利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学ナノテク融合技術支援センター微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学微細加工プラットフォーム]　
[東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名	利用装置名
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0001]不純物をドーピングしたフェリ磁性体Mn4N膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0002]チタンメンブレン粘膜表面側へのコラーゲンコーテイング方法の確立	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0003]電気化学的な金薄膜への銅の拡散現象の解析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0005]ナノピクセルとハイメサ導波路によるセンシング光集積回路	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-337 常圧SiO2CVD装置 F-RO-377 レイアウト設計ツール F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0006]強誘電体Hf1-xZrxO2 の融合による多結晶シリコン薄膜トランジスタの高性能化	F-RO-383 Rapid Thermal Anneal装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0007]MeV イオンビームによる単結晶 SiO2の表面形態変化	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0008]SiC ウェハのダイシング	F-RO-375 ダイサ―
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0009]PECVD 膜への単結晶薄膜トランジスタ形成	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0010]太陽電池の製作	F-RO-333 酸化炉 F-RO-343 リン拡散炉 F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0011]イオン照射によるプラスティック上導電性 DLC 形成技術の研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0013]ダイヤモンド薄膜への高濃度色中心の作製に関する研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0015]非晶質合金膜中に含有された希ガス原子の存在状態の解明	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0018]SiC 結晶中に生成された欠陥分布の測定	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0019]多結晶シリコンゲルマニウム薄膜トランジスタのゲルマニウム濃度依存性の解明	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0020]High-k ゲート絶縁膜を利用した４T CLC poly-Si TFT の CMOS 展開	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0021]太陽電池の製作と基礎実験	F-RO-333 酸化炉 F-RO-343 リン拡散炉 F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0022]CMOS R-S　Flip-Flop回路	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-356 デバイス測定装置 F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-366 ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 F-RO-377 レイアウト設計ツール F-RO-385 ウェル拡散炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0023]RFスパッタ法で堆積したZnGe膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0025]低エネルギー化を指向したセレン化銅系薄膜の作製と熱電特性	F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0026]細菌が合成した化合物半導体結晶のキャラクタリゼーション	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0027]CMOS Ring Oscillator（17段）回路の作製と特性	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-356 デバイス測定装置 F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-366 ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 F-RO-377 レイアウト設計ツール F-RO-385 ウェル拡散炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0028]Design and performance evaluation of n-type, Co-Doped Transistor and PN Diode Circuits	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-356 デバイス測定装置 F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-366 ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 F-RO-377 レイアウト設計ツール F-RO-385 ウェル拡散炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0029]二次元原子層物質 MoS2薄膜トランジスタの開発	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0030]電流駆動磁壁移動に向けた Co ドープ Mn4N 膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0031]ナノ構造を用いた環境センサーの研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0032]SiCへのチャネリングイオン注入	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0033]水素添加酸化インジウム薄膜の水素濃度評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0034]CoV2O4 薄膜の組成比分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0035]多孔体高分子表面に集積した合金ナノ粒子の構造解析	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0036]金属ナノパターンによる光波制御	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0037]電子線露光によるライン＆スペースパターンの作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0038]カーボン薄膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0039]厚膜レジストパターンの形成と剥離テスト	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0040]ポーラス薄膜の相対密度評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0042]スピンデバイス開発に向けた横型スピンバルブ素子の作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0043]絶縁膜の信頼性評価用パターン作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0045]同時スパッタ法により形成した薄膜太陽電池材料の組成比評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0046]3 次元パワーSoC 実現に向けてのプロセス技術の開発	F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0047]アモルファスカーボンの高品質化に関する研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0048]有機トランジスタの試作	F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0049]低温成長 G aAs 系半導体における熱処理後の結晶性の観察	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0050]InAs(Bi) 量子ドットの表面形状の観察	F-RO-352 原子間力顕微鏡(AFM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0051]酸化ニッケル電極での電池反応の調査	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0052]2次元薄膜窒化ホウ素へのイオン注入法による室温スピン操作可能な新規スピン欠陥の創製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-377 レイアウト設計ツール
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0053]Siナノワイヤバイオセンサーの作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用） F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用） F-RO-376 真空蒸着装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-366 ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0055]MEMS 技術を用いた機能性表面の創製	F-RO-375 ダイサ―
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-21-RO-0056]ｐ型シリコンへのリンの拡散およびボロンのイオン注入	F-RO-333 酸化炉 F-RO-343 リン拡散炉 F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0001]RTAを用いた強誘電体Hf1-xZrxO2の形成と評価	F-RO-383 Rapid Thermal Anneal装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0004]酸化ニッケル膜で起こるフォトクロミズム現象の分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置 F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置 F-RO-369 表面段差計 F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0006]p型シリコンへのリンの拡散およびボロンのイオン注入	F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-343 リン拡散炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0007]ラザフォード後方散乱測定装置を用いたSi 系蒸着膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0008]圧電MEMS による超音波トランスデューサの研究	F-RO-333 酸化炉 F-RO-367 干渉式膜厚計 F-RO-368 分光エリプソメーター
