利用報告書一覧

利用報告書一覧

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[代表機関事務局] [北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室] 
[東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム] [物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム] 
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]  [筑波大学 微細加工プラットフォーム] 
[東京大学 超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター] 
[早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]  [東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所] 
[名古屋大学 施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構] 
[豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門] 
[京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点] [大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点] 
[香川大学 産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室] [広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室] 
[山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室] [北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター] 


利用課題番号/課題名 利用装置名
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0008]細胞培養に向けた電子線グラフト重合法による温度応答性微細加工膜の作製と物性評価
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0010] UV 硬化膜の断面構造解析
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0016]微細構造による Si 熱電発電集積デバイスの開発
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0017]ALD 装置による Al2O3 膜堆積
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0019]可視光応答型光触媒 TiO2/金ナノワイヤーコアシェルアレイの作製
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0021]液晶液滴内の結晶評価
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0024]リチウム金属負極を用いた二次電池の適用に向けたポリマー膜断面観察
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0028] リチウム二次電池用セパレータ上への Al 薄膜の形成
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0030]アミノシランの分子構造が自己組織化単分子膜の形成に与える影響の調査
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0034] FET バイオセンサを用いた RNA の検出
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0037]非荷電の小分子検出を目的とした FET バイオセンサの作製と評価
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0043]FET バイオセンサの作製
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0053]室温強磁性を有する In2O3 薄膜の物性評価
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0054]GaAs/AlGaAs リッジ構造の観測
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0058]導波路作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0069]メソ孔の配向制御に向けた波型断面を有する基板の作製
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0073]シンガポール企業からの問合せ対応
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0076]アンモニア酸化細菌 Nitrosomonas mobilis Ms1 のシングルセル観察
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0077]シングルセルレベル観察によって明らかにする微生物増殖速度のばらつき
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0098]伸縮可能な MEMS デバイスシート
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0101]培養口腔粘膜作製用に向けた三次元MEMS技術と表面状態の基礎研究
F-WS-153 クリーンルーム環境維持装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0102] ストレッチャブル液体 OLEDs の試作
F-WS-138 アライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0103]エッジ AI デバイスセキュリティに向けた NAM チップ実装技術
F-WS-137 プラズマ処理装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0105]マイクロ流体デバイス作製に向けた流路パターン形成
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0107]TO 電極のパターニング
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0110]フレキシブル木質炭素フィルムを用いた環境発電デバイスの改善に向けた基礎研究
F-WS-900 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0111]櫛歯型電極の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0112]蒸着薄膜 Ti の表面評価
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0114] 生分解性材料を用いたセンサ搭載ソフトアクチュエータの開発
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0117] SAW デバイスの作製に向けた LT 基板と水晶基板の接合の研究
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0118]呼気分析に用いる吸着シートの表面処理
F-WS-137 プラズマ処理装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0123]CoPtメッキ膜の形成
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0126]TRaf プロセスを用いたナノドットパターンを有する架橋 PTFE 微細加工体の作製と評価
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0127]Zn 電析における微量添加 Pb の析出形態への影響の解析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0129]PDMS 表面に付着したコラーゲンの観察
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0134]自己修復性層状シロキサン材料の設計
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0140]ABS 構造物へのめっきの観察
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0143]酸化物ナノシートの膜作製とそのスクロールへの転換
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0146]水電解反応用触媒電極の形成と反応機構解析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0147]In-situ Raman analysis of zinc dissolution-passivation behavior
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0148]プラズモンセンサを用いた溶液 pH 変化の検出
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0149]水電解における酸素発生反応用触媒電極の設計・評価及び解析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0150]電解析出による BiSbTe 系熱電変換素子の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0151] Zn 負極の形態制御に向けた Pb 及び Sn 添加種が析出及び溶解に与える影響の解析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0152]表面増強ラマン散乱を用いた LIB における不働態膜形成の解析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0153]表面増強ラマン散乱を用いた射出成形用金型表面の劣化過程の解析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0154]TiO2 シェルを有する高耐液性プラズモンセンサの開発
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0155]水電解反応用触媒電極の形成及び性能評価
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0156]有機溶媒からの電解析出法による Si 薄膜の作製
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-900 電子ビーム蒸着装置
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0162]SERS 計測を用いた Zn アノード反応における添加剤の作用機構の解析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0165]磁気メモリ応用に向けた CoPt 薄膜の形成
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0166]水電解における酸素発生反応用触媒電極の設計・評価及び解析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0167]亜鉛負極上 ZnO 膜の電気特性に与える電解液添加種効果の解析のための測定手法 の検討
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0170]イオン液体を用いた電析 Si 薄膜の作製
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0174]空間的シングルセル解析実現のための基礎的検討
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0220]再沈法に基づくサイズが均一な結晶作製法の開発
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0221]光熱効果で高速で駆動するフォトメカニカル結晶の開発
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0224]ワイドバンドギャップ半導体用高信頼ゲート絶縁膜技術の開発
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0225]ダイヤモンド表面の酸素終端化
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0227]金属酸化膜の光学特性の評価
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0228]電気化学析出技術の研究
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0229]MLA150 の最適露光条件の検討、フォトマスク作製及び二段露光
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0231] CoPt メッキ膜の形成(2)
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0237]ダイヤモンド MOSFETs の微細加工
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0238]ワイドギャップ半導体の欠陥エンジニアリングに関する研究
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0244]ガラスの異方性エッチング技術開発
F-WS-902 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0247]CFRTP・GFRP の接合のための濡れ性向上
F-WS-137 プラズマ処理装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0257]ナノ隙間における固液界面分子構造の表面増強ラマン分光解析
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0258]太陽アクシオン探査用 TES カロリメータの吸収体 Fe 成膜
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0259]スパッタリング法によるインピーダンス測定用 CeO2ペレットへの Pt 電極形成 及びそれを用いた表面プロトン伝導特性評価
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0264] 電子線グラフト重合による高分子アクチュエータの開発
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0265]パルス電析法によるイオン液体中からの p 型及び n 型 Si 薄膜の作製
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0268]ABS 表面へのめっき膜の生成と評価
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0269]ZrO2 膜上の Mo 薄膜の形成
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0272]Cu-Au 合金ナノ粒子によるギ酸分解光触媒性能の研究
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0273]シリコンウェハ貫通 Deep-RIE
F-WS-132 Deep-RIE装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0274]酸化亜鉛および金属亜鉛膜の亜鉛負極電池極板への応用
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-21-WS-0277]Zn 負極反応におけるアルカリジンケート浴中への Li 添加が Zn 電析に与える影響の検討
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0003]Cr/Au薄膜の形成
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0004]熱酸化法による CuO ナノワイヤ生成における 剥離強度特性に及ぼす Cu 基板表面粗さの影響
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0007]酸化重合によるポリ(フェニレンスルフィド)誘導体の合成と機能性ハイブリッド材料への応 用
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0010]含硫黄芳香族系ポリマーと無機微粒子とのハイブリッド化による高屈折率材料の創製
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0012]純水中の微量金属分析
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0013]ストレッチャブル液体 OLEDs の実現に向けた基礎研究
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0016]GaN 系デバイスの信頼性評価
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0018]ダイヤモンドジョセフソン接合の微細化
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0032]酸化重合による芳香族ポリチオエーテルの合成および光学特性
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0036]スーパーキャパシタ電極への適用に向けた,熱酸化法による CuO ナノワイヤの生成
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0037]:ダイヤモンド電解質溶液ゲート FET を用いた海中無線通信の動作検証
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0039]窒素 高濃度 N 型 ダイヤモンド の 作製 および 評価
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0048]伸縮可能な MEMS デバイスシート
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0056]自己組織化単分子膜の状態の評価
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0059]電界効果トランジスタのバイオセンサ機能化のための親水化処理及び半導体特性の測定
