利用報告書一覧

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[代表機関事務局] [北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室] 
[東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム] [物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム] 
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]  [筑波大学 微細加工プラットフォーム] 
[東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター] 
[早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]  [東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所] 
[名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構] 
[豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門] 
[京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点] [大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点] 
[香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室] [広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室] 
[山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室] [北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター] 


利用課題番号/課題名 利用装置名
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0001]マイクロデバイスの作製
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0002]ワイヤーグリッド型偏光板の加工方法検討
F-NU-187 ナノインプリント装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0003]複合酸化物の成膜
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0004]新規表面活性化接合の開発
F-NU-190 蛍光バイオイメージング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0005]超高速オンチップ細胞操作技術のためのロボット統合型マイクロ流体チップに関する研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0006]ナノオーダーの周期構造を用いた光学素子作製に関する研究
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0007]薄膜表面形状の解析
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0008]光電子分光によるナノ空間材料の金属イオン収着特性評価
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0009]LNO基板上の強磁性/非磁性薄膜におけるスピン軌道トルクの評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0010]オンチップ局所環境制御による単一細胞の外部刺激応答特性の解明
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0011]ムーンショット型研究開発事業(目標3)「サイエンス探求マイクロロボットツール」
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0012]半導体質量計測装置に関する研究開発
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0013]ナノバイオデバイスの開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0014]プラズマ照射試料の表面観察
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0015]カーボンナノチューブの観察
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0016]フォトリソグラフィーによる小片基板へのパターン形成
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0017]高度分離を目的とした機能性ナノファイバー膜の創製
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0018]半導体フォトカソードへの微細加工に関する研究
F-NU-170 段差計
F-NU-224 マスクレス露光装置
F-NU-301 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0019]GaNのスパッタリング成膜及びプラズマエッチング手法の開発
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0020]FePtナノドットの磁化特性評価
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0021]磁性トポロジカル絶縁体の微小接合作製と評価
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0022]Unidirectional thermal conductivity enhancement in yttrium iron garnet due to the effect of spin waves
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0023]ウェアラブル機器搭載を見据えた超薄型熱輸送デバイスの開発研究
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0025]有機材料・ナノカーボン物質・強相関電子材料における新しい光・電子応答現象の探索
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0026]アルミニウム微細加工表面に対するレーザーアブレーション力積方向特性の調査
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0027]がん転移悪性度の簡易的評価を目的とした微小流路によるがん細胞力学的特性評価
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0028]細胞培養マイクロデバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0029]GaNマイクロLEDのためのInGaN/GaNナノディスク作製
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0030]磁性ナノ粒子の特性を活かしたマイクロバルブの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0031]新規高磁歪合金薄膜の作製とその磁気特性評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0032]大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0033]高密度ラジカル源の機能性・信頼性に関わる要素技術開発及び評価
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0034]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0035]イオンエネルギー照射による多層薄膜の損傷調査
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0036]次世代ドライエッチング技術の開発
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0037]プラズマによる材料プロセスにおける反応生成物の解析
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0038]先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発
F-NU-212 高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0039]プラズマ中の現状ラジカル解析
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0040]カーボンナノ薄膜の膜構造の解明
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0041]次世代材料のプラズマエッチングの開発
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0042]半導体電極開発
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0043]プラズマ支援原子層堆積および改質に関する研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-211 プラズマ支援原子層堆積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0044]原子層デバイスの創製
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0045]ヘテロ接合半導体ダイオードの製作と評価
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0046]非空間反転対称磁性体の作製と新規スピン光機能の探索
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0047]高純度同位体シリコンエピ基板上の量子デバイス作製
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-170 段差計
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-224 マスクレス露光装置
F-NU-225 原子層体積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0048]マイクロギャップ電極の作製
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0049]Magnetic Measurement of the Chitosan-decorated Iron Oxide
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0050]イオン注入法によるシリサイド半導体への不純物のドーピング
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0051]蛍光金属酸化物ナノ粒子の超臨界水熱合成プロセスの開発
F-NU-226 蛍光りん光分光光度計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0052]ナノホールアレイの形成
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0053]培養型プレ-ナーパッチクランプ装置の開発
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0054]導電性高分子デバイスの作製と評価
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0055]細胞および生体モデルを対象とした医療機器開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-222 マルチマテリアル3Dプリンタ
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0056]マイクロロボットを用いた新しいドラッグデリバリーシステムに関する研究
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0057]露光検討
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0058]メタン合成の触媒研究
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0059]シリコン基板上における周期的金ナノ構造の作製と表面増強赤外分光法への応用
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0060]液化ジメチルエーテルによる藻類からの機能性マテリアルの抽出
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0061]湿式処理により蓮の葉構造をナノレベルで再現する安価な撥水処理技術の研究開発
F-NU-150 走査型電子顕微鏡
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0062]Green-Synthesis of Iron Oxides-based Magnetic@Semiconductor Nanoparticles using Moringa Oleifera (MO) Extract, Investigation of their Microstructures and Magnetic properties, and their application for Photocatalyst and Biosensors.
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0063]フォトニックデバイスに関する研究
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-208 プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0064]フォトニック結晶構造を有するLEDの作製
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0065]固体飛跡検出における低速イオン検出性能の評価と低速イオンにおけるエネルギー損失メカニズム研究
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0066]ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0067]含窒素有機共有結合構造体の熱分解による高活性酸素還元触媒の開発
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0068]GaNマイクロLED作製技術
F-NU-167 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0069]エラストマー基板の表面改質
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0070]Electrochemical CO2 Reduction
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0071]高濃度オゾン反応による各種材料表面の状態変化調査
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0072]FeSiBアモルファス薄膜を用いたひずみセンサの試作
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0073]廃棄系プラスチックから機能性材料への変換技術
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0074]X線回折によるめっき膜の結晶構造の解析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0075]中性子偏極解析用鉄薄膜の膜厚解析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0076]ビスマス置換希土類磁性ガーネットの磁気特性の評価
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0077]InP微細加工および電極形成
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0078]SEMによる材料内部組織観察手法の開発
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0079]線虫の走化性を利用したチャネルのためのパターニングマスク作製
F-NU-183 レーザ描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0080]ハイブリッド光検出器の光電膜の開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0081]表面処理したジルコニアの表面形状及び形態観察
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-21-NU-0082]レジスト材料の成膜、露光プロセスの品質確認
F-NU-170 段差計
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0001]ナノオーダーの周期構造を用いた光学素子作製に関する研究
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0002]半導体フォトカソードへの微細加工に関する研究
F-NU-167 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0003]スパッタ絶縁膜作製装置によるAlN, Al2O3成膜の検討
F-NU-166 スパッタ絶縁膜作製装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0005]Si-Ge-Sn系薄膜熱電材料および素子の創製
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0006]非反転対称性磁性体の作製と新規スピン光機能の探索
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0007]マイクロレンズアレイ遮光膜の作成
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0008]ナノバイオデバイスの開発
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0009]アクリル樹脂基材上へのSiO2膜作製検討
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0010]GaNのスパッタリング成膜及びプラズマエッチング手法の開発
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0011]X線を用いた神経操作法の開発
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0012]ワイヤーグリッド型偏光板の加工方法検討
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-187 ナノインプリント装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0013]Fabrication of micron Light Emitting Diode
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0014]窒化物半導体可視光センサの開発に関する研究
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0015]超小型速度・濃度計測用プローブの開発
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0016]細胞培養マイクロデバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0017]トンネル接合の作製およびトポロジカル物質の評価
F-NU-224 マスクレス露光装置
F-NU-225 原子層体積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0018]高度分離を目的とした機能性ナノファイバー膜の創製
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0019]極薄酸化膜上への高密度ナノドットの一括形成と化学構造評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0020]Cs-K-SbによるGaAsのNEA活性化
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0021]高純度同位体シリコンエピ基板上の量子デバイス作製
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-170 段差計
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-225 原子層体積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0022]カーボンナノチューブスタンプの開発と応用
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0023]新規表面活性化接合の開発
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0024]超高速オンチップ細胞操作技術のためのロボット統合型マイクロ流体チップに関する研究
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0025]円筒形状を有する単一FeNiナノ磁性細線の構造と異方性磁気抵抗効果の相関解明
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0026]ニュートラル窒化処理を施したSUS304のX線回折パターンの測定
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0027]ペロブスカイト太陽電池の薄膜構造解析
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0028]フォトニックデバイスに関する研究
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0029]シリコン基板上における周期的金ナノ構造の作製と表面増強赤外分光法への応用
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0030]光共振器導入による高分子及び原子層レーザー素子の作製
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0031]Unidirectional thermal conductivity enhancement in yttrium iron garnet due to the effect of spin waves