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0009]酸化チタンの元素分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0010]イオン照射によるプラスティック上導電性DLC形成技術の研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0011]イオン照射によりプラスティック上に形成される DLC 層の構造解析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0012]イオン照射によるプラスティック上でのDLC層形成メカニズムの解明	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0013]YSZの元素分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0014]絶縁膜の信頼性評価用パターン作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0015]SiCのオーミック接触形成	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-375 ダイサ― F-RO-377 レイアウト設計ツール
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0017]電子線露光によるライン＆スペースパターンの作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0020]厚膜レジストのリソグラフィテスト	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0021]低温成長GaAs系半導体の点欠陥評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置 F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0023]C-MOS SRAM回路の設計と性能評価	F-RO-377 レイアウト設計ツール F-RO-333 酸化炉 F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-385 ウェル拡散炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-366 ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0024]MOSFETS, CMOS Inverter & Junctionless Transistors	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-377 レイアウト設計ツール F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-385 ウェル拡散炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-366 ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0025]高速軽イオンビームによるSiO2の表面改質と発光分光	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0026]SiCのオーミック接触評価	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0027]n-chダブルゲートpoly-Ge TFTの開発	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0028]中性子センサの研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0029]薄膜太陽電池応用に向けたスパッタ法で作製したBaSi2膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0030]2次元薄膜窒化ホウ素へのイオン注入法による室温スピン操作可能な新規スピン欠陥の創製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0031]スパッタプロセスによるSi薄膜トランジスタ	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0032]電子線露光によるラインパターンの作製（2方向パターン）	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0036]金属グレーティングによるテラヘルツ波光伝導アンテナの性能向上	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0039]Fe電析膜の膜密度測定	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0041]蛍光体の照射	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0042]大面積プラズモニック基板の作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用） F-RO-377 レイアウト設計ツール
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0043]SiC結晶中に生成された欠陥分布の測定	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0044]High-kの導入により高性能化した４端子CLC poly-Si TFTのEE、EDインバータ応用	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0045]太陽電池の製作と基礎実験	F-RO-333 酸化炉 F-RO-343 リン拡散炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0047]PECVD膜をチャネル層に用いた単結晶帯Si薄膜トランジスタ	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0048]金属ナノ粒子の形成を目指した、脂質膜を反応場とする化学還元法の開発	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0049]InAs系積層量子構造の構造解析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置 F-RO-352 原子間力顕微鏡(AFM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0051]細菌による重金属イオンの回収およびその副産物の構造解析・組成分析	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0052]ダイシングマシンを利用した半導体デバイスの作製	F-RO-375 ダイサ―
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0053]薄膜太陽電池作製に向けた無アルカリガラス基板上におけるBaSi2膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0054]シリコンナノ電子デバイスの作製	F-RO-333 酸化炉 F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-366 ポストメタライゼーションアニール（PMA）炉 F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用） F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-368 分光エリプソメーター F-RO-350 インプラ後アニール炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0055]細菌が合成した化合物半導体結晶のキャラクタリゼーション	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0056]Investigate the characteristic of crystalline silicon film induced by micro thermal plasma jet	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用） F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0057]ゲルマニウム薄膜の電気特性に関する研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0058]大気圧熱プラズマジェットアニールを用いた4H-SiC MOSFET作製技術の研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-380 リモートPECVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0059]メニスカス力を用いた薄膜転写プロセス開発に関する研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0060]ナノワイヤバイオセンサーの作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0061]Siの異方性エッチングを用いた100ミクロンスケールの微小孔の作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0062]光学干渉非接触温度測定(OICT)を用いたSi-nMOSFET動作時の温度変化の測定	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0063]a-Si:H薄膜を用いた脈波センサーに関する研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用） F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-369 表面段差計 F-RO-377 レイアウト設計ツール
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0064]プラズマ CVD によるアモルファスシリコン堆積時の瞬間加熱に関する研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-375 ダイサ― F-RO-377 レイアウト設計ツール
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0065]石英基板上へのアモルファスシリコン薄膜堆積	F-RO-378 ICP-CVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0066]自己整合型ボトムゲート TFT 作製プロセスの研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0067]大気圧マイクロ熱プラズマジェットを用いた微量SiドープGe膜の結晶化に関する研究	F-RO-351 二次イオン質量分析機(SIMS) F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-20-RO-0068]SOI 層を用いたイオン感応性電界効果トランジスタの作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用） F-RO-363 エッチング装置(レジスト Ashing用) F-RO-377 レイアウト設計ツール
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0001]Ar ガスを用いたプラズマエッチング量調査	F-RO-369 表面段差計
