利用報告書一覧

利用報告書一覧

[一覧]
[2012年度]　[2013年度]　[2014年度]　[2015年度]　[2016年度]　[2017年度]　[2018年度]　[2019年度]　[2020年度]　[2021年度]
[代表機関事務局]　[北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学 微細加工プラットフォーム]　
[東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名 利用装置名
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0001]マイクロナノ基板を用いた癌組織形成 		F-HK-020 両面マスクアライナ
F-HK-022 ICP加工装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0002]SrTiO3基板へのAl2O3絶縁膜のALD成長 		F-HK-010 原子層堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0003]巨大誘電率を実現するAl2O3/TiO2積層膜の検討 		F-HK-010 原子層堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0004]界面電磁場制御技術の乾燥炉への適用 		F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
F-HK-011 ICPドライエッチング装置
F-HK-025 スパッタ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0005]次世代抵抗変化型メモリの開発 		F-HK-020 両面マスクアライナ
F-HK-038 半導体薄膜堆積装置
F-HK-100 ダイシングソー
F-HK-022 ICP加工装置
F-HK-018 電子ビーム描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0006]接着性細胞パターン用のマイクロ加工基板の開発 		F-HK-018 電子ビーム描画装置
F-HK-020 両面マスクアライナ
F-HK-025 スパッタ
F-HK-026 EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0007]ハーフメタルCo2MnSi薄膜とAg中間層を用いたGMRデバイスの製作 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0008]細胞折りたたみ技術を用いた3次元立体組織の構築 		F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-020 両面マスクアライナ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0009]シュウ酸の現場分析に用いる超小型装置に組み込む微小電極の作製 		F-HK-026 EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0010]糖鎖含有ブロック共重合体薄膜のナノ構造解析 		F-HK-032 エリプソメータ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0011]Siウエハ上への厚膜アルミスパッタ 		F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0012]ALD成膜による保護膜検討 		F-HK-024 ALD製膜装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0013]Layer by layer 法による銀ナノ粒子の表面修飾と細胞への取込み観察 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0014]光電磁界センサに用いる誘電体多層膜高反射ミラーの作製 		F-HK-006 プラズマCVD装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0015]ナノワイヤを利用したLEDの作製と評価 		F-HK-100 ダイシングソー
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0016]DNA固定化金基板を用いた細菌センサーの開発 		F-HK-027 EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0017]血管内皮細胞一次繊毛の力学特性計測技術の開発に関する研究 		F-HK-018 電子ビーム描画装置
F-HK-020 両面マスクアライナ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0018]コンパクトスパッタ装置によるサファイア基板上へのITO膜及び銅電極の成膜 ・原子層堆積装置によるTiO2の成膜 		F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
F-HK-010 原子層堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0019]半導体量子ドットを用いた光スピン機能性素子の作製 		F-HK-018 電子ビーム描画装置
F-HK-026 EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
F-HK-039 電子線三次元粗さ解析装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0020]熱ALD装置での成膜による光学薄膜の特性調査 		F-HK-010 原子層堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0021]高密度CNT を用いた太陽電池デバイスの試作 		F-HK-020 両面マスクアライナ
F-HK-027 EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0022]ナノ構造体を用いた無標識検出デバイスの開発 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-004 レーザー直接描画装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0023]半導体単一量子ナノ構造のｇ因子制御によるキャリアスピン操作 		F-HK-012 ICP高密度プラズマエッチング装置
F-HK-006 プラズマCVD装置
F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0024]AlGaAs/GaAs 系高移動度2 次元電子系へのスピン注入および検出 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0025]白色光全反射照明による高次プラズモンモード干渉効果の観測 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0026]プラズモンアシスト水熱合成による酸化亜鉛ナノ発光体の作製 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0027]金ナノ構造をもちいた新規光反応の実現 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0028]円偏光プラズモン場を用いたキラル結晶化 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0029]金属ドープカーボン酸素還元電極触媒の調製とX線吸収分光計測 		F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0030]無脊椎動物の形態の非破壊３次元構造の解析 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0031]微細加工技術を用いたFET素子及び磁気デバイスの作製 		F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
F-HK-004 レーザー直接描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0032]PLD法による酸素還元活性La0.7Sr0.3Mn1-xNixO3薄膜の作製 		F-HK-038 半導体薄膜堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0033]回折格子構造によるピコ秒音響波の光学的励起・検出 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0034]軟X線測定に向けた常温動作ダイヤモンドドリフトディテクターの要素技術開発 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-004 レーザー直接描画装置
F-HK-005 真空蒸着装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0035]X線レーザーイメージングのための試料ホルダ作製 		F-HK-003 マスクアライナ
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-004 レーザー直接描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0036]酸化物ハーフメタルにおける電流誘起有効磁場 		F-HK-003 マスクアライナ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0037]添加剤によるＥＵＶレジストの高感度化 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0038]金属酸化膜の光学特性評価 		F-HK-032 エリプソメータ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0039]ペロブスカイト構造金属酸化膜の形成および熱処理 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-032 エリプソメータ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0040]ナノ共振器－プラズモン強結合を利用した高光吸収太陽電池 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-010 原子層堆積装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-038 半導体薄膜堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0041]生体鋳型により成型された超伝導マイクロワイヤの電気特性評価 		F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0042]Aluminum nanostructured plasmonic sensors using capped dielectric layers 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0043]磁性薄膜エッジを利用したナノ接合素子の電気・磁気特性 		F-HK-009 イオンビームスパッタ装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0044]プラズモン光電極を用いた有機光還元 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0045]超伝導デバイスの作製 		F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-010 原子層堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0046]プラズモン誘起オプティカルトラッピングを用いた近接場スペクトル計測 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-010 原子層堆積装置
F-HK-012 ICP高密度プラズマエッチング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0047]窒化モリブデンを用いた光子検出器の開発 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-004 レーザー直接描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0048]プラズモン誘起アンモニア合成の定量的評価 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0049]レーザー誘起水熱合成法による酸化亜鉛ナノロッドアレイ構造の作製と制御 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0050]プラズモン誘起電子移動を用いた光スイッチングデバイス 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-009 イオンビームスパッタ装置
F-HK-010 原子層堆積装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0051]ポリアクリル酸ゲル表面に固定化した金ナノドット間のギャップ距離変化の評価 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0052]CoOxプラズモニック太陽電池の作製 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-038 半導体薄膜堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0053]金属ナノ構造体光近接場の空間とスペクトル特性の研究 		F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0054]光エネルギー変換へ向けた高効率光捕集プラズモン電極の作製 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-010 原子層堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0055]微細加工技術を用いたナノギャップ電極の作成 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0056]高吸収、高放射樹脂の表面計測 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0057]微細加工技術を用いたナノギャップ電極の作成 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0058]Optically properties of nanoblock dimers from capacitive coupling, charge transfer plasmon to fused dipole mode 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0059]ハニカム状セルロースの形成 		F-HK-003 マスクアライナ
F-HK-011 ICPドライエッチング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0060]Systematical investigation on near field properties of plasmonic hetero-trimer 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0061]準結晶パターンを用いた位相型計算機ホログラムの実現可能性の検討 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-035 ICP高密度プラズマエッチング装置
F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0062]光電子顕微鏡による金ヘプタマー構造の近接場分光特性 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0063]シリコン表面の複合ナノ構造の形成 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0064]Multidimensional characterization of strong coupling between localized and propagating plasmon modes by photoemission electron microscopy 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-010 原子層堆積装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0065]防食基板へのパターン化電極作製 		F-HK-003 マスクアライナ
F-HK-004 レーザー直接描画装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0066]近接場光学顕微鏡によるJ会合体－金ナノディスクハイブリッドシステムの分光特性研究 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0067]らせん構造を持つ棒状高分子が閉じた平面で形成するキラルパターンに関する研究 		F-HK-011 ICPドライエッチング装置
F-HK-004 レーザー直接描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0068]アキラル構造における近接場キラリティーに関する研究 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0069]金属材料表面へのパターン形成 		F-HK-003 マスクアライナ
F-HK-004 レーザー直接描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-011 ICPドライエッチング装置
F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0070]分子振動－微小共振器強結合系の分光特性 		F-HK-002 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0071]チタン窒化物マイクロ構造の耐熱性評価 		F-HK-004 レーザー直接描画装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-003 マスクアライナ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0072]逆ピラミッド型テンプレートを用いた酸化チタン逆オパール構造の作製と光学評価 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-010 原子層堆積装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0073]高効率細胞弾性率測定のためのマイクロフルイディクスデバイスの開発 		F-HK-018 電子ビーム描画装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0074]ポーラス酸化チタン電極を用いたプラズモン光電変換系の構築 		F-HK-010 原子層堆積装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0075]内皮細胞層の細胞間接着力の推定 		F-HK-018 電子ビーム描画装置
F-HK-020 両面マスクアライナ
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0076]Manipulation of surface plasmon resonance of Al nanodisks through O2 plasma treatment 		F-HK-037 超高速スキャン電子線描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-034 コンパクトスパッタ装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0077]生物表面を模倣したPDMS微細構造の観察 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0078]酸化チタンフィルム上に配置した金ナノディスクの過渡吸収分光 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-010 原子層堆積装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0079]脱硫剤の表面観察 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0080]Strong coupling between Fabry–Pérot nanocavity and localized surface plasmon resonance and its application for efficient water splitting 		F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-010 原子層堆積装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0081]多様な基板へのALD成膜 		F-HK-010 原子層堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0082]An ultrabroad terahertz metamaterial filter based on multiplexed metallic bar resonators 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0083]半導体量子ドットによるファイバー結合型単一光子発生源の開発 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
F-HK-012 ICP高密度プラズマエッチング装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0084]細胞が光照射により受ける影響を調査する表面プラズモン観察チップ作製 		F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0085]超撥水加流ゴム用微細構造シリコン鋳型の作製 		F-HK-004 レーザー直接描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-003 マスクアライナ
F-HK-011 ICPドライエッチング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0086]Fabrication of optical anapole metamaterial 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-017 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-013 反応性イオンエッチング装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0088]Plasmon-induced photocurrent generation for exploring the near-field 		F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
F-HK-008 ヘリコンスパッタリング装置
F-HK-010 原子層堆積装置
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
[F-17-HK-0089]CaF2基板及びSi基板へのAl2O3絶縁膜のALD成長 		F-HK-010 原子層堆積装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0001]基板上への微細Al電極作成と基板の評価 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-042 ブランソン アッシング装置
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0002]粒子充填構造と通気性の関係の解析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0003]量子ビーム格子の開発と作製 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-122 ケミカルドライエッチャー(CDE)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0004]シリコン光結合デバイスの開発 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0005]MEMSグレーティングの試作 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0006]HALSAWデバイスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0007]微細構造体の作製技術開発 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0008]半導体プロセス基礎実験 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0009]極細径光ファイバ圧力センサの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-068 LPCVD
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0010]SiN膜の成膜 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0011]ボッシュエッチによる貫通エッチ 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0012]音響光学素子フィルタの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-067 メタル拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0013]半導体ナノ構造の作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0014]金属薄膜の高精度ドライエッチング検討 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0015]Micron pattern devices for THz image system 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0016]ワイヤレスMEMSの研究 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-046 拡がり抵抗測定装置
F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0017]金属ガラスインプリンティングによる高アスペクト比二次元回折格子の作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0018]紫外領域オプトデバイスの研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
F-TU-087 ECRエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0019]集積型マイクロバイオセンサシステムの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0021]超絶縁性脂質二分子膜に基づくイオン・電子ナノチャネルの創成のためのシリコンデバイスの作製 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0022]MEMSデバイスの加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0023]ナノインプリントリソグラフィを用いた微細構造形成 		F-TU-053 EB描画装置
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0024]Siウェーハの欠陥解析 		F-TU-103 熱電子SEM
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0025]MEMSデバイスの作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0026]充填層内の空隙の観察 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0027]触覚デバイスの開発と材料技術の検討 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0028]コンデンサマイクロホンの作製 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-068 LPCVD
F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0029]MEMSの試作形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0030]Siの微細構造加工 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0031]溶着ナイロンフィルムの形状測定 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0032]UVフォトディテクタの試作・評価 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-061 UVキュア装置
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-087 ECRエッチング装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0033]次世代センサの開発 		F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0034]IoT for Safety and Security 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0035]MEMS デバイス加工 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-081 DeepRIE装置#3
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0036]長時間アニールを用いた衛星搭載用X 線望遠鏡の平滑化 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0037]グラフェンナノリボン応用ひずみ計測技術の開発 		F-TU-039 ステッパ装置一式（ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機）
F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0038]グリッド状構造体の形成 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0039]高温超伝導線材機械的ラップジョイント接合部の構造分析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0040]繰り抜き加工ウェハ上のパターンにステッパで重ね合わせしたパターンを作製する 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-053 EB描画装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
F-TU-075 自動搬送芝浦スパッタ装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-104 FE-SEM
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0041]樹脂基板上でのメンブレン作製技術開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0042]微細周期構造の作成 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0043]多層膜貫通穴加工方法の開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0044]グラフェンを用いた光電子デバイスの開発 		F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0045]シリコン基板上への高性能圧電トランスデューサ薄膜の開発 		F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0046]Fe基金属ガラスのナノインプリンティングによる磁性制御 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-083 アネルバ RIE装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0047]磁歪センサ用カンチレバー構造の試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0048]ステンシルマスクの試作など 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0049]MEMS/NEMS fabrication 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
F-TU-043 サンドブラスト
F-TU-067 メタル拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0050]三次元LSIの試作研究開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0051]20 nmパターン解像と感度150 μC/cm2 （@50kV）を両立するレジストシステムの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0052]微細構造の形成とその評価 		F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
F-TU-118 酸素加圧RTA付高温スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0053]表面修飾ナノ粒子/ポリマーコンポジット薄膜の作製 		F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0054]面発光レーザ特性の特性ばらつき改善に向けたプロセスの確立 		F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0055]高温超伝導線材の界面抵抗測定 		F-TU-093 ワイヤボンダ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0056]溝側壁への成膜 		F-TU-073 W-CVD装置
F-TU-119 多元材料原子層堆積(ALD)装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0057]微細構造電極・誘電体薄膜の作成法に関する研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0058]赤外熱輻射制御材料の開発と高効率冷却技術への応用 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0059]金属膜の多層構造形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0060]シリコン細線導波路光スイッチの製作 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
F-TU-066 ランプアニール装置
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0061]磁気駆動3Dマイクロアクチュエータ形成 		F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0063]MEMS多機能カンチレバーデバイスの形成 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0064]MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-049 Tenchor 段差計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0066]サブ波長構造マルチスペクトフィターの開発 サブ波長構造マルチスペクトフィターの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0067]パワーデバイスプロセス評価 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-048 膜厚計
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0068]対称性を制御した光メタマテリアルの作製 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0069]Auバンプ切削平坦化を用いた触覚センサの開発 		F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0070]光センサの構成部品であるIOC（Integrated optical circuit）の研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-076 電子ビーム蒸着装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0071]ジャイロスコープ用高対称振動子の作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