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0032]ウェアラブル機器搭載を見据えた超薄型熱輸送デバイスの開発研究
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0033]Fabrication and evaluation of InAlN/GaN MIS-HEMTs
F-NU-208 プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0034]コンビナトリアル手法による軟磁性合金の組織傾斜材料の作製とその測定
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0035]新規窒素含有ナノ炭素材料の合成
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0036]スピンペルチェ効果の原理解明に向けた高速熱特性計測
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0037]高効率緑色LEDに関する研究
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0038]AZO膜を用いたLow-Eガラスの日射熱取得率に関する研究
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0039]全血対応が可能な細胞分取装置による癌モニタリング
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0040]教育・評価のための眼科手術用リアル患者シミュレータの開発
F-NU-222 マルチマテリアル3Dプリンタ
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0041]オンチップ時空間制御による光合成細胞の環境応答機能の解明
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0042]先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発
F-NU-212 高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0043]次世代材料のプラズマエッチングの開発
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-223 ラジカル注入型プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0044]大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0045]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0046]高密度ラジカル源の機能性・信頼性に関わる要素技術開発及び評価
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0047]ナノグラフェンの研究
F-NU-208 プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0048]各種材料の反応性プラズマのエッチング特性
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0049]次世代ドライエッチング技術の開発
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0050]カーボンナノ薄膜の膜構造の解明
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0051]プラズマ中の現状ラジカル解析
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0052]プラズマによる材料プロセスにおける反応生成物の解析
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0053]セラミックスナノコンポジット極小曲面の形成
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
F-NU-226 蛍光りん光分光光度計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0054]光応答性ブロック共重合体ナノ構造の配向制御と応用
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0055]反応性プラズマによるエッチングプロセスの反応過程の解析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0056]プラズマ支援原子層堆積および改質に関する研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-211 プラズマ支援原子層堆積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0057]イオン照射による多層薄膜の損傷調査
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0058]ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0059]プラズマ合成した金属ナノ粒子を含有する複合高分子ファイバーの静電紡糸法による合成
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0060]歯の迅速結晶化
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0061]a-C PECVD膜の成膜過程および膜質決定メカニズム解明
F-NU-223 ラジカル注入型プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0062]半導体電極開発
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0063]アルミニウム微細加工表面に対するレーザーアブレーション力積方向特性の調査
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0064]AFMおよびイオン電流計測の統合に基づく創薬標的イオンチャネル解析システムの開拓
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0065]大同オリジナルターゲットを用いた薄膜のエッチング性評価
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0066]飛翔体搭載用光学素子開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0067]細胞および生体モデルを対象とした医療機器開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-222 マルチマテリアル3Dプリンタ
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0068]スパッタ洗浄による透過型LaB6光電面の量子効率の回復
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0069]遷移金属チオハライド層状結晶の新奇二次元物質の構造決定
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0070]BiドープSiにおけるスピンホール効果の光学的観測
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0072]半導体プロセス技術を活用した全固体電池の開発
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0073]眼科モデルの開発
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0074]FeSiBアモルファス薄膜を用いたひずみセンサの試作
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0075]B4C/SiCコンポジットセラミックスのトライボロジー特性
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0076]有機電子材料・ナノカーボン物質・強相関電子材料における新しい光・電子応答現象の探索
F-NU-170 段差計
F-NU-226 蛍光りん光分光光度計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0077]X線回折によるアルミナ担持白金ースズナノ粒子の構造解析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0078]グラフェン-基板界面構造の解析
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0079]半導体基板のアニール処理
F-NU-151 電気炉
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0080]石炭熱分解時化学構造変化の解明
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0081]セラミックス微粒子で修飾された無機基材表面の微構造評価
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0082]がん転移悪性度の簡易的評価を目的とした微小流路によるがん細胞力学的特性評価
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0083]線虫の走化性を利用したチャネル作製
F-NU-183 レーザ描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0084]フェリ磁性体を用いた新規スピンデバイス
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0085]光電子分光を用いた有機エネルギー変換材料の電子状態解析
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-20-NU-0086]複合酸化物の成膜
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0001]MEMSや半導体などをセラミック材で支持する構造
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0002]スパッタ薄膜の耐久性改善
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0003]微細構造光学素子の作成
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0004]ワイヤーグリッド型偏光板の加工方法検討
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0005]超臨界流体中でのPtエアロゲルの合成と燃料電池電極触媒への応用
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0006]暗黒物質探索用固体型飛跡検出器としての超高分解能原子核乾板における低速イオン飛跡検出性能の評価
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0007]極小曲面をテンプレートとするナノ薄膜合成
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0008]省エネルギー社会の実現に資する次世代半導体研究開発
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0009]薄膜金属ガラスを用いた超小型高感度静電容量型圧力センサの研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0010]神経細胞ネットワークハイスループットスクリーニング装置の開発
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0011]3d遷移金属添加AIN薄膜の結晶構造の解明
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0012]超小型速度・濃度計測用プローブの開発
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0013]FeSiBアモルファス薄膜を用いたひずみセンサの試作
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0014]高純度同位体シリコンエピ基板上の量子デバイス作製
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-170 段差計
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-225 原子層体積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0015]新規磁区測定手法開発のための金属磁性体薄膜の作成
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0016]樹脂表面の改質効果
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0017]微細加工表面での動的接触角決定機構の解明
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0018]ナノ―オーダーの周期構造を用いた光学素子の作製に関する研究
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0019]高分子材料及び二次元ナノ材料への光共振器導入とレーザー素子の作製
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0020]天文観測用の接合型Ge遠赤外線検出器の超薄層化・高感度化への挑戦
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-208 プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0021]新規表面活性化接合の開発
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0022]薄膜金属ガラス製ダイアフラム構造体の応力制御
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0023]カーボンナノチューブ膜へのパリレンコーティング
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0024]トンネル接合の作製およびカーボンナノ物質成長制御
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0025]真空紫外光を透過する透明高抵抗膜の開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0026]UV硬化型材料の性能評価
F-NU-170 段差計
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0027]磁性/非磁性の多層構造を有する単一磁性ナノワイヤーにおける巨大磁気抵抗効果の観測
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0028]Study of the Synechocystis sp. PCC 6803 cells in response to environmental stress by using on chip space-time control
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
F-NU-182 スプレーコーター一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-187 ナノインプリント装置一式
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-190 蛍光バイオイメージング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-192 ECRスパッタリング装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-195 SEM用断面試料作製装置
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
F-NU-222 マルチマテリアル3Dプリンタ
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0029]新生児生体信号の非侵襲モニタリング
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0030]バイオニックヒューマノイドのシステム統合と眼球モデルの開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-222 マルチマテリアル3Dプリンタ
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0031]CVD成長したWS2原子層を用いた高移動度デバイス作製法の開発
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0032]フェムト秒レーザによるサファイア極小径深穴開け加工の研究
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0033]微細加工技術を用いた細胞圧縮用マイクロデバイスの作製
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0034]細胞培養マイクロデバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0035]電極開発
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0036]がん転移悪性度の簡易的評価を目的とした微小流路によるがん細胞力学的特性評価
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0037]飛翔体搭載用素子開発
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0038]生体適合性向上を目指した機能性チタン表面の作製と評価
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0039]光励起誘電体ナノ構造の創る磁気増強場でのキラル核形成
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0040]窒化ガリウムパワーデバイスの作製プロセスおよびデバイス構造の研究
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0041]急速昇温熱処理によるシリコンウェーハ内部の欠陥形成挙動の調査
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0042]マイクロロボットの開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0043]窒化物半導体可視光センサの開発に関する研究
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0044]超臨界流体急速膨張法によるカロテノイドナノ粒子の調製
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0045]テンプレート熱分解法による多孔酸素窒素ドープ炭素材料の合成とスーパーキャパシター電極への応用
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0046]多次元・マルチスケール特異構造の作製と作製機構の解明
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0047]高度分離を目的とした機能性ナノファイバー膜の創製
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0048]AZO膜を用いたLow-Eガラスの日射熱取得率
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0049]光応答性液晶側鎖およびアモルファス側鎖ランダム共重合体を用いたサブ10nmパターン形成
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0050]大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0051]高密度ラジカル源の高信頼性化・高付加価値化のための要素技術開発及び評価
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0052]先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発
F-NU-212 高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0053]高精度ガラスエッチングの開発
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0054]プラズマ支援原子層堆積および改質に関する研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-211 プラズマ支援原子層堆積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0055]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0056]次世代ドライエッチング技術の開発
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0057]プラズマによる材料プロセスにおける反応生成物の解析
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0058]反応性プラズマによるエッチングプロセスの反応過程の解析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0059]プラズマ中の原子状ラジカル解析
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0060]カーボンナノ薄膜の膜構造の解明
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0061]各種材料の反応性プラズマのエッチング特性
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0062]次世代材料のプラズマエッチングの開発
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0063]絶縁膜/ワイドギャップ半導体界面における欠陥評価および欠陥低減プロセスに関する研究
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0064]トップコート膜の作製
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0065]細胞および生体モデルを対象とした医療機器開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-222 マルチマテリアル3Dプリンタ
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0066]半導体フォトカソードの微細加工に関する研究開発
