利用報告書一覧

利用報告書一覧

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[代表機関事務局] [北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室] 
[東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム] [物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム] 
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]  [筑波大学 微細加工プラットフォーム] 
[東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター] 
[早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]  [東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所] 
[名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構] 
[豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門] 
[京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点] [大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点] 
[香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室] [広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室] 
[山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室] [北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター] 


利用課題番号/課題名 利用装置名
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0001]Dimension Icon装置を利用した分解能、フォースカーブなどの測定 機器特性の確認
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0002]FIB 装置を利用した電気抵抗測定用微細サンプルの作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0004]Tiターゲットを用いたDCスパッタリング装置によるサファイア基板上でのTiN薄膜の作製
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-105 触針式表面形状測定器
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0005]銀ナノワイヤーの新規合成手法の開発
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0006]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0007]ヘリウムプラズマータングステン共堆積を施したタングステン試料の表面・断面観察
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0008]ダイシングマシンを利用した半導体デバイスの作製
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0009]パターン投影リソグラフィシステムを利用した金属酸化物へのナノギャップ電極対の作製
F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0012]デバイスシミュレータを利用したMg2Siショットキーダイオードの評価
F-BA-091 デバイスシミュレータ
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0014]Auディスク形成に向けた電子線露光実習(実践セミナー)
F-BA-097 電子線描画装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
F-BA-096 電子線蒸着装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0015]MIMダイオードを用いたレクテナの開発
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-104 半導体特性評価システム
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0016]SEM装置による環境触媒の観察
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0017]紙及びバイオマスプラスチックの形態の観察と物性の測定
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-21-BA-0018]各種液剤の微細塗布の検証
F-BA-103 インクジェットパターン生成装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0001]Dimension Icon装置を利用した分解能、フォースカーブなどの測定 機器特性の確認
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0002]セルロースナノクリスタルを用いた紙基板導電配線技術の開発
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0003]シリサイド半導体接合界面の状態観察
F-BA-094 FIB-SEM
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0004]デバイスシミュレータを利用した赤外受光センサ開発
F-BA-091 デバイスシミュレータ
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0005]FIB装置を利用した電気抵抗測定用微細サンプルの作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0006]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0007]MIMダイオードの開発と無線電力伝送への応用
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-104 半導体特性評価システム
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0008]各種液剤の微細塗布の検証
F-BA-103 インクジェットパターン生成装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0009]パターン投影リソグラフィーシステムを利用した強磁性材料の単一ドメイン評価
F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0010]Tiターゲットを用いたDCスパッタリング装置によるTiN薄膜の作製
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-105 触針式表面形状測定器
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0011]Heプラズマに曝されたW表面及び断面観察
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0012]銀ナノワイヤーの新規合成手法の開発
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0013]AFM測定によるPFAチューブ内表面の観察
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0014]ナノスケール加工に向けた電子線露光実習(実践セミナー)
F-BA-097 電子線描画装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-20-BA-0015]ダイシングマシンを利用した半導体デバイスの作製
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0001]FIB SEM による Al 2 O 3 ウエハーの 加工と観察
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0002]走査型プローブ顕微鏡を用いた樹脂材料の表面機械特性評価
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0003]原子間力顕微鏡による毛髪キューティクル微細構造の観察
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0004]FIB装置を利用したトポロジカル絶縁体電気伝導特性評価用試料の作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0005]窒化物半導体デバイスの開発
F-BA-104 半導体特性評価システム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0006]甲虫の微細構造の観察