F-TU-080 DeepRIE装置#2
F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0072]ミニマルウエハを用いたサブミクロンCMOS回路の作製 		F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0073]マルチビームレーザー干渉リソグラフィに基づく大面積2軸微細格子製作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0074]コークスの内部構造が強度に及ぼす影響 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0075]ウェハレベルパッケージング 		F-TU-113 サーフェースプレーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0076]医療用マイクロデバイス加工技術開発 		F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0077]シリコン基板上への薄膜および微細パターン形成 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-068 LPCVD
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
F-TU-071 住友精密 TEOS PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0078]学生のMEMS試作実習 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0079]SiC溶液成長時の溶媒インクルージョン発生挙動の調査 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0080]フォトニック結晶を用いたフィルタアレイの開発 		F-TU-053 EB描画装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0081]シリコンステンシルマスク作製 		F-TU-124 ウォーターレーザ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0082]貫通電極構造太陽電池における不純物ドープと窒化膜形成 		F-TU-044 酸化拡散炉
F-TU-070 住友精密 PECVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0083]ウォーターレーザを用いた塗装ノズル加工 		F-TU-124 ウォーターレーザ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0084]微細構造の機能研究 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-063 レーザ描画装置
F-TU-112 レーザ／白色光共焦点顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0085]胃液保持MEMS電池の高性能化 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0086]MEMSデバイスの開発 		F-TU-091 イオンミリング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0087]ナノスケール表面平坦化のためのドライ研磨プロセスの開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0088]宇宙素粒子実験のための超伝導素子開発 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-058 ダイサ
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0089]窒化物半導体のドライエッチング 		F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0090]FPCへのICベアチップ実装における不良モードの解析 		F-TU-105 マイクロX線CT
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0091] MEMSデバイスの開発試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0092]単一エアロゾル解析のためのマイクロ光学素子 		F-TU-036 芝浦スパッタ装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0093]調光デバイスの研究開発 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0094]TEM用液体セル 		F-TU-048 膜厚計
F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0095]2次元フォトニック結晶の可視光制御 		F-TU-068 LPCVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0096]マイクロヒータの試作 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-036 芝浦スパッタ装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-058 ダイサ
F-TU-121 プラズマクリーナー
F-TU-048 膜厚計
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-050 デジタル顕微鏡
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0098]メタマテリアルの作製と評価 		F-TU-120 Vapor HFエッチング装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0099]炭素材料へのホウ素クラスターの担持 		F-TU-069 熱CVD
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0100]MEMS圧力センサの製作 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
F-TU-121 プラズマクリーナー
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0103]差圧センサデバイス構造解析 		(登録なし)
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0104]次世代通信5G用SAWフィルタに向けた圧電単結晶接合基板の作製 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0105]圧電MEMS型超音波トランスデューサの研究開発 		F-TU-057 ゾルゲル自動成膜装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0106]アルカリイオンエレクトレットを用いた振動発電素子の開発 		F-TU-068 LPCVD
F-TU-064 中電流イオン注入装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0107]金属同士の直接接合 		F-TU-051 Suss ウェハ接合装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0108]プラズマ用インジケータの開発 		F-TU-073 W-CVD装置
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0110]BN膜のRFMEMSデバイスへの応用 		F-TU-038 両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
F-TU-050 デジタル顕微鏡
F-TU-049 Tenchor 段差計
F-TU-087 ECRエッチング装置
F-TU-088 アルバック 多用途RIE装置
F-TU-091 イオンミリング装置
F-TU-123 アルバックICP-RIE
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0111]DLCを用いた電子透過膜の作製 		F-TU-079 DeepRIE装置#1
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0112]異方性ウェットエッチング法によるマイクロチャネルアレイチップの高精度・低コスト加工 		F-TU-090 Si結晶異方性エッチング装置(TMAH)
F-TU-089 Si結晶異方性エッチング装置(KOH)
F-TU-044 酸化拡散炉
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
[F-17-TU-0113]2次元シートデバイス開発 		F-TU-053 EB描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0001]超低損失Ga2O3トレンチMOS型ショットキーバリアダイオード 		F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
F-NM-083 酸化膜ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0002]バクテリア培養のためのマイクロデバイスの作製 		F-NM-073 マスクアライナー
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0003]アンテナの光電界増強効果を利用した中赤外受光素子の実現 		F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
F-NM-078 原子層堆積装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0004]シリコンナノワイヤ型熱電発電デバイスにおける短チャネル効果 		F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0005]p型シリコンナノワイヤを用いた熱電発電デバイスのチャネル長依存性 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0006]HfO2/酸化ガリウムによる低リーク電流MOSダイオード 		F-NM-078 原子層堆積装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0007]グラフェンのバイオデバイス応用に向けたアミノ基修飾 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0008]Li含有複合酸化物薄膜の微細加工 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-089 ダイシングソー
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0009]透過型CTR散乱測定用試料の作製 		F-NM-072 レーザー露光装置
F-NM-082 シリコン深堀エッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0010]架橋ナノワイヤー共振器作製における電子線描画用レジストレーションマークの改良 		F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0011]反応性イオンエッチングによるAl ナノシリンダーアレイの作製 		F-NM-080 多目的ドライエッチング装置
F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0012]SrTiO3の絶縁体金属転移を用いたニューロモルフィック素子の作製 		F-NM-078 原子層堆積装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0013]電子ビーム描画装置を用いた微細幅グラフェン配線の作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0014]電子ビーム描画装置によるレジスト材料の探索・プロセス評価 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0015]電子ビーム描画装置によって露光されたEUVレジストの現像液選定評価 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0016]金属薄膜蒸着装置を利用した超高速光伝導スイッチ駆動型荷電粒子加速器の研究開発 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0017]配線抵抗測定モジュールの標準フロー構築 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0018]高密度アレイ電気特性評価のためのプロセス開発 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0019]裏面ゲート型薄膜トランジスタの試作 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0020]メモリ特性評価用モジュールの標準フロー構築 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0021]半導体デバイスのSEM による断面観察 		F-NM-086 走査電子顕微鏡
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0022]リング状電極Mg2Si フォトダイオードの分光感度特性 		F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
F-NM-096 ウエハRTA装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0023]プラズマ化学気相成長を用いたSiO2 の堆積 		F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0024]EBL 及びシリコン深掘エッチング装置を用いたシリコン光導波路の作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0025]脳型推論アナログ抵抗変化素子の作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0026]スパッタ装置による半導体と金属とのオーミックコンタクトの作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0027]二酸化バナジウム細線の電極作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0028]CMP 装置を用いたシリコン電子回路チップの薄化に関する研究 		F-NM-091 CMP研磨装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0029]異なる線幅の超伝導ボロンドープダイヤモンドの特性評価 		F-NM-072 レーザー露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0030]酸化膜ドライエッチング装置によるSiO2 ガラスのエッチング 		F-NM-083 酸化膜ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0031]ナノワイヤ型シリコン熱電デバイスの開発 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0032]シリコン光導波路と共振器の作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0033]GaAs 系薄膜の反応性イオンエッチング 		F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0034]石英ガラスのドライエッチング 		F-NM-083 酸化膜ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0035]ナノ粒子を用いたナノパターニングに関する基礎的検討 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-086 走査電子顕微鏡
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0036]非コンベンショナルなプラズモニクス材料の選択的ドライエッチング 		F-NM-080 多目的ドライエッチング装置
F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0037]微小超伝導体への人工ピン止めの導入と磁束状態 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0038]小口径半導体ウエハへの微細パターン作製と評価 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-069 100ｋV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0039]遷移金属ダイカルコゲナイドを用いた分子センサデバイスの開発 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-069 100ｋV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0040]フォトリソグラフィを用いたMg2Si-pn 接合ダイオードの作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0041]メッシュ型電極を持つMg2Si フォトダイオードの作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0042]シリサイド薄膜のエッチング加工およびトランジスタ素子の試作 		F-NM-072 レーザー露光装置
F-NM-083 酸化膜ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0043]酸化亜鉛電気二重層トランジスタにおける近接効果 		F-NM-072 レーザー露光装置
F-NM-080 多目的ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0044]125kV 電子ビーム描画装置による電子線レジスト性能に関する研究 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0045]３次元パワーSupply on Chip のプロセス技術の開発 		F-NM-078 原子層堆積装置
F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0046]ポリマー材料の検討 		F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0047]電子ビーム描画装置を用いた微細パターンの形成 		F-NM-069 100ｋV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0048]卓上イオン加速システムの研究 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0049]SiN 膜深掘ドライエッチング加工の基礎的検討 		F-NM-083 酸化膜ドライエッチング装置
F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0050]反応性イオンエッチングを用いたダイヤモンド基板上任意位置への微細加工 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-083 酸化膜ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0051]超伝導ボロンドープダイヤモンドを用いたランプエッジ構造ジョセフソン接合 		F-NM-072 レーザー露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0052]エキシマー光照射を利用した光硬化挙動の解析 		F-NM-070 ナノインプリント装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0053]相変化材料を微細加工するための電子ビーム描画およびドライエッチング技術 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-080 多目的ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0054]電子ビーム描画装置を使用したシリコン基板の微細加工 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-086 走査電子顕微鏡
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0055]電子ビーム描画によるEUV レジスト材料の評価及び開発 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-070 ナノインプリント装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0056]電子ビーム描画によるEUV 用レジスト及びプロセスの開発 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-069 100ｋV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0057]原子層堆積装置を用いた層間絶縁膜の形成 		F-NM-078 原子層堆積装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0058]熱刺激電流測定用酸化物薄膜標準試料の開発 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-075 超高真空スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0059]AD 法で作製したイットリア膜のプラズマ環境における腐食挙動 		F-NM-083 酸化膜ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0060]フォトニック結晶導波路を用いた高効率THz 波発生の提案 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0061]Multiferroic effects in iPCM 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-070 ナノインプリント装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0062]光駆動マイクロマシンの作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0063]ファイバーブラッッググレーティング露光用位相マスクの作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0064]オスミウムコータによるハイドロゲルビーズの表面処理とSEM によるその観察 		F-NM-086 走査電子顕微鏡
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0065]反応性イオンエッチングによるナノシリンダーアレイの作製 		F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
F-NM-080 多目的ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0066]ゲート特性の評価 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0067]マスクレス露光および酸化膜ドライエッチングによるSiO2/Si3N4 積層膜のエッチング加工 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-083 酸化膜ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0068]ALD 法及びEB 描画法によるAl2O3 薄膜上Au ナノ構造の作製 		F-NM-078 原子層堆積装置
F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0069]微細加工技術を用いた高熱拡散有機エレクトロンルミネッセンスの作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-070 ナノインプリント装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0070]不均一半導体量子構造を用いた近赤外広帯域光源作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0071]フォトリソグラフィを用いた半導体基板及び金属薄膜のパターニング 		F-NM-072 レーザー露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0072]リチウムイオン電池用電極材料の表面親水化 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-086 走査電子顕微鏡
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0073]機能化界面評価用金基板の作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0074]微細ゲート構造を有するバイオセンサの作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0075]バイオセンサを指向したIr/IrOx 基板の作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-073 マスクアライナー
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0076]SAW無線センサの試作 		F-NM-100 高圧ジェットリフトオフ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0077]光吸収膜の材料検討 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0078]ボトムアップ・グラフェンナノリボンの電界効果トランジスタ特性 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0079]Si の深掘エッチングによる超伝導光デバイスと光ファイバの高効率結合開発 		F-NM-082 シリコン深堀エッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0080]シリコン窒化膜を用いた不揮発性半導体メモリの正孔捕獲特性 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-077 超高真空電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0081]SnOx 薄膜の伝導型制御に向けたスパッタ成膜条件の検討 （試行的利用課題） 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0082]SnOx 薄膜へのキャリア注入制御に向けたショットキーダイオード試作 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0083]ダイヤモンド半導体素子プロセスの開発 		F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0084]MONOS 型メモリキャパシタの作製 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-077 超高真空電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0085]近接効果補正シミュレータ（BEAMER）を使用した微細ゲート作製技術の開発 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0086]配向・位置制御されたダイヤモンド中窒素空孔中心の生成と評価 		F-NM-072 レーザー露光装置
F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0087]電界効果トランジスタの作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0088]表面凹凸構造の加工における反射防止効果の検討 		F-NM-080 多目的ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0089]液体He 温度以上の動作を目指した不連続(111)面によるダイヤモンドジョセフソン接合 		F-NM-072 レーザー露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0090]中性子反射率測定に基づく接着界面近傍の構造評価 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0091]金属ナノ周期構造を用いた非線形メタマテリアルの作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0092]フォトリソグラフィを用いたダイヤモンド上ニッケル膜パターニング 		F-NM-072 レーザー露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0093]マイクロ流路式希釈冷凍機の開発 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0094]選択成長炭素薄膜を用いた電界効果型トランジスタの作製 		F-NM-072 レーザー露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0095]ナノ細孔内での物質拡散速度の実験的評価手法の開発 		F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0096]ゼオライトテンプレートカーボン電界効果型トランジスタの作製 		F-NM-092 室温プローバーシステム
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0097]エッチングパターンの形成 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-080 多目的ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0098]界面電磁場制御技術の乾燥炉への適用 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-100 高圧ジェットリフトオフ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0099]電子線リソグラフィーを用いたグラフェンへの周期ひずみの導入 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0100]微細加工プロセスを用いた光励起マルチセクション半導体レーザーの開発 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0101]マイクロギャップ平行平板電極による免疫センサの開発 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0102]Prussian Blue 修飾電極による自己発電型バイオセンサの開発 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0103]ミオグロビンバイオセンサの選択制向上に関する研究 		F-NM-074 全自動スパッタ装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0104]原子層二硫化モリブデンを用いた電気二重層トランジスタによる超伝導接合の作製 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-072 レーザー露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0105]電子ビームリソグラフィーを用いたガラス基板上へのナノ構造の形成 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0106]糸状菌培養のための微小流体デバイスの作製 		F-NM-073 マスクアライナー
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0107]SiN エアホール型光導波路を用いたアフィニティセンサの構築 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-080 多目的ドライエッチング装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0108]トポロジカル絶縁体-超伝導体接合素子の開発 		F-NM-069 100ｋV電子ビーム描画装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0109]二層グラフェンを用いた超伝導スイッチの開発 		F-NM-068 125kV電子ビーム描画装置
F-NM-071 高速マスクレス露光装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0110]酸化物半導体デバイス作製方法の検討 		F-NM-081 化合物ドライエッチング装置
F-NM-079 プラズマCVD装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0111]単結晶銀薄膜を用いたフレキシブルSERS 基板の開発 		F-NM-075 超高真空スパッタ装置
F-NM-074 全自動スパッタ装置
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
[F-17-NM-0112]グラフェン電界効果トランジスタの試作 		F-NM-071 高速マスクレス露光装置
F-NM-076 12連電子銃型蒸着装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0001]X線、中性子反射率評価用の試料の作製と評価 		F-AT-090 薄膜エックス線回折装置〔ATX-G RIGAKU〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0002]有機ポラリトン用キャビティの製作 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0003]電子ビーム露光におけるドーズ / フォーカスマージン評価 		F-AT-068 電子ビーム描画装置(CRESTEC)
F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0004]TMAHエッチングによるピラミッド状の凸パターン形成 		F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-070 反応性イオンエッチング装置(RIE)
F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0005]TSVの異常部の断面観察 		F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-128 クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0006]プラズマCVD装置によるTEOS-SiO2膜の評価 		F-AT-086 分光エリプソメータ
F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
F-AT-126 プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0007]半導体材料の表面状態変化の測定及び評価 		F-AT-101 エックス線光電子分光分析(XPS)装置
F-AT-071 集束イオンビーム加工観察装置（FIB） 及び イオンコーター（FIB付帯装置）
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0008]半導体材料の表面状態変化の測定及び評価 		F-AT-071 集束イオンビーム加工観察装置（FIB） 及び イオンコーター（FIB付帯装置）
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0009]背面入射中性子反射率測定による厚膜の構造評価 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-090 薄膜エックス線回折装置〔ATX-G RIGAKU〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0010]ALD法による成膜実験 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0011]微細パターニング 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0012]新規有機エレクトロニクス材料の開発 		F-AT-083 走査プローブ顕微鏡SPM2〔SPM-9600/9700〕
