群(恒温恒湿槽)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0013]評価用LEDの組み立て 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-372 組立測定装置群(恒温恒湿槽)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0014]超小型電流センサのコイル部作製 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0018]水晶振動子のための新たな励振電極形状の開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0019]KOH溶液によるSiエッチング評価 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0022]ナノ構造Si自立薄膜を用いた熱輸送現象の解明 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0023]細胞解析用微小孔デバイスの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0025]アルミナコーティング粒子の観察・分析 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-372 組立測定装置群(恒温恒湿槽)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0027]脳型情報処理回路のためのナノディスクアレイ結合型FinFETの開発 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-372 組立測定装置群(恒温恒湿槽)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0028]シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0029]酸化亜鉛薄膜へのV族元素のイオン注入 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0030]フォトリソグラフィー用マスクの作製 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0032]3C-SiCを用いたデバイスの開発 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0034]１０トランジスタから構成されたオペアンプの試作 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0036]超伝導渦糸フローチャネルの試作 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0037]シリコンパワーMOSFET作成 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0039]超小型変位センサの特性に関する研究 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0040]ガンマ線検出用TES（超伝導転移端温度計）型マイクロカロリーメーターの製作 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0043]機能性伝熱面の創製 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0045]超高速プラズマエッチング用のテストウエハの試作 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0046]ナノ複合体の高温における反応性 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
F-FA-372 組立測定装置群(恒温恒湿槽)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0047]MEMS技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0050]Siウエハ上へのSiO2層堆積の検討 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-13-FA-0052]微細構造による濡れ性制御 		F-FA-362 リソグラフィ装置群(レーザービーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-12-FA-0001]光エネルギー変換デバイスの開発 		(登録なし)
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[F-12-FA-0002]水晶のドライエッチング加工技術の開発 		(登録なし)
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[F-12-FA-0004]SOI基板上グラフェントランジスタ 		(登録なし)
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[F-12-FA-0005]アルミナコーティング粒子の観察・分析 		(登録なし)
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[F-12-FA-0006]3C-SiC基板を用いたデバイス作製に関する研究 		(登録なし)
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[F-12-FA-0007]DNAの金属被覆によるナノワイヤの形成 		(登録なし)
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[F-12-FA-0008]局在表面プラズモン共鳴を利用した血液検査マイクロデバイスの開発 		(登録なし)
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[F-12-FA-0009]細胞解析用微小孔デバイスの開発 		(登録なし)
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[F-12-FA-0011]マイクロバンプめっきの検討 		(登録なし)
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[F-12-FA-0012]機能性伝熱面の創製 		(登録なし)
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[F-12-FA-0017]Si太陽電池の作製（PBLプロジェクト） 		(登録なし)
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[F-12-FA-0018]サブミクロンスパイラル電極を用いた微粒子収集に関する研究 		(登録なし)
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[F-12-FA-0019]水晶エッチング速度の測定に向けたエッチング装置の開発 		(登録なし)
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[F-12-FA-0021]超小型変位センサの特性に関する研究 		(登録なし)
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[F-12-FA-0022]多目的PWMドライバーLSIの試作 		(登録なし)
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[F-12-FA-0024]半導体プロセスを利用した変位検出マルチカンチレバーの試作 		(登録なし)
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[F-12-FA-0025]超小型電流センサのコイル部作製 		(登録なし)
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[F-12-FA-0026]マスク描画装置を用いたカスタムホログラフィック光学素子の製作 		(登録なし)
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[F-12-FA-0027]微小アモルファス超伝導体の作製 		(登録なし)
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[F-12-FA-0028]水晶ＭＥＭＳ技術を用いた高周波QCMセンサの開発 		(登録なし)
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[F-12-FA-0033]MEMS技術に基づいた濡れ制御による機能性伝熱面の創製 		(登録なし)
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[F-12-FA-0035]半導体、ソーラー用Siウェハー、ガラス基板の成膜加工 		(登録なし)
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[F-12-FA-0038]高感度傾斜センサの生産技術の改善 		(登録なし)
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[F-12-FA-0039]イオンビーム照射によるDLCの形成及びその評価 		(登録なし)
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[F-12-FA-0041]LED評価基板へのワイヤーボンディング 		(登録なし)
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[F-12-FA-0045]半導体基板の膜ロス評価 		(登録なし)