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0002]ラザフォード後方散乱測定装置を用いた無機系の蒸着膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0003]ダブルゲート・ジャンクションレスn-ch 多結晶ゲルマニウム薄膜トランジスタの開発	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0004]負性容量４端子 poly Si TFT の開発	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0008]分子性金属酸化物をコートした SiO 2 薄膜の電気化学特性の評価および製造プロセスの検討	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0009]太陽電池の製作	F-RO-333 酸化炉 F-RO-343 リン拡散炉 F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0010]太陽電池の製作と基礎実験	F-RO-333 酸化炉 F-RO-343 リン拡散炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0011]半導体薄膜接合技術の応用研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0012]金属ナノパターンによる光波制御	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0013]有機トランジスタの試作	F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-376 真空蒸着装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0014]金属ナノ粒子標的に対するスパッタリング収率の入射イオンエネルギー依存性	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0015]p 型シリコンへのリンの拡散およびボロンのイオン注入	F-RO-343 リン拡散炉 F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0016]微生物を分離培養する新規なデバイスの開発	F-RO-373 PDMS加工装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0018]低温成長 GaAs 系混晶半導体の熱処理前後の評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置 F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0019]連結したスクエアリング形状によるメタマテリアル完全吸収体の研究	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0020]低温成長GaAs系混晶半導体の表面形状の観察	F-RO-352 原子間力顕微鏡(AFM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0021]GeコアSi量子ドット発光デバイスの開発	F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0022]電子顕微鏡による含水サンプルの観察のためのDLC 薄膜の開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-377 レイアウト設計ツール F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0023]低温で成長した数原子層 As 系化合物半導体の組成解析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0024]スピンデバイス開発に向けた横型スピンバルブ素子の作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0027]低温成長GaAs系混晶半導体の導電性制御	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置 F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0029]フォトクロミック金属酸化物の蓄電性能の確認	F-RO-369 表面段差計
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0030]ビチオフェンジオン系ポリマーにおける構造異性体が電荷輸送特性に与える影響	F-RO-375 ダイサ―
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0032]非加熱プロセスでの酸化ニッケル膜の作製	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置 F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0034]CMOS　NAND回路による半加算器	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0037]CMOS 論理回路	F-RO-377 レイアウト設計ツール F-RO-333 酸化炉 F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0038]大面積プラズモニック基板の作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0039]スパッタ法で形成した薄膜太陽電池材料の組成比制御	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0040]ナノワイヤバイオセンサの作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0042]ダイヤモンド薄膜の色中心に関する研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0043]SIMS分析によるGeのCu金属誘起固相成長のメカニズムの解明	F-RO-351 二次イオン質量分析機(SIMS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0044]高空間分解能イオンセンサーの開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0045]イオン照射によるプラスティック上導電性DLC形成技術の研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0048]セレン化銅薄膜の熱電特性	F-RO-369 表面段差計 F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0049]化学液相法による硫化銅系薄膜の合成と熱電特性	F-RO-369 表面段差計 F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0050]単結晶粒 Si/Ge 薄膜トランジスタの作製	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0051]分子性金属酸化物を用いたキャパシタ型デバイスの開発および特性評価	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-376 真空蒸着装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0052]金属ナノ粒子の形成を目指した，脂質膜を反応場とする化学還元法の開発	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0053]透明基板上GeSn発光・受光素子の開発	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0054]細菌による重金属イオン回収およびその副産物のキャラクタリゼーション	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0055]RTAによる強誘電体HfZrOxの形成	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0056]イオン注入による炭化ケイ素への単一光子源の生成	F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0057]MEMSプロセスの技術面，教養面の支援	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-373 PDMS加工装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0058]薄膜評価用チップの作製を目的とした電子線描画装置の検討	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-19-RO-0059]アレイ化光リング共振器チップの光学特性評価	F-RO-374 光学スペクトル測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0001]溶射膜の高信頼化に関する研究	F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0002]単結晶粒Si/Ge 薄膜トランジスタの作製	F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-369 表面段差計
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0003]Geコア Si 量子ドット発光デバイスの開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用） F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0005]単分子誘電体を組み込んだFET型トランジスタのプロトタイプ作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-376 真空蒸着装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0006]酸化膜の深さ方向組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0007]フォトクロミック金属酸化物の作製とその特性評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置 F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置 F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS) F-RO-369 表面段差計