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0007]FIB装置を利用したTEM観察用試料の作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0008]EB描画装置を利用した光集積デバイスの作製
F-BA-097 電子線描画装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0009]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0011]電界放出型走査電子顕微鏡によるナノロースの薄膜及び紙の表面構造観察
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0012]MEMS技術を用いたミリ波レクテナ回路の製作
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-104 半導体特性評価システム
F-BA-105 触針式表面形状測定器
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0013]電気化学センサを用いた潜在性乳房炎の検査システムの開発
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0014]Dimension Icon装置による糸状菌の弾性測定
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0015]Dimension Iconを利用した樹脂フィルム断面のナノ構造の観察
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0016]Heプラズマ照射されたW試料の表面構造観察
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0017]人工光合成用InGaN光半導体セルの作製
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0018]FIB-SEM装置を利用した断面TEM観察用試料作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0019]各種液剤の微細塗布の検証
F-BA-103 インクジェットパターン生成装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-19-BA-0020]パターン投影リソグラフィシステムを利用した機能性材料の単一ドメイン評価
F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0001]走査型プローブ顕微鏡を用いた樹脂材料の表面機械特性評価
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0002]FIB装置を利用した電気抵抗測定用微細サンプルの作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0003]形状を特徴とする金属ナノ粒子の無電解めっき触媒特性の検証
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0004]FIB-SEM装置を利用したTEM観察用試料加工におけるダメージ層の低減
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0005]MEMS技術を用いたミリ波レクテナ回路の製作
F-BA-091 デバイスシミュレータ
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-104 半導体特性評価システム
F-BA-105 触針式表面形状測定器
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
F-BA-107 反応性エッチング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0006]電界放出型走査電子顕微鏡によるナノロースの薄膜及び多孔体の表面構造観察
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0007]パターン投影リソグラフィーシステムを利用した微細ギャップ電極対アレイの作製
F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0008]電子線誘起堆積法を利用したナノカーボン電界放出エミッタの作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0009]窒化物半導体デバイスの開発
F-BA-104 半導体特性評価システム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0010]原子間力顕微鏡による毛髪キューティクルの観察
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0013]超高効率グラフェン平面電子源の開発
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0014]FIB装置を利用したTEM観察用試料作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0015]ダイシングソー装置を利用した微小ガラスプレートの作製
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0016]Si基板上に作製したSi系ナノシート束構造の断面TEM試料作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0017]FIB装置を利用したTEM観察用試料の作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0018]FIB-SEMによるAl2O3ウエハーの加工と観察
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-18-BA-0019]AD-MOD on copper substrate for electrical insulation improvement
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0001]FIB-SEM装置を利用した磁性針状試料の作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0002]高純度めっきプロセスにより作製したCu 配線の微細構造解析
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0003]金属ペースト硬化膜中のフィラー分散状態の観察
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0004]三次元細胞組織の再生医療実現に向けた血管構造作製技術の確立
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0005]金属ナノ粒子吸着のための基板の表面処理の評価
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0006]原子薄膜材料の電気特性評価試料の作製
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0007]耐火性高エントロピー合金の酸化物解析用TEM試料のFIB加工による作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0008]デジタル画像相関法によるひずみ測定のための微小パターン形成
F-BA-103 インクジェットパターン生成装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0009]電子機能材料のデバイス作製とパッケージング
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0010]金属蒸気触媒CVDで合成したグラフェンの特性評価
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0011]グラフェン電極を用いた高効率平面型電子放出デバイスの試作
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0012]FIB-SEM装置を利用したTEM観察用試料加工におけるダメージ層の低減
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0013]ダイヤモンド単結晶デバイスの微細構造解析:FIB 加工によるTEM 用試料作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0014]金属半球面へのレーザーリソグラフィー
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0015]リソグラフィ技術を用いたミリ波レクテナ回路の製作
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0016]電気化学センサを用いた潜在性乳房炎の検査システムの開発
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0017]FIB-SEM装置を利用した微小カンチレバー上ひずみセンサーの作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0018]ポリイミドフィルム(Upilex-S)基材上に成膜したインジウム皮膜の表面観察
