利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学ナノテク融合技術支援センター微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学微細加工プラットフォーム]　
[東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名	利用装置名
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0001]リッジ構造を持つ AlGaAs ダイオード素子の電気特性評価	F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0002]有機金属気相成長法によるInP再成長埋め込み	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0003]磁歪フリー層を持つトンネル磁気抵抗変化素子の作製	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0004]メサ形磁性体へ高効率に圧力を印加する構造の試	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0005]磁壁移動観察のためのデバイスの試作	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0006]メタサーフェスの作製に向けたSi 基板を用いた電子ビーム露光とレジスト塗布	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0008]超伝導体を用いたハーフメタル・フルホイスラー合金薄膜のスピン分極率評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0009]プラズモニックカラーフィルタの開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0010] マイクロヒーターの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0011]光レクテナ用幾何学的ダイオードの微細金属パターン	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0013]ダイヤモンド薄膜の CVD 合成と分光評価	F-IT-161 共焦点ラマン顕微鏡 F-IT-163 マイクロ波プラズマCVD装置 F-IT-164 クライオ共焦点顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0014]ダイヤモンド量子センサの研究	F-IT-163 マイクロ波プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0015]SiO2とSiN薄膜の形成	F-IT-149 プラズマCVD装置 F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0016]３層レジストを用いた準ミリ波帯 GaN HEMT 用 EB 露光ゲートに関する研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0017]マイクロ流体デバイスを用いた微粒子変形能計測	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0019]トンネル結合調整可能な二重量子アンチドットの実現	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0020]化合物半導体上への誘電体膜パターン形成	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0021]無機材料ナノポアを用いた単鎖DNAシーケンサーの製作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0022]ガラス基板上に形成したナノ構造物の断面観察	F-IT-147 FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置 F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0023]BiSbトポロジカル絶縁体を用いたスピン軌道トルク磁気抵抗メモリ	F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0024]トポロジカルハーフホイスラ合金のスピンホール効果に関する研究	F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0025]InP 基板上の導波路光アイソレータに関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0026]ダイヤモンド中の NV センターの光学特性評価	F-IT-164 クライオ共焦点顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0027]シリコンフォトニクス導波路に向けた電子線露光のレジスト形状のウエハ面内依存性検討	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0028]近赤外帯域で可視化されたバレー分極プラズモニックエッジモード	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0029]Si 基板上への正方形積層(Au/SiO2/Au)パッチの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0030]オンチップマイクロミキサの開発	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0031]電子ビーム露光によるSiNx メンブレンの表と裏両面への正方形Au パッチの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0032]光レクテナ用幾何学的ダイオードのための近接大面積電極	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0033]大面積ナノ粒子アレイの直接アセンブリ	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0034]学部学生実験 MOS 集積回路作製	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0035]コンタクトエピタキシャル技術を用いた集積型光非相反デバイスの研究	F-IT-150 プラズマCVD 装置 F-IT-155 ダイシングソー F-IT-158 光導波路評価装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0036]シリコンフォトニクスを用いたガスセンサに関する研究	F-IT-133 プラズマCVD 装置 F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0037]アンドレーフ反射を応用したデバイス加工	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0038]高精度細胞マニピュレーションのためのマイクロ流路デバイスの設計開発	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0039]H2 Plasma を利用した石英ガラスの光学特性	F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0040]磁気光学結晶-on-Insulator 基板の作製と磁気ナノフォトニクスへの応用	F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0041]レクテナ用GaAs ショットキーダイオードの開発	F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0042]縦型シリコンスピンデバイス作製のための基板接合技術の開発	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0043]高分子系高熱伝導コンポジットの開発	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0044]異常ホール効果測定へ向けた SiC 上グラフェンのエッチング	F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0045]準ミリ波帯で動作する窒化物半導体トランジスタ増幅器の高耐圧・高出力化に関する研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0046]カーボンオニオンによる超精密研磨面の加工変質層評価	F-IT-161 共焦点ラマン顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0047]磁性細線メモリーの原理検証素子試作	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-21-IT-0048]ナノホールアレイの形成	