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0060]電解析出による BiSbTe 系熱電変換デバイスの作製
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0063]電界効果トランジスタのバイオセンサ機能化のための親水化処理及び半導体特性の測定
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0070]リチウム金属負極を用いた電池の特性向上に向けた表面形態観察
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0071]リチウムナフタレニドによる硫黄のケミカルリチエーションを利用して作製した Li2S 正極の 観察
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0072]FET バイオセンサの作製
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0073]FET バイオセンサの作製
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
F-WS-137 プラズマ処理装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0079]端効果に着目したリチウムイオン二次電池電極の表面形態観察
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0080]リチウムイオン電池及びリチウムイオンキャパシタ用負極材料の評価
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0083]ダイヤモンドを用いた電解質溶液ゲート FET(SGFET)による海中通信
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0088]高温で低いサブスレッショルドスイングを実現する C-Si ダイヤモンド MOSFET
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0090]超短周期透過型回折格子の作製
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0091]次世代 5G 通信用 SAW デバイス作製技術の研究
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-136 接合装置
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0094]蛍光ナノダイヤモンドの観察
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0096]リソグラフィ及びドライエッチングによるナノピラーパターンの作製
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0099]Si およびダイヤモンド基板表面上への有機シラン単分子膜形成
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0110]エルビウム添加シリコンナノピラー構造の作製とフォトルミネッセンス評価
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0112]Si ナノピラ ー 構造 の 作製
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0117]混相流マイクロチャンネルの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0120]自己修復性層状シロキサン材料の機械的特性の向上
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0121]アルコール分析に用いる吸着シートの表面処理
F-WS-137 プラズマ処理装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0122] 生体模倣した培養口腔粘膜作成用に化学架橋を用いてマイクロパターン化したコラーゲ ン足場材の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0123]アガロースドロップレットを用いた単一細胞解析マイクロ流体デバイスの検討
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0124]圧電フィルムへの電極成膜
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-900 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0125]ピラーデバイスを用いた触媒反応の検討
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0126]自然由来の木質系活性炭素材料を使用した湿度吸着度検知デバイスの開発及び表面改 質の影響
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0131]電界効果トランジスタのバイオセンサ機能化のための親水化処理及び半導体特性の測定
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0133]電流印加による純銅の疲労特性の向上とそのメカニズムの解明
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0136]薄膜ヒーターの作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0137]原子層体積装置を用いて、異なる表面に白金を薄膜に成膜する研究
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-136 接合装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0139]超伝導遷移端型 X 線マイクロカロリメータで拓く新しい太陽アクシオン探査
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0143]膜微細構造の評価
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0145]ABS 構造物のめっき処理の観察と評価
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0147]シリコンフォトニックバイオセンサの構築
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
F-WS-137 プラズマ処理装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0149]シングルセルレベル観察によって明らかにする硝化菌増殖速度のばらつき
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0150]不均一に出現する抗菌薬抵抗性細菌のメカニズム解明
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0151]窒素終端ダイヤモンドから作製した配向 NV アンサンブル
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0152]高性能ワイドバンドギャップ半導体素子 、 熱電デバイスおよび神経細胞回路の研究
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0154]Ni 薄膜形成とイオンエッチング
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0156]N i 薄膜 の 形成 S F 6 を 用いた ドライエッチング
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0175]ナノ光ファイバー共振器形成のための位相回折格子の作製
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0178]薄膜物性評価装置による鉄酸化物粒子の付着力測定
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0185]ABS 表面へのめっきの生成と評価
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0187]溶接構造用圧延鋼材の疲労き裂治癒に及ぼす高密度パルス電流印加の影響
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0189]水電解反応用触媒電極の形成と反応機構解析
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0190]ラマン分光法による炭素極劣化の解析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0192]X 線吸収体のパターニング Fe 電析
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-900 電子ビーム蒸着装置
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0193]無電解法 HER 触媒形成
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0194]Zn 負極における電析初期形成過程に対する金属添加剤の影響の解析
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0199]亜鉛-空気電池炭素正極の劣化現象の解析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0202]有機溶媒からの電解析出法による Si 薄膜の作製
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0204]Zn電析
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0205]プラズモンセンサ実装電解セルによる LIB 負極上溶媒種分解の in situ SERS 解析の試 み
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0206]電析による酸素発生反応用触媒電極の形成
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-127 簡易SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0207]ジンケートイオンの拡散が ZnO の形態に与える影響の解析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0208]表面増強ラマン散乱を用いた LIB 負極上での SEI 形成の解析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0209]イオン液体を用いた電析 Si 薄膜の作製
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0210]有機溶媒からの電解析出法による Si 薄膜の作製
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0211]ラマン分光法を用いた亜鉛空気二次電池の空気極劣化メカニズムの解析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0213]非磁性 ZnO ナノ粒子へのスピン導入の試み
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0214]サリチリデンアニリン多形結晶による多様なメカニカル運動の創出
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0218]ボロンを堆積させた FET の作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0223]延長ゲート型 FET バイオセンサのためのシリコン基板処理
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0224]ALD 装置での TiO2膜の成膜レシピ開発
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0225]フレキシブル木質系炭素フィルムを用いた界面動電現象による環境発電デバイスの開発
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0226]液体有機半導体を用いた色鮮やかな発光素子の開発
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0227]水溶液中での有機半導体の電界駆動に関する研究
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0230]シリコン終端を用いたダイヤモンド MOSFET の研究
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0232]インプラント上における細胞成長機構解析に向けた Ti 膜の作製
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0233]さまざまな構成での高感度でコンパクトなブラッググレーティング
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-20-WS-0234]Pt 電極の 作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0001]ALD 装置での TiO2膜の成膜レシピ開発
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0004]無電解メッキによる両面導通狭ピッチパッドアレイの試作
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0009](111)縦型2DHGダイヤモンドMOSFET : 六角形トレンチ構造による大電流動作・低オン抵抗化
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0010]有機高分子薄膜を基材とした電子デバイスの開発
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0014]熱可塑性ポリマー(TPE)の膜厚測定
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0015]XeF2によるシリコンエッチングの検討
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0016]圧電フィルムへの電極成膜
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0018]ALD 装置での TiO2膜材料の加熱温度の検証
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0019]decoy サイトが GFP 振動発現遺伝子回路に与える影響
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0026]熱電発電素子の開発
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0027]電流印加による純銅の疲労特性の改善とメカニズムの解析
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0029]ナノシリコンワイヤ型熱電発電デバイスの作製
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0030]トレンチ構造を持つ縦型二次元正孔ガスダイヤモンド MOSFET の作製
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0031]酸化重合による芳香族ポリチオエーテルの合成および光学特性
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0032]アルミニウム合金と炭素繊維強化熱可塑プラスチックの直接接合の評価
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0033]既存の燃焼機器に対し着脱可能な有害物質に対する薄膜触媒の開発
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0039]Li 金属負極におけるリチウム析出形態にコインセル設計が与える影響の調査
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0040]Improvement of sensing capability on SOI platform by modifying the waveguide shape
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0041]FET バイオセンサの再利用化のためのめっき処理
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0042]酸素アニール処理によるダイヤモンドの酸素終端化
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0044]学生実験用のシリコンウェハーダイシング
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0045]銅基板表面の酸化の定量
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0048]フレキシブル熱電素子の開発
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0049]液体有機半導体の水溶液中での電界発光(Electro Luminescence)の検討
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0054]単結晶石英基板の直接接合による光学ローパスフィルタの作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0055]オンデマンド蛍光検出システムに関する基礎研究
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0056]マイクロパターン化魚うろこコラーゲンを用いた人工培養口腔粘膜の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0057]木質系活性炭の吸着性と電気特性
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0058]フレキシブル木質炭素フィルムを用いた環境発電デバイスの改善に向けた基礎研究