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0013]スパッタカーボン薄膜電極の表面修飾による機能化 		F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-070 反応性イオンエッチング装置(RIE)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0014]赤外線検出器の感度向上のためのGaAs基板上のパターニング 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0015]バイオテンプレート作製のためのフェリチン粒子塗布条件の確立 		F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-101 エックス線光電子分光分析(XPS)装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0016]D-SIMSによるイリジウムめっき膜中のニッケルの定量分析 		F-AT-100 二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0017]液晶シリコンフォトニクスに関する研究 		F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-079 ダイシングソー
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0018]半導体材料の評価 		F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0019]サブミクロンホールパターン形成 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0020]蛍光X線によるTa-Al-O薄膜の組成評価 		F-AT-081 微小部蛍光X線分析装置(XRF)
F-AT-086 分光エリプソメータ
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0021]ルテニウム薄膜のXRD測定 		F-AT-080 X線回折装置(XRD)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0022]多層薄膜評価用デバイス作製 		F-AT-067 i線露光装置
F-AT-070 反応性イオンエッチング装置(RIE)
F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0023]磁性薄膜試料作製および特性評価 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0024]次世代LSI向け成膜評価 		F-AT-080 X線回折装置(XRD)
F-AT-090 薄膜エックス線回折装置〔ATX-G RIGAKU〕
F-AT-101 エックス線光電子分光分析(XPS)装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0025]減圧環境下における微小液滴の加熱面衝突時局所熱伝達特性に関する研究 		F-AT-093 UVオゾンクリーナー
F-AT-113 メッキ装置
F-AT-092 プラズマアッシャー
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0026]血液から血球と血漿とを分離するマイクロ流路チップの開発 		F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-092 プラズマアッシャー
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0027]IC 解析 		F-AT-072 アルゴンミリング装置
F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0028]IC解析 		F-AT-072 アルゴンミリング装置
F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0029]p-GaNエピ基板上における横型MOSFETデバイス作製 		F-AT-094 抵抗加熱型真空蒸着装置
F-AT-103 スピンコ―タ―
F-AT-104 コンタクトマスクアライナー(MJB4)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0030]ショットキーバリアダイオードによるn-GaNエピ層の評価 		F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-104 コンタクトマスクアライナー(MJB4)
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0031]GaNを用いたpnダイオードの作製 		F-AT-102 触針式段差計
F-AT-103 スピンコ―タ―
F-AT-104 コンタクトマスクアライナー(MJB4)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0032]タングステン薄膜の形成 		F-AT-074 RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC)
F-AT-107 ウェハー酸化炉
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0033]グラフェン上脂質のAFM観察 		F-AT-083 走査プローブ顕微鏡SPM2〔SPM-9600/9700〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0034]光学多層膜の物性解析 		F-AT-086 分光エリプソメータ
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0035]無電解ニッケルめっきを使用したガラス上へのメタライズ 		F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0036]SEMへの搭載に向けたグラフェン平面電子源の評価 		F-AT-091 マスクレス露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0037]超小型衛星用推進機への応用に向けた平面型グラフェン電子源の高効率化 		F-AT-091 マスクレス露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0038]ポリマー光導波路に関する検討 		F-AT-121 短波長レーザー顕微鏡(VK-9700)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0039]ポリマー光導波路用光学ミラーに関する検討 		F-AT-074 RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0040]光エレクトロニクス実装技術開発 		F-AT-067 i線露光装置
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-086 分光エリプソメータ
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0041]薄膜導電材料の開発 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0042]ガスセンサの開発 		F-AT-126 プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
F-AT-086 分光エリプソメータ
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0043]高移動度デバイスの研究 		F-AT-067 i線露光装置
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-086 分光エリプソメータ
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0044]ナノカーボン・二次元材料のデバイス応用 		F-AT-074 RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC)
F-AT-083 走査プローブ顕微鏡SPM2〔SPM-9600/9700〕
F-AT-082 ナノサーチ顕微鏡SPM3〔SFT-3500〕
F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0045]二次元材料の合成とデバイス応用 		F-AT-080 X線回折装置(XRD)
F-AT-082 ナノサーチ顕微鏡SPM3〔SFT-3500〕
F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0046]透明導電膜の塗布 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0047]金属ナノ構造体の試作 		F-AT-070 反応性イオンエッチング装置(RIE)
F-AT-072 アルゴンミリング装置
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-092 プラズマアッシャー
F-AT-126 プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
F-AT-134 電界放出形走査電子顕微鏡(S4500/FE-SEM)
F-AT-135 高速電子ビーム描画装置 (エリオニクス)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0048]ALD-Al2O3成膜におけるステップカバレッジ評価 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0049]超伝導薄膜の性能向上に関する研究 		F-AT-068 電子ビーム描画装置(CRESTEC)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0050]保護膜生成プロセス 		F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0051]Al スパッタ 		F-AT-074 RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0052]TEOS膜による基板保護膜プロセス 		F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0053]MEMSセンサーのウエハープロセスの改善 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
F-AT-070 反応性イオンエッチング装置(RIE)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0054]ITOスパッタ成膜による透明電極構造の研究 		F-AT-072 アルゴンミリング装置
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-091 マスクレス露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0055]超伝導光検出器の開発 		F-AT-101 エックス線光電子分光分析(XPS)装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0056]ルテニウム薄膜の成膜と評価 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-130 四探針プローブ抵抗測定装置
F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0057]新しいex vivo微小血管モデルにおける白血球活性化の指標の検討 		F-AT-067 i線露光装置
F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
F-AT-102 触針式段差計
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
F-AT-079 ダイシングソー
F-AT-091 マスクレス露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0058]シリコンフォトニクスデバイスの開発 		F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-079 ダイシングソー
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0059]金属ナノ粒子アレイへの誘電体層コーティング 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0060]微細配線の露光・現像 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0061]GaN基板表面付近の成分分析 		F-AT-100 二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0062]半導体ダイヤモンドの結晶評価 		F-AT-101 エックス線光電子分光分析(XPS)装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0063]Pd合金ターゲットによるスパッタ条件の最適化 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-080 X線回折装置(XRD)
F-AT-101 エックス線光電子分光分析(XPS)装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0064]MEMSセンサーのウエハープロセスの改善 		F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-130 四探針プローブ抵抗測定装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0065]FE-SEMによる薄膜の断面観察 		F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0066]SOIデバイスの放射線耐性低下に関する研究 		F-AT-096 ナノプローバー(N-6000SS)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0067]HfO2薄膜の形成 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0068]ITOスパッタ成膜の境界電場イメージングの研究 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0069]テーパー形状(K,Na)NbO3薄膜上へのSiO2薄膜形成 		F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0070]プルシアンブルーを使用したデバイスの評価 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0071]ネオジム磁石：焼結合金の構造観察 		F-AT-122 低真空走査電子顕微鏡
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0072]近赤外熱線遮断技術の高機能化 		F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0073]誘電体多層膜干渉フィルターの断面観察 		F-AT-071 集束イオンビーム加工観察装置（FIB） 及び イオンコーター（FIB付帯装置）
F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0074]プラズマALD装置での成膜による光学薄膜の特性調査 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
F-AT-093 UVオゾンクリーナー
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0075]単層カーボンナノチューブ成長用基板への白金電極成膜 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-116 研磨機
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0076]プラズマCVDによるSiO2膜の成膜 		F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0077]薄膜のX線反射率、回折測定 		F-AT-090 薄膜エックス線回折装置〔ATX-G RIGAKU〕
F-AT-080 X線回折装置(XRD)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0078]熱水性鉱石表面のZnおよびPbのスペシエーション 		F-AT-101 エックス線光電子分光分析(XPS)装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0079]層状超伝導体薄膜のFIBによる微細加工 		F-AT-088 集束イオン/電子ビーム観察加工装置（FIB-SEM）
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0080]赤外干渉フィルタ搭載イメージセンサ 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-086 分光エリプソメータ
F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0081]耐疲労試験後における試験片の表面観察 		F-AT-121 短波長レーザー顕微鏡(VK-9700)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0082]Geデバイスの発熱による性能への影響を考慮したデバイス構造の研究 		F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0083]局所加熱技術の実証 		F-AT-068 電子ビーム描画装置(CRESTEC)
F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0084]センサ基板表面の有機物剥離 		F-AT-093 UVオゾンクリーナー
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0085]NiO半導体膜の堆積 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0086]有機薄膜の膜厚測定 		F-AT-090 薄膜エックス線回折装置〔ATX-G RIGAKU〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0087]ガラス基板上におけるIV族半導体の金属触媒誘起成長 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0088]カーボン基板エッチングによる燃料電池用電極触媒への応用 		F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0089]金属薄膜ドライエッチングによる微細構造体の生成 		F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0090]ナノインプリント用モールドの作製 		F-AT-068 電子ビーム描画装置(CRESTEC)
F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0091]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製 		F-AT-104 コンタクトマスクアライナー(MJB4)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0092]層状半導体ゲルマナンを使ったトランジスタ開発 		F-AT-072 アルゴンミリング装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0093]層状半導体ゲルマナンを使ったトランジスタ開発 		F-AT-072 アルゴンミリング装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0094]ポリマー薄膜の膜厚測定 		F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0095]レジストAR-87でのステップ露光確認 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0096]新規高速光パターンフローサイトメトリー開発 		F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
F-AT-104 コンタクトマスクアライナー(MJB4)
F-AT-092 プラズマアッシャー
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0097]ゲート絶縁膜導入によるプラズモニックTHzディテクタの検出感度向上 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0098]ナノカーボンを用いた電子デバイスの作製と観察 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0099]ダイヤモンド表面の原子間力顕微鏡による観察 		F-AT-083 走査プローブ顕微鏡SPM2〔SPM-9600/9700〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0100]有機/金属ハイブリッドポリマーの磁気特性の測定 		F-AT-099 磁気特性測定システム(MPMS)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0101]i線ステッパによるパターン作製 		F-AT-067 i線露光装置
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0102]GaAs基板の裏面エッチング 		F-AT-131 化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0103]GaNのガスエッチングレート調査 		F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0104]EUV光源のための赤外線遮断フィルタの作製 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0105]SAW無線センサの試作 		F-AT-067 i線露光装置
F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-082 ナノサーチ顕微鏡SPM3〔SFT-3500〕
F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-102 触針式段差計
F-AT-081 微小部蛍光X線分析装置(XRF)
F-NM-100 高圧ジェットリフトオフ装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0106]骨に含まれる成分比や結晶構造の分析 		F-AT-084 顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0107]CNTバンドルの電気抵抗測定 		F-AT-096 ナノプローバー(N-6000SS)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0108]炭素材料薄膜の微細構造観察 		F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0109]誘電体膜成膜 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0110]SiO2薄膜の形成 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0111]無電解Niめっき上の微細構造生成 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-126 プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0112]電子デバイス配線のエレクトロマイグレーション評価用の金属薄膜成膜 		F-AT-074 RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC)
F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
F-AT-102 触針式段差計
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0113]エレクトロマイグレーション評価模擬構造加工用ホトマスク作製 		F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0114]局部腐食評価技術の研究 		F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0115]バイオトランジスタ試作 		F-AT-107 ウェハー酸化炉
F-AT-086 分光エリプソメータ
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0116]紙キャリア台紙に対するポケット成形性の評価 		F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0117]Cuワイヤボンディング接続技術の基礎評価 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-079 ダイシングソー
F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-107 ウェハー酸化炉
F-AT-128 クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0118]高出力半導体レーザの開発 		F-AT-087 デバイスパラメータ評価装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0119]ナノインプリント後の残渣処理 		F-AT-070 反応性イオンエッチング装置(RIE)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0120]ナノインプリント後の残渣処理 		F-AT-070 反応性イオンエッチング装置(RIE)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0121]高容量キャパシターの開発 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0122]カーボンナノチューブの分散 		F-AT-099 磁気特性測定システム(MPMS)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0123]GaNへの希土類イオン注入パターン形成 		F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-100 二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0124]原子層堆積法を用いた金属成膜 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0125]貴金属触媒を用いた湿式シリコン選択エッチングのためのレジストパターン作製 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0126]ガスバリア性向上のための新規プラスチックフィルムへの被膜材料およびその成膜方法の検討 		F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0127]e-STJ用フリップチップ接続に関する研究 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0128]フォトリソ・ステッパー等の利用に関して 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0129]Design and Fabrication of Microneedle Pad 		F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-095 プラズマCVD薄膜堆積装置(TEOS/SiO2)
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0130]Nano/Micro機能付加した高発熱密度対応伝熱面の調査検討・試作評価 		F-AT-079 ダイシングソー
F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-092 プラズマアッシャー
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0131]塗膜外観不良フィルムの表面観察 		F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0132]窒化シリコン薄膜上における相変化材料被膜サブミクロンポアの作製 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0133]FIBによるHfO2ウエハーの加工と観察 		F-AT-071 集束イオンビーム加工観察装置（FIB） 及び イオンコーター（FIB付帯装置）
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0134]FIBによるウエハーの加工と観察 		F-AT-071 集束イオンビーム加工観察装置（FIB） 及び イオンコーター（FIB付帯装置）
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0135]原子層堆積法により成膜した酸化アルミニウム薄膜の表面粗さ評価 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0136] IV-VI族半導体中の微量分析 		F-AT-100 二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0137]ダイヤモンド半導体素子の開発 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-092 プラズマアッシャー
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0138]鉄基材料の放射線誘起表面活性効果による濡れ性改善に関する研究 		F-AT-083 走査プローブ顕微鏡SPM2〔SPM-9600/9700〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0139]ポリイミド付のSi基板、CNT基板の研磨 		F-AT-116 研磨機
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0140]マスクレス露光装置を用いた試作 		F-AT-091 マスクレス露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0141]電池構成部材の分析 		F-AT-084 顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0142]新規光学デバイスの原理確認 		F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-102 触針式段差計
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0143]ALD成膜による極薄積層膜の膜特性及び界面評価 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0144]フォトレジストのサブミクロンパターニング検討 		F-AT-067 i線露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0145]3次元透明物体の作製 		F-AT-091 マスクレス露光装置
F-AT-103 スピンコ―タ―
F-AT-092 プラズマアッシャー
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0146]スパッタリングによるPd/Ti成膜及びフォトリソグラフィー 		F-AT-104 コンタクトマスクアライナー(MJB4)
F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-103 スピンコ―タ―
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0147]半導体全固体電池の容量改善検討 		F-AT-077 多目的高速加熱ランプ炉（RTA)
F-AT-126 プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0148]原子層堆積装置を用いた薄膜形成 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0149]酸化膜の成膜条件と表面物性への影響調査 		F-AT-097 原子層堆積装置(FlexAL)
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0150]紙面上の粒子の観察 		F-AT-083 走査プローブ顕微鏡SPM2〔SPM-9600/9700〕
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0151]エッチング実践セミナー　実習コース 		F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-091 マスクレス露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0152]エッチング実習セミナー 		F-AT-089 多目的エッチング装置(ICP-RIE)
F-AT-091 マスクレス露光装置
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
[F-17-AT-0153]薄膜実践セミナー実習 / STO膜成膜評価 		F-AT-074 RF・DCスパッタ成膜装置(ULVAC)
F-AT-073 スパッタ成膜装置(芝浦)
F-AT-085 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕
F-AT-075 電子ビーム真空蒸着装置
F-AT-102 触針式段差計
F-AT-080 X線回折装置(XRD)
F-AT-087 デバイスパラメータ評価装置
F-AT-098 短波長レーザー顕微鏡(OLS-4100)
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0001]FIB-SEM装置を利用した磁性針状試料の作製 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0002]高純度めっきプロセスにより作製したCu 配線の微細構造解析 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0003]金属ペースト硬化膜中のフィラー分散状態の観察 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0004]三次元細胞組織の再生医療実現に向けた血管構造作製技術の確立 		F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0005]金属ナノ粒子吸着のための基板の表面処理の評価 		F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0006]原子薄膜材料の電気特性評価試料の作製 		F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0007]耐火性高エントロピー合金の酸化物解析用TEM試料のFIB加工による作製 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0008]デジタル画像相関法によるひずみ測定のための微小パターン形成 		F-BA-103 インクジェットパターン生成装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0009]電子機能材料のデバイス作製とパッケージング 		F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0010]金属蒸気触媒CVDで合成したグラフェンの特性評価 		F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0011]グラフェン電極を用いた高効率平面型電子放出デバイスの試作 		F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0012]FIB-SEM装置を利用したTEM観察用試料加工におけるダメージ層の低減 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0013]ダイヤモンド単結晶デバイスの微細構造解析：FIB 加工によるTEM 用試料作製 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0014]金属半球面へのレーザーリソグラフィー 		F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0015]リソグラフィ技術を用いたミリ波レクテナ回路の製作 		F-BA-092 スパッタリング装置
F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0016]電気化学センサを用いた潜在性乳房炎の検査システムの開発 		F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0017]FIB-SEM装置を利用した微小カンチレバー上ひずみセンサーの作製 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0018]ポリイミドフィルム（Upilex-S）基材上に成膜したインジウム皮膜の表面観察 		F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0019]電子線描画装置を利用した新規グラフェンデバイスの作製 		F-BA-096 電子線蒸着装置