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0001]準ミリ波帯で動作する窒化物半導体トランジスタ増幅器の高耐圧・高出力化に関する研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0002]磁歪フリー層を持つトンネル磁気抵抗変化素子の作製	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0003]量子ホール Y 接合における量子化された電荷分数化現象	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0004]InP:Si 埋め込みの試作	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0005]プラズモン増強蛍光の STEM-CL マッピング	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0006]AlGaAs 系半導体積層膜の劈開プロセス開発	F-IT-150 プラズマCVD 装置 F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0007]液中分散非球形粒子の分離用マイクロ流路デバイスの開発	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0008]SiC 上エピタキシャルグラフェンの超伝導化	F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0009]Evaluation of Spin Polarization of Half-metallic Full-Heusler Alloy Thin Films with Superconductor	F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0010]マイクロヒーターの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0011]高精度細胞マニピュレーションのためのマイクロ流路デバイスの設計開発	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0012]Au 平板上における SiO2薄膜の形成	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0013]学部学生実験 MOS 集積回路作製	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0014]低環境負荷プロセスで作製したセラミックス材料のマイクロ構造観察	F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0015]BiSb トポロジカル絶縁体を用いたスピン軌道トルク磁気抵抗メモリ	F-IT-127 コンタクト光学露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0016]YPt 合金のスピンホール効果に関する研究	F-IT-127 コンタクト光学露光装置 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0017]窒化シリコンメンブレン両面に正方形金属チップを配置した高屈折率低反射メタサーフェスの電子ビーム露光による作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0018]オンチップマイクロミキサの開発	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0020]CVD 法により合成したダイヤモンドの評価	F-IT-161 共焦点ラマン顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0021]Atomic Layer Deposition（ALD）による SiO2 成膜	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0022]GaN FinFET 製作のためのゲート絶縁膜堆積	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0023]バレープラズモニック結晶のバンド構造解析とエッジモードの観察	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0024]GaAs 上リフトオフプロセスにおける電子ビーム露光近接効果補正	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0025]ガラス上アンテナ作製	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0026]複雑な形状を有するマイクロ流路の製作	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0027]プラズモニックカラーフィルタの開発	F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0028]メサ形磁性体へ高効率に圧力を印加する構造の試作	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0029]磁壁移動観察のためのデバイスの試作	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-20-IT-0030]貴金属触媒エッチングを用いた縦型薄膜トランジスタの作製	F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0001]黒リンをチャネルとした電気二重層トランジスタのための6端子作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0002]微小光学素子向け電子ビーム露光の大電流化による高速化に関する検討	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0003]スピン量子ビット実現に向けたIV族半導体量子ドットデバイスの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0004]プラズモニック結晶における局在モードと格子モードの混成	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0005]低環境負荷プロセスで作製した機能性材料の微細構造観察評価	F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0006]複雑な形状を有するマイクロ流路の製作	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0007]磁歪フリー層を持つトンネル磁気抵抗変化素子の作製	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0008]メサ形磁性体へ高効率に圧力を印加する構造の試作	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0009]ナノ構造スピンデバイスの試作に向けた電子ビーム露光装置で作製した位置合わせパターンのマスクレーザー露光機での検出及び位置合わせ技術の開発	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0010]コロイド型量子ドットとメタマテリアルの結合を用いた単一光子源の開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0011]天文観測用の接合型Ge遠赤外線検出器の高感度化への挑戦	F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0012]液中分散非球形粒子の分離用マイクロ流路デバイスの開発	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0013]CVD法によるSiO2薄膜の形成	F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0014]全自動成膜・評価とベイズ最適化を融合した高Liイオン伝導薄膜の創製	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0015]微小光学素子向け電子ビーム露光のビーム電流と露光時間に関しての検討	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0016]トポロジカルプラズモンモードの電子線分光ナノイメージング	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0017]InP:Si 埋め込みの試作	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0018]シリコン基板上の磁性ガーネットの製膜に関する研究	F-IT-153 スパッタ成膜装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0019]埋め込み MRAM に向けたスピン流源 BiSb の熱耐久性の向上	F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0020]強磁性半導体(In,Fe)Sb ホールセンサーの出力改善	