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0008]金属ナノ粒子を用いたペロブスカイト太陽電池の高効率化	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0009]金属テストパターンによる高空間分解能光電子分光装置の分解能評価	F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0010]有機電界効果トランジスタを指向した半導体ポリマー開発	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0011]イオン衝撃による金属ナノ粒子のスパッタリング	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0012]Etching装置を利用したSi waferのDry加工評価	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0013]High-kを利用した4端子連続発振レーザラテラル結晶化低温poly-Si TFT CMOSインバータの開発	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0014]微生物を分離培養する新規なデバイスの開発	F-RO-373 PDMS加工装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0015]凝集鉱物の不純物濃度の制御	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0016]不純物をイオン注入した InGaAs の不純物濃度の評価	F-RO-351 二次イオン質量分析機(SIMS) F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0017]スピントラジタ開発に向けた横型バルブ素子よる拡散長の調査	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0018]イオン注入した半導体基板の結晶欠陥制御	F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置 F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0020]低温成長InGaAsの局在準位の評価	F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0021]格子歪によるコバルトフェライ薄膜の磁気異方性制御	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0022]半導体薄膜発光素子接合技術の研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-338 プラズマCVD装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用） F-RO-352 原子間力顕微鏡(AFM) F-RO-369 表面段差計 F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0023]メニスカス力を用いたSOI膜のフレキシブル基板上への局所転写プロセスの構築	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用） F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0024]細菌が合成した半導体の結晶性評価	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0025]大気圧熱プラズマジェット照射による表面反応の制御	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0026]p型シリコンへのリンの拡散	F-RO-343 リン拡散炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0027]ラザフォード後方錯乱測定装置を用いたDLC並びに無機系の蒸着膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0028]シリコンカーバイド（SiC）・デバイスにおけるイオン注入制御	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0029]ナノワイヤバイオセンサの作製	F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-368 分光エリプソメーター F-RO-333 酸化炉 F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用） F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用） F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0030]電界効果型マイクロウォール太陽電池の構造・プロセス検討と基板加工	F-RO-337 常圧SiO2CVD装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0031]デバイス応用に向けて成膜したLPCVD-SiO2の性能評価	F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0032]電界効果型マイクロウォール太陽電池の作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-334 LPCVD装置(poly-Si用) F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0033]p 型シリコンへのリンの拡散およびボロンのイオン注入	F-RO-333 酸化炉 F-RO-343 リン拡散炉 F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0034]低温成長 GaAs 系混晶半導体の熱処理前後の結晶性評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置 F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0035]低温成長GaAs 系混晶半導体の表面形状の観察	F-RO-352 原子間力顕微鏡(AFM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0036]電子線検出型イオン分布イメージング用イオンセンサーの開発	F-RO-333 酸化炉 F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-368 分光エリプソメーター F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用） F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0037]金属ナノパターンによる光波制御	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0038]単結晶シリコン薄膜を用いた繰り返し転写技術の確立とデバイス応用	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-362 エッチング装置（CDE SiN用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0039]ペロブスカイト太陽電池によるフレキシブル基板上の単結晶シリコンCMOS論理回路のバッテリーレス動作	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0040]SiC-MOSトランジスタのセルフアラインプロセス開発	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0041]大気圧熱プラズマジェットによる4H-SiCウェハ中不純物の高速活性化とデバイス作製プロセスへの応用	F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0042]シリコンキャップアニールを行ったn型4H-SiCのコンタクト特性に関する研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0043]３次元パワーSupply on Chipのプロセス技術の開発	F-RO-342 深堀エッチャー F-RO-369 表面段差計
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0044]金属ナノ粒子の形成を目指した脂質膜を反応場とする化学還元法の開発	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0046]金属担持触媒の劣化特性と金属物性の関係の評価	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0047]バイオセンサー用酸化チタン光導波路の形成	F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0048]バイオセンサー用途マイクロバルブの作製条件探索	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0049]大面積プラズモニック基板の作製	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0050]GaAs基板上新規構造の結晶学的特性評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0051]有機トランジスタの試作	F-RO-333 酸化炉 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0052]特殊メタルマスクを用いたミクロン寸法半導体デバイスの形成	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0053]金属酸化物薄膜の形成と評価	F-RO-369 表面段差計
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-18-RO-0054]DNA Si-MOSFETの作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0002]凝集鉱物の熱処理前後の構造評価	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0003]SiN一次元フォトニック結晶導波路と分子鋳型ポリマーの融合による新規バイオセンサの開発	F-RO-374 光学スペクトル測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0004]酸化膜の深さ方向組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0005]電子線励起イオンセンサデバイスの製作	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0006]微生物を分離培養する新規なデバイスの開発	F-RO-373 PDMS加工装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0007]低温成長ⅢⅤ族半導体の成長とその電気的特性の評価	F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0008]X線回折法による低温成長ⅢⅤ族半導体の結晶内の欠陥評価	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0009]ホール効果測定装置による低温成長ⅢⅤ族半導体のキャリア密度温度依存性の測定	F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0010]高速イオンビームによるガラスの表面改質	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0011]シリコンエッチングプロセス再現性向上のためのシリコン基板表面形態の観察	F-RO-352 原子間力顕微鏡(AFM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0012]イオン注入による縦型n-i-p層形成の検討	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0013]電界効果型マイクロウォール太陽電池作製のためのSiドライエッチング	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-364 エッチング装置（ICP poly-Siゲート用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0015]CLC poly-SiGe TFTの開発	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0016]Ag-TiO2ナノ粒子混合堆積膜の作製と光触媒活性の評価	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0017]メタルアニール無 SiCコンタクト抵抗低減実験	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0018]エアホール導波路センサと分子鋳型ポリマーの融合による新規バイオセンサの開発	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0019]硫酸還元菌を用いた凝集鉱物の電気的特性の評価	F-RO-356 デバイス測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0020]硫酸還元菌を用いた凝集鉱物の構造評価による生成条件依存性の解明	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0021]横型スピンバルブ素子の作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0022]X線回折法による固相成長InxGa1-xAsの結晶性評価	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0023]多結晶シリコン薄膜トランジスタ作製のためのイオン注入	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0024]Si膜およびAl膜の堆積速度測定	F-RO-369 表面段差計