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0060]Al 膜上におけるコロイダルリソグラフィ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0062]液体有機半導体を用いた高彩度発光デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0066]一細胞レベルの菌培養デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0067]サブミクロンサイズのドロップレット生成デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0068]エッジ AI デバイスセキュリティに向けた NAM チップ実装技術
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0069]量子コンピュータの小型化に向けたマイクロ流体熱交換器の試作
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-131 CCP-RIE装置
F-WS-132 Deep-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0073]3 次元ドロップレット生成デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-132 Deep-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0074]マルチシースフローデバイスを用いたファイバーバンドルの形成の基礎実験
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0075]規格化ナノチタン構造による生体反応制御技術の開発
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0079]微小液滴を利用したシングルセルゲノム解析
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0080]ラマン分光法を用いた微生物・細胞・組織の分光解析・遺伝子解析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0091]磁気ビーズを用いたメッセンジャーRNA 精製法の検討
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0096]微小液滴を用いた化学反応の効率化、新規反応の探索
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0097]アモルファス中間層を用いた LiTaO3/水晶複合 SAW 基板の作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-136 接合装置
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0100]ITO 透明電極フレキシブル化のための研究
F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0101]ダイヤモンド FETs の高周波特性評価
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0103]ダイヤモンド電解質溶液ゲート FET を受信器とした新たな海中無線通信の開発
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0105] 熱酸化法による CuO ナノワイヤの生成メカニズムの解明およびスーパーキャパシタ用電 極への適用
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0109]自己修復性層状シロキサン系材料の機械的特性の向上
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0116]XeF2エッチングによるメカニカル振動子の作製
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0117]電極作製およびPEGの修飾評価
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0119]細胞シートの硬度測定
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0120]半導体素子の電気的特性評価
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0121]GaN 系デバイスの信頼性評価
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0122]高性能ワイドバンドギャップ半導体素子、熱電デバイスおよび神経細胞回路の研究
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0123]シリカ製マイクロレンズアレイ型センサの作製
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0126]電子ビーム露光による回折格子の作成
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0127]電子線リソグラフィーを用いたダイヤモンド基板表面上でのナノホール規則配列作
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0128]偏光無依存の光スイッチの作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0132]ナノコンポジット絶縁薄膜の作製と分析
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0133]太陽アクシオン探査に特化した吸収体を持つ TES 型マイクロカロリメータの開発
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0137]反応性レーザーアブレーション法による貴金属添加酸化物ナノ粒子の生成
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0139]X 線吸収体のパターニング Fe 電析
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0140]神経細胞の培養
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0142]共焦点顕微鏡の構築
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0143]針電極を用いた神経細胞回路への電気刺激導入
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0146]生化学応用に向けた可視光応答性酸化チタン薄膜の作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0147]マイクロパターン上の神経細胞の活動計測
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0155]ナノホールレジストマスクの作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0158]Er 添加 Si ピラー構造の作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0159]神経細胞の活動計測
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0162]リソグラフィによるナノデバイスパターンの作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0165]ロボットグリッパ用微小突起の製作
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-901 プラズマリアクター
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-132 Deep-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0171]FET バイオセンサによる非荷電分子検出の感度向上を目的とした認識界面の構築
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0172]非荷電の低分子検出に向けた半導体センサにおける競合法に関する検討
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0173]半導体センサの表面修飾 および特性測定
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0174]多能性幹細胞の安全性スクリーニング検査に向けた半導体センサの開発に関する検討
F-WS-901 プラズマリアクター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0179]多孔性ポリオレフィン膜上へのアルミニウム薄膜の形成
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0180]AlN 薄膜の不純物濃度測定
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0183]微生物発酵試料における不溶性成分の分析
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0184]高耐圧化を目指した高周波ダイヤモンド MOSFETs の作製
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0186]高周波ダイヤモンド MOSFETs の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0188]バライト砕石を用いた放射線遮蔽性能の研究
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0190]pH不感応なダイヤモンド電解質溶液ゲートFETの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0193]X 線吸収体の Fe 電析
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0196]薄膜ヒーターや混相流マイクロチャンネルの作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0199]ダイヤモンドを用いた電解質溶液ゲート FET(SGFET)による海中通信
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0200](111)超伝導ボロンドープダイヤモンドのみで構成されるジョセフソン接合の検討
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0202]リソグラフィ及びドライエッチングによるナノピラーパターンの作製
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0203]神経細胞回路への局所刺激導入
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0204]マイクロパターン上で培養した神経細胞回路の活動計測と評価
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0205]混相流マイクロチャンネルの作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0207]ナノ光ファイバーの形状測定
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0208]超短周期透過型回折格子の作製
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0209]S/KB 複合化法の検討
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0210]リチウム硫黄電池適用に向けたレドックスメディエーター固定化正極の作製
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0211]リチウムイオンキャパシタ用電極材料-電析 Sn 負極の評価
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0212]圧電ポリマー用電極の検討
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0213]マイクロ流体デバイスの作製法と観察法の相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0214]マイクロ流体デバイスを用いた細菌一つのピックアップ
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-19-WS-0215]圧電ポリマーの低周波領域での発電特性の検討
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0002]学生実験用のシリコンウェハーダイシング
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0003]IC, LSI の不良解析のためのエッチング検討
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0004]熱電発電素子の開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0005]電気化学測定のための電極作製
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0006]Y2O3 膜の耐エッチング性の比較
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0007]IGZO 基板上へ形成したMIS キャパシタの電気特性
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0008]層状ケイ酸塩RUB-15 の薄層化とその層間縮合によるゼオライトの合成
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0009]Ni 電鋳
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0010]流体デバイスのバイオ応用に関して
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0011]高性能ワイドバンドギャップ半導体素子および同実装技術の研究(1)
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0012]メッキによるシリコン貫通電極の作製
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0013]ディーゼルスートセンサーに関する研究(スートセンサーチップの製作)
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0014]高感度プラズモンセンサの開発(1)
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0015]酸化ガリウムパワーデバイスの開発
F-WS-139 高耐圧プローバ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0016]薄層CNT の合成条件検討および薄層化無撚CNT 糸の機械的特性評価
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0017]テラヘルツ帯導波管型平面アンテナにおける金属膜形成
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0018]ALD-アルミナ保護膜を用いたプラズモンセンサの作製法の開発
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0019]微小突起構造成型用モールドの作製
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0020]高機能性エネルギーハーベスト材料の新規創出
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0021]ビルドアップ樹脂を用いた熱インプリントプロセスによる高アスペクト比極微細ビア電極の 作製
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0022]SU-8 を利用した二重凹型構造の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0023]重水素化DLC の膜密度の深さ方向分析
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0024]ECoG 電極の開発を目指したフォトリソグラフィの相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0025]電流印加による銅合金の疲労特性の改善とメカニズムの調査
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0026]フォトリソグラフィーによる流体デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0027]X 線光学素子の作製
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0028]超伝導X 線検出器用Sn 吸収体の作製
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0029]Analysis of the passivation layer on Si surface by using ellipsometry
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0030]Ni 基合金の溶融塩中での腐食
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0031]環境調和型強誘電体セラミックスの微細加工および微構造解析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0032]PEEK 樹脂を母材とした擬似等方性CFRP 積層板のトランスバースクラック発生 及び疲労特性評価
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0033]乳酸測定用マイクロ流体デバイスの試作
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0034]MEMS 熱線流速計プローブの開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0035]応力誘導法によるアルミニウムナノワイヤの創製およびその性状評価
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0036]Si ナノワイヤ構造熱電素子の開発
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0037]Ni基合金の溶融塩中での腐食
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0038]大腸菌遺伝子回路が生成する時空間パターン解析用マイクロ流体デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0039]アルミニウムとCFRTP の接合断面観察