F-IT-127 コンタクト光学露光装置 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0021]MnGa 垂直磁化膜を用いた横型スピンバルブデバイスの作製	F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0022]高精度細胞マニピュレーションのためのマイクロ流路デバイスの設計開発	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0023] 準ミリ波帯で動作する窒化物半導体トランジスタ増幅器の高耐圧・高出力化に関する研究	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0024]学部学生実験MOS集積回路作製	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0025]電子線励起によるプラズモニックナノ構造の研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0026]微小量子アンチドットにおける電子輸送	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0027]マイクロダイヤモンドの座標特定のためのパターン形成	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0028]単分子接合の物性計測に向けた微細加工電極の作製	F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0029]微小光学素子向け電子ビーム露光のレジスト厚膜化に関する検討	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0030]Atomic Layer Deposition（ALD）によるAl2O3成膜	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0031]マイクロ液滴並列形成用スリットデバイスの開発	F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0032]Au平板上におけるSiO2薄膜の形成	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0033]半導体レーザーによるSiアニール装置開発	F-IT-149 プラズマCVD装置 F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0034]絶縁体上磁気光学結晶基板の作製と磁気ナノフォトニクスへの応用	F-IT-142 基板貼付け装置 F-IT-143 ウェハ洗浄装置 F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0036]窒化シリコンメンブレン両面への電子ビーム露光による高屈折率低反射メタサーフェスの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0037]InAsの塩酸エッチング	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0038]FIBエッチングを利用したスロット交差光導波路の製作	F-IT-147 FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0039]Zn2SiO4蛍光膜内包プラズモニック結晶の作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0040]InP系薄膜を用いた光電子集積回路に関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置 F-IT-156 薄膜評価用試料水平型Ｘ線回折装置 F-IT-157 フォトルミネッセンス測定装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0041]Si基板上への高屈折率低反射メタサーフェス構造の作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0042]光学回折素子のEB露光による作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0043]導波路光アイソレータを集積したInPリング共振器の研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置 F-IT-156 薄膜評価用試料水平型Ｘ線回折装置 F-IT-157 フォトルミネッセンス測定装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0044]光集積回路形成-結晶成長	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0046]超音速フリージェットPVD法を利用したSi導波層を有する磁気光学導波路の製作	F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0047]磁壁移動観察のためのデバイスの試作	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0048]オンチップ光スキルミオン生成器の作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0049]FIB加工による電気化学STM探針の機械特性の向上	F-IT-147 FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-19-IT-0050]SiC基板のダイシング	F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0001]量子ホールエッジチャネルにおける非熱的準安定状態	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0002]量子ホールエッジチャネルの弾道的ホットエレクトロン輸送	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0003]誘電体ナノ構造および貴金属ナノ構造の試作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0004]マイクロ流路による高粘性溶液の混合・攪拌の検討	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0005]マイクロ流路デバイスによる液中分散粒子の分離	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0006]表面活性化接合による磁気光学導波路の開発	F-IT-155 ダイシングソー F-IT-158 光導波路評価装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0007]ナノスケールスピントランジスタにおけるスピン依存伝特	F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0008]室温における安定なスキルミオンの発生	F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0009]強磁性半導体を用いた高感度異常ホール効果磁気センサー	F-IT-127 コンタクト光学露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0010]黒リンをチャンネルとした電気二重層トランジスタのための 6 端子作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0011]全自動成膜・評価とベイズ最適化を融合した高 Li イオン伝導薄膜の創製	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0012]Mn 添加 InAs/GaSb ヘテロ接合系における量子異常ホール効果に関する研究	F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0013]N2 プラズマ活性化による AlN ウェハ接合に向けた検討	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-142 基板貼付け装置 F-IT-143 ウェハ洗浄装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0014]シリコンフォトニクスを用いた光アイソレータとセンサに関する研究	F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0015]誘電体ナノ構造および貴金属ナノ構造のナノスケール光物性評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0016]高効率太陽電池に向けた化合物半導体／シリコン接合技術の開発	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0017]高スピン偏極率磁性層を持つトンネル磁気抵抗変化素子の作製	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0018]メサ形磁性体へ高効率に圧力を印加する構造の試作	