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0026]スパッタ法で形成した薄膜太陽電池材料の組成比制御	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0027]Nd: YVO4レーザーで表面処理したポリエーテルエーテルケトン（PEEK）の表面性状の解析	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0029]レーザ照射による太陽電池の特性改善技術の開発	F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0030]低温成長GaAs系半導体混晶の導電性制御	F-RO-384 ホール効果測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0031]高い伝導性を有する酸化亜鉛透明膜の合成	F-RO-369 表面段差計
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0032]スピンバルブ素子創製のためのナノダイヤモンド膜の2次イオン質量分析	F-RO-351 二次イオン質量分析機(SIMS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0033]フォトクロミック粒子簿膜のラザフォード後方散乱分光分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0034]SOIウエハの細線加工	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0035]DNAトランジスタのためのSi加工と低抵抗化	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0036]DNA Si-MOSFETの作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0037]Formation of SiN membrane on Si wafer by LPCVD	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0039]フォトクロミック粒子簿膜のX 線光電子分光分析	F-RO-370 X線光電子分光装置(XPS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0040]ハイパワー大気圧プラズマジェットを用いた急速熱処理によるSiCウェハ中の不純物の活性化率の向上	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0041]シリコンキャップアニールを用いたn型4H-SiCのオーミックコンタクト特性に対する昇温レートの影響	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0042]メニスカス力を用いたSOI膜の転写におけるフレキシブル基板上での単結晶シリコンCMOS回路の作製プロセスの構築	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0043]中空構造SOI層の低温転写技術を用いたフローティングゲートメモリ作製プロセス技術に関する研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0044]ワイドギャップ半導体デバイス作製のためのドライエッチング加工	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0045]Si基板とワイドギャップ半導体基板の貼り合わせ技術	F-RO-371 汎用熱処理装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0046]ナノスケールチャネルを有するTFT作製のためのpoly-Si加工	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0047]不純物原子のイオン打ち込みによる化合物半導体の欠陥導入制御	F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置 F-RO-351 二次イオン質量分析機(SIMS)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0048]超伝導ナノワイヤ光子数検出器を用いた蛍光相関分光システム	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0049]幹細胞を大量に培養する基材の開発	F-RO-365 エッチング装置(汎用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0052]ラザフォード後方散乱測定装置を用いたDLC並びに無機系の蒸着膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0053]シリコンリング光共振器回路の作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0054]光バイオセンサーにおける受光素子と信号増幅回路の集積化	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0055]単分子誘導電体を組み込んだFET のプロトタイプ作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-361 エッチング装置(ICP Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0058]半導体薄膜の接合技術の研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0059]CMOSトランジスタ・IC作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-17-RO-0066]流路付加バイオセンサーの作製・測定	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー F-RO-373 PDMS加工装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0001]ガラス基板上の4 端子低温poly-Si TFT CMOS インバータの開発	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0002]生体反射板ガイダンス溝の作成	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0004]電子ビーム描画装置による先端露光プロセスの検討	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0005]３次元パワーSoC(Supply on Chip)用積層基板構成技術の研究	F-RO-343 リン拡散炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0006]金属上での有機フレームワーク接触形成と小分子活性化還元電極への展開	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0008]イオンビーム誘起ナノ・ミクロン複合パターン形成による超撥水性ガラスの創製	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0009]2 インチシリコンウエハ上へのシリコン窒化膜の形成	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0010]CVD酸化膜のエッチング評価	F-RO-342 深堀エッチャー F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0013]低温成長InxGa1-xAsの成長とその電気的特性の評価	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0014]鉱物形成能を有する細菌のスクリーニング	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0015]細菌が生成する鉱物の構造評価	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0016]凝集鉱物の熱処理前後の構造評価	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0017]SOIチップ上へのSiNの成膜	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0018]プラズモン共鳴を利用した光伝導型テラヘルツ波検出素子の高効率化	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0019]円形溝への反磁性微小物の導入	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0020]イオンビーム照射によるSi, SiC 結晶の欠陥生成の研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0021]標準シリコン酸化膜の厚測定 (2)	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0022]イオン注入法による窒化ガリウムのドーピング技術の開発	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0023]SiN光方向性結合器と分子鋳型ポリマーの融合による新規バイオセンサの開発	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0024]電界効果型マイクロウォール太陽電池の作製と評価（くし形Siウォールの形成）	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0025]電界効果型マイクロウォール太陽電池の作製と評価（ドーピングによる太陽電池の作製）	F-RO-333 酸化炉 F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0026]電界効果型マイクロウォール太陽電池の作製と評価（Alスパッタによるアノード・ゲート電極の形成）	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0027]メニスカス力を用いたSOI膜の転写における転写率向上の研究	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0028]PH3プラズマ処理および大気圧熱プラズマジェット熱処理によるシリコン薄膜の不純物ドーピング	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0029]SiC-MOSFETの作製	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0030]ワイドバンギャップ半導体基板への高温イオン注入と短時間高温活性化アニールの研究	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0031]PECVD装置によるSiO膜のドライエッチング処理方法の検討	F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0032]窒化物薄膜LEDの開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-336 LPCVD装置(SiO2用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0033]CDE装置によるSiO膜のドライエッチング処理方法の検討	F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0034]低温成長InxGa1-xAsのショットキー接合の形成とその容量電圧特性の評価	