F-BA-102 パターン投影リソグラフィシステム
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0021]CoNiCrAlY合金表面の微細凹凸加工 		F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0024]FIB装置を利用した転位伝導測定用マイクロサンプルの作製 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0025]FIB装置を利用した非鉄軽量金属材料の微細ケガキ加工材の作製 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0026]スパッタ装置を利用した電気化学マイクロポンプの作製およびヤヌス型ナノモーターの作製 		F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0027]薄膜上への電極形成 		F-BA-092 スパッタリング装置
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0028]ナノロースの薄膜及び多孔体の表面構造観察 		F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0029]ホイスラー型熱電材料の組織微細化による高性能化 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0031]FIB-SEM装置を利用したナノ構造熱電材料への電極形成 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0032]走査型プローブ顕微鏡を用いたコーティング膜の表面物性評価 		F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0033]破骨細胞の象牙質上の骨吸収跡の測定 		F-BA-100 電界放出形走査型電子顕微鏡
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0034]Siドーパント濃度ステップサンプル評価 		F-BA-098 走査型プローブ顕微鏡群
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0035]FIB/SEM装置を用いたダイヤモンド基板上への微細加工およびマニピュレート 		F-BA-094 FIB-SEM
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0037]ウェーハダイシングマシンによる2インチSi(111)基板 のカット 		F-BA-099 ウェーハーダイシングマシーン
筑波大学 微細加工プラットフォーム
[F-17-BA-0038]電界放出源の高出力化の研究 		F-BA-092 スパッタリング装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0001]マイクロ流体デバイスを用いた1細胞からの染色体単離技術の開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0002]歪み希土類鉄ガーネット薄膜における誘電特性の膜厚依存性 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0003]トポロジカル絶縁体の輸送特性 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0004]Thermal conductivity measurement of single-walled carbon nanotubes by suspended micro thermometer 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0005]半導体単層カーボンナノチューブアレイの基板上精製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0006]水平配向単層カーボンナノチューブの合成と分析 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0007]架橋孤立単層カーボンナノチューブの伝熱特性測定 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0008]Morphology control of single-walled carbon nanotubes 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0009]MEMS低消費電力ガスセンサの開発 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0010]単層カーボンナノチューブ観察用TEMグリッドの作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0011]誘電体メンブレン加工技術の開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0012]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0013]合体による超撥水表面での液滴のジャンピング：計測とモデル 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0014]心筋細胞の拍動力計測のためのMEMSピエゾ抵抗型カンチレバーアレイ 		F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0015]回転プリズムを用いた回転傾斜露光を用いたPEGDAマイクロニードル 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0016]壁面ドープのカンチレバーを用いた空気流れのせん断応力センサ 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0017]ショウジョウバエの着陸時の最大許容力 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0018]EB描画を用いた石英ガラス上のナノ構造体の作製 		F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-130 電子顕微鏡
F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0019]限られた空間で細胞のトラクション力を計測するためのカンチレバーアレイ 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0020]超撥水メンブレンを有したMEMS圧力センサを用いた液滴振動の計測 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0021]接触面の静止摩擦係数と3 軸力を同時計測可能なMEMS 触覚センサ 		F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0022]iPS細胞に由来する心筋細胞の拍動力評価のためのMEMS力センサアレイ 		F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0023]チョウの離陸時における地面効果の評価 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0024]Development of a novel germanium photonic integrated circuit for molecular fingerprinting 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0025]伸展刺激に対するiPS心筋細胞の収縮力変化 		F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0026]高感度差圧センサとナノホールアレイを用いた防水ピトー管 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0027]基板の運動制御による固体表面と液滴との衝突における接触時間の短縮 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0028]前翅固定翼による羽ばたき飛翔への影響計測 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0029]定常風下でのハエの飛翔力計測 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0030]MEMS音響センサを用いた構造ヘルスモニタリング 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0031]アリの歩行時の足裏反力計測のためのフォースプレート 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0032]MEMS 局所滑り覚センサを用いた滑りやすい路面と滑りにくい路面の判別 		F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0033]イオン液体液滴の表面張力波を用いたガスセンサ 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0034]Au/Siショットキー障壁を用いた表面プラズモンシステムによる塩分濃度の定量化 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0035]SPR センサ上に形成したイオン交換膜を利用したイオンのリアルタイム計測 		F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0036]熱輻射制御のためのメタマテリアル 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-130 電子顕微鏡
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0037]シリコンナノピラーによる中赤外検出素子の研究 		F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0038]Si回折格子上のSPRを利用した小型分光器の研究 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0039]電流検出型SPRセンサの研究 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0040]MEMSチップのダイシング 		F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0041]血中循環腫瘍細胞捕捉のためのマイクロ流体デバイスの開発 		F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0042]ランダムテレグラフノイズを測定するための集積回路の配線修正 		F-UT-133 集積回路パターン微細加工（FIB）装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0043]ソフトエラー耐性を測定するための集積回路の保護膜除去 		F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0044]ミリ波による無線電力伝送用レクテナの開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0045]ボッシュ法を用いた高アスペクト構造体の形成 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0046]スパッタにて成膜したタングステン膜の評価 		F-UT-130 電子顕微鏡
F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0047]反応性スパッタ法による二酸化バナジウム薄膜の成膜 		F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0048]機械共振器応用に向けた単層カーボンナノチューブデバイスの作製 		F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0049]高アスペクトSi回折格子の作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0050]金属-酸化物積層膜の微細加工 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0051]細胞分化制御に適した電子線リソグラフィによるマイクロ・ナノパターンの作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0052]マイクロ微細加工技術によるシリコンナノ構造体と熱物性計測デバイスの製作 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0053]酸化亜鉛の量子デバイス応用を目指したナノ構造作製 		F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0054]単一架橋カーボンナノチューブにおける光子相関 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0055]カーボンナノチューブにおける光双安定性 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0056]空気モードシリコンナノビーム共振器とカーボンナノチューブの光結合制御 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0057]カーボンナノチューブ分割ゲート素子における 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0058]Enhanced Raman Scattering of Graphene using Silicon Photonic Nanocavity 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0059]プラズモニック表面増強効果を利用した超高速振動分光法の開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0060]MEMSピンセットによる単一細胞の機械的特性計測 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0061]UVナノインプリントによるAlワイヤーグリッド偏光子の作製 		F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0062]電子線リソグラフィを用いた高感度バイオセンサ用ナノワイヤの作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0063]静電容量式MEMS圧力センサの製作 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0064]エクソソームナノアレイのためのナノスケールパターン形成 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0065]放射線が引き起こすSiO2中のキャリアダイナミクス 		F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0066]振動発電に向けたOHAセラミックエレクトレットの開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0067]回転型エレクトレット振動発電器の開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0068]高周波数帯域MEMSエレクトレット振動発電器の開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0069]Soft X-ray Charged Piezoelectret with Embedded Electrodes 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0070]Electrostatic Unsteady Thermal Energy Harvester Using Nematic Liquid Crystal 		F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0071]Fluorinated Nematic Liquid Crystal for High-power Electret Energy Harvester 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0072]ワイヤレスフレキシブル温度センサの開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0073]Parylene-Based MEMS Gas Sensor 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0074]気管挿管デバイスのための小型風速センサの開発 		F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0075]ICPエッチングによる石英ガラス上の微細構造作製 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0076]超短周期透過型回折格子の作製 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0077]樹脂転写用金型の試作評価プロジェクト 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0078]多層配線の形成 		F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0079]超伝導細線軟X線検出器を用いたイメージング検出器の開発 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0080]熱処理によるIC特性変動調査 		F-UT-132 イナートガスオーブン
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0081]極低温用ラジエータ材料の開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0082]国立研究開発法人海洋研究開発機構運営費 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0083]MEMSデバイス開発 		F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0084]ガラス製ナノ流路の加工と観察 		F-UT-130 電子顕微鏡
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0085]塗布成膜有機/無機半導体の構造解析 		F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0086]MEMSセンサ開発プロジェクト 		F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0087]電界放出源の高出力化の研究 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0088]各種エラストマーにおけるハロゲンプラズマ耐性の評価 		F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0089]レジスト材料の性能評価 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0090]ロボットハンド搭載用マイクロ吸盤の造形 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0091]切削チップ用セラミックスコーティング技術の開発 		F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0092]マイクロ加工技術を用いた新規神経インタフェースに関する研究 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0093]光学応用を目指したポリマー三次元構造への超臨界流体を用いた金属コーティング 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0094]シリコン結晶製の高パワー赤外LEDの開発 		F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0095]テラヘルツ偏光変換用シリコンプリズムの作製 		F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0096]超短パルス高次高調波用光学素子の開発 		F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0097]超臨界流体薄膜堆積法(SCFD)での無残留応力Cu薄膜の製作 		F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0098]ナノ短冊周期配列の大面積構造の作製 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0099]電池モデル電極の微細加工 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0100]神経髄鞘形成評価マイクロデバイスの開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0101]Si基板上への高品質GaN結晶作製に向けたAlNバッファ層成長プロセスの開発 		F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0102]電子ビーム描画を利用した金属メタサーフェス光変調素子の製作 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0103]フォトリソグラフィによるNi-W合金を用いた狭ギャップ熱電子発電素子の製作 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0104]金を用いた光デバイスによる光学特性の変調 		F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0105]EB描画を用いた空間光位相変調器のための光デバイスの製作 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0106]フォトリソグラフィを用いた光制御フィールドエミッタアレイの製作 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0107]高密度圧電MUTアレイによる超音波1Dトランスデューサの開発 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0108]色素増感太陽電池の膜厚測定 		F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0109]柔軟ポリマー構造を用いた振動発電デバイスの開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0110]スピン流注入プローブの開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0111]ハードマスク作成の為のパタ－ニング及びエッチング 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0112]トライボロジー計測のためのマイクロデバイス開発 		F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0113]昆虫嗅覚受容体発現細胞とFETを融合したバイオハイブリッド匂いセンサの開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-143 半導体パラメータアナライザー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0114]SiハイブリッドMOSキャパシタを用いた光集積回路 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0115]ナノワイヤInGaAsトンネルFETの作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0116]シリコン上選択成長ゲルマニウム中貫通転位密度低減法の開拓 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0117]SOQ基板上にエピタキシャル成長したGeのバンドエンジニアリング 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0118]ゲルマニウム受光器の研究 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0119]エッチングによる石英ガラスへの溝形成 		F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0120]微細構造の大面積転写 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-130 電子顕微鏡
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0121]化合物半導体マイクロリング共振器素子の作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0122]圧電薄膜応用デバイスの裏面加工 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0123]エレクトレットＭＥＭＳ振動・トライボ発電 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0124]バイオ計測応用薄膜トランジスタ・プラットフォーム 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0125]サファイア基板のエッチング条件探索 		F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0126]光学材料のドライエッチング評価 		F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0127]アニーリングにおけるZnO薄膜のCL発光空間均一性評価 		F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0128]光駆動マイクロマシンの作製 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0129]選択波長近接場光輸送によるTPV発電に関する研究 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0130]マイクロヒータの試作 		F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0131]SrCeO3およびSr0.5Ce0.5F2.5薄膜への櫛型電極作製　 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0132]生体分子のセンシング向けのナノポアメンブレンの形成プロセスの開発 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0133]Plasmonic nanochannel structure for narrow-band selective thermal emitter 		(登録なし)
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0134]高速有機電気化学トランジスタの作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0135]伸縮性を示すグリッド基板開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0136]有機系浮遊粒子状物質を検出するMEMS形センサの開発 		F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0137]フリップチップ素子の実装 		F-UT-129 精密フリップチップボンダー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0138]Fabrication of a nanopore silica supporter 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0139] a-C:H膜の摩擦摩耗特性 		F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0140]シリコン深堀装置を用いた太陽熱光発電のためのアブソーバ・エミッタの開発 		(登録なし)
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0141]近接場光援用波数励起によるシリコン受光素子の開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
F-UT-101 光リソグラフィ装置PEM800
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0142]高出力レーザーの研究開発 		F-UT-108 精密研磨装置
F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0143]SOIウェハのステルスダイシング 		F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0144]白金とチタンを用いた圧電薄膜用下地金属基板の製作 		F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0145]ステルスダイサーを用いたSiNメンブレン形成基板の個片化検証　 		F-UT-107 ステルスダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0146]天体観測のためのテラヘルツ帯ホットエレクトロンボロメータの開発 		F-UT-104 汎用ICPエッチング装置
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0147]多自由度MEMSスキャナおよびMEMSカンチレバの評価 		F-UT-119 機械特性評価装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0148]界面電磁場制御技術の乾燥炉への適用 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0149]輻射制御に関する研究 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0150]微小構造周りの界面流動と抵抗低減に関する研究 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0151]赤外単一光子検出のための極小ピクセル Ir-TES の開発 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0152]線形可変円形光共振器の作製 		F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0153]フレキシブルLSI実現に向けた実装法の研究 		F-UT-107 ステルスダイサー
F-UT-144 ブレードダイサー
F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-100 マスク・ウエーハ自動現像装置群
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0154]金薄膜ナノメカニカル振動子の作製 		F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0155]簡易糖尿病診断のためのSnO2ガスセンサの作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0156]ブレンドポリマーの誘導自己組織化における配列乱れの抑制 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0157]超流動ヘリウム研究用シリコンマイクロスリット構造の開発 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-116 高速シリコン深掘りエッチング装置
F-UT-115 8インチ汎用スパッタ装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0158]グラーフェンを用いたシリコンフォトニクスの研究 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0159]厚さ数十ナノメートルの平滑なチタン薄膜を用いた大気中ウェハ接合技術の開発 		F-UT-105 形状・膜厚・電気評価装置群
F-UT-106 クリーンドラフト潤沢超純水付
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0160]実装工学における接合研究(テラス構造の作製） 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-144 ブレードダイサー
F-UT-102 4インチ高真空EB蒸着装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0161]実装工学における接合研究(水素ラジカル) 		F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0162]実装工学における接合研究（インジウム バンプ） 		F-UT-114 光リソグラフィ装置MA-6
F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0163]チタンを利用したSiO2の高速化学エッチング 		F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0164]気相フッ酸エッチングにおけるアルミニウムのエッチング支援効果 		F-UT-124 気相フッ酸エッチング装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0165]光変調器に向けたシリコン格子の作製 		F-UT-099 高速大面積電子線描画装置
F-UT-117 塩素系ICPエッチング装置
F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0166]メタマテリアルの製作 		F-UT-113 超高速大面積電子線描画装置
F-UT-123 汎用高品位ICPエッチング装置
F-UT-137 汎用平行平板RIE装置
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0167]8インチシリコンウエハのダイシング加工 		F-UT-144 ブレードダイサー
東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター
[F-17-UT-0168]Microrheology experiment on dense assembly of active colloids 		F-UT-122 高密度汎用スパッタリング装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0001]環境調和型強誘電体セラミックスの微細加工および微構造解析 		F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0002]シリコン酸化膜の等方性エッチング 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0003]高感度-広測定域 SPR センサに向けた二重反射の動作特性評価 		F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0004]銅の埋め込みシリコン貫通電極の作製 		F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0005]2次元アンペロメトリックセンサのプロセス開発 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-200 スパッタ装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0006]光硬化高分子コーテイングの機械特性評価 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0007]高感度プラズモンセンサの開発 		F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0009]規格化されたゲート構造を持つバイオセンサの作製 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0011]超低損失Ga2O3トレンチMOS型ショットキーバリアダイオード 		F-WS-139 高耐圧プローバ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0012]2次元正孔ガスを利用した高周波・高出力ダイヤモンドFET 		F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0013]テラヘルツ帯導波管型平面アンテナにおけるシリコンウエハーの金膜形成 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0014]テラヘルツ帯導波管型平面アンテナにおける積層ウエハダイシング 		F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0015]微細電鋳MEMSコネクタ用高強度・高弾性Ni合金めっき素材の開発 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0018]ALD装置で製膜した ZrO2膜の SEM観察 		F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0019]電解析出法を用いた Bi-Te 系マイクロ熱電変換素子の作製 		F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0020]酸化ガリウムパワーデバイスの開発 		F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0021]ナノチューブ内の金属めっき 		F-WS-122 環境維持・制御装置