F-NU-224 マスクレス露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0067]Fabrication and Characterization of Gold (Au) & Bismuth (Bi) thin film, CoFeB-based GMR thin film
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0068]アクリル樹脂基材上へのSiO2膜作製検討
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0069]プラズマ処理した酸化物膜の表面分析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0070]ガラスマスクの作成
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0071]ガラス基板上の誘電体スラントグレーティングの作製
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0072]セラミックス微粒子を担持した金属・高分子基板表面の3次元形状測定
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0073]骨含有元素との合金化による生体適合性チタン合金の開発
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0074]食品廃棄物からの高付加価値物の回収
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0075]表面改質した炭素繊維の分析
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0076]シリコン光機能デバイスの試作
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0077]熱処理によるSiウェーハへの影響の調査
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0078]Ge基板上へのⅢ-V族化合物半導体薄膜の形成
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0079]強誘電体薄膜キャパシタ向け白金電極の作製と評価
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0080]Cu合金膜およびTi合金膜のエッチング性評価
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0081]半導体電極開発
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0082]酸化物型全固体リチウム二次電池に用いる集電体金属膜の作製
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0083]レーザーによる微細加工の研究
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0084]ダイヤモンド内部への変質線形成
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0085]パワーデバイス用GaN基板の評価
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0086]スパッタリング収率の結晶方位依存性
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0087]高効率LEDに関する研究
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0088]Unidirectional thermal conductivity enhancement in yttrium Iron garnet due to the effect of spin waves
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-166 スパッタ絶縁膜作製装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0089]コンビナトリアル手法による軟磁性合金の組織傾斜材料の作製とその測定
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0091]SiC上グラフェンの界面制御と化学結合状態分析
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0092]液中プラズマと超音波の併用によるナノグラフェンの合成
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0093]シリコン中のドーパントのアニールによる拡散評価
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0094]CFRTP/Al合金複合平板の接合強度評価
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0095]強磁性CoPtスパッタ膜の規則化
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0096]SiC結晶中の歪評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0097]ナノバイオデバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0099]Si赤外線受光素子に関する研究
F-NU-208 プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0100]セラミック材料の耐プラズマ性の評価
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0101]Cs-K-SbによるGaAsのNEA活性化
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0102]ケイ素鋼板の磁気特性測定
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0103]非反転対称性磁性体の作製と新規スピン光機能の探索
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-19-NU-0104]ウェアラブル機器搭載を見据えた超薄型熱輸送デバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0001]極小曲面をテンプレートとするナノ薄膜合成
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0002]神経細胞ネットワークハイスループットスクリーニング装置の開発
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0003]超臨界流体中でのPtエアロゲルの合成と燃料電池電極触媒への応用
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0004]微細構造光学素子の作成について
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0005]光・テラヘルツ波制御のための高機能メタマテリアルの提案
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0006]アクリル樹脂基材上へのSiO2膜作製検討
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0007]トンネル接合の作製およびカーボンナノ物質成長制御
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0008]ZnO:Al膜と銀膜による赤外線反射膜の作製
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0009]光学的観察のための金属フィルタの作製
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0010]微細加工を用いた細胞押付用マイクロ基板の作製
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0011]細胞培養環境の剛性が細胞機能に及ぼす影響の解明
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0012]Vapor-Liquid-Solid成長モードによる機能性酸化物ナノワイヤー成長に関する研究
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
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[F-18-NU-0013]フォトカソードのための半導体技術開発
(登録なし)
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[F-18-NU-0014]方向感度を持つ暗黒物質探索用検出器としての超高分解能原子核乾板における低速イオン検出性能の評価
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[F-18-NU-0015]SiC上グラフェンの界面制御と化学結合状態分析
F-NU-221 X線光電子分光装置
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[F-18-NU-0016]有機電子材料・ナノカーボン物質における新しい光・電子応答現象の探索
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[F-18-NU-0017]細胞培養マイクロデバイスの開発
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[F-18-NU-0018]チタン/アモルファス炭素微細テクスチャーによる高骨形成能・骨接着性表面の創製
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[F-18-NU-0019]天文観測用の接合型Ge遠赤外線検出器の超薄層化・高感度化への挑戦
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[F-18-NU-0020]微細加工表面での動的接触角決定機構の解明
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[F-18-NU-0021]オンチップ時空間制御による光合成細胞の環境応答機能の解明
F-NU-182 スプレーコーター一式
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-187 ナノインプリント装置一式
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-192 ECRスパッタリング装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
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F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0022]バイオニックヒューマノイドのシステム統合と眼球モデルの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0023]流体制御を基盤とする超高速・超精密単一細胞分取技術の開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0024]超高速オープンフローサイトメーター
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0025]シロイヌナズナの気孔開閉にかかわる細胞壁強度の測定
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0026]がん転移悪性度の簡易的評価を目的とした微小流路によるがん細胞力学的特性評価
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0027]薄膜金属ガラスを用いた光学デバイスの開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0028]超小型速度・濃度計測用プローブの開発
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0029]GaNトランジスタを用いたマイクロ波無線電力伝送用ダイオードに関する研究
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0030]イットリア安定化ジルコニアセラミックのフラッシュ焼結挙動に及ぼす交流電場周波数依存性
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0031]高分子材料及び二次元ナノ材料への光共振器導入による発光デバイスの作製
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0032]ダイヤモンド内部への変質線形成
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0033]現像液添加剤による現像性の影響
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0034]シリコン量子ドット発電層の高品質化技術の開発と太陽電池構造の作製
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0035]樹脂表面の改質効果
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0036]パワーデバイスのプロセス技術検討
F-NU-167 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0037]グラフェンデバイス開発
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0038]遅い不斉プラズモン場中でのカイラル結晶制御
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0039]有機ペロブスカイト太陽電池の薄膜構造解析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0040]絶縁膜/GaN表界面の高感度電子状態計測と酸化膜界面設計の研究
F-NU-205 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0042]FeSiBアモルファス薄膜を用いたひずみセンサの試作
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0043]テンプレート熱分解法による多孔質酸素窒素ドープ炭素材料の合成とスーパーキャパシター電極への応用
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0044]強誘電体薄膜キャパシタ向け白金電極の作製と評価
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0045]筆記用具表面粗さのスケッチに対する影響度評価
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0046]高度分離を目的とした機能性ナノファイバー膜の創製
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0047]レーザーアブレーション面積および表面状態の計測
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0048]超臨界流体急速膨張法によるカロテノイドナノ粒子の調製
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0049]UV硬化型材料の性能評価
F-NU-170 段差計
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0050]3次元凹凸構造の作製
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0051]GaN 系半導体・光電子デバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0052]微細加工を用いたバイオマイクロの研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0053]ESRによるヒト毛髪とラジカルに関する研究
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0054]各種材料の反応性プラズマのエッチング特性
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0055]反応性プラズマによるエッチングプロセスの反応過程の解析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0056]次世代材料のプラズマエッチングの開発
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0057]プラズマ支援原子層堆積および改質に関する研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-211 プラズマ支援原子層堆積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0058]プラズマ中の原子状ラジカル解析
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0059]切削加工に用いる工具と生成される切りくずの観察
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0060]Fabrication and Characterization of Au & Cr thin film, Magnetic Nanostructures
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0061]磁性/非磁性の多層構造を有する磁性ナノワイヤーにおける巨大磁気抵抗効果の観測
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0062]軟X線非線形効果の観測に向けた金属多層膜の作成
F-NU-156 8元MBE装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0063]ラシュバ界面を持つ磁性二層膜の磁気光学特性評価
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0064]中性子ペンデル干渉法のための単結晶資料作成
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0065]PET及びPS表面の元素解析
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0066]各種ゴム製Oリングにおける水素プラズマ耐性の評価
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0067]飛翔体搭載用素子開発
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0068]反応性イオンエッチングを用いた焦点制御型回折レンズの作製
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0069]複合金属酸化物触媒及び固定化触媒のXPSによる金属価数評価
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0070]磁気光学効果を利用したデバイスの研究開発
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0071]CoFeSiBアモルファス薄膜の耐熱性向上と磁歪評価
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0072]自動車排気ガス浄化フィルタの微細構造可視化
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0073]機能性分子薄膜の熱電物性評価用ナノスケール電極アレーの作製
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0074]ICP装置を用いたシリコン基板の深堀りエッチングによる集積型ナノ柱状構造の作製
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0075]複合高分子/不揮発性液体からなるゲル電解質を用いた色素増感太陽電池の作製
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0076]樹脂基板上へのAl膜スパッタリングにおける逆スパッタ処理の有用性検討
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0077]磁性規則合金薄膜の磁気特性評価
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0078]光応答性ブロック共重合体薄膜の配向制御と応用
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0079]CVD成長したWS2原子層を用いた高移動度デバイス作製法の開発
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0080]多結晶CVD-SiCの粒界分析
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0081]酸化合金触媒のメタン水蒸気改質反応への適応
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0082]シリコン/磁性体界面におけるスピン流‐電流変換現象の解明
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0083]GaN integration with amorphous substrates via silicon seed layers fabricated by aluminum-induced crystallization
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0084]微細加工を用いた細胞圧縮用マイクロデバイスの作製
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0085]ワイヤーグリッド型偏光板の加工方法検討
F-NU-187 ナノインプリント装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0086]ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0087]分子モーターを用いた回転アクチュエーターの作製
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0088]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるアルコール種依存性
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0089]先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発