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0040]TES 型マイクロメータ用パターニングFe 電析
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0041]ナノスケール構造を有するバイオセンサの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0042]ITO 膜の薄膜化
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0043]微小流路を用いたバクテリアの長期培養・観察系の開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0044]無電解Ni-Fe メッキ
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0045]微小電極構造を有するバイオセンサの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0046]高感度プラズモンセンサの開発(2)
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0047]高周波2DHG ダイヤモンドMOSFETs の作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0048]超短周期透過型回折格子の作製
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0050]蒸着装置付属の膜厚測定装置と触針式膜厚計との対応
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0051]三次元ナノ構造を用いた高耐熱性接合部の形成メカニズム解明
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0053]サンプルのEDX 分析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0055]ガラス表面のエッチング
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0057]CFRP 基板のトランスバースクラック発生のAFM による評価
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0059]Si 薄膜中に含まれる微量金属の質量分析
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0060]マイクロ流路デバイス作製時の流路の高さの測定
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0062]ゼオライト断面試料の作製
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0063]Si モールドの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0064]膜小胞の形態観察
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0065]ナノ構造表面を有するアルミニウムとCFRTP 積層板の接着界面の観察
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0066]金属ナノ粒子形成メカニズムの解析、及び金属ナノ粒子の表面特性評価
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0067]高分子電解質膜上に形成した電極の断面構造解析
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0068]水晶ウエハ―のプラズマエッチング
F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0069]リチウムイオン電池の性能向上の検討
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0070]Al 配線の断面観察
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0071]加熱処理を施した層状ケイ酸塩の断面試料作製に関する相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0072]熱インプリント法によるモールドのパターン転写
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0073]シリコンラバーの表面処理工法の検討
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0074]細胞培養用マイクロ流体デバイスの最適化
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0075]Ag 箔のダイシング加工
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0076]アルキル置換ポリフェニレンスルフィドの光学特性
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0077]シリコンマイクロ流路による希釈冷凍機の開発
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0078]布サンプルの酸素プラズマ処理
F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0080]表面形状プロファイルの非破壊検査方法
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0081]ZrO2 ナノ粒子-ポリマーハイブリッドフィルムの屈折率測定
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0082]プラズマを用いた樹脂表面改質
F-WS-153 クリーンルーム環境維持装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0083]FeCo 系合金を使った発電素子の評価
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0084]persisterの分子機構の解析
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0085]シングルセルレベル観察によって明らかにする硝化菌増殖速度のばらつき
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0086]マイクロ流体デバイスを応用した生分解性ビーズの作製
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0087]圧電ポリマー薄膜への電極の作製
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0088]ALD 装置でのSiO2 膜の成膜レシピ開発
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0089]機械加工に代わるMEMS 加工技術全般の探索
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0090]高性能ワイドバンドギャップ半導体素子および同実装技術の研究(2)
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0091]MTF テストチャートの製作に関する技術相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0092]圧電ポリマーを用いた実用的な発電デバイスの試作
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0093]高密度カーボンナノチューブフォレストを用いた櫛型電極の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0094]Electroplated surface finishing of micromachined filters at 270 GHz
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0095]GaN 系デバイスの信頼性評価
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0096]細胞培養用マイクロ流体デバイスの改良について
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0097]有機半導体材料の蛍光スペクトル測定
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-18-WS-0098]DEEP-RIE を用いた高精度な流体デバイス加工
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0001]環境調和型強誘電体セラミックスの微細加工および微構造解析
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0002]シリコン酸化膜の等方性エッチング
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0003]高感度-広測定域 SPR センサに向けた二重反射の動作特性評価
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0004]銅の埋め込みシリコン貫通電極の作製
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0005]2次元アンペロメトリックセンサのプロセス開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-200 スパッタ装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0006]光硬化高分子コーテイングの機械特性評価
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0007]高感度プラズモンセンサの開発
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0009]規格化されたゲート構造を持つバイオセンサの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0011]超低損失Ga2O3トレンチMOS型ショットキーバリアダイオード
F-WS-139 高耐圧プローバ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0012]2次元正孔ガスを利用した高周波・高出力ダイヤモンドFET
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0013]テラヘルツ帯導波管型平面アンテナにおけるシリコンウエハーの金膜形成
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0014]テラヘルツ帯導波管型平面アンテナにおける積層ウエハダイシング
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0015]微細電鋳MEMSコネクタ用高強度・高弾性Ni合金めっき素材の開発
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0018]ALD装置で製膜した ZrO2膜の SEM観察
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0019]電解析出法を用いた Bi-Te 系マイクロ熱電変換素子の作製
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0020]酸化ガリウムパワーデバイスの開発
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0021]ナノチューブ内の金属めっき
F-WS-122 環境維持・制御装置
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0022]銀材料への Al2O3の製膜
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0023]遷移金属酸化物の微細加工
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0024]Cu 箔の Auめっき及びダイシング加工
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0025]EB描画を用いたグレースケールフォトマスクの作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0027]機能性圧電ポリマーの特性向上に関する研究
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0028]縦型2DHGダイヤモンドMOSFETの作製および評価
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0029]Al2O3膜のバイアス安定性の改善に向けた成膜後熱処理の検討
F-WS-139 高耐圧プローバ
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0030]2次元正孔ガスを利用した高周波・高出力ダイヤモンドFET
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0031]高性能ワイドバンドギャップ半導体素子および同実装技術の研究
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0033]電解メッキによるSn膜の形成
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0034]ロールtoロールナノインプリントによる微細パターン作製
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0035]ハードコート樹脂上へのインク塗布膜の密着性評価
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0036]学生実験用のシリコンウェハーダイシング
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0037]サブミクロン粒径の結晶粒Auの焼結の3次元構造解析
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0038]MEMS構造体への ALD-Al2O3 成膜(再現性確認)
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0039]微小流路を用いたバクテリアの長期培養・観察系の開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0040]フェリシアン化カリウム水溶液の交流インピーダンス測定
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0041]スーパーキャパシタ用AlナノスパイクへのNiのEB蒸着
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0042]シルセスキオキサン系自己修復材料評価の相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0043]アルコキシ基数の異なる有機架橋シランを用いたメソ構造体薄膜の合成
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0044]光によるミクロ相分離構造に関する相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0045]細胞を対象としたラマン分光技術
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0046]2次元正孔ガスを用いたダイヤモンドMOSFETの特性評価
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0047]酸化還元酵素への電子注入におけるCISS効果の適用
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0048]Ga2O3トレンチMOS型ショットキーダイオードの耐圧評価
F-WS-139 高耐圧プローバ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0049]アッシングを用いたレジストパターン形成精度の向上
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0050]大面積リフレッシャブル マイクロ流体有機EL の作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0051]バイオセンサチップの作製プロセス改善
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0052]高機能性エネルギーハーベスト材料の新規創出
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0053]配位子を用いた水酸化物表面の反応性の制御に基づくナノシートの評価
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0056]AFM によるCFRTP 積層板のトランスバースクラック発生機構評価
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0057]粉末冶金法によるMg-Al-Si-Sn-Zn 系合金の機械的性質に及ぼす金属間化合物形成の 影響
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0058]高出力密度の固体酸化物型燃料電池の検討
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0059]無染色の浮遊細胞のラマン光解析
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0060]ワイドバンドギャップ半導体素子の特性評価
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0062]Sn 添加による Si-O-C 複合負極の蒸着装置基板を用いての電析及び電子伝導度測定
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0063]金属ナノ粒子形成メカニズムの解析、及び金属ナノ粒子の表面特性評価
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-200 スパッタ装置
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0064]Sn 添加による Si-O-C 複合負極の充放電特性の向上のための電極処理
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0065]電鋳手法による高精度プローブカード配線パターン加工方法の開発