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0019]簡易型クロスポイント抵抗変化メモリの作製・評価	F-IT-133 プラズマCVD 装置 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0020]酸化ガリウム MOS フォトダイオードの検討	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0021]三角格子プラズモニック結晶のバンド構造解析	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0023]InP 系薄膜を用いた光電子集積回路に関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0024]光集積回路形成	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0025]シリコン基板上ショットキーバリアダイオード	F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0026]黒リンをチャンネルとした電気二重層トランジスタ作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0027] 溶液作製した機能性セラミックス材料の微細構造観察	F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0028]コロイド型量子ドットとメタマテリアルの結合を用いた単一光子源の開発	F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0029]Ag∕Ta2O5/Pt 原子スイッチへの電気的接触の改善	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0030]InP/InGaAs薄膜の形成	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0031]単色磁気プラズモンの電子エネルギー分光	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0032]コンタクトエピタキシャル技術を用いた集積型光非相反デバイスの研究	F-IT-155 ダイシングソー F-IT-158 光導波路評価装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0033]シリコン細線プラズモン光導波路に関する研究	F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0034]黒リンをチャンネルとした電気二重層トランジスタの輸送特性	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0035]Ge 量子ドットデバイス作製に向けた EB レジストの条件出し	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0036]セラミックコーティングの CH4プラズマ腐食試験	F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0037]ナノワイヤのその場変形 TEM 観察を行うための試料支持基板作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0038]分子トランジスタの動作速度評価	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0039]光集積回路形成-メサ基板上	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0042]ナノ構造スピンデバイスの試作に向けた電子ビーム露光装置で作製した位置合わせパターンのマスクレーザー露光機での検出及び位置合わせ技術の開発	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0043]微小光学素子向けプロセス技術に関する相談	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0044]Atomic Layer Deposition (ALD) によるSiO2,Al2O3成膜	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0045]局在プラズモンモードと格子モードの結合	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0046]Ge 量子ドットデバイス作製に向けた二層 EB レジストの条件出し	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0047]熱輻射制御に向けた高屈折率低反射メタサーフェスの作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0048]学生実験での集積回路作製のためのリソグラフィ技術	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-18-IT-0049]マスクレス露光機による AlN 導波路の作製と測定	F-IT-132 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-133 プラズマCVD 装置 F-IT-139 デジタル顕微鏡 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-155 ダイシングソー F-IT-158 光導波路評価装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0001]微細金 2 層構造非相反光学素子の試作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0002]低損失 Ga2O3トレンチ MOS 型ショットキーバリアダイオードの開発	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0003]原子閉じこめのための微細スリット形成	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0004]リフトオフプロセスによる光学素子の試作	F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0005]金属ナノ構造近傍に作用する表面プラズモン光誘起力の定量測定	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0006]コロイド型量子ドットとメタマテリアルの結合を用いた単一光子源の開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0007]集積型光非相反素子に関する研究	F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0008]シリコンフォトニクスを用いた光アイソレータとセンサに関する研究	F-IT-133 プラズマCVD 装置 F-IT-149 プラズマCVD装置 F-IT-155 ダイシングソー
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0009]InP 基板上の導波路光アイソレータ	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0010]ナノスケールスピントランジスタにおけるスピン依存伝特性	F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0011]BiSb を用いる磁化反転技術の研究開発	F-IT-134 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0012]強磁性半導体を用いるスピンバイポーラトランジスタの作製とスピン依存伝導特性の評価	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-127 コンタクト光学露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0013]センサ応用	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0014]パワーデバイス応用	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0015]表面弾性波による二重量子ドットのラビ分裂	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0016]フォトコンダクティブスイッチによるエッジマグネトプラズモンの励起と検出	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0017]低環境負荷プロセスにより作製した機能性セラミックス材料の構造観察	F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0018]基板貼り合わせ技術を用いた p 型ダイヤモンド/n 型 AlGaN ヘテロ構造深紫外発光素子	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-142 