F-NU-212 高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0090]次世代ドライエッチング技術の開発
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0091]高密度ラジカル源の要素技術開発及び評価
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0092]プラズマ処理が炭素表面に及ぼす影響の調査
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0093]大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0094]プラズマによる材料プロセスにおける反応生成物の解析
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0095]カーボンナノ薄膜の膜構造の解明
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0096]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0097]高精度ガラスエッチングの開発
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0098]非反転対称性磁性体の作製と新規スピン光機能の探索
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0100]単結晶および金属基板上REBa2Cu3O7薄膜の歪評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0101]銅配線メッキ膜の解析
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0102]有機高分子で被覆された磁性ナノ粒子の磁化測定
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-18-NU-0103]フェムト秒レーザによるサファイア極小径深穴開け加工の研究
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0001]ドナー・アクセプター分子ヘテロ接合構造体の光電変換過程に関する研究
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0002]超小型速度・濃度計測用プローブの開発
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0003]超低摩擦現象解明のための摩擦誘起表界面ナノ構造の分析
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0004]高クヌッセン数流れの総合的理解へ向けた計測手法の開発とその応用
F-NU-170 段差計
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0005]感光性樹脂の研究
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0006]生物医学応用に向けた円盤状粒子の作製と評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0007]SiC上グラフェンの界面制御と化学結合状態分析
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0008]マイクロセンシングデバイスの開発
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0009]方向感度を持つ暗黒物質探索用検出器としての超高分解能原子核乾板における低速イオン検出性能の評価
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0010]次世代半導体デバイスのための材料およびプロセス開発研究
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0011]非線形光学効果を利用した還元焼結
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0012]光学的観察のための金属フィルタの作製
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0013]磁性薄膜の磁壁を利用したスピン散乱効果の検証
F-NU-182 スプレーコーター一式
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0014]細胞培養マイクロデバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0015]コンビナトリアル評価デバイスの研究開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0016]薄膜金属ガラスを用いた光学デバイスの開発
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0017]レーザ直接描画法によるマイクロデバイスの研究開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0018]高時間応答マイクロ壁面せん断応力センサの開発
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0019]ステンレス多孔体の表面改質
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0020]スパッタ法により形成した酸化薄膜の評価
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0021]シリコン量子ドット発電層の高品質化技術の開発と太陽電池構造の作製
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0022]微細加工表面での動的接触角決定機構の解明
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0023]神経細胞ネットワークハイスループットスクリーニング装置の開発
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0024]カーボンナノ物質の成長制御と電子源応用
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0025]シリカの炭素還元により生じるSiOガスを介したSiCナノ材料含有薄膜の合成
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0026]量子ナノ構造デバイスの研究
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0027]マイクロリアクタの作製
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-182 スプレーコーター一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0028]有機電子材料・ナノカーボン物質における新しい光・電子応答現象の探索
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0029]高秩序ナノ構造体の創製と評価に関する研究
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0030]ハーフメタルを用いたスピンデバイスの研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0031]大気圧プラズマを用いたナノファイバー不織布膜の濾過性能の向上
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0032]エネルギー創成・貯蔵材料に関する研究
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-170 段差計
F-NU-218 透過型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0033]色素増感太陽電池用光学基板の作製
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0034]高成形性形状記憶合金のコンビナトリアル評価
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0035]薄膜金属ガラスを用いた超小型高感度静電容量型圧力センサの研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0036]高機能磁気センサデバイスの開発と評価
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0037]高効率磁化反転技術の開発
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0038]ダイヤモンドのレーザ内部変質加工
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0039]ポリイミド樹脂シートのマイクロ構造加工
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0040]高磁気異方性薄膜の磁化ダイナミクス測定
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0041]NiO薄膜の形成
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0042]細胞培養環境の剛性が細胞機能に及ぼす影響の解明
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0043]オンチップ細胞計測を基盤とする光合成細胞の外部刺激応答特性の解明
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0044]マルチ材料積層造形技術による心臓モデルの開発
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0045]流体制御を基盤とする超高速・超精密単一細胞分取技術の開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0046]バイオニックヒューマノイドのシステム統合と眼球モデルの開発
F-NU-170 段差計
F-NU-186 光三次元造形装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0047]超高速オープンフローサイトメーター
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0048]光学式応力センサを搭載した生体模擬網膜モデルの開発
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0049]バイオニックヒューマノイドモデリングのための解剖構造モデリングと物性計測技術の開発
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0050]スフェロイドの機械特性ソーティングを基軸とした培養環境との機械的相互作用
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0051]GaNトランジスタを用いたマイクロ波無線電力伝送用ダイオードに関する研究
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0052]イオン注入Si基板を用いたシリサイド半導体/Siヘテロ構造の作製
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-151 電気炉
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0053]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEB、レーザーによるフォトマスクの作製
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0054]高分子材料へのDFB型回折格子の導入によるレーザー発振
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0055]Siライン&スペース上へのSi量子ドットの高密度形成
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0056]プラズマ照射試料の表面観察
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0057]砒化亜鉛化合物新規磁性半導体の高品位薄膜成長とデバイス作製
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0058]亜臨界流体による微細藻類からの油脂抽出挙動の解明
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0059]ALD法を用いたGaN基板上Al2O3薄膜作製
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0060]カーボンナノチューブの結晶成長
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0061]パワーデバイスのプロセス技術検討
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0062]マイクロロボットの開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0063]医療用マイクロデバイスとマイクロ流体デバイスの研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0064]ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0065]ZnO:Al膜と銀膜による赤外線反射膜の作製
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0066]UFL-Hybridを用いた薄膜トランジスタ作成
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0067]強く捻れた光場中でのカイラル核形成による結晶カイラリティ制御
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0068]強磁性ナノワイヤーにおける磁壁電流駆動の観測
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0069]パワーデバイス用GaN基板の評価
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0070]切削加工による仕上げ面の観察
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0071]次世代ナノデバイスのための高度機能プロセスの研究
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0072]先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発
F-NU-212 高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0073]グラフェンデバイス開発
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0074]次世代材料のプラズマエッチングの開発
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0075]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるアルコール種依存性
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0076]プラズマプロセスを用いた加工形状および気相・表面の評価
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0077]高精度ガラスエッチングの開発
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0078]大気圧プラズマの医療応用技術の開発に関する研究
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0079]高密度ラジカル源の用途拡張のための要素技術開発及び評価
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0080]プラズマ支援原子層堆積および改質に関する研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-211 プラズマ支援原子層堆積装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0081]次世代ドライエッチング技術の開発
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0082]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0083]カーボンナノ薄膜の膜構造の解明
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0084]大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0085]プラズマによる材料プロセスにおける反応生成物の解析
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0086]微細構造体の作製
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0087]LSAT表面構造の制御とその解析
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0088]酸化物薄膜へのイオン挿入脱離による熱伝導率の変化を利用した熱スイッチ材料の提案
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0089]Fabrication and Characterization Au & Cr thin film, Magnetic Nanostructures
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0090]Chiral domain wall driven by current in the presence of external AC magnetic field in perpendicularly magnetized magnetic nanotracks
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0092]超薄型熱輸送デバイスの研究
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0093]洗浄成分ポリグリセリン脂肪酸エステルが角層ラメラ構造へ及ぼす影響
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0094]体内埋め込み微小電極に関する研究
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0095]軟X線非線形効果の実証実験に向けた金属多層膜の作成
F-NU-164 分子線エピタキシー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0096]シリコンナノ粒子太陽電池に関する研究
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0097]半導体プロセス基礎実験
F-NU-167 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0098]微細加工プロセスを利用した光学素子の作成
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0099]ESRによるヒト毛髪とラジカルに関する研究
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0100]反応性スパッタ膜の結晶構造解析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0101]ラジカル支援RE-MOCVD法によるGaN系次世代半導体とデバイス開発
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0102]省エネルギー素子用大口径Si基板上高品質GaN成膜技術の開発
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0103]レーザーアブレーション面積の計測
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0104]微細加工を用いた細胞培養基盤の創出
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0105]有機ペロブスカイト太陽電池の薄膜構造解析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0106]天文観測用の接合型Ge遠赤外線検出器の超薄層化・高感度化への挑戦
F-NU-152 急速加熱処理装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0107]チタン/アモルファス炭素微細テクスチャーによる高骨形成能・骨接着性表面の創製
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0108]非空間反転対称磁性体の作製と新規スピン光機能の探索
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0109]強誘電体薄膜キャパシタ向け白金電極の作製と評価
F-NU-179 レーザー描画装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0110]GaN選択成長用基板に向けたRIE加工
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0111]XPSによる燃料電池電極触媒の金属価数評価
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0112]酸処理したTiO2板の表面粗さの解析
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0113]オーステナイト系ステンレス鋼の不均一変形挙動に関する研究
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0114]GaN表界面の高感度電子状態計測と酸化膜界面設計の研究
F-NU-205 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0115]表面処理をしたチタン板の薄膜X線回折装置での同定分析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0116]光応答性ブロック共重合体薄膜の配向制御と応用
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0117]極小曲面をテンプレートとするナノ薄膜合成
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0118]Al2O3/BN複合材料の微細組織と熱伝導率に関する研究
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0119]磁性多層膜の磁気光学特性評価