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0019]電子線描画装置を利用した新規グラフェンデバイスの作製
F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0021]CoNiCrAlY合金表面の微細凹凸加工
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0024]FIB装置を利用した転位伝導測定用マイクロサンプルの作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0025]FIB装置を利用した非鉄軽量金属材料の微細ケガキ加工材の作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0026]スパッタ装置を利用した電気化学マイクロポンプの作製およびヤヌス型ナノモーターの作製
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0027]薄膜上への電極形成
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0028]ナノロースの薄膜及び多孔体の表面構造観察
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0029]ホイスラー型熱電材料の組織微細化による高性能化
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0031]FIB-SEM装置を利用したナノ構造熱電材料への電極形成
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0032]走査型プローブ顕微鏡を用いたコーティング膜の表面物性評価
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0033]破骨細胞の象牙質上の骨吸収跡の測定
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0034]Siドーパント濃度ステップサンプル評価
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0035]FIB/SEM装置を用いたダイヤモンド基板上への微細加工およびマニピュレート
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0037]ウェーハダイシングマシンによる2インチSi(111)基板 のカット
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0038]電界放出源の高出力化の研究
F-BA-092 スパッタリング装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0002]電界放出源の高出力化の研究
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0003]カーボン材料の分析
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0010]三次元細胞組織の再生医療実現に向けた血管構造作製技術の確立
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0011]低次元物質を用いたナノデバイスの開発
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0013]電子機能ナノ材料の微細加工と特性評価
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0014]バブル駆動する積層型マイクロモーターの燃料濃度勾配による駆動制御
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-105 触針式表面形状測定器
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0015]金属ナノ粒子の基材への選択吸着性の評価
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0016]デバイスシミュレーターの操作法の習得及びその有用性の確認
F-BA-091 デバイスシミュレータ
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0020]GOS型電子放出デバイスの作製
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0021]金属蒸気触媒を用いたグラフェンの化学気相成長
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0024]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製
F-BA-106 微細パターン形成装置群 (スピンコーター、マスクアライナー)
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0030]FIBで製作するナノ光陰極型電子光源の開発
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0039]パターン投影リソグラフィシステムで制作されたクロスパターンの形状測定
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0047]As2分子線を用いてMBE成長したInAs量子ドットの構造評価
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0049]金属半球面へのレーザーリソグラフィー
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0051]透明磁性誘電体の収束イオンビーム装置(FIB)による周期的微細穴加工
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0053]MEMS技術を用いたFin-lineの製作
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0055]ナノ相分離触媒材料のAPT(アトムプローブトモグラフィ)観察試料作製
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0056]Gaイオンビームエッチングによる微細光導波路型ミラーの作製検討
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0058]FIB操作実習 (CUPAL NIP: FIB実践技術コース)
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0060]二硫化モリブデンを用いた超伝導接合試料の作製
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0063]ワイドギャップ半導体MOS型電界効果トランジスタの特殊な分光評価のための試料作製
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0064]レーザーパターン集光型回折光学素子の試作と評価
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0069]透過型マスクの作製
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-16-BA-0070]パターン投影リソグラフィシステムの操作トレーニング
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-16-BA-0071]金属ペースト硬化膜中のフィラー分散状態の観察
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-16-BA-0072]ゾウムシが持つフォトニック結晶構造の観察
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-16-BA-0074]紙に塗布されたセルロースナノクリスタル層の微細構造
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-16-BA-0077]走査型プローブ顕微鏡を利用した表面改質フィルムの観察
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
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[F-16-BA-0079]デジタル画像相関法によるひずみ測定のための微小パターン形成
F-BA-103 インクジェットパターン生成装置
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[F-16-BA-0080]TiO2の成膜、評価
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
F-BA-105 触針式表面形状測定器
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[F-16-BA-0081]電気化学センサを用いた潜在性乳房炎の検査システムの開発
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-16-BA-0083]微細な土壌団粒内部顕微分析のための試料加工
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-16-BA-0084]原子薄膜材料の電気特性評価試料の作製
(登録なし)