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0066]AFMによる3次元ナノポーラス構造体の表面形状測定
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0067]ホールパターンを有するフィルムドームの作製
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0068]小サイズ基板用スピンドライ機器の操作
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0069]酸化物結晶低温接合
F-WS-141 クリーンルーム × 2
F-WS-136 接合装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0070]メッシュパターンを有するフレキシブルITO電極の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0071]高分子材料の表面処理
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0072]FET表面へのAPS単分子膜の修飾
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0073]チタン表面のラフネス計測
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0074]グラフェン埋め込みスロット導波路の作製及び特性評価の検討
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0075]FeCo系磁歪材料を用いた振動アクチュエータの試作
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0076]FeCo系磁歪材料を用いた発電デバイスの発電メカニズムの解明
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0078]石英基板同士の接合
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0079]曲線型方向性結合器を用いた偏光無依存リング共振器フィルタの特性向上の検討
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0080]MnAlGe 層状化合物の磁気特性に及ぼす膜厚依存性
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0081]IC,LSIの不良解析のための等方性エッチング
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0083]やもりの足の機能を有する試作デバイスに関する相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0085]多孔性配位高分子による結晶配向膜の構築
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0086]VDF/TrFEを用いた高出力圧電式発電デバイスの作製
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0087]LSIの解析技術
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0088]微小突起構造成型用モールドの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0089]高分子ミクロドメインの選択エッチングと表面構造観察
F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0090]UAV搭載を目標としたMEMS技術を利用した熱線流速計の開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0091]スーパーキャパシタ用正電極の作製及び電気化学特性評価
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0092]X線光学素子の作製
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-17-WS-0093]GaN系デバイスの信頼性評価
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0001]ナノスケーラーの開発
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0002]強誘電体セラミックス薄膜の微細加工および微構造評価
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0003]ガラス基板への金属膜形成
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0004]ガラス上への無電解めっき製膜プロセスの開発
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0005]微小流路を活用したバクテリアの培養システムの構築
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0006]ISFET の面取り検討
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0007]256ch アンペロメトリックセンサのプロセス開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-200 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0008]300 GHz 帯導波管型平面アンテナにおけるシリコンウエハーの金めっきと積層ウエハー ダイシング
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0009]サブミリ波帯アンテナのためのシリコンウエハーの金めっき電極下地の比較に関する研究
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0010]フォトリソグラフィによるレジストモールドの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0011]生体計測デバイスとしての応用に向けた導電性ナノシートと薄膜配線の作製
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0013]ALD装置でのZrO2レシピ開発
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0014]表面弾性波発生のための櫛形電極の作製
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0015]圧電基板上の櫛形電極の周波数特性の測定
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0016]高感度プラズモンセンサの開発
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0017]微小流路を活用したバクテリアの培養システムの構築
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0018]圧力式ホモジナイザおよび液中プラズマ法を用いた銀ナノ粒子担持グラフェンによる透明 導電膜の作製および特性評価
F-WS-144 真空光学系赤外分光計
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0019]ナノコンポジット薄膜の断面観察
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0020]狭ピッチプローブアレイにおけるプローブ先端アルミ蒸着
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0021]サファイア基板のダイシング
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0022]自己修復性シリカ材料の作製
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0023]ナノインプリント用 UV 硬化樹脂のAl エッチング耐性の評価
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0024]Al2O3膜を用いたダイヤモンドMISFETの高温特性
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0025]3次元Au ナノポーラス構造作製検討
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0026]ガラス基板への表面処理に関する相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0027]インピーダンス測定方法の相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0028]カーボンナノチューブフォレストの構造制御と次世代微小電極アレイへの応用
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0029]大気圧プラズマを用いたハードコート処理樹脂の表面改質
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0030]白金担持グラフェンの創成に与える液中プラズマ法の影響調査および電気化学特性評価
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0031]アッシングを用いたレジストパターン形成精度の向上
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0032]画像取り込み技術の開発
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0033]低温度域触媒反応の開発
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0034]トレンチMOS 構造を設けた Ga2O3ショットキーバリアダイオード
F-WS-139 高耐圧プローバ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0035]CFRP試験片に塗布した両性イオンコーティングの海水中劣化挙動調査
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0036]CNTs/SiC 上各種めっき電極膜形成の検討及び評価
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0037]水分解用光触媒薄膜電極に関する検討
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0038]3元系 Bi-Sb-Te 電析膜の形態制御およびマイクロ熱電変換素子作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0039]標準シリコン酸化膜の膜厚測定(2)
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0040]FeCo 系材料を用いた小型発電デバイスの発電メカニズムの検討
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0041]高機能ワイドバンドギャップ半導体素子における電気伝導特性と熱処理温度の関係
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0042]Mn 基強磁性薄膜/強誘電体へテロ構造の作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0043]MnAlGe 層状化合物の薄膜作製
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0044]有機官能基によるメソポーラスシリカ薄膜の細孔表面修飾
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0045]ISFET の不良解析 1:構造解析と電気特性測定
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0046]ISFET の不良解析2:TEG(Test Element Group)の電気特性測定
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0047]ISFET の不良解析 3:ISFETの再度の電気特性測定と断面観察
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0048]傾斜露光によるレジストモールドの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0049]FeCo 系合金を用いた発電デバイスとNdFeB 利用のデバイスとの出力の比較
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0050]FeCo 系合金を使ったアクチュエータの基礎検討
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0051]VDF/TrFE ポリマーを応用した発電デバイスの性能向上
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0052]VDF/TrFE ポリマーを応用した MEMS デバイスの開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0053]新 ISFETの電気特性測定
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0054]接合電極形成とその接合界面反応に関する研究
F-WS-141 クリーンルーム × 2
F-WS-137 プラズマ処理装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0055]カーボンナノチューブの基板上合成,集合形態制御と電子エミッタ応用
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0057]MEMS構造体への ALD-Al2O3 製膜
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0058]Si ダミーチップの製作
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0059]細胞を対象としたラマン分光技術
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0060]半導体素子の電気的特性評価
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0061]金属ナノ粒子形成メカニズムの解析,及び金属ナノ粒子の表面特性評価
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0062]おからを利用したパン・麺の組織構造解析
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0063]MnBi の電析法による合成プロセスの確立と磁気特性
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0064]EDAX 分析による重層マイクロファイバーの構造評価
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0065]ナノポーラス粉末バンプと真空紫外光を利用した低温金-金接合技術
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0066]ALD装置でのSnO2レシピ開発
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0067]発光性液体有機トランジスタに向けた櫛歯電極構造の作製
F-WS-148 ダイシングソー
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0068]高品質 GaNテンプレートに向けた SiO2ナノマスクの作製
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0069]水素終端ダイヤモンド(001)表面伝導層上の金オーミック電極直下シート抵抗値
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0070]ナノインプリントと異方性ウェットエッチングを用いた極微細金属埋め込み構造の作製
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0071]金-金低温接合を目指した金表面への真空紫外線照射の効果
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0072]スーパーキャパシタ用三次元電極の電気化学特性評価
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0073]サブミクロン金粒子の一括埋め込みによる I 型構造 TGV 形成とその気密封止デバイスへ の応用
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-200 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0075]パワーデバイス計測のための半導体パラメータアナライザに関する技術相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0076]3 次元光インターコネクション用ポリマー縦型マッハツェンダ型光スイッチの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0077]半導体パラメータアナライザを用いた熱電デバイス計測
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0078]酸化剤を変えて形成した原子層堆積 Al2O3膜の電気特性
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0079]GaN 系デバイスの信頼性評価
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0080]バイオセンサ応用を目指した微細構造作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-200 スパッタ装置
F-WS-201 イオンビームスパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0081]SOI を用いた屈折率センサー
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0082]埋め込み型プラズモンセンサの開発
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-16-WS-0083]O2プラズマアッシング装置を用いた基板表面処理
F-WS-141 クリーンルーム × 2
F-WS-153 クリーンルーム環境維持装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0001]Mn基強磁性薄膜/強誘電体へテロ構造の作製