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0120]シリコンウェハの微細パターニング
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0121]バイオ燃料電池を搭載した超小型自己泳動マイクロロボットへの挑戦
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0122]3次元凹凸構造の作製
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0123]微細加工を用いた細胞押付用マイクロ基板の作製
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0124]ガラス上へのエッチング用マスク作製法の検討
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0125]磁気光学効果を利用したデバイスの研究開発
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0126]反応性プラズマによるエッチングプロセスの反応過程の解析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0127]ビスマスドープシリコンにおけるスピン流‐電流変換現象の解明
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0128]セルロースナノファイバー/リン酸カルシウム複合体の微細構造観察
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0129]光・テラヘルツ波制御のための高機能メタマテリアルの提案
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0130]AFMを用いたDNAとヒストンの凝集構造の観察
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0131]複合金属酸化物触媒及び固定化触媒のXPSによる金属価数評価
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0132]3d遷移金属添加AlN薄膜の結晶構造の解明
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0133]アクリル樹脂基材上へのSiO2膜作製検討
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-17-NU-0134]神経細胞ネットワークハイスループットスクリーニング装置の製作
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0001]赤外線天体観測用フォトニック結晶スーパーレンズの開発
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0002]光誘起非平衡状態の輸送現象の研究
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0003]VHF-DC重畳マグネトロンスパッタにおける膜の平坦性
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0004]蛍光性ナノ粒子を利用した深部高解像イメージング
F-NU-216 原子間力顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0005]大気エアロゾル粒子中のラジカルの測定
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0006]GaN系半導体光・電子デバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0007]量子ナノ構造デバイスの研究
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0008]次世代半導体デバイスのための材料およびプロセス開発研究
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0009]アルミニウム誘起成長法を利用したSi薄膜の作製
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0010]SiC基板上グラフェンの構造解析および化学結合状態分析
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0011]高秩序ナノ構造体の創製と評価に関する研究
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0012]高時間応答マイクロ壁面せん断応力センサの開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0013]電子線露光装置を用いた金属薄膜の作製
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0014]微小粒子分離デバイス作製
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0015]マイクロセンシングデバイスの開発
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0016]機能性磁性積層膜の開発と評価
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0017]シリコンナノデバイス及び分子・バイオCMOS融合デバイスの研究-分子・バイオCMOS融合デバイス実現に向けた電子ビームリソグラフィを用いた電極形成-
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0018]マイクロリアクタの作成
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-182 スプレーコーター一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0019]神経細胞ネットワークハイスループットスクリーニング装置の開発
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0020]ハーフメタルを用いたスピンデバイスの研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0021]薄膜金属ガラスを用いた超小型高感度静電容量型圧力センサの研究
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0022]レーザ直接描画法によるマイクロデバイスの研究開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-195 SEM用断面試料作製装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0023]光学的観察のための金属フィルタの作製
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0024]非線形光学効果を利用した還元焼結
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0025]自己組織化を用いた3次元微細周期構造の作製
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0026]コンビナトリアル評価デバイスの研究開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-183 レーザ描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0027]ナノカーボン物質の合成とデバイス作製
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0028]電流センサ用の超高精度・超小型GSRセンサに関する研究
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-182 スプレーコーター一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0029]Si基板上BaSi2太陽電池のバックサーフェイスフィールドの検討
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0030]有機単分子膜トランジスタにおける単分子膜内部構造の解明
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0031]スピネル酸化物強磁性体のイオン照射による磁性制御とパターン形成
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0032]金属材料表面評価について
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0033]プラズマ照射試料の表面観察
F-NU-150 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0034]高クヌッセン数流れの総合的理解へ向けた計測手法の開発
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-170 段差計
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0035]超臨界流体噴霧による天然有価物の貧溶媒晶析
F-NU-150 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0036]有機ラジカル薄膜の分析
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0037]酸化物薄膜へのイオン挿入脱離による熱伝導率の変化を利用した熱スイッチ材料の提案
F-NU-150 走査型電子顕微鏡
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0038]スパッタリングによる布帛へのAZO膜の成膜に関する研究
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0039]XPSによる燃料電池電極触媒の金属価数評価
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0040]能動鉗子の直感的操作可能な操作インタフェースの設計・試作
F-NU-186 光三次元造形装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0041]分子薄膜の膜厚測定
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0042]白金薄膜抵抗温度計の作製と評価
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0043]高品位鉄系超伝導薄膜のMBE成長およびデバイス作製
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0044]オンチップ細胞計測を基盤とする光合成細胞の外部刺激応答特性の解明
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0045]水晶振動式MEMSプローブを用いた卵細胞の非侵襲活性評価への挑戦
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0046]オープンチップを用いた超高速細胞分取システムの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0047]生体模倣眼球モデルの作製
F-NU-170 段差計
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0048]バイオニックヒューマノイドモデリングのための解剖構造モデリングと物性計測技術の開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0049]トップダウン・ボトムアップ統合オンチップ細胞計測システム
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0050]立体造形による機能的な生体組織造形技術の開発
F-NU-190 蛍光バイオイメージング装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0051]蓄電池代替、埋め込み超伝導蓄電コイル積層体の研究開発
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0052]蓄電池代替、埋め込み超伝導蓄電コイル積層体の研究開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0053]細胞培養マイクロデバイスの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0054]医用材料の微細形態と組成の分析
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0055]GaN系半導体微細構造の作製と評価に関する研究
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0056]超低摩擦現象解明のための摩擦誘起表界面ナノ構造の分析
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0057]セラミックス材料のEBIC測定
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0058]感光性樹脂の研究
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0059]強く捻れた光場中でのキラル核形成による結晶キラリティ制御
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0060]SiC上グラフェンナノリボンの観察
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0061]方向感度を持つ暗黒物質探索用検出器としての超高分解能原子核乾板における低速イオン検出性能の評価
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0062]Si-Ge系スーパーアトム構造のセルフアライン集積による光・電子物性制御
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-205 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0063]フォトカソード用半導体の技術開発と透過型電子顕微鏡観察への応用
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0064]人工衛星搭載磁性材料の形状磁気異方性トルクの計測
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0065]カーボンナノ物質の成長制御と電子源応用
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0066]微細加工表面での動的接触角決定機構の解明
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0067]Ge系材料へのドーピング品質改善と評価に関する研究
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0068]フェムト秒レーザー加工によるテラヘルツ・メタサーフェスの作製
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0069]ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0070]エピタキシャル磁気ヘテロ接合系における垂直磁気異方性の研究
F-NU-164 分子線エピタキシー装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0071]Fabrication and Characterization of Magnetic Nanostructures
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0072]モデル生物を応用したマイクロ・ナノ操作技術に関する研究
F-NU-170 段差計
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0073]繰返しレーザーアブレーションによる力積特性
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0074]マイクロロボットの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0075]医療用マイクロデバイスとマイクロ流体デバイスの研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0076]シリカの炭素還元により生じるSiOガスを介したSiCナノ材料含有薄膜の合成
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0077]フェムト秒レーザー反応場において生成された微粒子の構造評価
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0078]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるアルコール種依存性
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0079]先進プラズマを活用した高機能窒化ガリウムデバイスの製造プロセスの開発
F-NU-212 高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0080]ナノインプリント工法の検討
F-NU-187 ナノインプリント装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0081]プラズマエッチング装置構成材料の開発
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0082]大気圧プラズマの医療応用技術の開発に関する研究
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0083]プラズマ支援原子層堆積および改質に関する研究
F-NU-211 プラズマ支援原子層堆積装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0084]高精度ガラスエッチングの開発
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0085]反応性プラズマによるエッチングプロセスの反応過程の解析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0086]次世代材料のプラズマエッチングの開発
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0087]次世代ドライエッチング技術の開発
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0088]高密度ラジカル源の製品サイズに対するシリーズ化のための要素技術開発および評価
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0089]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0090]プラズマプロセスを用いた加工形状および気相・表面の評価
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0091]大気圧プラズマのバイオ応用に関する研究
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0092]プラズマによる材料プロセスにおける反応生成物の解析
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0093]カーボンナノ薄膜の膜構造の解明
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0094]3次元レーザー・リソグラフィシステムを用いた超高アスペクト構造体の形成
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0095]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0096]次世代ナノデバイスのための高度機能プロセスの研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0097]IV族クラスレート膜の電子物性評価
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0098]超薄型フリースタンディングテラヘルツ半波長板の実現
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0099]有機ペロブスカイト太陽電池の薄膜構造解析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0100]電子線位相微分法による燃料電池界面の観察
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0101]大気圧プラズマを用いたナノファイバー不織布膜の濾過性能の向上
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0102]NOxガス低減に向けた炭素材料の検討
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0103]出力光ファイバーと接続した導光板に密着させる太陽電池に関する研究
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0104]半導体のプロセス技術検討
F-NU-167 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0105]有機電子材料・ナノカーボン物質における新しい光・電子応答現象の探索
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0106]磁気光学効果を利用したデバイスの研究開発
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0107]FeSiBNbアモルファス薄膜の軟磁気特性の評価
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0108]反応性スパッタ膜の結晶構造解析
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0109]電子ビーム露光を利用したNi微細凹凸パターンの作製
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0110]ニュートラル窒化処理によるオーステナイト系ステンレス鋼の表面改質
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0111]スパッタリングによるSi基板の反りに関する研究
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0112]ダイヤモンドのレーザ内部変質加工
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0113]Er,O共添加GaAsを用いた2次元フォトニック結晶点欠陥共振器の作製