基板貼付け装置 F-IT-143 ウェハ洗浄装置 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0019]共鳴トンネルダイオードと伝送線路一体型アンテナの集積化	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-133 プラズマCVD 装置 F-IT-135 走査型電子顕微鏡 F-IT-139 デジタル顕微鏡 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0020]三角格子プラズモニック結晶のバンドギャップ	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0021]酸化ガリウム MIS フォトダイオードの検討	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0022]高屈折率低反射メタマテリアルを活用したアンテナの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0023]プラズモニック結晶中線欠陥の導波路分散	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0024]メタマテリアルアンテナの為の SOG を用いた低 tanδ 材料の貼付	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0025]シクロオレフィンポリマー基板両面への電子ビーム露光によるメタマテリアルアンテナの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0026]ウェハ接合による極性反転構造の作製	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-142 基板貼付け装置 F-IT-143 ウェハ洗浄装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0027]金属ナノ構造近傍に作用する表面プラズモン光誘起力の定量測定２	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0028]磁性ガーネット上への a-Si/SiNx 層の成膜	F-IT-149 プラズマCVD装置 F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0029]銅薄膜を用いたメタマテリアルアンテナの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0030]リフトオフプロセスの改善方法	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0031]液中分散粒子の分離用マイクロ流路デバイスの開発	F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0032]共鳴トンネルダイオードとマイクロストリップ線路の結合	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-133 プラズマCVD 装置 F-IT-135 走査型電子顕微鏡 F-IT-139 デジタル顕微鏡 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0033]エッジマグネトプラズモンの二重ゲート型遅延回路	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0034]磁気光学材料を集積した光導波路の評価方法	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-17-IT-0035]シリコン基板上ショットキーバリアダイオード	F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0001]微細金2層構造非相反光学素子の下層の２次試作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-125 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0002]三角格子プラズモニック結晶のフルバンドギャップ	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0003]Fabrication of silicon photonic waveguides for optical assembly test	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計 F-IT-132 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0004]電子顕微鏡用ゾーンプレート作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-151 触針式段差計 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-140 スパッタ成膜装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0005]光学素子の試作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0006]II-V CMOS フォトニクスプラットフォームを用いた光電子集積回路に関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0007]Alを含む半導体層の酸化実験	F-IT-152 化合物半導体光素子用酸化炉
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0008]プラズモニック線欠陥導波路の分散測定	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0009]Er,O 共添加 GaAs 基板上エピタキシャル構造でのアンダーカットエッチング	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0010]水素化アモルファスシリコン磁気光学導波路	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0011]新構造光素子向けプロセス技術の研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-150 プラズマCVD 装置 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-132 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0012]シリコンフォトニクスを用いた方向性結合器と光アイソレータへの応用	F-IT-132 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0013]集積型光非相反素子に関する研究	F-IT-132 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0014]量子ホールエッジチャネルにおける電荷ダイナミクス研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0015]リフトオフプロセスによる光学素子の試作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-151 触針式段差計 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0016]フォトニック結晶作製	F-IT-141 スパッタ成膜装置 F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0017]抵抗変化メモリのためのナノ電気配線	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0018]金リフトオフ法による電子顕微鏡用ゾーンプレート	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0019]六方配置微細ホールパターンの転写加工プロセスの開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0020]RTD 発振器作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-139 デジタル顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-150 プラズマCVD 装置 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0021]ナノスケールスピントランジスタにおけるスピン依存伝特性	F-IT-151 触針式段差計 F-IT-125 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0022]BiSb系トポロジカル絶縁体結晶成長とスピンホール効果評価	F-IT-127 コンタクト光学露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0023]強磁性半導体p-n接合作製とスピン依存伝導特性評価	