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0022]銀材料への Al2O3の製膜 		F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0023]遷移金属酸化物の微細加工 		F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0024]Cu 箔の Auめっき及びダイシング加工 		F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0025]EB描画を用いたグレースケールフォトマスクの作製 		F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0027]機能性圧電ポリマーの特性向上に関する研究 		F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0028]縦型２DHGダイヤモンドMOSFETの作製および評価 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0029]Al2O3膜のバイアス安定性の改善に向けた成膜後熱処理の検討 		F-WS-139 高耐圧プローバ
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0030]2次元正孔ガスを利用した高周波・高出力ダイヤモンドFET 		F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0031]高性能ワイドバンドギャップ半導体素子および同実装技術の研究 		F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0033]電解メッキによるSn膜の形成 		F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0034]ロールtoロールナノインプリントによる微細パターン作製 		F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0035]ハードコート樹脂上へのインク塗布膜の密着性評価 		F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0036]学生実験用のシリコンウェハーダイシング 		F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0037]サブミクロン粒径の結晶粒Auの焼結の3次元構造解析 		F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0038]MEMS構造体への ALD-Al2O3 成膜（再現性確認） 		F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0039]微小流路を用いたバクテリアの長期培養・観察系の開発 		F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0040]フェリシアン化カリウム水溶液の交流インピーダンス測定 		F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0041]スーパーキャパシタ用AlナノスパイクへのNiのEB蒸着 		F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0042]シルセスキオキサン系自己修復材料評価の相談 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0043]アルコキシ基数の異なる有機架橋シランを用いたメソ構造体薄膜の合成 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0044]光によるミクロ相分離構造に関する相談 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0045]細胞を対象としたラマン分光技術 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0046]2次元正孔ガスを用いたダイヤモンドMOSFETの特性評価 		F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0047]酸化還元酵素への電子注入におけるCISS効果の適用 		F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0048]Ga2O3トレンチMOS型ショットキーダイオードの耐圧評価 		F-WS-139 高耐圧プローバ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0049]アッシングを用いたレジストパターン形成精度の向上 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0050]大面積リフレッシャブル　マイクロ流体有機EL の作製 		F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0051]バイオセンサチップの作製プロセス改善 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0052]高機能性エネルギーハーベスト材料の新規創出 		F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0053]配位子を用いた水酸化物表面の反応性の制御に基づくナノシートの評価 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0056]AFM によるCFRTP 積層板のトランスバースクラック発生機構評価 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0057]粉末冶金法によるMg-Al-Si-Sn-Zn 系合金の機械的性質に及ぼす金属間化合物形成の 影響 		F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0058]高出力密度の固体酸化物型燃料電池の検討 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0059]無染色の浮遊細胞のラマン光解析 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0060]ワイドバンドギャップ半導体素子の特性評価 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0062]Sn 添加による Si-O-C 複合負極の蒸着装置基板を用いての電析及び電子伝導度測定 		F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0063]金属ナノ粒子形成メカニズムの解析、及び金属ナノ粒子の表面特性評価 		F-WS-126 FE-SEM
F-WS-200 スパッタ装置
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0064]Sn 添加による Si-O-C 複合負極の充放電特性の向上のための電極処理 		F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0065]電鋳手法による高精度プローブカード配線パターン加工方法の開発 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0066]AFMによる３次元ナノポーラス構造体の表面形状測定 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0067]ホールパターンを有するフィルムドームの作製 		F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0068]小サイズ基板用スピンドライ機器の操作 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0069]酸化物結晶低温接合 		F-WS-141 クリーンルーム × 2
F-WS-136 接合装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0070]メッシュパターンを有するフレキシブルITO電極の作製 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0071]高分子材料の表面処理 		F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0072]FET表面へのAPS単分子膜の修飾 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0073]チタン表面のラフネス計測 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0074]グラフェン埋め込みスロット導波路の作製及び特性評価の検討 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0075]FeCo系磁歪材料を用いた振動アクチュエータの試作 		F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0076]FeCo系磁歪材料を用いた発電デバイスの発電メカニズムの解明 		F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0078]石英基板同士の接合 		F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0079]曲線型方向性結合器を用いた偏光無依存リング共振器フィルタの特性向上の検討 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0080]MnAlGe 層状化合物の磁気特性に及ぼす膜厚依存性 		F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0081]IC,LSIの不良解析のための等方性エッチング 		F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0083]やもりの足の機能を有する試作デバイスに関する相談 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0085]多孔性配位高分子による結晶配向膜の構築 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0086]VDF/TrFEを用いた高出力圧電式発電デバイスの作製 		F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0087]LSIの解析技術 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0088]微小突起構造成型用モールドの作製 		F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0089]高分子ミクロドメインの選択エッチングと表面構造観察 		F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0090]UAV搭載を目標としたMEMS技術を利用した熱線流速計の開発 		F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0091]スーパーキャパシタ用正電極の作製及び電気化学特性評価 		F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0092]X線光学素子の作製 		(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0093]GaN系デバイスの信頼性評価 		F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0001]微細金 2 層構造非相反光学素子の試作 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0002]低損失 Ga2O3トレンチ MOS 型ショットキーバリアダイオードの開発 		F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0003]原子閉じこめのための微細スリット形成 		(登録なし)
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0004]リフトオフプロセスによる光学素子の試作 		F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0005]金属ナノ構造近傍に作用する表面プラズモン光誘起力の定量測定 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0006]コロイド型量子ドットとメタマテリアルの結合を用いた単一光子源の開発 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0007]集積型光非相反素子に関する研究 		F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0008]シリコンフォトニクスを用いた光アイソレータとセンサに関する研究 		F-IT-133 プラズマCVD 装置
F-IT-149 プラズマCVD装置
F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0009]InP 基板上の導波路光アイソレータ 		F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0010]ナノスケールスピントランジスタにおけるスピン依存伝特性 		F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0011]BiSb を用いる磁化反転技術の研究開発 		F-IT-134 高真空蒸着装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0012]強磁性半導体を用いるスピンバイポーラトランジスタの作製とスピン依存伝導特性の評価 		F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-127 コンタクト光学露光装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0013]センサ応用 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0014]パワーデバイス応用 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0015]表面弾性波による二重量子ドットのラビ分裂 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0016]フォトコンダクティブスイッチによるエッジマグネトプラズモンの励起と検出 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0017]低環境負荷プロセスにより作製した機能性セラミックス材料の構造観察 		F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0018]基板貼り合わせ技術を用いた p 型ダイヤモンド/n 型 AlGaN ヘテロ構造深紫外発光素子 		F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-142 基板貼付け装置
F-IT-143 ウェハ洗浄装置
F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0019]共鳴トンネルダイオードと伝送線路一体型アンテナの集積化 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置
F-IT-133 プラズマCVD 装置
F-IT-135 走査型電子顕微鏡
F-IT-139 デジタル顕微鏡
F-IT-145 マスクレス露光装置
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0020]三角格子プラズモニック結晶のバンドギャップ 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0021]酸化ガリウム MIS フォトダイオードの検討 		F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0022]高屈折率低反射メタマテリアルを活用したアンテナの作製 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0023]プラズモニック結晶中線欠陥の導波路分散 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0024]メタマテリアルアンテナの為の SOG を用いた低 tanδ 材料の貼付 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0025]シクロオレフィンポリマー基板両面への電子ビーム露光によるメタマテリアルアンテナ の作製 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0026]ウェハ接合による極性反転構造の作製 		F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-142 基板貼付け装置
F-IT-143 ウェハ洗浄装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0027]金属ナノ構造近傍に作用する表面プラズモン光誘起力の定量測定２ 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0028]磁性ガーネット上への a-Si/SiNx 層の成膜 		F-IT-149 プラズマCVD装置
F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0029]銅薄膜を用いたメタマテリアルアンテナの作製 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0030]リフトオフプロセスの改善方法 		(登録なし)
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0031]液中分散粒子の分離用マイクロ流路デバイスの開発 		F-IT-145 マスクレス露光装置
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0032]共鳴トンネルダイオードとマイクロストリップ線路の結合 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-126 高真空蒸着装置
F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置
F-IT-133 プラズマCVD 装置
F-IT-135 走査型電子顕微鏡
F-IT-139 デジタル顕微鏡
F-IT-145 マスクレス露光装置
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0033]エッジマグネトプラズモンの二重ゲート型遅延回路 		F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
F-IT-125 走査型電子顕微鏡
F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0034]磁気光学材料を集積した光導波路の評価方法 		(登録なし)
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
[F-17-IT-0035]シリコン基板上ショットキーバリアダイオード 		F-IT-126 高真空蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0001]ドナー・アクセプター分子ヘテロ接合構造体の光電変換過程に関する研究 		F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0002]超小型速度・濃度計測用プローブの開発 		F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0003]超低摩擦現象解明のための摩擦誘起表界面ナノ構造の分析 		F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0004]高クヌッセン数流れの総合的理解へ向けた計測手法の開発とその応用 		F-NU-170 段差計
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0005]感光性樹脂の研究 		F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0006]生物医学応用に向けた円盤状粒子の作製と評価 		F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0007]SiC上グラフェンの界面制御と化学結合状態分析 		F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0008]マイクロセンシングデバイスの開発 		F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0009]方向感度を持つ暗黒物質探索用検出器としての超高分解能原子核乾板における低速イオン検出性能の評価 		F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0010]次世代半導体デバイスのための材料およびプロセス開発研究 		F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0011]非線形光学効果を利用した還元焼結 		F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0012]光学的観察のための金属フィルタの作製 		F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0013]磁性薄膜の磁壁を利用したスピン散乱効果の検証 		F-NU-182 スプレーコーター一式
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0014]細胞培養マイクロデバイスの開発 		F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0015]コンビナトリアル評価デバイスの研究開発 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0016]薄膜金属ガラスを用いた光学デバイスの開発 		F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0017]レーザ直接描画法によるマイクロデバイスの研究開発 		F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0018]高時間応答マイクロ壁面せん断応力センサの開発 		F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0019]ステンレス多孔体の表面改質 		F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0020]スパッタ法により形成した酸化薄膜の評価 		(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0021]シリコン量子ドット発電層の高品質化技術の開発と太陽電池構造の作製 		F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0022]微細加工表面での動的接触角決定機構の解明 		F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0023]神経細胞ネットワークハイスループットスクリーニング装置の開発 		F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0024]カーボンナノ物質の成長制御と電子源応用 		F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0025]シリカの炭素還元により生じるSiOガスを介したSiCナノ材料含有薄膜の合成 		(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0026]量子ナノ構造デバイスの研究 		F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0027]マイクロリアクタの作製 		F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-182 スプレーコーター一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0028]有機電子材料・ナノカーボン物質における新しい光・電子応答現象の探索 		F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0029]高秩序ナノ構造体の創製と評価に関する研究 		F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0030]ハーフメタルを用いたスピンデバイスの研究 		F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0031]大気圧プラズマを用いたナノファイバー不織布膜の濾過性能の向上 		F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0032]エネルギー創成・貯蔵材料に関する研究 		F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-170 段差計
F-NU-218 透過型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0033]色素増感太陽電池用光学基板の作製 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0034]高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル評価 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0035]薄膜金属ガラスを用いた超小型高感度静電容量型圧力センサの研究 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0036]高機能磁気センサデバイスの開発と評価 		F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0037]高効率磁化反転技術の開発 		F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0038]ダイヤモンドのレーザ内部変質加工 		F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0039]ポリイミド樹脂シートのマイクロ構造加工 		F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0040]高磁気異方性薄膜の磁化ダイナミクス測定 		F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0041]NiO薄膜の形成 		F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0042]細胞培養環境の剛性が細胞機能に及ぼす影響の解明 		F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0043]オンチップ細胞計測を基盤とする光合成細胞の外部刺激応答特性の解明 		F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0044]マルチ材料積層造形技術による心臓モデルの開発 		F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0045]流体制御を基盤とする超高速・超精密単一細胞分取技術の開発 		F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0046]バイオニックヒューマノイドのシステム統合と眼球モデルの開発 		F-NU-170 段差計
F-NU-186 光三次元造形装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0047]超高速オープンフローサイトメーター 		F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0048]光学式応力センサを搭載した生体模擬網膜モデルの開発 		F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0049]バイオニックヒューマノイドモデリングのための解剖構造モデリングと物性計測技術の開発 		F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0050]スフェロイドの機械特性ソーティングを基軸とした培養環境との機械的相互作用 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0051]GaNトランジスタを用いたマイクロ波無線電力伝送用ダイオードに関する研究 		F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0052]イオン注入Si基板を用いたシリサイド半導体/Siヘテロ構造の作製 		F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-151 電気炉
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0053]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEB、レーザーによるフォトマスクの作製 		F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0054]高分子材料へのDFB型回折格子の導入によるレーザー発振 		F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0055]Siライン&スペース上へのSi量子ドットの高密度形成 		F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0056]プラズマ照射試料の表面観察 		F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0057]砒化亜鉛化合物新規磁性半導体の高品位薄膜成長とデバイス作製 		F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0058]亜臨界流体による微細藻類からの油脂抽出挙動の解明 		F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0059]ALD法を用いたGaN基板上Al2O3薄膜作製 		F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0060]カーボンナノチューブの結晶成長 		F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0061]パワーデバイスのプロセス技術検討 		F-NU-191 ICPエッチング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0062]マイクロロボットの開発 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0063]医療用マイクロデバイスとマイクロ流体デバイスの研究 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0064]ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発 		F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0065]ZnO:Al膜と銀膜による赤外線反射膜の作製 		F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0066]UFL-Hybridを用いた薄膜トランジスタ作成 		F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0067]強く捻れた光場中でのカイラル核形成による結晶カイラリティ制御 		F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0068]強磁性ナノワイヤーにおける磁壁電流駆動の観測 		F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0069]パワーデバイス用GaN基板の評価 		F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0070]切削加工による仕上げ面の観察 		F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0071]次世代ナノデバイスのための高度機能プロセスの研究 		F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0072]先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発 		F-NU-212 高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0073]グラフェンデバイス開発 		F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0074]次世代材料のプラズマエッチングの開発 		F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0075]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるアルコール種依存性 		F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0076]プラズマプロセスを用いた加工形状および気相・表面の評価 		F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0077]高精度ガラスエッチングの開発 		F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0078]大気圧プラズマの医療応用技術の開発に関する研究 		F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ　電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0079]高密度ラジカル源の用途拡張のための要素技術開発及び評価 		F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0080]プラズマ支援原子層堆積および改質に関する研究 		F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-211 プラズマ支援原子層堆積装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0081]次世代ドライエッチング技術の開発 		F-NU-175 In-situ　電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0082]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析 		F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ　電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0083]カーボンナノ薄膜の膜構造の解明 		F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0084]大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究 		F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ　電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0085]プラズマによる材料プロセスにおける反応生成物の解析 		F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0086]微細構造体の作製 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0087]LSAT表面構造の制御とその解析 		F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0088]酸化物薄膜へのイオン挿入脱離による熱伝導率の変化を利用した熱スイッチ材料の提案 		F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0089]Fabrication and Characterization Au & Cr thin film, Magnetic Nanostructures 		