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0114]グラフェンデバイス開発
F-NU-213 表面解析プラズマビーム装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0115]熱間圧延サーマルクラウン蛇行の予測
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0116]パワーデバイス用GaN基板の結晶性評価
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0117]シリコン単結晶の方位確認
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0118]ESRによるヒト毛髪とラジカルに関する研究
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0119]ナノ粒子による基板上パタン形成の検討
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0120]JST先端計測分析技術・機器開発プログラム「高速1ショット観測を実現するフォトカソード電子源の開発」
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0121]高効率磁化反転技術の開発と評価
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0122]複合金属酸化物触媒及び固定化触媒のXPSによる金属価数評価
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0123]XPSによる酸化物表面固定化金属錯体の固定化量・金属価数評価
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0124]ステンレス多孔体の表面改質
F-NU-221 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0125]高分子材料へのDFB型回折格子の導入によるレーザー発振
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0126]マイクロ多孔体内相変化素過程の解明とループヒートパイプ高熱流束化への応用
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0127]酸化物蛍光体の組成分析
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0128] ミリ波帯用GaN on Siトランジスタに関する研究
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-16-NU-0129]皮膚傷害の発症過程における皮膚接触力学の特性
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0001]MEMSデバイスの研究開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0002]レーザ直接描画法によるMEMSデバイスの研究開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0003]VHF-DC重畳マグトロンスパッタリングにおけるITO膜平坦性向上機構の検討
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0004]微粒子分離用マイクロ構造体の作製
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0005]神経細胞ネットワークハイスループットスクリーニング装置の開発
F-NU-182 スプレーコーター一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0006]細胞アセンブリに関する研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0007]高クヌッセン数流れの総合的理解へ向けた研究
F-NU-170 段差計
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0008]モデル生物を応用したマイクロ・ナノ操作技術に関する研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0009]有機ラジカル薄膜の分析
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0010]次世代半導体デバイスのための材料およびプロセス開発研究
F-NU-149 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0011]ハーフメタルを用いたスピンデバイスの研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0012]機能性磁性積層膜の開発と評価
F-NU-203 電子線露光装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0013]マイクロセンシングデバイスの開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0014]高秩序ナノ構造体の創製と評価に関する研究
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0015]電子線露光装置を用いた金属薄膜の作製
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0016]マイクロリアクタの作成
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-182 スプレーコーター一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0017]テンプレート分子を用いたナノカーボン物質の超精密合成
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0018]アルミ誘起成長法を利用したSi薄膜の作製
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0019]プラズマ照射試料の表面構造観察
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0020]レンチキュラーレンズの試作加工の低コスト化検証
F-NU-187 ナノインプリント装置一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0021]人工衛星搭載磁性材料の形状磁気異方性トルクの計測
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0022]亜鉛電析に及ぼす電解液の流れの影響に関する研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0023]キラル金ナノ構造体により誘起されるねじれた光場中でのキラル結晶化制御
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0024]シリコンナノデバイス及び分子・バイオCMOS融合デバイスの研究-分子・バイオCMOS融合デバイス実現に向けた電子ビームリソグラフィを用いた電極形成-
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0025]高品位鉄系超伝導薄膜のMBE成長と接合作製
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0026]超低摩擦現象解明のための摩擦誘起表界面ナノ構造の分析
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0027]スパッタリング収率の結晶方位依存性
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0028]カーボンナノ物質の成長制御と電子源応用
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0029]感光性樹脂の研究
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0030]GSR sensor 素子の試作
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0031]IV族半導体-金属合金化反応制御による強磁性ナノドットの高密度形成と磁気的特性
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0032]細胞培養マイクロデバイスの開発
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0033]楕円振動切削による金属金型の高能率鏡面仕上げ加工
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0034]CFRP熱伝導率測定のための試料製作
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0035]医用複合材料の微細形態と組成の分析
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0036]量子ナノ構造デバイスの研究
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-167 ICPエッチング装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0037]次世代ナノデバイスのための高度機能プロセスの研究
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0038]有機電子材料における新しい光・電子応答現象の探索
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0039]GaN系半導体微細構造の作製と評価に関する研究
F-NU-167 ICPエッチング装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0040]マイクロロボットの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0041]医療用マイクロデバイスとマイクロ流体デバイスの研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0042]プラナーパッチクランプ基板の開発
F-NU-170 段差計
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0043]出力光ファイバーと接続した導光板に密着させる太陽電池に関する研究
F-NU-170 段差計
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0044]パワーデバイスの作製
F-NU-167 ICPエッチング装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0045]a-Si:H膜の成膜ガス利用効率の検討
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0046]灰付着による脱硝触媒の劣化機構の解明
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0047]超臨界流体を利用した貧溶媒化法による微粒子製造
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0048]Fabrication and Characterization of Metal Oxides Magnetic Nanostructures
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0049]微細加工とロボット技術を基盤とする細胞の機械特性計測
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0050]オンチップ細胞計測を基盤とする光合成細胞の外部刺激応答特性の解明
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-219 Deep Si Etcher
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0051]振動誘起流れによる非接触三軸姿勢制御を用いた卵細胞の非侵襲活性評価への挑戦
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0052]非侵襲生体センシング技術
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0053]オープンチップを用いた超高速細胞分取システムの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0054]がん細胞分離・濃縮バイオデバイスの技術開発
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0055]繋ぐ技術で拓く弾性型血管の創生とバイオニックシュミュレータ
F-NU-190 蛍光バイオイメージング装置一式
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0056]ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0057]ストライプ状鉄カーボン薄膜の熱処理による形態変化の観察
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0058]金属電極表面へのレーザー照射による多孔化
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0059]電子線露光装置における100nm以下微細パタンの形成特性の検討
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0060]Ge系材料へのドーピング品質改善と評価に関する研究
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0061]熱処理により形成させたLSAT表面ステップテラス構造のAFM観察
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0062]プラズマ処理によるフッ素樹脂の親水性表面改質
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-168 RIEエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0063]方向感度を持つ暗黒物質探索用検出器としての超高分解能原子核乾板における低速イオン検出性能の評価
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0064]ナノ磁気センサを用いた磁性膜の観測
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0065]GeコアSi量子ドットにおける GeコアサイズがPL特性に及ぼす影響
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0066]微粉炭燃焼に及ぼす水素系ガス添加の影響
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0067]赤外線天体観測用フォトニック結晶スーパーレンズの開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0068]磁性細線メモリにおける高速動作に関する研究
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0069]フェムト秒レーザーによるガラス接合の検討
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0070]プラズマ用インジケータの開発
F-NU-167 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0071]微細加工形状の評価
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0072]白金薄膜抵抗温度計の作製と評価
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0073]FeRh薄膜の静・動的温度変化XAFSによる研究II
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0074]蛍光性ナノ粒子を用いた深部高解像イメージング
F-NU-220 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0075]XPSによるメタン燃焼用PdCoアルミナ触媒の構造解析
F-NU-205 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0076]熱電薄膜発電デバイスの研究開発
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0077]Laser ablation spot area measurement
F-NU-217 デジタルマイクロスコープ一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0078]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEBレーザーによるフォトマスクの作製
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0079]ラシュバ型スピン軌道相互作用誘起のFe超薄膜の垂直磁気異方性の研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-164 分子線エピタキシー装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0080]SiC基板上グラフェンにおける化学状態分析
F-NU-149 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0081]Molecular Recognition and Aggregation Control of Distributed DNA Nanorobots
F-NU-216 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0082]Al/Epoxy間の濡れ性に及ぼす大気圧プラズマ処理の効果
F-NU-149 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0083]キラル金ナノ構造体により誘起されるねじれた光場中でのキラル結晶化制御
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0084]Magnetic Sensor Fabrication
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0085]ロボット身体化に関する研究
F-NU-186 光三次元造形装置一式
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[F-15-NU-0086]磁気光学効果を利用したデバイスの研究開発
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0087]テラヘルツ波を応用した識別タグの開発
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0088]スピネル酸化物強磁性体のイオン照射による磁性制御とパターン形成
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-203 電子線露光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0089]有機薄膜トランジスタの開発
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0090]強磁性垂直磁化膜における人工微小欠陥導入とその磁化反転過程に関する研究
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0091]ガラス基板上へのAZO膜の成膜に関する研究
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0092]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるアルコール依存性
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0093]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0094]プラズマ医療創成に向けた大気圧プラズマ基本パラメータの解析
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0095]反応性プラズマによるエッチングプロセスの反応過程の解析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0096]プラズマプロセス中の基板温度制御に関する研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0097]XPSによる燃料電池電極触媒の金属価数評価
F-NU-214 in-situプラズマ照射表面分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0098]プラズマ励起CVD法で成膜したアモルファスカーボン薄膜中の水素含有量の評価
F-NU-206 フーリエ変換赤外分光分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0099]シリコン単結晶の疲労に関する研究
F-NU-219 Deep Si Etcher
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-15-NU-0100]ナノインプリントにおける大面積・超微細加工の研究開発プロジェクト
(登録なし)
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[F-14-NU-0001]FeRh薄膜の静・動的温度変化XAFSによる研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0002]スピネル酸化物強磁性体のイオン照射による磁性制御とパターン形成
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0003]薄膜材料の試作評価
F-NU-149 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0004]プラズマ照射試料の表面構造観察
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0005]次世代半導体デバイスのための材料およびプロセス開発研究
F-NU-149 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0006]マイクロリアクタの作成
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-182 スプレーコーター一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0007]MEMSデバイスの研究開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0008]工具用ダイヤモンド材料の高効率加工