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0035]超微細DNAメモリートランジスタの研究	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0036]リング共振器バイオセンサのための流路形成	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-16-RO-0037]学習機能をもつ光ニューラルネットワークの基礎研究	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0001]超臨界二酸化炭素雰囲気下における微細空間中のポリイミド蒸着機構の解明	F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0002]次世代デバイス向け先端露光プロセスの検討	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0003]一方向成長を促進した非晶質シリコンのレーザーアニール結晶化	F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0004]微細流路を用いた流路抵抗測定	F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0005]量子ドット固定領域制御技術のための微細加工パターン作成	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0006]ラザフォード後方散乱法を用いたInP基板上低温成長InxGa1-xAs内の結晶欠陥の評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0007]InP基板上低温成長InxGa1-xAsの成長とX線回折法を用いたその結晶性の評価-格子整合系と不整合系のデバイス特性の差異の起源-	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0008]微細結晶粒を有する低温poly-SiトンネルTFTのデバイス形成に関する研究	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0009]自己整合4端子メタルダブルゲートCLC低温poly-Si TFTの制御性に関する研究	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0010]高性能薄膜トランジスタの実現に向けた非晶質シリコンのレーザーアニール結晶化	F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0011]金属誘起固相成長とhigh-k膜を利用した自己整合４端子低温poly-Si TFTの開発に関する研究	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0012]高圧蒸着法における成膜特性とトレンチサイズの関係	F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0013]次世代デバイス向け極微細パターニングの検討	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0015]多量子ビーム検出用超伝導トンネル接合素子	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0016]ミストCVD法によるCu2ZnSnS4薄膜のRBSを用いた組成評価に関する検討	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0018]方向性結合器型干渉素子を用いたバイオセンシングデバイスの構築	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-337 常圧SiO2CVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0019]InP基板上アモルファスInxGa1-xAsの熱処理による結晶化とX線回折法を用いたその結晶性評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0021]4インチウエハのエリプソメトリによる酸化膜の測定	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0022]細菌に凝集させた化合物の構造評価	F-RO-353 薄膜構造評価X線回析装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0023]高感度プラズモニックセンサーの開発を目指したナノ粒子表面修飾	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0024]バイオセンシング用分子認識タンパク質の簡便な性能評価のためのSi酸化膜基板の作製	F-RO-336 LPCVD装置(SiO2用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0025]電子ビーム露光を用いた室温動作Si単電子トランジスタ＆薄膜トランジスタの設計・製作・評価	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-337 常圧SiO2CVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0026]電子ビーム露光を用いた室温動作Si単電子トランジスタ＆薄膜トランジスタの設計・製作・評価	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-337 常圧SiO2CVD装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0027]局在プラズモン共鳴を利用した光伝導型テラヘルツ波検出素子の高効率化	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0028]アルカリ土類金属によるSiC-MOSFETsの界面制御	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0029]窒化シリコン方向性結合器バイオセンサによるアプタマー分析	F-RO-335 LPCVD装置(SiN用) F-RO-337 常圧SiO2CVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0030]塗布技術を用いて形成したhigh-kゲート絶縁膜の評価	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0031]ホール効果測定を用いたInP基板上低温成長InxGa1-xAsの欠陥準位の評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0032]表面粗さによる微小管速度制御技術の開発	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0033]窒化物半導体層のエッチング加工	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-338 プラズマCVD装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0034]リフトオフによるメタルパターン形成	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0035]塗布膜のパターン加工	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0036]生体反射板ガイダンス溝の作成	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0037]超臨界蒸着法によるフッ素－カプトン系ポリイミドの成膜特性とトレンチサイズの関係	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0038]Ge中にイオン注入したAsの高効率活性化と化学状態分析	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0039]電圧印加XPSを用いた熱酸化SiO2/Si 構造の内部電位評価	F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0040]狭間隔スロット光導波路のレジストパターン形成	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0041]リッジ型光導波路実現のためのドライエッチング条件の探索	F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0042]スポットサイズ変換器用中間クラッド層の形成	F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0043]シリコンチッ化膜のプラズマ中表面計測についての相談	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0044]炭化ケイ素基板への高温リンイオン注入と短時間高温活性化アニールの研究	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0045]Si/SiCヘテロ接合によるオーミックコンタクトの形成	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-15-RO-0047]メニスカス力を用いたSOI膜の転写における転写率向上の研究	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0001]ウイルス濾過膜の濾過機構可視化のための微細流路	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0002]ウイルス濾過膜の濾過機構可視化のための試験デバイス開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0003]新太陽電池及びその製造方法	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0004]酸化物半導体/絶縁膜界面制御に関する研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0005]ラザフォード後方散乱法を用いた低温成長InxGa1-xAsの結晶構造の作製及び解析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0006]自己整合メタルダブルゲート低温poly-SiトンネルTFTの開発	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0007]マイクロ流量制御に向けたシリンジポンプの作製及び特性解析	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0008]金属ナノ粒子を利用した環境反応材料の開発	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0009]積層構造に依存したグラフェンの電子構造の研究	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0010]BN多層グラフェン素子の作製と電子構造の研究	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0011]原子層膜の表面電気伝導の研究	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0012]高移動度グラフェン素子の作製と量子輸送現象の研究	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0013]BN上の多細孔グラフェン素子の量子伝導の研究	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0014]シリコンのドライエッチング速度に関する基礎検討	F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0015]THz波デバイスの作製	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0016]電子ビーム描画による単電子トランジスタの作製および室温クーロン振動の測定	