F-WS-124 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0002]PDMS製マイクロ流体デバイスの作製
F-WS-124 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0003]PDMS製マイクロ流路チップの成型加工方法
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0004]X線マイクロカロリメータのX線吸収体のためのナノ構造体形成と評価
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0005]フォトリソグラフィーを利用した微細構造体の開発
F-WS-138 アライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0006]ナノメータの凹凸を有する膜形成による表面エネルギー制御
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0007]極低温下におけるPZT薄膜のリーク電流特性評価
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0008]InAlGaAs/InAlAs光スイッチ用導波路のラフネス補償の検討
F-WS-124 スパッタ装置
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0009]熱線流速計小型プローブ作製における問題点の抽出
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0010]ラマン分光器用透過型センサ開発1
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0011]ラマン分光器用透過型センサ開発2
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0012]熱インプリント装置の使用方法について
F-WS-130 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0013]金属ガラスの機械的特性評価用銅電析膜形成の検討
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0014]ナノポーラス構造を有する構造体の光特性評価
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0015]両性イオン含有ポリマーを表面に偏析したコーティングの断面解析
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0016]300GHz帯導波管型平面アンテナにおけるシリコンウエハーの金メッキと積層ウェハダイシング
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0017]サブミリ波帯アンテナのためのシリコンウエハーの金めっき下地の比較に関する研究
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0018]微小ドロップレット形成チップの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-132 Deep-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0019]電析ビスマス/銅吸収体TES型X線マイクロカロリメータの表面改質
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0020]グロー放電発光分析による水分解用光触媒アノード電極材料LaTiO2Nの解析
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0021]強誘電体セラミックス薄膜の微細加工および微構造評価
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0022]2次元アンペロメトリックセンサのプロセス開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0023]微細加工技術によるバイオセンサ基板の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0024]金属酸化物の表面分析
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0025]がん培養液中の成分分析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0026]表面弾性波発生のための櫛形電極の作製
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0027]圧電基板上の櫛形電極の周波数特性の測定
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0028]Mn基層状化合物の薄膜試料における組成・基板加熱温度の最適化と磁気特性
F-WS-124 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0029]金属ナノ粒子形成過程の解析、及び形成した金属ナノ粒子の特性評価
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0031]Roll to Rollインプリント装置によるフィルムレプリカ版の転写評価
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0032]電極電位の測定
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0033]プローブカード製造における高精度エッチング手法の開発
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0034]NCSセラミックスによる除錆・防錆効果の検証
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0035]小型界面活性化装置の仕様検討
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0036]銅の埋め込みシリコン貫通電極の作製
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0037]ドライエッチングプロセスによるSi製マスタの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0038]フォトリソグラフィを用いたパターニングNiめっき
F-WS-124 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0039]CVDグラフェンを用いたテラヘルツ波検出器の開発
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0040]インプリント装置使用方法習得と転写実験
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0041]MEMS技術を利用した熱線流速計プローブの開発
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
F-WS-132 Deep-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0042]FeCo系材料を用いた小型発電デバイスの発電メカニズムの解明
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0043]標準シリコン酸化膜の膜厚測定
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0044]液中プラズマ処理による白金ナノ粒子担持ナノカーボン材料の創成および電気化学特性評価
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0045]皮膚貼付型歪みゲージとしての応用に向けた導電性高分子ナノシートのパターニング
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0046]CNT/SiC上各種めっき電極膜形成の検討及びコンタクト抵抗の評価
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0047]無電解Au-Niめっき膜の作製及び評価
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0049]MnBi強磁性体の新合成法確立とその磁気特性評価
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0050]強磁性Mn-Bi の磁場中反応の微視的解明
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0051]高強度カーボンナノチューブ無撚糸の創成と強度発現機構
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0053]GaNデバイスの加工
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0054]MEMS技術を利用した熱線流速計プローブ用治具の開発
F-WS-127 簡易SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0055]マイクロ流体デバイスを用いた超微量生体サンプルの濃縮
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0056]ラマン分光器に用いる反射型プラズモンセンサの試作開発
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0057]深堀構造を持ったSi基板へのレジスト被膜及び露光
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0058]表面修飾したTiO2薄膜とポリマー間におけるラジカル交換反応の進行調査
F-WS-124 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0059]ナノドットプラズモンセンサの開発
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0060]有機発光層同士貼り合わせOLEDの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-131 CCP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0061]高性能OLEDsに向けた平坦化電極構造の作製
F-WS-128 電子ビーム描画装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-135 走査型プローブ顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0062]マイクロ流体デバイスを用いた「金属錯体含有タンパク質」の結晶化
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-131 CCP-RIE装置
F-WS-144 真空光学系赤外分光計
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0063]新規導入ALD (Anric Technologies社製Model: AT-400) の膜厚均一性評価
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0064]圧電性ポリマーを用いた小型発電デバイスの試作
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0065]マイクロ流体デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-127 簡易SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0066]脳内乳酸計測用マイクロ流体デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-127 簡易SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0067]FeCo系材料を用いた小型発電デバイスの発電メカニズムの解明その2
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0068]重水素化DLCの膜密度の深さ方向分析
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0069]CFRTP/アルミニウム板の接着強度における表面処理の影響
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0070]DLC膜の膜厚評価
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0071]マルチ電極パターンの最適化に関する技術相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0072]マイクロパターン上での培養による興奮性-抑制性神経細胞の非標識判別
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0073]ダイヤモンドMOSFETの作製・評価
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0074]Geの1次元配列を有するMOSトランジスタの室温伝導特性
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0075]波長1500nm帯ポリマー導波路型クレッチマン配置表面プラズモン共鳴センサの高感度化と広測定域化の検討
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0076]SiC上に形成したカーボンナノチューブ上のメタルフリーCVD 成長におけるCNT 端面の検討
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0077]3次元光インターコネクション用ポリマー2層構造4×4光スイッチの特性改善の検討
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0078]真空紫外線処理によるリグノセルロース多孔性炭素ペレットの表面改質効果
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0079]メソポーラスシリカ薄膜表面のメソ細孔を利用したパターン形成
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0080]高密度 3 次元実装に向けたフィラー含有樹脂とバンプのハイブリッド接合
F-WS-131 CCP-RIE装置
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0081]芳香族ポリチオエーテルの光学特性
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0082]3元系Bi-Sb-Te薄膜のパターン電析およびマイクロ熱電変換素子作製
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-15-WS-0083]多結晶ダイヤモンドを用いた電解質溶液ゲートFETの電気的特性評価
F-WS-154 電子ビーム蒸着装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0001]PDMS製マイクロ流体デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-127 簡易SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0002]多糖類基材へのイオンビームスパッタによるSiO2成膜
F-WS-124 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0003]PDMS製マイクロ流体デバイスの作製
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0004]深さが異なるマイクロ流路チップの作製
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0005]:シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究(シリコンウエハー表面への金メッキ)
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0006]強誘電体セラミックス薄膜の微細加工および微構造評価
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-147 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0007]2次元アンペロメトリックセンサのプロセス開発
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-124 スパッタ装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0008]伸縮可能なMEMSデバイスシート
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0009]PDMSを用いた単一細胞分泌測定デバイスの開発
F-WS-136 接合装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0010]カーボンナノチューブ・フレキシブル電極・配線のパターン形成のための微細加工
F-WS-131 CCP-RIE装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0012]誘電体/絶縁体基板上へのグラフェンパターンの直接形成のための微細加工
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-131 CCP-RIE装置
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0013]SiC JFETのソース電極、ゲート電極のAuめっき
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0014]ICP-RIEを使用したUVナノインプリント用光硬化性樹脂のドライエッチングレート測定
F-WS-130 ICP-RIE装置
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0015]めっき法による3次元ナノ構造の特性評価
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0016]表面弾性波発生のための櫛形電極の作製
F-WS-124 スパッタ装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0017]小型コンデンサーセンサの開発
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0018]Bi-Te電析膜の微細構造制御およびマイクロ熱電変換素子への応用