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0009]機能性ナノワイヤの創製と性能評価に関する研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0010]GaAsを用いたマイクロ波AFMプローブの開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0011]機能性磁性積層膜の開発と評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0012]VHF-DCマグネトロンスパッタ装置の放電特性
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0013]ハイパボリック・メタマテリアルによる高効率有機発光デバイスの開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0014]IV族半導体-金属合金化反応制御による強磁性ナノドットの高密度形成と磁気的特性
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0015]医用複合材料の微細形態と組成の分析
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0016]プレーナーパッチクランプ基板製作
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0017]マイクロセンシングデバイスの開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0018]ナノバイオデバイスの開発
F-NU-192 ECRスパッタリング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0019]ハーフメタルを用いたスピンデバイスの研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0020]キラル金ナノ構造体により誘起されるねじれた光場中でのキラル結晶化制御
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0021]シリコンナノデバイス及び分子・バイオCMOS融合デバイスの研究-バイオCMOS融合デバイス実現のためのSEMを用いた電極観察-
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0022]カーボンナノ物質の成長制御と電子源応用
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0023]GaN系半導体微細構造の作製と評価に関する研究
F-NU-167 ICPエッチング装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0024]有機低次元電子系材料における新しい光・電子応答現象の探索
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0025]次世代ナノデバイスのための高度機能プロセスの研究
F-NU-149 X線光電子分光装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0026]細胞アセンブリに関する研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0027]モデル生物を応用したマイクロ・ナノ操作技術に関する研究
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0028]Magnetoresistive Magnetic Field Sensor Fabrication
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0029]高クヌッセン数流れの計測手法の開発及び総合的理解へ向けた研究
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0030]高品位鉄系超伝導薄膜のMBE成長と接合作製
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-170 段差計
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0031]量子ナノ構造デバイスの研究
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-167 ICPエッチング装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0032]有機薄膜ラジカルの分析
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0033]磁性薄膜の磁壁を利用したスピン散乱効果の検証
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0034]超臨界流体を利用した貧溶媒化法による微粒子製造
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0035]GaNナノワイヤー成長技術の開発
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0036]金属酸化物ナノロッドの構造解析とその電気的特性
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0037]ポリマーアロイの弾性率マッピング
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0038]テンプレート分子を用いたナノカーボン物質の超精密合成
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0039]有機非線形光学結晶のX線回折による構造評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0040]がん細胞分離・濃縮バイオデバイスの技術開発
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0041]オンチップロボティクスを基盤とする光合成細胞の機能計測
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0042]フロー式細胞力学パラメータ計測システムの構築
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-209 ダイシングソー装置
F-NU-210 リアクティブイオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0043]卵細胞の粘弾性の異方性を測る革新的マイクロロボットシステムへの挑戦
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0044]非侵襲生体センシング技術
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-184 スパッタリング装置一式
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0045]細胞解析用マイクロデバイスの作製
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0046]繋ぐ技術で拓く弾性型血管の創生とバイオニックシュミュレータ
F-NU-194 高精度電子線描画装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0047]方向感度を持つ暗黒物質探索用検出器としての超高分解能原子核乾板における低速イオン検出性能の評価
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0048]超低摩擦現象解明のための摩擦誘起表界面ナノ構造の分析
F-NU-150 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0049]プラズマ照射済み環境下での細菌活性に関する研究
F-NU-190 蛍光バイオイメージング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0050]Ge系材料へのドーピング品質改善と評価に関する研究
F-NU-152 急速加熱処理装置
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0051]X線・中性子回折格子干渉計のための光学素子の作製
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0052]機能性光学材料の開発
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0053]大口径ラジカルソースの開発および窒素ラジカル生成
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0054]大口径ラジカルソースの開発および窒素ラジカルの絶対密度計測
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0055]マイクロロボットの開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0056]医療用マイクロデバイスとマイクロ流体デバイスの研究
F-NU-170 段差計
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0057]強誘電体薄膜の加熱処理
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0058]MEMS微細加工及びそれの医用応用に関する研究
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-160 エッチングプロセス一式
F-NU-197 金属スパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0059]MEMSセンサ及びそれの医用応用に関する研究
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-198 パリレンコータ
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0060]プラズマインジケータの開発
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
F-NU-167 ICPエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0061]パワーデバイスの作製
F-NU-167 ICPエッチング装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0062]顎関節の器官構築に向けた三次元器官培養法の開発
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-202 マスクアライナ(ナノテック)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0063]磁性体を使ったホログラフィーによる3D画 像表示の研究
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0064]Fabrication and Characterization of CoFe2O4 and Fe3O4 Magnetic Nanostructures; Fabrication of GMR thin films
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0065]導電率傾斜機能材料を用いたGISスペーサの作製技術に関する研究
F-NU-189 小型微細形状測定機一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0066]基板上のジイソプロポキシビス(アセチルアセトナト)チタン層の膜厚測定
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0067]Si反転層におけるスピン輸送特性の解明
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-152 急速加熱処理装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0068]スピン波ロジック回路に向けた単結晶イットリウム鉄ガーネットの形成
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0069]印刷プロセスの開発
F-NU-188 パリレンコーティング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0070]強磁性カイラル構造の磁気特性評価
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0071]EB蒸着膜の形成および密着性検討
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0072]アルミ誘起成長法を利用したSi薄膜の作製と固相エピタキシャル成長
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0073]フォトニックバンドギャップファイバーを用いた高エネルギーサブpsパルスの制御
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0074]多元スパッタを用いたスピンゼーベック素子の作製
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0075]細胞培養マイクロデバイスの開発
F-NU-199 フォトリソグラフィ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0076]強酸環境を対象とした金属酸化被膜の開発
(登録なし)
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[F-14-NU-0077]Magnetoresistive Magnetic Field Sensor Fabrication
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0078]モーター蛋白質で駆動するマイクロデバイスのためのマイクロ構造体の作製
F-NU-201 両面露光用マスクアライナ(Suss MJB-3)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0079]ハーフメタル強磁性体を用いたグラニュラー型トンネル磁気抵抗薄膜の作製と評価
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0080]レンチキュラーレンズの試作加工の低コスト化検証
F-NU-187 ナノインプリント装置一式
F-NU-196 デジタルマイクロスコープ一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
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[F-14-NU-0081]ロックインサーモグラフィを用いた熱拡散率三次元分布測定法の開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0082]機能性ナノワイヤ面ファスナーの形状制御および性能評価に関する研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0083]CoPt基合金薄膜の時間分解磁気光学測定法による磁気緩和評価
F-NU-204 フェムト秒レーザー加工分析システム
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0084]プレーナーパッチクランプ基板製作
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-200 両面露光用マスクアライナ(Suss MA-6)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0085]As保護膜を使用したCs/GaAs系半導体構造の特性評価
F-NU-156 8元MBE装置
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[F-14-NU-0086]感光性樹脂の研究
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0087]ラジカル注入型源によるシリコン薄膜
F-NU-177 60 MHz 励起プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0088]シリコン薄膜太陽電池の開発
F-NU-177 60 MHz 励起プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0089]プラズマエッチング中のポリマー表面反応解析
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0090]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0091]プラズマ医療科学にかかわる生体材料表面ラジカル解析
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0092]食品衛生の大気圧プラズマ利用のラジカル解析
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0093]太陽電池用カーボン薄膜の膜中欠陥密度に対するRFバイアス印加効果の解明
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-206 フーリエ変換赤外分光分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0094]太陽電池用カーボン薄膜の膜中欠陥密度に対するRFバイアス周波数依存性の解明
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
F-NU-206 フーリエ変換赤外分光分析装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0095]太陽電池用カーボン薄膜の膜中欠陥密度に対するDCバイアス印加効果の解明
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0096]新規下層カーボン膜を用いたエッチングプロセスの開発
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0097]新規ガスによるエッチングプロセスの開発「新規ガス1の性能評価」
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0098]新規ガスによるエッチングプロセスの開発「新規ガス2の性能評価」
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0099]新規ガスによるエッチングプロセスの開発「新規ガス3の性能評価」
F-NU-176 二周波励起プラズマエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0100]非接触ウェハ温度計測に関する研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0101]フォトレジスト表面ラフネス形成機構の解析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0102]太陽電池用微結晶シリコンの膜特性解析
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0103]太陽電池用カーボン薄膜の膜構造に対するRFバイアス周波数依存性の解明
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0104]太陽電池用カーボン薄膜の膜構造に対するB2H6ガス添加効果の解明
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0105]太陽電池用カーボン薄膜の膜構造に対するN2ガス添加の解明
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0106]DC 重畳エッチング表面の解析
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0107]マイクロ放電装置による真空紫外発光量の計測
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0108]大気圧プラズマ放電によるラジカル生成量
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0109]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるアルコール依存性
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0110]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるヘキサン添加効果
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0111]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成における有機白金添加効果
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0112]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるアイオノマーコート
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0113]大気圧ミストプラズマによる絶縁膜製膜におけるガス流量依存性
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0114]大気圧ミストプラズマによる絶縁膜製膜における原料種依存性
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0115]新規ガスによるエッチングプロセスの開発
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0116]新規プロセスガスを用いたエッチング特性の解析
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-14-NU-0117]亜鉛電析に及ぼす電解液の流れの影響に関する研究
F-NU-209 ダイシングソー装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0001]エミッター開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0002]磁気記録用ビットパターンド媒体の研究
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-152 急速加熱処理装置
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0003]有機ラジカル薄膜の分析
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0004]医用複合材料の微細形態と組成の分析(体液模倣環境におけるリン酸カルシウムの生成)
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0005]ハーフメタルを用いたスピンデバイスの研究
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-146 電子線描画装置
F-NU-150 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0006]神経細胞ネットワークの形成デバイス装置の微細加工 -光神経電子集積回路開発と機能解析・応用-