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[F-15-BA-0003]三次元細胞組織の再生医療実現に向けた血管構造作製技術の確立
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-15-BA-0004]Nd-Fe-B系磁石材料の構造解析
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0005]半導体ナノデバイスの降伏(スナップバック)領域における電流・電圧の挙動の解析と最適デバイス動作条件および構造の検討
F-BA-091 デバイスシミュレータ
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-15-BA-0006]冷陰極アレイデバイスの開発
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-15-BA-0007]グラフェンの電気伝導の研究
F-BA-097 電子線描画装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0008]Fabrication of nanostructures for plasmonic devices
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-097 電子線描画装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-15-BA-0009]グラフェンの合成と電気特性評価
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-15-BA-0010]超伝導ナノコンタクトおよびCVDグラフェンの極低温電気伝導特性の研究
F-BA-097 電子線描画装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-15-BA-0011]多孔質MIPを用いた微小・集積化バイオセンシングデバイスの構築
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-097 電子線描画装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0012]高温超伝導体Bi2Sr2CaCu2O8+δを用いたテラヘルツ波発振素子の開発
F-BA-093 レーザー描画装置
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[F-15-BA-0013]全反射減衰計測のための金属蒸着プリズムの製作
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-15-BA-0014]ポリマー球体の作製
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-097 電子線描画装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0015]二次元電子系試料ホールバーの作製
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-15-BA-0016]バルク水の異常ポッケルス効果の電極依存性の評価
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-15-BA-0017]マイクロメートルスケールのNi製マスク
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0018]スピネル型酸化物薄膜の電気伝導特性評価
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-15-BA-0019]1.55um帯フェムト秒表面プラズモンの時間分解イメージング
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-15-BA-0021]金属誘起成長IV族半導体薄膜の結晶性評価
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0022]走査型プローブ顕微鏡による剥離グラフェンの層数分布評価確立
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
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[F-15-BA-0023]バブル型マイクロモーターの構築
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-15-BA-0024]集積回路用金属薄膜の特性評価
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0025]PLAによる窒化ガリウム(GaN)基板の転位低減効果
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0027]量子ビームによる超高張力鋼(ハイテン)の水素脆性研究
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0028]スパッタ銀薄膜の特異低温内部摩擦
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0029]金属誘起成長IV族半導体薄膜の結晶性評価
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
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[F-15-BA-0030]カルコゲン超格子多層膜構造を用いた表面プラズモン素子の製作
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-15-BA-0031]P型4H-SiCの固有欠陥のESR測定
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
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[F-15-BA-0032]CUPAL FIB実践技術トレーニングにおける金属多層膜の解析
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-15-BA-0033]3次元微細構造を用いたテラヘルツ導波路の作製
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-15-BA-0034]遷移金属ダイカルコゲナイド系層状物質の観察
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0035]ブリッジ成長法により合成したカーボンナノファイバーの特性評価
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0036]低次元物質を用いたナノデバイスの開発
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-15-BA-0037]酸化マグネシウム鋳型多孔質炭素の細孔構造解析
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0038]FIB-SEMを用いたPt細線のパターニング
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0039]Bio&計測実践セミナーの一環としてのマイクロバイオセンシングデバイス作製
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-15-BA-0040]コバルト錯体を用いた水の酸化反応
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0043]FIB実践セミナーの一環としての操作実習
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0044]FIB-SEMによるSiO2薄膜の断面加工観察
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0045]Bio&計測実践セミナーの一環として、マイクロバイオセンシングデバイス作製
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-15-BA-0046]炭化ケイ素(SiC)中の結晶欠陥を利用した単一光子源用の試料作製
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
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[F-15-BA-0047]甲虫の微細構造の観察
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-15-BA-0048]準結晶パターンによるX線集光素子の開発
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-15-BA-0049]シリコン薄膜トランジスタの欠陥解析
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
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[F-15-BA-0050]全内部反射VSFG分光にむけた金属薄膜の製作
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-15-BA-0051]生物試料微細加工の最適条件検討および加工断面の微細構造の観察