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0017]単電子トランジスタの作製および室温クーロン振動の測定	F-RO-347 電子ビーム露光装置 F-RO-344 イオン注入装置 F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0019]モアレ縞を用いたひずみ可視化デバイスの開発	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0020]石英基板上への非晶質シリコン薄膜堆積	F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0021]超臨界蒸着により作製した金属薄膜の表面抵抗の測定	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0022]超臨界二酸化炭素を利用した微細空間内へのポリイミドの成膜・埋め込み法の開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0024]DNA/Siメモリートランジスタの基板作製・評価　(イオン注入処理によるSiアイランドの低抵抗化)	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0025]DNA/Siメモリートランジスタの基板作製・評価(EB描画を用いたDNAチャネルの微細加工)	F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0026]DNA/Siメモリートランジスタの基板作製・評価　(DNAトランジスタ作製)	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0027]ナノ平坦表面接合技術の応用研究	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-338 プラズマCVD装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0028]紙を用いた医療用マイクロ分析チップの研究（Si型作製）	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0029]紙を用いた医療用マイクロ分析チップの研究（Si型観測）	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0030]LPCVD法による多層膜PIN太陽電池の試作	F-RO-343 リン拡散炉 F-RO-334 LPCVD装置(poly-Si用) F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0031]低温成長InxGa1-xAsの成長とX線回折法を用いたその結晶性の評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0032]フィルム基材を用いたフレキシブル色素増感太陽電池デバイスを安定的に作製するための断面解析	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0033]RBSによる硫化物薄膜のストイキオメトリー評価	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0034]Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（トンネル絶縁膜）	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM) F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-336 LPCVD装置(SiO2用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0035]Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（リソグラフィ）	F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0036]Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（薄膜形成）	F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0037]熱酸化SiO2と結晶シリコン界面の原子構造観察	F-RO-336 LPCVD装置(SiO2用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0038]アルミニウムの表面積増大法の研究	F-RO-339 スパッタ装置(Al用) F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0039]低温poly-SiトンネルTFTのデバイス解析に関する研究	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0040]電子ビーム描画装置による微細パターン形成	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0041]超臨界蒸着法によるCoFe2O4磁性薄膜の作製	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0042]超臨界蒸着法によるリンドープコバルト薄膜の作製	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0043]超臨界蒸着法により作製したCoFe2O4磁性薄膜の膜組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0044]ラザフォード後方散乱測定装置を用いたＤＬＣ膜の組成分析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0045]電子ビーム描画装置によるL&Sパターンの作製	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0046]青色LED薄膜のナノ転写技術の開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-338 プラズマCVD装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用） F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0047]超臨界蒸着法によって作製されたコバルト－鉄複合薄膜の結晶構造解析	F-RO-345 走査電子顕微鏡(SEM)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0048]ウイルス濾過膜の濾過機構可視化のための、濾過膜断面パターンを反映したデバイス開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0049]金ナノパターンのプラズモン共鳴におよぼす配列効果の研究	F-RO-347 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-14-RO-0050]Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜で覆われた結晶シリコンの界面準位密度測定	F-RO-339 スパッタ装置(Al用)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0001]ガラス上単結晶シリコンTFTの開発	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0002]シリコンのドライエッチング速度に関する基礎検討	F-RO-330 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0003]単結晶シリコンの疲労を評価するデバイスの試作	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0004]III-V族半導体薄膜の分子線エピタキシャル成長と新規光学デバイスの製作	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0005]薄膜トランジスタ開発のためのイオン注入条件の最適化	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0006]p-i-n接合シリコンナノワイヤの形成と光学特性評価	F-RO-334 LPCVD装置（poly-Si用） F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0007]金属ナノ粒子を利用した環境反応材料の開発	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0008]微細なトレンチを有するシリコンウエハへのポリイミド薄膜の作製	F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0009]ポリイミド微細加工における蒸着温度の影響	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0010]グラフェン量子ドットを基盤とした機能性物質群の創製	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0011]EBによる微細ホール加工	F-RO-330 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0012]厚膜酸化膜を有した基板の微細エッチング加工	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0014]真空を利用したＳｉウェハ上への無気泡フィルム接着装置の開発	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0015]マイクロ流路内を流れる赤血球の形状特性の実時間計測	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-346 設計・T-CAD用ワークステーション
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0016]多量子ビーム検出用超伝導トンネル接合素子	F-RO-335 LPCVD装置（SiN用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0019]マイクロ波超伝導共振器アレイを用いた放射線検出器の開発	F-RO-335 LPCVD装置（SiN用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0020]Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（イオン注入）	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0021]Geを活性層とする薄膜トランジスタ（Ge薄膜の形成）	F-RO-333 酸化炉 F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0022]Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（リソグラフィ）	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0023]Geを活性層とする薄膜トランジスタ（SiN薄膜の形成）	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-338 プラズマCVD装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0024]窒化物薄膜の構造と物性	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0025]空間光変調器用ドライバ分離領域の形成	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-335 LPCVD装置（SiN用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0026]空間光変調器用ドライバ回路閾値電圧制御用イオン注入	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0027]空間光変調器用ドライバ回路作製工程（トランジスタ前工程）	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-333 酸化炉 F-RO-334 LPCVD装置（poly-Si用） F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0028]空間光変調器用ドライバ回路配線工程	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-339 Alスパッタ装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0029]ＢＣＮ膜のエッチング評価	F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0030]NiGe層中へのリン注入によるNiGe/Ge界面ショットキー障壁変調機構の解明	F-RO-344 イオン注入装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0031]DNAをチャネルとするSi半導体MOSFET（Siアイランド形成）	F-RO-331 マスクレス露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0032]DNAをチャネルとするSi半導体MOSFETの作製（薄膜形成）	F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0033]DNAをチャネルとするSi半導体MOSFETの作製（Siのドライエッチング）	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0034]自己組織化形成Ｓｉ系量子ドットの選択成長	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-333 酸化炉