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0007]Pt系合金ナノドットの高密度形成
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0008]マイクロセンサの開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0009]繰返し圧縮応力によるシリコン単結晶中の欠陥形成と残存引張強度に関する研究
F-NU-159 露光プロセス装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0010]GaAsを用いたマイクロ波AFMプローブの開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0011]機能性ナノワイヤの創製と性能評価に関する研究
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-159 露光プロセス装置一式
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0012]MEMSデバイスの研究開発
F-NU-159 露光プロセス装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0013]がん細胞分離・濃縮バイオデバイスの技術開発
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0015]次世代半導体デバイスのための材料およびプロセス開発
F-NU-146 電子線描画装置
F-NU-147 反応性イオンエッチング装置
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0016]オンチップロボティクスを基盤とする光合成細胞の機能計測
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0017]フロー式細胞力学パラメータ計測システムの構築
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0018]自己集積化による半導体ナノロッドの配列制御と光エネルギー変換への応用
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0019]プラズマ照射試料の表面損傷観察
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0020]高品位鉄系超伝導薄膜のMBE成長と接合作製
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-185 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0021]金属酸化物ナノロッドの構造解析とその電気的特性(鉄酸化物ナノロッドの成長条件と構造解析)
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0022]マイクロリアクタの作製
F-NU-145 マスクアライナ
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0023]超臨界流体噴霧による天然有価物の微粒子化
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0024]スピネル酸化物強磁性体のイオン照射
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0025]王水処理によるグラファイトシート表面の化学状態変化に関する研究
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0026]電子部品用機能性薄膜の開発
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0027]有機低次元電子系材料における新しい光・電子応答現象の探索
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0028]量子ナノ構造デバイスの研究
F-NU-162 レーザー描画装置
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0029]シリコンナノデバイス及び分子・バイオCMOS融合デバイスの研究-分子エレクトロニクスのための電子ビーム蒸着による電極形成-
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0030]GaN系半導体微細構造の作製と評価に関する研究
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0031]次世代ナノデバイスのための高度機能プロセスの研究
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0032]カーボンナノ物質の成長制御と電子源応用
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0033]医療用マイクロデバイスとマイクロ流体デバイスの研究
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-159 露光プロセス装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0034]マイクロロボットの開発
F-NU-145 マスクアライナ
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-159 露光プロセス装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0035]ガラス基板のドライエッチング性調査
F-NU-167 ICPエッチング装置
F-NU-168 RIEエッチング装置
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0036]Ti上のCu微小構造物への細胞接着特性評価
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0037]スピン注入磁気メモリの研究
F-NU-146 電子線描画装置
F-NU-148 イオン注入装置
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0038]ブロック共重合体薄膜のミクロ相分離構造の配向制御に関する研究
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0039]超微粒子原子核乾板における方向感度を持った暗黒物質検出器としての検出器性能評価
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0040]ラジカル注入型プラズマ源によるシリコン薄膜
F-NU-177 60 MHz 励起プラズマCVD装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0042]プラズマエッチング中のポリマー表面反応解析
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0043]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0044]プラズマ医療科学にかかわる生体材料表面ラジカル解析
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0045]食品衛生の大気圧プラズマ利用のラジカル解析
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0046]太陽電池用カーボン薄膜の膜中欠陥密度に対するRFバイアス印加効果の解明
F-NU-175 In-situ 電子スピン共鳴(ESR)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0053]非接触ウェハ温度計測に関する研究
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0058]太陽電池用カーボン薄膜の膜構造に対するN2ガス添加効果の解明
F-NU-178 ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0060]マイクロ放電装置による真空紫外発光量の計測
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0061]大口径ラジカルソースの開発および窒素ラジカル生成
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0062]大口径ラジカルソースの開発および窒素ラジカルの絶対密度計測
F-NU-174 真空紫外吸収分光計(原子状ラジカルモニター)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0064]液中プラズマを用いた燃料電池触媒電極ナノカーボン合成におけるアルコール依存性
F-NU-172 超高密度液中プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0072]Fabrication and Characterization of Iron Oxides-based Magnetic Nanostructures; Fabrication of GMR thin films
F-NU-154 原子間力顕微鏡
F-NU-180 磁気特性評価システム群
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0074]セラミック薄膜のX線回折測定
F-NU-153 薄膜X線回折装置
F-NU-162 レーザー描画装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0075]Fe薄膜の真空中加熱における凝集状態の把握
F-NU-155 8元マグネトロンスパッタ装置
F-NU-156 8元MBE装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0076]X線・中性子回折格子干渉計のための光学素子の作製
F-NU-167 ICPエッチング装置
F-NU-181 マスクアライナ群
F-NU-192 ECRスパッタリング装置一式
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[F-13-NU-0077]生体高分子解析のためのナノ構造体作製(マイクロ流体バイオセンサーによるDNAおよびタンパク質検出)
F-NU-170 段差計
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0078]高速細胞特性計測
F-NU-181 マスクアライナ群
F-NU-191 ICPエッチング装置一式
F-NU-193 電鋳装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0079]EB蒸着膜の形成および密着性検討
F-NU-165 電子ビーム蒸着装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0080]金属ナノ細線パターンの形成方法の探求
F-NU-146 電子線描画装置
F-NU-157 ECR-SIMSエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0081]光造形法によるステントモデルの作製
F-NU-186 光三次元造形装置一式
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[F-13-NU-0082]高次機能ナノプロセスに関する研究 -SiC溶液法による低密度ステップ構造の形成-
F-NU-169 走査型電子顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0083]機能性光学材料の開発 [(3)表面AFM観察]
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0084]有機非線形光学結晶のX線回折による構造評価
F-NU-153 薄膜X線回折装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0085]大気圧プラズマを用いたバイオセンサに向けた表面処理の研究
F-NU-171 超高密度大気圧プラズマ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0086]VHF-DC重畳マグネトロンプラズマ中の高エネルギー負イオン計測
F-NU-154 原子間力顕微鏡
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0087]癌細胞におけるHUVECネットワークへの浸潤評価
F-NU-190 蛍光バイオイメージング装置一式
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0088]強磁性/反強磁性パターン媒体の研究および磁性細線の研究
F-NU-146 電子線描画装置
F-NU-148 イオン注入装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0089]平面基板タイプの超小型MIセンサ素子開発
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0090]ハイパボリック・メタマテリアルの作製
F-NU-158 3元マグネトロンスパッタ装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0091]工具用ダイヤモンド材料の高効率加工
F-NU-147 反応性イオンエッチング装置
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-13-NU-0092]トライアック故障の原因解析
F-NU-150 走査型電子顕微鏡
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[F-13-NU-0093]モーター蛋白質で駆動するマイクロデバイスのためのマイクロ構造体の作製
F-NU-181 マスクアライナ群
F-NU-183 レーザ描画装置一式
F-NU-184 スパッタリング装置一式
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[F-12-NU-0001]Fabrication and Characterization of CoFe2O4 and Fe3O4 Magnetic Nanoparticles; Fabrication of GMR Thin Film
(登録なし)
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[F-12-NU-0003]高周波共鳴用金属蛇行パターンの製作
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[F-12-NU-0004]ハーフメタルを用いたスピンデバイスの研究
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[F-12-NU-0005]キューブ状ガラスビームスプリッターへのスリット形状転写
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[F-12-NU-0006]MEMSデバイスの研究開発
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[F-12-NU-0007]マイクロセンサの開発
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[F-12-NU-0008]GaAsを用いたAFMプローブの開発
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[F-12-NU-0009]シリコンMEMSの強度信頼性評価と疲労破壊機構の解明に関する研究
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[F-12-NU-0010]形彫放電加工機用2次元マイクロ加工電極形成技術開発
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[F-12-NU-0011]スピネル酸化物強磁性体のイオン照射
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[F-12-NU-0012]機能性ナノワイヤの創製と性能評価に関する研究
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[F-12-NU-0014]有機ラジカル薄膜の構造決定
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[F-12-NU-0015]SiC表面分解法によるカーボンナノチューブの構造制御
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[F-12-NU-0016]ブロック共重合体の設計とナノ構造形成に関する研究
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[F-12-NU-0017]金属ナノクラスター触媒の構造解析
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[F-12-NU-0018]光触媒の構造評価
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[F-12-NU-0019]リモート水素プラズマ支援によるCoPt合金ナノドットの高密度形成
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[F-12-NU-0020]超高速操作による細胞計測と自立誘導モニタリング
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[F-12-NU-0021]RTV615を使用した多層マイクロ流路作成
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[F-12-NU-0022]タングステン酸化物ナノロッドの構造解析
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[F-12-NU-0023]DNAハイドロゲルの金属化により金属フィルム創製と評価
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[F-12-NU-0024]超臨界流体噴霧による天然有価物の微粒子化
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[F-12-NU-0025]人工骨用無機/有機複合材料の表面構造解析
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[F-12-NU-0026]電池材料を指向したナノ構造炭素系材料等の形状・生成プロセスの解明
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[F-12-NU-0027]磁気記録用ビットパターンド媒体の研究
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[F-12-NU-0028]SEMによるHeイオン照射タングステン材の観察
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[F-12-NU-0029]高分子膜へのAl薄膜の真空蒸着
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[F-12-NU-0030]化合物系半導体量子井戸構造へのスピン注入に関する研究
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[F-12-NU-0031]化合物系半導体/酸化物半導体ナノワイヤ構造の評価に関する研究
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[F-12-NU-0032]次世代半導体デバイスのための材料およびプロセス開発研究
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[F-12-NU-0033]極微細カーボンナノチューブデバイスの作製
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[F-12-NU-0034]ラジカル注入型プラズマ源によるシリコン薄膜
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[F-12-NU-0036]プラズマエッチング中のポリマー表面反応解析
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[F-12-NU-0037]プラズマ医療科学にかかわるラジカル解析
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[F-12-NU-0039]食品衛生の大気圧プラズマ利用のラジカル解析
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[F-12-NU-0047]非接触ウェハ温度計測に関する研究
(登録なし)
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[F-12-NU-0054]マイクロ放電装置による真空紫外発光量の計測
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[F-12-NU-0068]NEA表面を利用した伝導電子エネルギーの測定
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名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-12-NU-0069]GaAs(110)基板上へのCs/GaAs NEA表面の形成と評価および(001)基板との比較を通じたCs/GaAs表面構造の研究
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-12-NU-0070]GaN系半導体微細構造の作製と評価に関する研究
(登録なし)
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[F-12-NU-0071]シリコンナノデバイス及び分子・バイオCMOS融合デバイスの研究
(登録なし)
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[F-12-NU-0072]グラフェンの合成とカーボンナノチューブ/金属接合特性の評価
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-12-NU-0073]次世代半導体デバイスのための材料およびプロセス開発研究
(登録なし)
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[F-12-NU-0074]1分子DNA解析ナノデバイス開発
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-12-NU-0075]高品位鉄砒素超伝導薄膜のMBE成長
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-12-NU-0076]超高分解能原子核乾板におけるイオン注入装置を用いた低速イオン飛跡における検出器性能評価
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-12-NU-0077]マイクロリアクタの作成
(登録なし)
名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構
[F-12-NU-0078]ヘリウム照射金属のナノ形状変化
(登録なし)