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0001]電気化学分析用電極の形成
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0002]デンプン顆粒の構造解析
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-14-BA-0003]酸化薄膜成長制御のための基板裏面被覆
(登録なし)
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[F-14-BA-0004]結晶欠陥を含むシリコンウェハのESR評価用ダイシング加工
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
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[F-14-BA-0005]バルク水の異常ポッケルス効果のメカニズムの解明
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
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[F-14-BA-0006]Cellular biomechanical responses
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-14-BA-0007]冷陰極アレイデバイスの開発
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
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[F-14-BA-0008]ピーム誘起堆積法による可干渉電子源の作製とその電子放出特性の研究
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0009]超伝導ナノコンタクトにおける電流輸送および熱輸送の研究
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-14-BA-0010]超格子材料の光誘起相転移と光学変調素子への応用
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0011]フォトニクス・プラズモニック素子を用いたバイオセンシングデバイスの構築
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-097 電子線描画装置
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-14-BA-0012]グラフェンFETの作製
F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-097 電子線描画装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0013]電子ビーム露光による電極形成とFET電気特性評価
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0014]グラフェンの合成と電気特性評価
F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-14-BA-0015]半導体ナノデバイスの降伏(スナップバック)領域における電流・電圧の挙動の解析と最適デバイス動作条件および構造の検討
F-BA-091 デバイスシミュレータ
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0016]グラフェンの電気伝導の研究
F-BA-097 電子線描画装置
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[F-14-BA-0017]超伝導量子渦ビットの試作
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-14-BA-0018]表面の親水疎水微細パターン形成
F-BA-097 電子線描画装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-14-BA-0019]超薄膜型単結晶CVDダイヤモンドデバイスの開発
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0020]マイクロスケールAu二次元パターン試料の製作依頼
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0021]電極チップのダイシング
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0022]電流検出ESR(EDMR)に関する新技術の開発
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0023]ポリマーアロイの機械物性向上の原理追及
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0024]側壁観察用顕微鏡の解像度テストチャートの開発
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0025]圧電効果直接駆動によるFET型高感度・広帯域超音波トランスデューサーの検討
F-BA-091 デバイスシミュレータ
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0026]セルロースの分解反応の経時変化の可視化
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0027]バブル型マイクロモーターの構築
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
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[F-14-BA-0028]Nd-Fe-B系磁石材料の構造解析
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0029]ナノスケールの配線パターン形成
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-097 電子線描画装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0030]走査型SQUID顕微鏡を用いた局所磁束観察のための被測定試料作製
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-095 ワイヤーボンダー
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0031]半導体二次元電子系への THzパルス照射を行うためのGaAs/AIGaAsホールバー作製
F-BA-097 電子線描画装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0032]電気化学的細胞脱離のための電極作製
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0033]マイクロ波シングルターンコイルの作製
F-BA-103 インクジェットパターン生成装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0034]遷移金属ダイカルコゲナイド中のスピン-バレー相互作用の解明
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
F-BA-095 ワイヤーボンダー
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0035]微細配線用金属箔の組織評価
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0036]高温超伝導体を用いたTHz波発振素子の開発
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0037]BaSi2薄膜表面の局所的な電流特性評価
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0038]ボウタイ型アンテナを用いたテラヘルツ波の電場増強
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0039]異方性構造をもつ高強度ハイドロゲルの創製
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0040]シクロデキストリンマイクロキューブとその炭素化物の解析
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0041]高絶縁性セラミックス薄膜の電気特性計測用電極形成
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0042]強磁性窒化物の磁区観察
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0043]FIB-SEMによる多孔質複合材料の三次元構造解析
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0044]Si(100)上に蒸着した金属薄膜のRBSにおける膜厚とチャネリングの関係
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-14-BA-0045]リポソームを用いたモリブデンナノ粒子合成法の確立