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0035]高移動度グラフェン素子の作製と量子輸送現象の研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0036]原子層膜の表面電気伝導の研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0037]BNの表面凹凸がグラフェン素子の移動度に及ぼす影響の研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0038]BN多層グラフェン素子の作製と電子構造の研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0039]BN上の多細孔グラフェン素子の量子伝導の研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0040]微細構造シリコンにおける増強ラマン散乱効果の研究	F-RO-330 電子ビーム露光装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0041]微細な空間へのポリイミド薄膜作製における蒸着時間の影響	F-RO-331 マスクレス露光装置 F-RO-342 深堀エッチャー
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0042]低温成長GaAs系半導体薄膜の結晶構造評価	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0043]RBS/PIXEを用いた低温成長GaAs系半導体薄膜の結晶構造解析	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0045]光デバイス用スポットサイズコンバータの研究	F-RO-330 電子ビーム露光装置 F-RO-338 プラズマCVD装置 F-RO-340 エッチャー（RIEコンタクト用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0046]金属ナノパターンにおけるプラズモン共鳴のデバイス応用	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0047]SiCパワーデバイスのための不純物活性化の研究	F-RO-332 ラザフォード後方散乱(RBS)測定装置
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0048]LPCVDを用いた多層トンネル接合型PIN太陽電池基板の特性解析	F-RO-334 LPCVD装置（poly-Si用）
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0049]光八木宇田アンテナによる量子ドット発行の指向性制御	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0050]SiC基板へのイオン注入、熱処理、および注入された基板の注入分布および電気的特性評価	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0051]集積回路の検査に用いられるイリジウムメッキしたタングステンプローブの特性評価	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-13-RO-0052]GaN基板表面の組成評価	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0001]ナノ空間による生体高分子１分子の疑似２次元解析	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0002]単結晶シリコンの強度を評価するデバイスの試作	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0003]単結晶シリコンの疲労を評価するデバイスの試作	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0004]光デバイス用スポットサイズコンバータの研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0005]磁気光学材料を用いた光スイッチの研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0006]巨大線状Siグレインを用いた高性能薄膜トランジスタの研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0008]LPCVDを用いた多層トンネル接合型PIN太陽電池基板の試作	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0009]LPCVD法による一貫薄膜Si/SiO2多層膜形成法の検討	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0010]LPCVD法による試作多層膜のTEM評価	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0011]表面プラズモン共鳴を用いたノロウイルスセンサの開発	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0012]マイクロパターン化PDMSスタンプの作製	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0013]デバイスシミュレータ（TCADツール）を用いたSi MOSFETのシミュレーション環境の構築	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0014]高速視覚を用いたマイクロデバイスの実時間流速計測システム	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0015]リン添加Niのジャーマナイド化で形成したNiGe/Ge界面ショットキー障壁評価	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0016]NiGe層中へのリンイオン注入によるNiGe/Ge界面ショットキー障壁変調	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0017]Ni/Ge界面へのリンイオン注入によるNiGe/Ge界面ショットキー障壁変調	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0018]Ge基板への極浅リン注入によるNiGe/Ge界面ショットキー障壁変調	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0019]マイクロピラーを持つマイクロ流路における実時間非定常流れ計測	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0020]デバイスシミュレータTCADツールを用いたSi MOSFETとSiC MOSFETのシミュレーションと最適化	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0021]Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（リソグラフィ）	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0022]Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（薄膜形成）	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0023]Geを活性層とする薄膜トランジスタの形成（要素）	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0024]超臨界二酸化炭素を利用したポリイミド微細加工技術の開発（XPS）	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0025]超臨界二酸化炭素を利用したポリイミド微細加工技術の開発(Alスパッター)	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0026]前方散乱分析法による硬質CrMo合金めっき皮膜中の水素の分析	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0027]RFスパッタ法を用いた高品質ゲート絶縁膜の形成と評価	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0028]リモート水素プラズマ支援によるFeおよびFeシリサイドナノ構造の高密度形成	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0029]ソフトリソグラフィーを用いた平面パッチクランプ用電極の量産化	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0030]窒化物薄膜の構造と物性	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0031]マイクロ流路内の流速変化に伴う粒子の形状特性の実時間計測	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0032]光入射位置および入射角度検出可能なセンサデバイスの作成	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0033]PIXE法（イオン加速器）を用いる軽元素の定性･定量分析	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0034]微細構造シリコンにおける増強ラマン散乱効果の研究	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0035]金属ナノ粒子を利用した環境反応材料の開発	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0036]マイクロ流路内の流速分布及び粒子特性の実時間計測	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0037]半導体デバイスにおける薄膜形成プロセス開発に関する相談	(登録なし)
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 [F-12-RO-0038]半導体デバイスにおける高誘電率薄膜形成プロセス開発に関する相談	(登録なし)