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0019]Al電極上のAuめっき
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0020]陽極酸化皮膜(アルマイト)処理方法に関する研究
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0021]X線マイクロカロリメータのX線吸収体のためのナノ構造体形成と評価
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0022]3D-FIBトモグラフィー法によるサブミクロンAu粒子焼結体の微構造と焼結応力解析
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0023]MEMSデバイスの基板接合技術に関する基礎実験
F-WS-136 接合装置
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-138 アライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0024]CNT /SiC上へのパターンめっき電極膜形成の検討及び顕微ラマン分光装置を用いたCNTの評価
F-WS-126 FE-SEM
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0025]ディスプレイ関連技術相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0026]異種材料接合技術
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-136 接合装置
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0027]特殊ナノインプリント技術構築と特異材料の特定用途へ適用性検討
F-WS-136 接合装置
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0028]GaN基板に関する技術相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0029]金属ナノ粒子形成過程における添加剤の影響解析
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0030]配向制御Fe-Co合金薄膜の作製と磁歪MEMSデバイスへの応用展開
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0031]プラズマ耐性材料の探索
F-WS-131 CCP-RIE装置
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0032]ナノインプリントを用いた間葉系幹細胞培養の研究
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0033]プラズモンセンサのプロセス開発
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0034]ナノメータの凹凸を有する膜形成による表面エネルギー制御
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0035]CMPを利用しためっき膜の平滑性向上
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0036]単結晶サファイアの接合
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-138 アライナ
F-WS-136 接合装置
F-WS-139 高耐圧プローバ
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0037]メッキ板の硫化膜厚測定
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0038]微小ゲート構造を有するバイオセンサ用基板の作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0039]Ir/IrOxワイヤ酸化被膜剥離の検討
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0040]ラマン分光による面分解能評価パターン作製
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0041]イオンビームスパッタ装置を用いて成膜したNi膜の膜厚計測
F-WS-134 表面極微細構造測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0042]イオンビームスパッタ装置を用いて成膜したNi膜のSEMによる表面観察
F-WS-127 簡易SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0043]赤外無反射構造加工のための微細ニッケルメッキ条件だし
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0044]強磁性Mn-Biの新合成法確立とその物性評価
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0045]炭化ケイ素基板のドライエッチングマイクロレンズ加工
F-WS-127 簡易SEM
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0046]特殊加工ハイドロ キシアパタイトによる環境負荷低減作用の研究
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0048]イオンビームスパッタ法によるMn層状化合物の薄膜作製
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0050]自己組織化膜(SAM)を用いた電鋳技術
F-WS-121 精密めっき装置×3台
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0051]透明導電性Sn:In2O3 (ITO)薄膜電極の作製
F-WS-126 FE-SEM
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0052]パッシベーション用アルミナ膜の成膜方法による比較
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0053]アルミナ膜の膜中水素量による比較
F-WS-150 アトミックレイヤデポジション(ALD)装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0054]圧電基板上の櫛形電極の周波数特性の測定
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
F-WS-148 ダイシングソー
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0055]カーボンナノチューブ・フレキシブル電極・配線のパターン形成のための微細加工:カーボンナノチューブ・フレキシブル電極・配線用マスク作製検討
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0056]プローブカードパターン製造におけるレジスト材に関する研究
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0057]金属被覆を施した金属ガラスの機械特性
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0058]微生物発酵産物の柱状解析
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0059]サブミリ波帯アンテナのためのシリコンウエハーの金めっきプロセスに関する研究
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0060]埋め込み型プラズモンセンサの開発
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0061]ネオジム磁石膜を用いたMEMSアクチュエータの研究
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
F-WS-121 精密めっき装置×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0062]Mn層状化合物の形成と組成分析
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
F-WS-142 誘導結合プラズマ 質量分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0063]高性能OLEDsに向けたITO上へのナノパターン形成
F-WS-128 電子ビーム描画装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0064]マイクロ流体有機ELの作製と電界発光特性
F-WS-136 接合装置
F-WS-137 プラズマ処理装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0065]高分子圧電材料を用いた発電デバイスの作製と特性評価
F-WS-124 スパッタ装置
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-143 高性能半導体デバイス・ アナライザ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0066]FeCo系合金を使用した磁歪発電デバイスの高出力化
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0067]磁歪発電デバイスの持続的発電構造の検討
F-WS-140 高耐圧デバイス測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0068]低温用プローバ利用に関する相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0069]マイクロミキサーの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0070]化学反応用マイクロ流体デバイスの作製
F-WS-129 両面マスクアライナ
F-WS-144 真空光学系赤外分光計
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0071]樹脂製流体デバイス作製指導に関する相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0072]特殊加工ハイドロ キシアパタイト(セラミックス)による防錆・防食・除錆効果
F-WS-125 集束イオン/電子ビーム加工観察装置(極表面微量元素分析機能つき)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0073]微小ドロップレット形成チップの作製
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0074]インプリント用モールドの再生方法検討
F-WS-137 プラズマ処理装置
F-WS-141 クリーンルーム × 2
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0075]がん培養液中の成分分析
F-WS-133 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0076]分光エリプソメーターを使用したガラス基板上のAPTES単分子膜の測定の検討
F-WS-145 高性能分光膜厚 測定装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0077]X線光学素子作製のための微細めっき技術
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0078]フレキシブル薄型の力覚センサ
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0080]圧電ポリマーを用いた発電デバイスの検討
F-WS-122 環境維持・制御装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0081]神経細胞の表面改質法に関する相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0082]ナノスケール微細構造形成の相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0083]ピレニルホスホン酸の選択的固定化に関する相談
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-14-WS-0084]Si 細線スロット導波路へのカーボンナノチューブの埋め込みの検討
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0001]SiC上のグラフェン薄膜の評価
F-WS-117 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0002]集束イオン/電子ビーム加工観察装置による圧痕下部組織の3次元トモグラフィ
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0003]めっき膜後処理
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0004]GaAs上の金膜パターン形成
F-WS-115 微細パターン露光描画装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0005]炭素ハイブリッド膜のラマンによる微小領域測定
F-WS-117 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0006]ソフトリソグラフィーによる高分子ナノディスクの作製
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0007]石英ガラスの変形制御
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0008]サブミクロン微粒子上への金ナノシェルの作製
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0009]強誘電体セラミックス薄膜への電極形成と微細加工
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0010]FIBによるピンホールの形成
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0011]表面の滑らかなXeF2ドライエッチング
F-WS-115 微細パターン露光描画装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0012]XeF2を用いたSiエッチング過程における温度上昇
F-WS-116 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0013]NiFeめっき膜形成
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0014]CYTOPによるウエハレベルガラス接合
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0015]血漿・血球分離のための樹脂流路チップの作製に関する研究
F-WS-116 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0017]Fe40Ni60合金薄膜の作製と磁歪特性評価
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0019]表面弾性波を用いたナノ物質位置制御技術に関する研究
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0020]強磁性Mn-Biの合成とその評価
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0021]カーボンナノチューブ/SiC界面の不純物濃度の測定
F-WS-118 グロー放電分光分析装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0022]長波長対応反射型プラズモンセンサの開発
F-WS-117 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0023]ナノめっき技術を用いた硬質貴金属電気接点の実用化研究
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0024]糖鎖層へのSERS用Ag蒸着
F-WS-117 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0026]2次元アンペロメトリックセンサのプロセス開発
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0027]狭ピッチプローブの膜応力及び磁歪材料の変形制御
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0028]高温高濃度オゾン被曝法によるダイヤモンドの酸化処理
F-WS-123 ダイヤモンド基板専用 特殊成膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0029]微細接合用ナノポーラスシートの特性評価
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0030]プラズマリアクターを利用したレジスト剥離
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0031]PDMSを用いた単一細胞分泌測定デバイスの開発
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0032]温度応答性表面へのナノインプリント微細構造導入による親疎水性動的変化の増幅
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0033]ポリ乳酸ナノシートの微細構造解析
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0034]3次元LSIのハイブリッド接合に関する研究
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0035]CoPtパターンド・メディアにおける初期析出挙動解析
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0036]ALD-Al2O3膜の耐熱性検討
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0037]Mn層状化合物の薄膜作成と特性評価
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0038]Fe基超磁歪合金の開発とエネルギーハーベスト素子への応用研究
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0039]シリコン加工技術を用いた300GHz帯導波管型平面アンテナの研究