F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0090]Chiral domain wall driven by current in the presence of external AC magnetic field in perpendicularly magnetized magnetic nanotracks 		(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0092]超薄型熱輸送デバイスの研究 		(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0093]洗浄成分ポリグリセリン脂肪酸エステルが角層ラメラ構造へ及ぼす影響 		F-NU-175 In-situ　電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0094]体内埋め込み微小電極に関する研究 		F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0095]軟X線非線形効果の実証実験に向けた金属多層膜の作成 		F-NU-164 分子線エピタキシー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0096]シリコンナノ粒子太陽電池に関する研究 		F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0097]半導体プロセス基礎実験 		F-NU-167 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0098]微細加工プロセスを利用した光学素子の作成 		F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0099]ESRによるヒト毛髪とラジカルに関する研究 		F-NU-175 In-situ　電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0100]反応性スパッタ膜の結晶構造解析 		F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0101]ラジカル支援RE-MOCVD法によるGaN系次世代半導体とデバイス開発 		F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0102]省エネルギー素子用大口径Si基板上高品質GaN成膜技術の開発 		F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0103]レーザーアブレーション面積の計測 		F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0104]微細加工を用いた細胞培養基盤の創出 		F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0105]有機ペロブスカイト太陽電池の薄膜構造解析 		F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0106]天文観測用の接合型Ge遠赤外線検出器の超薄層化・高感度化への挑戦 		F-NU-152 急速加熱処理装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0107]チタン/アモルファス炭素微細テクスチャーによる高骨形成能・骨接着性表面の創製 		F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0108]非空間反転対称磁性体の作製と新規スピン光機能の探索 		F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0109]強誘電体薄膜キャパシタ向け白金電極の作製と評価 		F-NU-179 レーザー描画装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0110]GaN選択成長用基板に向けたRIE加工 		F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0111]XPSによる燃料電池電極触媒の金属価数評価 		F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0112]酸処理したTiO2板の表面粗さの解析 		F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0113]オーステナイト系ステンレス鋼の不均一変形挙動に関する研究 		F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0114]GaN表界面の高感度電子状態計測と酸化膜界面設計の研究 		F-NU-205 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0115]表面処理をしたチタン板の薄膜X線回折装置での同定分析 		F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0116]光応答性ブロック共重合体薄膜の配向制御と応用 		F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0117]極小曲面をテンプレートとするナノ薄膜合成 		F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0118]Al2O3/BN複合材料の微細組織と熱伝導率に関する研究 		F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0119]磁性多層膜の磁気光学特性評価 		F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0120]シリコンウェハの微細パターニング 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0121]バイオ燃料電池を搭載した超小型自己泳動マイクロロボットへの挑戦 		F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0122]3次元凹凸構造の作製 		F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0123]微細加工を用いた細胞押付用マイクロ基板の作製 		F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0124]ガラス上へのエッチング用マスク作製法の検討 		F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0125]磁気光学効果を利用したデバイスの研究開発 		F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0126]反応性プラズマによるエッチングプロセスの反応過程の解析 		F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0127]ビスマスドープシリコンにおけるスピン流‐電流変換現象の解明 		F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0128]セルロースナノファイバー/リン酸カルシウム複合体の微細構造観察 		F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0129]光・テラヘルツ波制御のための高機能メタマテリアルの提案 		F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0130]AFMを用いたDNAとヒストンの凝集構造の観察 		(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0131]複合金属酸化物触媒及び固定化触媒のXPSによる金属価数評価 		F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0132]3d遷移金属添加AlN薄膜の結晶構造の解明 		F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0133]アクリル樹脂基材上へのSiO2膜作製検討 		F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0134]神経細胞ネットワークハイスループットスクリーニング装置の製作 		F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0001]GaNショットキーダイオードの作製 		F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0002]水溶性ポリマーの微細加工応用の高度化 		F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置
F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0003]シリカ膜のドライエッチング及び表面構造観察 		F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0004]電流駆動磁壁移動を利用した全固体メモリに関する研究 		F-TT-211 ダイシング装置
F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0005]二次元物質をチャネルとしたFe-FET型不揮発性多値メモリデバイスの開発 		F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0006]Siライン&スペース上へのSi量子ドットの高密度形成 		F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0007]マイクロ流路デバイスの作製 		F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0008]磁性ナノワイヤの絶縁膜の成膜 		F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0009]陽極酸化被膜型感圧塗料の高輝度化 		F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
F-TT-224 マスクレス露光装置
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0010]走査プローブ顕微鏡による表面ナノ構造の計測 		F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0011]光計測用MEMSデバイスの試作 		F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0012]MOSFETの作製 		F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0013]コーティング炭素薄膜の紫外光による表面劣化の観察 		F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0014]GaNなど化合物半導体デバイスの研究開発 		F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-214 エリプソメーター
F-TT-228 原子層堆積装置
F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0015]ナノカーボンおよび2次元材料の合成に関する研究 		F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0016]深紫外分光用マイクロ流路 		F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0017]マイクロデバイス電極と金属コンタクトの改良 		F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0018]磁気結合した「強磁性体/非磁性体/強磁性体」構造細線上の磁壁の電流駆動実験 		F-TT-223 多機能薄膜作製装置
F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属）
F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0019]トリアジンチオール処理の膜厚計測 		F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0020]Al-Ti -N薄膜サーミスタの形成 		F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0021]ナノカーボンの構造評価 		F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0022]レンチキュラーレンズの試作加工の低コスト化検証 		F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0023]微細加工によるハイブリッド電気回路基板の試作 		F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0024]最小スペース配線技術の生物埋込センサ応用 		F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0025]細胞培養マイクロウェルデバイスの試作 		F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0026]天文学観測用の新しい回折格子の製作法の開発 		F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
F-TT-224 マスクレス露光装置
F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
F-TT-214 エリプソメーター
F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0027]次世代太陽電池技術開発 		F-TT-224 マスクレス露光装置
F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0028]複数の重金属界面層を用いた希土類細線中の電流誘起磁壁移動の観察 		F-TT-229 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能）
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0029]微細パターンが接着細胞に与える影響の解明 		F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0030]平成29年度 リソグラフィ・微細加工 実習・講習会の受講 		F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0031]垂直磁化膜作製に関する技術相談 		F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0032]第31回 半導体プロセス実習･講習会の受講 		F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置
F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
F-TT-207 イオン打ち込み装置
F-TT-214 エリプソメーター
F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
F-TT-226 シート抵抗測定器
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0033]窒化物半導体ナノ構造の結晶成長メカニズムの検討 		F-TT-201 電子ビーム描画装置
F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0034]両極性伝導体YH2におけるスピン流の自律モード発生と共鳴ホール効果 		F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0035]乳化系クリームのX線散乱測定に基づく構造解析 		F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0036]シリコン単結晶の疲労に関する研究 		F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
F-TT-207 イオン打ち込み装置
F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0037]外場を用いたフェリ磁性体の磁気的性質の制御 		F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0038]熱・乾燥影響下にあるセメントペーストの中性化の評価 		F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0039]光反射特性測定のための微小回転プレート 		F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0040]ディンプル付き酸化膜付き基板の試作 		F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0041]赤外域におけるシリコン基材の低反射化 		F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
F-TT-214 エリプソメーター
F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0042]GaAs/AlAs超格子の形成 		F-TT-199 分子線エピタキシー装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0043]シリコン単結晶の疲労に関する研究 		F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0044]「高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座(1) X線構造解析技術の習熟」講習会を受講して 		F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0045]フォトリソグラフィ・微細加工の実習 		F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0046]「高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座(2) 赤外ラマン振動解析の基礎と応用講座」講習会を受講して 		F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0047]8.2mすばる望遠鏡のnuMOIRCS用エシェル・グリズムの開発 		F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
F-TT-224 マスクレス露光装置
F-TT-202 マスクアライナ装置
F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
F-TT-214 エリプソメーター
F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0048]ナノカーボン材料を用いたバイオセンサーのための分子系の開発 		F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0049]位置選択的ポリ（３－アルキルチオフェン）の結晶構造解析 		F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
[F-17-TT-0050]シリコンウェハの深堀加工 		F-TT-204 洗浄ドラフト一式
F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0001]MEMSガスセンサの開発 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0002]人工関節材料の潤滑特性評価 		F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0003]VUV還元酸化グラフェンFETの作製とその電気特性評価 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0004]薄層炭素繊維複合材料積層板の強度・破壊特性評価 		F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0005]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス 		F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0006]ナノ構造による光制御技術 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-230 レジスト塗布装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-302 ダイシング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0007]ナノ・マイクロ加工技術による細胞機能制御 		F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-268 高速液中原子間力顕微鏡
F-KT-272 全反射励起蛍光イメージングシステム
F-KT-274 X線回折装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0008]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 		F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0009]固体高分子形燃料電池の電極触媒に関する研究 		F-KT-275 分光エリプソメーター
F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0010]シリコン系薄膜の機械特性に及ぼす寸法・温度効果 		F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0011]半導体異種材料接合の研究 		F-KT-257 ダイシングソー
F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0012]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究 		F-KT-235 ICP質量分析装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0013]小口径半導体ウエハへの微細深溝作製 		F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0014]MEMSデバイス用Siドライエッチング加工 その１ 		F-KT-241 プラズマCVD装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0015]MEMSデバイス用Siドライエッチング加工、その２ 		F-KT-241 プラズマCVD装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-267 卓上顕微鏡(SEM)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0016]フォトリソグラフィを用いたFTO薄膜のドライエッチング 		F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0017]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用 		F-KT-250 赤外フェムト秒レーザ加工装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0018]Plasma etching評価 		F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0019]プラズマ用インジケータの開発 		F-KT-300 簡易RIE装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0020]接触面の形状計測 		F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0021]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発 		F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0022]電気的に制御した新規半導体量子デバイスの実現 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0023]アパタイト核の複合化による生体活性骨修復材料の開発 		F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0024]塗布型太陽電池の薄膜構造評価 		F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0025]プラズマ暴露による有機系薄膜の粘弾性特性変化および誘電率変化の研究 		F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
F-KT-286 パワーデバイスアナライザ
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0026]コヒーレントX線回折イメージング用試料基板の開発 		F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0027]高分子材料の薄膜形成 		F-KT-275 分光エリプソメーター
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0028]水処理膜の表面構造とろ過性能明確化 		F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0029]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0030]生体模倣反応を用いたアパタイトカプセルの開発 		F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0031]精密ノズルの表面粗さ測定 		F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0032]ニューロン軸索ガイダンスにおける脳組織の物理的環境の作用機序 		F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0033]細胞内電気測定用無線デバイスとシステムの開発 		F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0034]圧電薄膜を用いたMEMS素子の作製 		F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-256 レーザダイシング装置
F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0035]臨床検査デバイスの開発 		F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-279 触針式段差計(CR)
F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0036]マイクロ空間を利用した小型分離分析デバイスの開発 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-230 レジスト塗布装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0037]熱ナノインプリントにおける成形圧力と残膜厚の関係 		F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0038]MEMSメンブレン構造を用いた環境センサの開発 		F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-234 有機現像液型レジスト現像装置
F-KT-256 レーザダイシング装置
F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0039]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発 		F-KT-257 ダイシングソー
F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0040]気密封止パッケージ 		F-KT-301 ウエハ接合装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0041]半導体デバイス組立て材料の高温環境試験に関する研究 		F-KT-257 ダイシングソー
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0042]ミストCVD法を用いて形成した金属酸化物の新規応用展開 		F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-241 プラズマCVD装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-279 触針式段差計(CR)
F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0043]フォトリソグラフィーによる回折光学素子DOEの作製とMEMSプロセス開発 		F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-275 分光エリプソメーター
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0044]ガラス部材の先端的加工技術開発 		F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0045]半導体異種材料接合の研究 		F-KT-257 ダイシングソー
F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0046]SiGe薄膜の機械物性計測 		F-KT-223 露光装置(ステッパー)
F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0047]MEMS創成技術によって形成したテクスチャ面でのスクイーズ弾性流体潤滑挙動の把握 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0048]ペンタアザフェナレンを含む共役系高分子の膜厚評価 		F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0049]ナノディフェクトマネジメント 		F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0050]固体高分子形燃料電池の電極触媒に関する研究 		F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0051]半導体および絶縁体のナノ構造評価 		F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0052]位相変調透過板に関する研究 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0053]触媒粒子担持用のアルミナ薄膜の評価 		F-KT-275 分光エリプソメーター
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0054]ナノ構造による光制御技術 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0055]自己補対メタマテリアルを用いたテラヘルツ波デバイス 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0056]マイクロ流路を用いた液膜試料の生成 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-253 基板接合装置
F-KT-257 ダイシングソー
F-KT-230 レジスト塗布装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0057]X線格子の検討 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
F-KT-253 基板接合装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0058]シリコン系薄膜の機械特性に及ぼす温度の効果 		F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0059]VUV還元酸化グラフェンFETの作製とその電気特性評価 その２ 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0060]薄膜形成及びドライエッチングによる試料加工技術の開発 		F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0061]ウェット酸化による熱酸化膜 		F-KT-242 熱酸化炉
F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0062]3Dリソグラフィを応用したPDMS製マイクロバルブ/ポンプの高精度加工 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0063]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-253 基板接合装置
F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0064]DNAナノ構造体の機械的/電気的特性評価のためのMEMSナノピンセットの作製 		F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
F-KT-223 露光装置(ステッパー)
F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0065]琵琶湖における微生物群集の増殖解析 		F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0066]スパッタ法によるKNN薄膜の形成 		F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0067]液膜試料生成のためのマイクロ流路デバイスの作製 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-253 基板接合装置
F-KT-257 ダイシングソー
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0068]薄膜ピエゾの圧電特性 		F-KT-274 X線回折装置
F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0069]量子もつれ光発生のための、高精度窒化シリコンリング共振器の実現 		F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0070]位相変調透過板に関する研究 		F-KT-223 露光装置(ステッパー)
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0071]触媒粒子担持用のアルミナ薄膜の評価 その２ 		F-KT-275 分光エリプソメーター
F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0072]半導体および絶縁体のナノ構造評価 2 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0073]DNA構造体の固定化によるナノポアセンシングデバイスの作製 		F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-300 簡易RIE装置
F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0074]SPMを用いたナノレベルでのナノファイバー材料の表面構造・力学物性評価 		F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0075]バクテリア培養のためのマイクロ流路デバイスの作製 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-232 レジスト現像装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0076]超微小材料機械変形評価装置を用いた細胞強度の測定 		F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0077]固体中におけるスピン流輸送現象の解明 		F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0078]生体分子，細胞，組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発 II 		F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0079]ガラス部材の先端的加工技術開発 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0080]高温超伝導体の微細構造を用いた新規物性研究 		F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0081]原子間力顕微鏡を用いたナノスケール表面物性評価 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-287 インピーダンスアナライザ