F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0006]導電性プローブ顕微鏡によるグラフェンの局所電圧電流計測
F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0007]電子ビーム蒸着によるグラフェンへの電極作成
F-BA-096 電子線蒸着装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0009]集束イオンビームを用いたグラフェンの局所加工
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0010]スパッタ薄膜の成膜と評価
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0012]酸化物半導体を用いたソーラーセルの検討
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0013]2次元アンペロメトリックセンサ用マスクの作製
F-BA-093 レーザー描画装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0014]酸化薄膜成長制御のための基板裏面被覆
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-13-BA-0015]電気化学分析用電極の形成
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0016]酸化物デバイスの動作特性に与えるプロセス雰囲気の影響に関する評価
F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0017]ナノ構造金属表面におけるフェムト秒表面プラズモン波束の導波
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0018]レーザープラズマ軟X線を用いたポリジメチルシロキサンの微細加工
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0019]長距離伝搬型表面プラズモンの導波構造の製作
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-13-BA-0020]浸炭鉄の浸炭過程及び内部構造の解析
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0021]超格子材料を用いた多層膜構造に対する表面プラズモンの励起と導波
F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0023]エミッター開発
F-BA-092 スパッタリング装置
F-TU-047 電子顕微鏡群
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0024]次世代ワイドギャップ材料を用いた電荷補償型パワーデバイス構造の検討
F-BA-091 デバイスシミュレータ
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-13-BA-0025]MOSFETのスナップバック挙動解析
F-BA-091 デバイスシミュレータ
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[F-13-BA-0027]デンプン顆粒の構造解析
F-BA-094 FIB-SEM
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[F-13-BA-0028]バルク水の異常ポッケルス効果のメカニズムの解明
F-BA-092 スパッタリング装置
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[F-13-BA-0029]好中球の殺菌活性を指標としたストレス測定デバイスの構築
F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-093 レーザー描画装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0001]SiC熱酸化膜の絶縁破壊箇所の断面観察
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0002]CNT試料の成長基部の断面切削加工
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0003]CNT試料の成長基部の高分解能観察と分析
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0004]浸炭鉄の断面加工
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0005]浸炭鉄の高分解能観察と分析
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0006]低融点ビスマスー錫共晶合金の微細組織の観察
(登録なし)
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[F-12-BA-0007]多結晶HfO2膜を流れるリーク電流経路調査
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0008]PVdFナノ粒子のSEM観察
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0009]HBC-TNF自己組織化ナノチューブの構造確認
(登録なし)
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[F-12-BA-0010]無電解金メッキによって作製されたナノギャップ電極の断面観察用試料の作製
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0011]無電解金メッキによって作製されたナノギャップ電極の断面形状観察
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0012]無電解金メッキによって作製されたナノギャップ電極のTEM 試料作製
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0013]銀ナノ結晶電析のその場観察
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0014]イオン液体硬化の電子ドーズ依存計測用金薄膜の形成
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0015]高感度バイオセンシングのための金/絶縁体/金型プラズモニック導波路構造の作製
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0016]化学的エネルギーの直接変換により自律運動するPt/Au型ナノロボットの開発
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0017]三次元細胞組織の再生医療実現に向けた血管構造作製技術の確立
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0018]細胞培養のためのマイクロシステム
(登録なし)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-12-BA-0019]薄膜形成のためのスパッタ成膜
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[F-12-BA-0020]プレーナー型トンネルトランジスタの電気特性とそれを実現するデバイス構造最適化のシュミレーションによる検証実験
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[F-12-BA-0021]ナノワイヤ型ショットキートランジスタの電気特性予測と構造の最適化
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[F-12-BA-0022]新材料による半導体ヘテロ接合構造の電流電圧特性
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[F-12-BA-0023]グラフェンFETのLSIパッケージへのボンディング
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[F-12-BA-0024]エポキシボンダーを用いた有機導電体ウィスカーのオーミック電極形成
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[F-12-BA-0025]薄膜結晶太陽電池素子への配線
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[F-12-BA-0026]CNTファイバーの電気測定用レチクルの作成
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[F-12-BA-0027]グラフェン転写用アドレスマークレチクルの作成
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[F-12-BA-0028]GaN HEMTデバイス試作を目的としたマスク作製
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[F-12-BA-0029]強磁性窒化物磁性細線の形成
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