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0040]プラズモンセンサのバイオ応用
F-WS-117 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0041]めっき膜のナノ構造と表面エネルギー制御に関する検討
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0042]CNT上へのめっき電極膜形成の検討
F-WS-117 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0043]Fe基超磁歪合金のヤング率測定
F-WS-120 デバイス電気特性 測定装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0044]FeCo磁歪合金薄膜の作製と機能化に関する研究
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0045]めっき法による3次元ナノ構造形成に関する研究
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0046]高周波FETの特性評価
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0047]多自由度MEMSスキャナの試作
F-WS-116 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0048]表面微細加工パターンの試作
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0050]金属ナノ粒子作製用添加剤の挙動解析
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0051]軟らかいポリマー両面への電極薄膜の形成
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0052]駆動可能な金属櫛歯電極の試作
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0053]MEMS マイクロフォンの臨床用圧力センサへの応用
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0054]磁歪材料を用いたMEMS発電デバイスの試作
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0055]SiC-FETダイの銀ナノペーストを用いたダイボンディング条件の最適化
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0056]太陽電池用パッケジの石英加工
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0057]水溶液中におけるベンゾトリアゾールの銅表面への吸着の直接観察
F-WS-117 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0059]基板の貼合せ封止・実装技術
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0060]電析法による透明電極上へのSiナノ構造体の作製
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0062]サファイヤの直接接合
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0063]樹脂複層フィルムの直接接合技術開発
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0064]Roll to Rollナノインプリント法を用いた微細パターンの作製
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0066]IGZO-FETのFIB-SEMとEDAXによる分析
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0067]IGZO薄膜のGDOESによる分析
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0068]長焦点深度アライナーの有用性について
F-WS-117 顕微ラマン分光装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0069]車載向け電力素子用パッケージの検討
F-WS-120 デバイス電気特性 測定装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0070]SSC付きCNT含有スロット導波路の作製
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0071]異種材料の接合
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0072]石英基板のハイアスペクト加工検討
F-WS-116 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0073]MEMSデバイスの基板接合技術に関する基礎実験
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0074]UVインプリントによる高アスペクト比樹脂構造体の作製
F-WS-116 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0075]液体発光材料の評価方法
F-WS-114 電子顕微鏡群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0076]ITO電極のエキシマーUVによる基板表面処理
F-WS-116 ICP-RIE装置
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0077]超高感度免疫測定システム検討のためのPDMSマイクロ流路の試作
F-WS-115 微細パターン露光描画装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0078]マイクロ流路の製作の検討
F-WS-115 微細パターン露光描画装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0079]サブミクロンAu粒子パターンを用いたウエハレベル接合
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0080]パッシベーション用アルミナ膜の成膜
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0081]高磁場中でのNiFeめっき膜形成における変形
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0084]Si基板終端の反応性の違いを利用した有機ホスホン酸の選択的表面修飾
F-WS-119 表面処理・接合装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0086]多糖類基材へのADLによるアルミナ製膜
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0087]銅版の酸化膜厚の測定
F-WS-121 精密めっき装置(特注品)×3台
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-13-WS-0088]ALD法で形成したAl2O3膜絶縁耐圧の向上
F-WS-113 高品質製膜装置群
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-12-WS-0001]表面弾性波(SAW)デバイス作成
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-12-WS-0002]めっき法を用いた熱電変換素子マスク作製、プロセス検討
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-12-WS-0003]強誘電体セラミックス薄膜への電極形成と微細加工
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-12-WS-0004]学生実験用回折格子アレーの作製
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-12-WS-0005]PDMSを用いた単一細胞分泌測定デバイスの開発
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-12-WS-0006]ナノインプリントにおけるガラスおよびシリコン等耐熱基材へのナノレベルの微細構造転写のための基礎検討
(登録なし)
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
[F-12-WS-0007]マイクロチップ電気泳動-質量分析用ポリマーマイクロデバイスの作製
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[F-12-WS-0008]金ナノドット集積化電気泳動分析用ポリマーマイクロチップの作製
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[F-12-WS-0009]ALD-Al2O3ゲート絶縁膜の性能評価
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[F-12-WS-0010]血漿・血球分離のための樹脂流路チップの作製に関する研究
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[F-12-WS-0011]微細接合用ナノポーラスシートの特性評価に関する研究
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[F-12-WS-0012]ナノマルチフェロイクス素子開発のためのナノ加工に関する研究
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[F-12-WS-0013]MEMS技術のための薄膜コーティング
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[F-12-WS-0014]マイクロ流路デバイスの作製
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[F-12-WS-0015]SiC基板上のCNTのめっき膜形成検討
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[F-12-WS-0016]アモルファス金属ガラスへの水素導入とその変形制御
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[F-12-WS-0017]基板接合技術の開発
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[F-12-WS-0018]Ni-Nb-Zr-H薄膜を用いたデバイスの作製とI-V特性
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[F-12-WS-0019]水素導入したアモルファス合金薄膜デバイスの導入水素量と 電気的特性の関係に関する評価
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[F-12-WS-0020]特殊磁性体材料の逆磁歪効果を用いた発電テバイスの研究
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[F-12-WS-0021]3次元MEMS加工技術を応用した特殊磁性体材料を用いた発電テバイスの試作
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[F-12-WS-0022]GaAs上の金膜パターン形成
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[F-12-WS-0023]狭ピッチプローブプロセス開発
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[F-12-WS-0024]サブミクロンAu粒子を用いたウェーハ接合
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[F-12-WS-0025]Cavity付シリコンチップの製作
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[F-12-WS-0026]三次元集積デバイスのためのハイブリッド接合技術の検討
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[F-12-WS-0027]Si基板への有機ホスホン酸の選択的固定化
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[F-12-WS-0028]メソポーラスシリカ膜のドライエッチング加工
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[F-12-WS-0029]金属ナノ粒子作製用添加剤の挙動解析
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[F-12-WS-0030]Cu基金属ガラス上へのめっき膜形成検討
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[F-12-WS-0031]2次元アンペロメトリックセンサの試作
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[F-12-WS-0032]固体酸化物型燃料電池におけるイオン導電率の検討
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[F-12-WS-0033]シアノバクテリアSynechoccocus elongatus PCC 7942の単一細胞に対する位相応答解析
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[F-12-WS-0034]イオンゲルを用いた電気二重層トランジスタの高速動作
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[F-12-WS-0035]SiC上のグラフェン薄膜の評価
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[F-12-WS-0036]高感度ラマン分析用のSERS基板の作成
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[F-12-WS-0037]過酷酸化条件下でのダイヤモンドの表面処理
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[F-12-WS-0038]メタノール型燃料電池のアノード触媒の研究
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[F-12-WS-0039]新規微細加工・表面加工技術の開発
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[F-12-WS-0040]燃料電池におけるアノード触媒の研究
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[F-12-WS-0041]非晶質Au-Ni合金めっき膜の作製と物性評価
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[F-12-WS-0042]高分子樹脂上へのめっきによる配線形成
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[F-12-WS-0043]Al2O3パッシベーションを施した水素終端ダイヤモンドMOSFETの作製および評価
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[F-12-WS-0044]凸面基板製造技術に関する開発
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[F-12-WS-0045]ALD-Al2O3のMEMSパッシベーションへの応用
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[F-12-WS-0046]高周波FETの特性評価
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[F-12-WS-0047]有機分子層へのSERS用Ag蒸着膜形成の研究
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[F-12-WS-0048]薄膜永久磁石駆動集積マイクロポンプの研究
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[F-12-WS-0049]シリコン製基板と樹脂との接合メカニズムに関する研究
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[F-12-WS-0050]a-IGZO層への絶縁膜並びに配線層の作製と電気的特性評価
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[F-12-WS-0051]TSV充填めっき技術における電気化学評価とめっき高速化の検討
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[F-12-WS-0052]ミリング装置を用いた素子作製検討
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[F-12-WS-0053]微細素子作製におけるイオンミリング装置の応用
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[F-12-WS-0054]電解磁性めっきにおける均一制御
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[F-12-WS-0055]狭ピッチプロ-ブの変形制御
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[F-12-WS-0056]金属薄膜のリフトオフ用・レジストパターン作製
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[F-12-WS-0057]水素終端ダイヤモンドのAl2O3の製膜およびその保護効果の検討
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[F-12-WS-0058]高濃度ボロンドープナノダイヤモンドを用いたP型透明伝導膜の作製
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[F-12-WS-0059]ナノインプリント・トポグラフィによる表面親疎水性動的変化増強の検討
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[F-12-WS-0060]伸縮可能なMEMSデバイスシートの検討
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