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0082]高性能圧電薄膜による高感度超音波トランスデューサの開発 		F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0083]シリコン深堀りドライエッチングを応用した3次元微細構造の作製 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0084]排熱利用熱電発電モジュールの研究開発 1 		F-KT-257 ダイシングソー
F-KT-259 紫外線照射装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0085]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発、その１ 		F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0086]ナノ微細表面構造の特性評価 		F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0087]高強度テラヘルツ波パルス発生と分子制御研究への応用 		F-KT-252 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0088]マイクロ流路デバイス作製実習および施設利用 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0089]ガスセンサの開発 		F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0090]メタマテリアルを用いたバイオセンシング 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0091]有機薄膜太陽電池用SrTiO3ナノ構造体の作製と評価 		F-KT-274 X線回折装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0092]湿式プロセスによる酸化亜鉛多孔体の形成 		F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0093]微細穴構造の製造技術　その１ 		F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-269 走査型プローブ顕微鏡システム
F-KT-275 分光エリプソメーター
F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0094]細胞測定のための遮蔽型ナノ構造作製の試行 		F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0095]チタン材料の微視組織が深穴加工性に及ぼす影響 		F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0096]横波型薄膜共振子MEMSセンサの信号強度向上に向けたデバイス構造の開発 		F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-257 ダイシングソー
F-KT-261 ウェッジワイヤボンダ
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0097]シリコンの化学エッチングによるレーザー照射用構造性ターゲット作製 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
F-KT-230 レジスト塗布装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-256 レーザダイシング装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0098]Body-on-a-Chipへの搭載を目的としたイオン液体型圧力センサ 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-230 レジスト塗布装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0099]イオンチャネル固定化用窒化膜チップ 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-241 プラズマCVD装置
F-KT-256 レーザダイシング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0100]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 2 		F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0101]プラズモニック金ナノ構造集積MEMS共振器の作製と応用 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0102]微粒子を懸濁した作動流体の熱物性 		F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0103]微細穴構造の製造技術　その２ 		F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0104]固体発光性ジイミンホウ素錯体ホモポリマーの薄膜構造解析　その２ 		F-KT-274 X線回折装置
F-KT-280 触針式段差計(分析・評価)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0105]圧電薄膜を用いたMEMS素子の作製 		F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-230 レジスト塗布装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-242 熱酸化炉
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-256 レーザダイシング装置
F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
F-KT-298 パリレン成膜装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0106]半導体プロセス基礎実験 		F-KT-241 プラズマCVD装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0107]薄型メンブレン構造を持つMEMSデバイスの作製 その２ 		F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0108]ナノインプリントを用いた光学材料の高性能化　２ 		F-KT-297 ナノインプリント装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0109]二次元炭素材料の電気伝導特性解析 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0110]：圧電薄膜/高音速基板構造を利用した弾性表面波の励振 		F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0111]マイクロ流体デバイスを用いた微生物遊泳運動の流体実験 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0112]バイオミネラリゼーションに学んだアパタイト核機能の活用による生体環境適合マテリアルの構築 		F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0113]Sb2Se3を用いた無機-有機ハイブリッド太陽電池の作製と評価 		F-KT-274 X線回折装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0114]ナノインプリントを用いた光学材料の高性能化 1 		F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-241 プラズマCVD装置
F-KT-254 ナノインプリントシステム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0115]高速高精度電子線描画装置を用いたサブミクロンピッチ回折格子金型の製作 		F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0116]ダイヤモンドデバイスの作製、評価 		F-KT-257 ダイシングソー
F-KT-274 X線回折装置
F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0117]Nanotech-CUPAL N.I.P KY006圧電デバイスコース 		F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
F-KT-274 X線回折装置
F-KT-264 集束イオンビーム / 走査電子顕微鏡
F-KT-289 高周波伝送特性測定装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0118]Ｘ線１分子計測法で利用可能なサイズ制御されたナノ粒子の作製 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0119]MEMSデバイスを利用した半導体ナノワイヤの機械・電気連成特性評価 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
F-KT-253 基板接合装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0120]小口径半導体ウエハへの微細深溝作製 その１ 		F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0121]マイクロ流路内でのレーザー応力波干渉の応用 		F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0122]塗布型太陽電池の薄膜構造評価　その２ 		F-KT-274 X線回折装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0123]電子線描画装置入門コース 		F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-253 基板接合装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0124]ナノインプリントを用いた光学材料の高性能化　3 		F-KT-254 ナノインプリントシステム
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0125]医療用マイクロデバイスのプロセス開発 その１ 		F-KT-253 基板接合装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0126]人口減少社会へむけた上水道システムの持続的再構築に関する総合研究 		F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0127]リサーチコンプレックス　マイクロ流路デバイス作製実習 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0128]GaN/AlGaN量子井戸とフォトニック結晶を用いた熱輻射光源の開発 		F-KT-253 基板接合装置
F-KT-251 レーザアニール装置
F-KT-257 ダイシングソー
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0129]高分子の多孔化とその物性 		F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0130]高性能圧電薄膜による高感度超音波トランスデューサの開発 2 		F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0131]分子を用いたグラフェンの電子状態変調 		F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0132]メソポーラスシリカのフォトニクス応用 		F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-247 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0133]UV硬化型PDMSを使ったマイクロ流体デバイスの作製 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-295 移動マスク紫外線露光装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0134]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 		F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0135]銀膜/焼結銀界面結合強度における銀膜の結晶粒構造の効果 		F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0136]半導体の基礎研究 		F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0137]4H-SiCウェハ上の微細表面構造創製 その１ 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-223 露光装置(ステッパー)
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0138]食品ナノ粒子の構造・物性測定 1 		F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
F-KT-266 分析走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0139]ダイヤモンド薄膜合成技術の開発と評価 		F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-275 分光エリプソメーター
F-KT-262 ボールワイヤボンダ
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0140]MEMSとDNA融合プロセスによるナノポアセンサデバイスの構築 		F-KT-242 熱酸化炉
F-KT-275 分光エリプソメーター
F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0141]食品ナノ粒子の構造・物性測定 2 		F-KT-274 X線回折装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0142]モルフォ発色体構造のアスペクト比変更に関する研究 		F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-230 レジスト塗布装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-223 露光装置(ステッパー)
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0143]4H-SiCウェハ上の微細表面構造創製 その２ 		F-KT-223 露光装置(ステッパー)
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-230 レジスト塗布装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0144]酸化ガリウムの結晶成長に関する研究 		F-KT-241 プラズマCVD装置
F-KT-230 レジスト塗布装置
F-KT-227 紫外線露光装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0145]TiO2の成膜、評価 		F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
F-KT-274 X線回折装置
F-KT-275 分光エリプソメーター
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0146]高効率ペロブスカイト太陽電池の開発、その２ 		F-KT-237 多元スパッタ装置(仕様B)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0147]ポーラスシリコン電極への金属めっき 		F-KT-222 高速高精度電子ビーム描画装置
F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-230 レジスト塗布装置
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-256 レーザダイシング装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0148]新規高性能半導体ウェハ接合技術の開発 		F-KT-238 電子線蒸着装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0149]細胞局所刺激・応答計測可能なナノマイクロツール開発 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-238 電子線蒸着装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0150]ＭＥＭＳ加工技術を用いたセンサデバイスの開発 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-246 ドライエッチング装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0151]犠牲層エッチングによる静電駆動素子の作製 		F-KT-248 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0152]微細表面構造を有する機能性ポリマー薄膜の作製 		F-KT-254 ナノインプリントシステム
F-KT-279 触針式段差計(CR)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0153]表面保護のための酸化膜形成 		F-KT-241 プラズマCVD装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0154]高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0155]ガラスモールドの作製 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0156]金属薄膜形成による試料加工技術の開発 		F-KT-241 プラズマCVD装置
F-KT-239 真空蒸着装置1
F-KT-246 ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0157]Nanotech-CUPAL N.I.P　KY007フォトニックコース 		F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-229 厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
F-KT-279 触針式段差計(CR)
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0158]ブロックポリマーのミクロ相分離に関する研究　II 		F-KT-235 ICP質量分析装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0159]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成 その１ 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0160]GaN/AlGaN量子井戸をフォトニック結晶を用いた熱輻射光源の開発 		F-KT-251 レーザアニール装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0161]MEMSジャイロ高精度化のための微細加工調整プロセスの試行 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0162]感光性ポリイミドを用いた、たんぱく質構造解析用チップの製作 		F-KT-231 スプレーコータ
F-KT-226 両面マスクアライナー
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0163]シリコン系薄膜の機械特性に及ぼす温度の効果 		F-KT-233 ウェハスピン洗浄装置
F-KT-226 両面マスクアライナー
F-KT-232 レジスト現像装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
F-KT-236 多元スパッタ装置(仕様A)
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0164]カルボキシメチルセルロースのアンモニウム塩のSEM観察 		F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0165]ナノ粒子の粒径分布 		F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0166]DNAオリガミのサイズ分離用ANA(Anisotropic Nanofluidic Array)デバイス 		F-KT-225 高速マスクレス露光装置
F-KT-230 レジスト塗布装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0167]メタマテリアルを用いたバイオセンシング 		F-KT-274 X線回折装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0168]プラズマ暴露による有機系薄膜の粘弾性特性変化および誘電率変化の研究 		F-KT-283 超微小材料機械変形評価装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0169]炭化タングステンのカーボン添加による強度向上のメカニズム解明と実用化 		F-KT-274 X線回折装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0170]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEB、レーザーによるフォトマスクの作製 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0171]ナノ粒子二量体配列を用いた高感度表面増強ラマン分光分析技術 		F-KT-224 レーザー直接描画装置
F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0172]医療用マイクロデバイスのプロセス開発 その２ 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0173]リン脂質含有リポソームの生理機能と物性の相間研究 		F-KT-277 ゼータ電位・粒径測定システム
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0174]生体分子，細胞，組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発　I 		F-KT-270 共焦点レーザー走査型顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0175]グレースケール露光を用いた三次元光学構造の形成 その２ 		F-KT-245 磁気中性線放電ドライエッチング装置
F-KT-243 深堀りドライエッチング装置1
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0176]生体分子，細胞，組織操作のためのマイクロ・ナノデバイス開発 III 		F-KT-303 大面積超高速電子線描画装置
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0177]高校生を対象としたエコサイエンスツアー2017の実施 		F-KT-265 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
F-KT-271 3D測定ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
[F-17-KT-0178]MEMSセンサデバイスの応力評価 		F-KT-281 マイクロシステムアナライザ
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0001]細胞力学的特徴計測のためのマイクロ流体チップの開発 		F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0002]フォトニック結晶レーザの開発 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0003]光バイオセンサの研究 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-308 深掘りエッチング装置
F-OS-312 EB蒸着装置
F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-316 ナノインプリント装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0005]バイオセンサー表面構築のための化学修飾膜の評価 		F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0006]電子線リソグラフィーを利用したカスタム回折格子の作製 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-312 EB蒸着装置
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0007]高感度レジスト開発とそれを用いたデバイス作製 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-307 SEM付集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0008]X線位相イメージング用の埋め込みターゲットと回析格子の作製 		F-OS-308 深掘りエッチング装置
F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0009]超低損失ダイヤモンドパワーデバイス創製に向けたプロセス開発 (II) 		F-OS-308 深掘りエッチング装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0010]高結晶性ナノカーボン薄膜トランジスタによるバイオセンサー開発 		F-OS-307 SEM付集束イオンビーム装置
F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-312 EB蒸着装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0011]シリコンミー共振器によるフルカラー生成 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-312 EB蒸着装置
F-OS-320 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0012]最先端微細加工材料のナノ化学の研究 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0013]ナノ細孔とナノピラーを用いたアDNAセンシングデバイスの開発 		F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
F-OS-308 深掘りエッチング装置
F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-306 集束イオンビーム装置
F-OS-312 EB蒸着装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0014]機能性酸化物を用いたナノ構造体作製と評価 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-306 集束イオンビーム装置
F-OS-308 深掘りエッチング装置
F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-312 EB蒸着装置
F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-320 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0015]表面増強ラマン散乱計測に用いる金属ナノ粒子表面のナノ計測 		F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0016]ナノ材料の熱電性能評価システムの作製 		F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-306 集束イオンビーム装置
F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0017]インプリント工法の検討 		F-OS-316 ナノインプリント装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0018]マイクロ流路チップを利用したin vitro神経筋接合モデルの開発 		F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0019]微細加工応用による固体高分子形燃料電池単一層電極の形成過程と反応場の微視的解析技術開発 		F-OS-306 集束イオンビーム装置
F-OS-308 深掘りエッチング装置
F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0020]ポリマー微細加工技術の構築 		F-OS-306 集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0021]高集積化可能な強誘電体メモリー素子の作成と長期安定性評価 		F-OS-313 マスクアライナー
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0022]FIBによる電子線用フレネルゾーンプレートの作製 		F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0023]プラズモンによるEu添加赤色発光ダイオードの発光強度増大 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-307 SEM付集束イオンビーム装置
F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-314 LED描画システム
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0024]メタマテリアルによるテラヘルツ波の高度応用 		F-OS-314 LED描画システム
F-OS-320 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0025]ナノインプリントリソグラフィーを用いたポリマー製フォトニック結晶ナノ共振器の作製とセンサ応用 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-309 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0026]ワイヤーグリッド型偏光板の作製 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-308 深掘りエッチング装置
F-OS-309 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-306 集束イオンビーム装置
F-OS-316 ナノインプリント装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0027]ポリマー配線を用いたニューラルネットワーク型情報回路の創成 		F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-312 EB蒸着装置
F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0028]高感度ウイルスナノセンサの開発 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-306 集束イオンビーム装置
F-OS-308 深掘りエッチング装置
F-OS-309 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-312 EB蒸着装置
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
F-OS-320 RFスパッタ成膜装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0029]高Q値ナノ光ファイバブラッグ共振器の作製 		F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0030]半導体量子ナノ構造における量子輸送現象の研究 		F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0031]MEMS技術を用いた高機能マイクロチップ・パーツの開発 		F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0032]多孔質炭素材料の局所構造解析 		F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0033]マイカ基板での金薄膜清浄表面の作製 		F-OS-312 EB蒸着装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0034]金属ナノポア構造の作製と評価 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-309 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0035]プラズマ援用処理により成長したSiC上グラフェンの構造評価 		F-OS-312 EB蒸着装置
F-OS-314 LED描画システム
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0036]ナノ開口を使った生体分子間相互作用の解析 		F-OS-307 SEM付集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0037]縮退高濃度ホウ素ドープダイヤモンド多重積層構造におけるnmスケールの分散化プロセス 		F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-316 ナノインプリント装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0038]分子処理による二次元層状半導体の非破壊キャリア制御 		F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0039]主鎖切断型電子線レジストの改良検討 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0040]高感度非化学増幅レジストの研究 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0041]高分子膜電気特性評価用薄膜絶縁層とパターン形成 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0042]ナノギャップ作製に関する研究 		F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0043]コールターカウンターの作製 		F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0044]光熱効果に基づくナノ粒子マニピュレーションに最適な金属ナノ薄膜構造体の開発 		F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0045]金属ナノ構造の作製と光学特性の評価 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0046]先鋭構造を有するプラズモニック結晶の設計・作製と超高感度バイオセンシングデバイスへの応用 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0047]半導体マイクロ球の内部観察 		F-OS-306 集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0048]ダイヤモンドデバイスの測定・評価 		F-OS-305 電子ビームリソグラフィー装置
F-OS-314 LED描画システム
F-OS-320 RFスパッタ成膜装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0049]新規ナノモールドの開発 		F-OS-316 ナノインプリント装置
F-OS-307 SEM付集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0050]バイオ系分析用電極・基板の開発 		F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
F-OS-321 RFスパッタ成膜装置
F-OS-310 リアクティブイオンエッチング装置
F-OS-313 マスクアライナー
F-OS-314 LED描画システム
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0051]第2高調波発生する金属ナノ構造の作製 		F-OS-303 超高精細電子ビームリソグラフィー装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0052]分離膜ナノ粒子高機能化に関する研究 		F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0053]LED 光強度劣化原因調査 		F-OS-306 集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0054]サファイア基板上微小電極の作成 		F-OS-317 多元DC/RFスパッタ装置
F-OS-314 LED描画システム
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0055]ヘリウム/ネオンイオン顕微鏡（GIS機能含む）を用いた染色体の構造解析 		F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0056]ヘリウム・ネオンイオン顕微鏡を用いた電子材料の二次電子像、ダメージ、加工特性の検討 		F-OS-318 高精細集束イオンビーム装置
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
[F-17-OS-0057]両極性伝導体YH2への磁化反転スピン注入を目的とした微小ホール素子作製 		F-OS-312 EB蒸着装置
F-OS-313 マスクアライナー
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0001]半導体表面におけるイオンビーム照射誘起微細規則構造の作製 		F-GA-317 電子線描画装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0003]液晶性半導体を用いたフレキシブルデバイスの作製と評価 		F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0004]液晶性混合伝導体の薄膜化 		F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0005]超小型赤外分光イメージング装置鮮明化の為の回折格子作製 		F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0006]紙切断刃の刃先形状測定 		F-GA-338 デジタルマイクロスコープ
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0008]遷移金属磁気ライン・メモリーの作製と電流駆動磁壁移動の検証 		F-GA-317 電子線描画装置
F-GA-319 マスクアライナ
F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0011]マイクロ流路を用いた細胞計測 		F-GA-319 マスクアライナ
F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0012]環状DNA計測に向けたマイクロ流体デバイス開発 		F-GA-319 マスクアライナ
F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0014]余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発 		F-GA-319 マスクアライナ
F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0015]マイクロ流路構造への表面処理 		F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0017]THz帯メタマテリアルの作製 		F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0018]強結合および超強結合を実現するための微小共振器の作製 		F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0019]医療用センサの製作 		F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-317 電子線描画装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0020]微細加工による治療用センサの製作 		F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-321 真空蒸着装置
F-GA-317 電子線描画装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0023]Siのニードル形状加工 		F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0024]半導体の物性評価 		F-GA-324 触針式表面形状測定器
F-GA-339 膜厚測定器群
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0028]MEMS素子用マスクの作製 		F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0031]アオイ電子製FT-IR評価用サンプルの測定 		F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0032]発光性薄膜材料の開発 		F-GA-339 膜厚測定器群
F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0033]回折格子の作製 		F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0034]教育用シリコンマイクロ合金バイポーラトランジスタの表面形状分析 		F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0035]選択熱拡散の微細化に関する研究 		F-GA-317 電子線描画装置
F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0036]銅（I）錯体の薄膜化検討 		F-GA-321 真空蒸着装置
F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0037]位置判別用の多段電極形成 		F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-319 マスクアライナ
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0039]メカニカルプラズモンデバイスによるナノ空間プラットホームの構築 		F-GA-330 マスクレス露光装置
F-GA-319 マスクアライナ
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0040]臓器の層間滑りを検知する内視鏡用センサの開発 		F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0041]カメラで情報を検知する内視鏡用センサの開発 		F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0042]リード線破断面のSEM画像解析 		F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0043]GaNの表面観察 		F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0044]教育用シリコントランジスタの作製及び集積化に関する研究 		F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0045]構造色変化によるセンシングの研究 		F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0046]1分子DNA伸長技術のためのナノ流体デバイス開発 		F-GA-317 電子線描画装置
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0047]ステンレス鋼板の円柱貫通孔の変形挙動 		F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室
[F-17-GA-0048]グリースの金属新生面による分解挙動に関する潤滑性能評価のための表面形状測定 		F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0002]凝集鉱物の熱処理前後の構造評価 		F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0003]SiN一次元フォトニック結晶導波路と分子鋳型ポリマーの融合による新規バイオセンサの開発 		F-RO-374 光学スペクトル測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0004]酸化膜の深さ方向組成分析 		F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0005]電子線励起イオンセンサデバイスの製作 		F-RO-335 LPCVD装置(SiN用)
F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0006]微生物を分離培養する新規なデバイスの開発 		F-RO-373 PDMS加工装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0007]低温成長ⅢⅤ族半導体の成長とその電気的特性の評価 		F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0008]X線回折法による低温成長ⅢⅤ族半導体の結晶内の欠陥評価 		F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0009]ホール効果測定装置による低温成長ⅢⅤ族半導体のキャリア密度温度依存性の測定 		F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0010]高速イオンビームによるガラスの表面改質 		F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0011]シリコンエッチングプロセス再現性向上のためのシリコン基板表面形態の観察 		F-RO-352 原子間力顕微鏡(AFM)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0012]イオン注入による縦型n-i-p層形成の検討 		F-RO-344 イオン注入装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0013]電界効果型マイクロウォール太陽電池作製のためのSiドライエッチング 		F-RO-347 電子ビーム露光装置
F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用）
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0015]CLC poly-SiGe TFTの開発 		F-RO-344 イオン注入装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0016]Ag-TiO2ナノ粒子混合堆積膜の作製と光触媒活性の評価 		F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0017]メタルアニール無 SiCコンタクト抵抗低減実験 		F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0018]エアホール導波路センサと分子鋳型ポリマーの融合による新規バイオセンサの開発 		F-RO-335 LPCVD装置(SiN用)
F-RO-333 酸化炉
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0019]硫酸還元菌を用いた凝集鉱物の電気的特性の評価 		F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0020]硫酸還元菌を用いた凝集鉱物の構造評価による生成条件依存性の解明 		F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0021]横型スピンバルブ素子の作製 		F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0022]X線回折法による固相成長InxGa1-xAsの結晶性評価 		F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0023]多結晶シリコン薄膜トランジスタ作製のためのイオン注入 		F-RO-344 イオン注入装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0024]Si膜およびAl膜の堆積速度測定 		F-RO-369 表面段差計
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0026]スパッタ法で形成した薄膜太陽電池材料の組成比制御 		F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0027]Nd: YVO4レーザーで表面処理したポリエーテルエーテルケトン（PEEK）の表面性状の解析 		F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0029]レーザ照射による太陽電池の特性改善技術の開発 		F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0030]低温成長GaAs系半導体混晶の導電性制御 		F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0031]高い伝導性を有する酸化亜鉛透明膜の合成 		F-RO-369 表面段差計
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0032]スピンバルブ素子創製のためのナノダイヤモンド膜の2次イオン質量分析 		F-RO-351 二次イオン質量分析機(SIMS)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0033]フォトクロミック粒子簿膜のラザフォード後方散乱分光分析 		F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0034]SOIウエハの細線加工 		F-RO-347 電子ビーム露光装置
F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0035]DNAトランジスタのためのSi加工と低抵抗化 		F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-344 イオン注入装置
F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0036]DNA Si-MOSFETの作製 		F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0037]Formation of SiN membrane on Si wafer by LPCVD 		F-RO-335 LPCVD装置(SiN用)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0039]フォトクロミック粒子簿膜のX 線光電子分光分析 		F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0040]ハイパワー大気圧プラズマジェットを用いた急速熱処理によるSiCウェハ中の不純物の活性化率の向上 		F-RO-344 イオン注入装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0041]シリコンキャップアニールを用いたn型4H-SiCのオーミックコンタクト特性に対する昇温レートの影響 		F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0042]メニスカス力を用いたSOI膜の転写におけるフレキシブル基板上での単結晶シリコンCMOS回路の作製プロセスの構築 		F-RO-344 イオン注入装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0043]中空構造SOI層の低温転写技術を用いたフローティングゲートメモリ作製プロセス技術に関する研究 		F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-333 酸化炉
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0044]ワイドギャップ半導体デバイス作製のためのドライエッチング加工 		F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0045]Si基板とワイドギャップ半導体基板の貼り合わせ技術 		F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0046]ナノスケールチャネルを有するTFT作製のためのpoly-Si加工 		F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0047]不純物原子のイオン打ち込みによる化合物半導体の欠陥導入制御 		F-RO-344 イオン注入装置
F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
F-RO-351 二次イオン質量分析機(SIMS)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0048]超伝導ナノワイヤ光子数検出器を用いた蛍光相関分光システム 		F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0049]幹細胞を大量に培養する基材の開発 		F-RO-365 エッチング装置(汎用)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0052]ラザフォード後方散乱測定装置を用いたDLC並びに無機系の蒸着膜の組成分析 		F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0053]シリコンリング光共振器回路の作製 		F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0054]光バイオセンサーにおける受光素子と信号増幅回路の集積化 		F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0055]単分子誘導電体を組み込んだFET のプロトタイプ作製 		F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
F-RO-361 エッチング装置(ICP Al用)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0058]半導体薄膜の接合技術の研究 		F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
F-RO-344 イオン注入装置
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0059]CMOSトランジスタ・IC作製 		F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-344 イオン注入装置
F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
[F-17-RO-0066]流路付加バイオセンサーの作製・測定 		F-RO-331 マスクレス露光装置
F-RO-342 深堀エッチャー
F-RO-373 PDMS加工装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0001]SiN薄膜からの脱水素アニールの条件評価 		F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0002]ビスフェノール類を用いた柔軟性をもつフォトレジスト用樹脂の開発 		F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
F-YA-351 触針式表面形状測定装置
F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0003]昇温脱離ガス分析装置（ダイナミック型）による電子部品の発生ガス調査 		F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0004]層状マンガン酸化物の酸素発生活性 		F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0005]多分岐電子線レジストによるBlazed Circleの形成 		F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
F-YA-351 触針式表面形状測定装置
F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0006]UV-PDMSモールドを用いた液滴室温リバーサルマイクロコンタクトプリントによるDLCドットアレイの作製 		F-YA-351 触針式表面形状測定装置
F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0007]MEMS技術を用いた機能性表面の創製 		F-YA-359 深掘りエッチング装置
F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0008]金属含有DLCの研究 		F-YA-351 触針式表面形状測定装置
F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0009]各種金属の真空用表面処理の開発 		F-YA-354 ガス放出速度測定装置
F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0010]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト 		F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0011]新規半導体材料の開発 		F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0012]複合材料を用いたマイクロヒータの開発 		F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0013]水素チャージ処理による金属表面状態変化に関する検討 		F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0014]ガーネット材を用いたスピン流デバイの開発 		F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
F-YA-351 触針式表面形状測定装置
F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0015]ポリウレタンディスパージョンの乾燥過程におけるレオロジー挙動 		F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0016]磁気光学効果を利用したデバイスの研究開発 		F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0017]鉄鋼材料に含有する水素量分析 		F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0018]アモルファスカーボンで生成するOHラジカルを利用した生体成分分析システムの開発 		F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0019]感光性樹脂の研究 		F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0020]デュアル光コム分光エリプソメーターの開発 		F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0021]ミニマルファブシステム装置を利用したC-セミサービス事業の実現可能性の研究 		F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
F-YA-351 触針式表面形状測定装置
F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0022]真空プロセス装置開発のための基礎実験 		F-YA-355 超高真空分圧測定装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0023]バイオリフレクタを利用したデバイス応用に関する研究 		F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0024]有機半導体薄膜太陽電池の作製と半導体層の物性評価 		F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0025]省合金型二相ステンレス鋼の真空容器向け使用特性評価 		F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0026]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEB、レーザーによるフォトマスクの作製 		F-YA-348 電子線描画装置(30 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0027]新規機能性樹脂の開発 		F-YA-362 ECRエッチング装置
F-YA-359 深掘りエッチング装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0028]電解処理を用いた材料特性改質に関する研究 		F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0029]表面処理したアルミニウム合金のガス放出特性 		F-YA-356 昇温脱離ガス分析装置 【高感度型】
F-YA-362 ECRエッチング装置
F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0031]強磁性ナノ粒子集合体の磁化ダイナミクス評価素子の作製 		F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
F-YA-362 ECRエッチング装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0032]ガス放出速度測定装置の真空計の校正 		F-YA-358 昇温脱離ガス分析装置 【ダイナミック型】
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0033]TiO2の成膜、評価 		F-YA-350 UHV10元スパッタ装置
F-YA-361 3元RFマグネトロンスパッタ装置
F-YA-357 エリプソメータ【分光型】
F-YA-351 触針式表面形状測定装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0034]分子フローコントローラーによる真空計校正の検証 		F-YA-354 ガス放出速度測定装置
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0035]カルコゲナイド系磁性半導体に関する研究 		F-YA-362 ECRエッチング装置
F-YA-349 マスクアライナー（スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式（ドラフト、現像用冶具）を含む）
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
[F-17-YA-0036]高感度非化学増幅型電子線レジストの開発 		F-YA-347 電子線描画装置(50 kV)(スピンコータ、ホットプレート、現像設備一式(ドラフト、現像用冶具)を含む)
F-YA-352 走査型電子顕微鏡(簡易スパッタ装置を含む)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0001]光エネルギー変換デバイスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0002]セラミックス基板へのパターンめっき 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0003]光モードスイッチの試作開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0004]マイクロ電極を用いたバイオ応用 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0005]炭化ケイ素コーティングのＣＶＤ合成 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0006]デバイス試作および試作品解析 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
F-FA-375 ケミカルプロセス装置群(8.UVクリーナー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0007]超音波カッティング装置による半導体サンプル切断面観察 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0008]ミニマルファブシステム装置を利用したC-セミサービス事業の実現可能性研究 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-382 組立測定装置群(27.マニュアルプローバ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0009]３次元パワーSupply on Chipのプロセス技術の開発 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0010]酸化シリコンの面方向熱伝導率測定 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0011]デバイス試作および試作品の開発 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0012]細胞解析用微小孔アレイデバイスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0013]マイクロ・ナノ構造を用いたミニチャネル内流動沸騰熱伝達促進 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0014]グラフェンナノリボンを用いた次世代ナノ配線の開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0015]ダイヤモンドMOSET作製技術の研究 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0016]プール沸騰におけるミクロ液膜の形成・伝熱特性の研究 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0017]細胞外電位計測デバイスの開発 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-371 組立測定装置群(25.ボンディング装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0018]細胞の生存環境をコントロールするマイクロデバイスの開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0019]高感度水素センサの研究開発 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0020]イオン注入シリコンウェハの熱処理挙動 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-376 ケミカルプロセス装置群(9.高速熱処理装置)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0021]MEMS傾斜センサの開発 		F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0022]機械加工面形状測定用MEMSデバイスの試作 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0023]レジスト膜厚の推移と装置内温湿度との関連性の評価 		F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0024]熱電マイクロジェネレーター 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-373 ケミカルプロセス装置群(10.レーザーマイクロスコープ)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0025]表面放射電波デバイスの作製に関する研究（Ⅱ） 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-381 リソグラフィ装置群(22.EDAツール)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0026]MEMS技術を用いた機能性表面の創製 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
F-FA-369 組立測定装置群(26.比抵抗測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-377 ケミカルプロセス装置群(12.ドラフトチャンバー)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0027]金銀パラジウム合金に対するアルミナブラスト処理の作用機序 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0028]革新的機能性高分子絶縁材料の開発に関する研究 		F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0029]位置検出型ガンマ線マイクロカロリメータの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0030]シリコン半導体ウェーハへのめっき電極形成プロセスの開発 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0031]シリコン基板への深溝構造の作製 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0032]機能性伝熱面の作製 		F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0033]PECVD 膜形成によるシリコンウェーハ中の元素拡散挙動の解析 		F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0034]循環腫瘍細胞の誘電特性測定用デバイスの開発 		F-FA-372 リソグラフィ装置群(13.電子ビーム描画装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-368 組立測定装置群(23.走査型電子顕微鏡)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0035]パワーデバイスの研究開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-378 リソグラフィ装置群(18.両面マスクアライナ)
F-FA-383 組立測定装置群(28.デバイスアナライザ)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0036]放射光実験用試料のチップ状加工 		F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0037]ポテンショスタット法のためのオンチップ抵抗の実装方法の開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)
F-FA-355 ケミカルプロセス装置群(2.酸化炉)
F-FA-356 ケミカルプロセス装置群(3.拡散炉)
F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-359 ケミカルプロセス装置群(4.プラズマCVD)
F-FA-360 ケミカルプロセス装置群(5.減圧CVD)
F-FA-361 ケミカルプロセス装置群(11.超純水製造装置)
F-FA-363 リソグラフィ装置群(15.スピンコーター)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-365 リソグラフィ装置群(17.マスクアライナ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0038]アルミニウム薄膜のアノード酸化による絶縁層の形成 		F-FA-357 ケミカルプロセス装置群(7.スパッタ装置)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0039]シリコンナノピラー群の作製 		F-FA-358 ケミカルプロセス装置群(6.リアクティブイオンエッチャー)
F-FA-364 リソグラフィ装置群(14.コータ/ディベロッパ)
F-FA-366 リソグラフィ装置群(16.ステッパ)
F-FA-367 リソグラフィ装置群(19.膜厚測定器)
F-FA-370 組立測定装置群(24.ダイシングソー)
F-FA-379 リソグラフィ装置群(20.超純水製造装置)
F-FA-380 リソグラフィ装置群(21.ドラフトチャンバー)
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
[F-17-FA-0040]歪みセンサーの開発 		F-FA-354 ケミカルプロセス装置群(1.イオン注入装置)