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-127 コンタクト光学露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0024]トレンチMOS構造を設けたGa2O3ショットキーバリアダイオード	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0025]ポリマー型取り用のSU-8パターン作製	F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-145 マスクレス露光装置 F-IT-151 触針式段差計 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0026]プラズモニック線欠陥導波路のバンドギャップ	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0027]新構造シリコン量子ドットデバイスの開発	F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0028]溶液プロセスで作製した試料の表面断面構造観察	F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0029]シリコン基板上光デバイスの研究開発	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0030]アモルファスシリコン膜の形成	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0031]スピン注入に向けた InGaAs/InAlAs 半導体量子井戸の成膜	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0032]共鳴トンネルダイオードを用いるテラヘルツアクティブビームフォーマの基礎研究	F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-139 デジタル顕微鏡 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0033]InP 基板上の導波路光アイソレータ	F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0034]a-Si/SiNx層を用いた磁気光学導波路の製作	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0035]標準シリコン酸化膜の膜厚測定(2)	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0036]AlInAs酸化層を用いた小型光アイソレータの製作	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0037]微細金2層構造非相反光学素子の上層の２次試作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0038]局所量子ホール系における分数電荷準粒子のトンネル現象	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0039]電子線リソグラフィーを用いたレジストのナノ加工	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-150 プラズマCVD 装置 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0040]Er,O 共添加 GaAs 基板上への電子線描画	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0041]抵抗変化メモリのための二層レジストを用いたナノ電気配線	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0042]周波数可変 RTD 発振器作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-139 デジタル顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-150 プラズマCVD 装置 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0043]ガラス板への金属薄膜の蒸着	F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0044]スロット導波路を用いた集積型センサ・光アイソレータ	F-IT-150 プラズマCVD 装置 F-IT-132 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0045]ALD によるアルミナ成膜	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0046]電子顕微鏡用ゾーンプレート作製時のサイズ依存性	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0048]二つのシリコン層の間に挟ませた酸化シリコン層のウェットエッチング作業	F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0049]RTD 発振器の周波数ばらつき測定	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-139 デジタル顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-150 プラズマCVD 装置 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0050]有機半導体レーザーの実現を目指した光共振器の作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-16-IT-0051]表面弾性波共振器中の二重量子ドットにおけるスピン反転フォオン支援トンネル	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0001]Study of the T-shaped Gate Head Dimension Influence for 90nm InAs HEMTs on InP Substrate Using E-beam Lithography	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0002]薄膜デバイスの金属電極形成	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-127 コンタクト光学露光装置 F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0003]金属ナノギャップアンテナ構造の光学特性評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0004]90-nm EBL for manufacturable gate recess etching	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0005]ライン向け微細周期構造パターン描画の開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0006]ハーフメタル強磁性ナノシートの異方性磁気抵抗効果の観測	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0007]Making test samples for optical assembly technology demonstration	F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0008]InAs Quantum Well MOSFETs Performance Improvement by Using pre-AlN Passivation Layer and In-Situ PEALD Post Remote Plasma Treatment	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0009]2種類の直径をもつ金属円柱のプラズモニック結晶	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0010]選択成長傘型構造ダイヤモンドにおけるNVセンタ発光強度の改善	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0011]半導体人工量子系における電子ダイナミクスの研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0012]Si基板上へのアルミナ堆積	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0013]III-V CMOSフォトニクスプラッームを用いた光電子集積回路に関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0014]Si基板上への絶縁物の堆積	F-IT-149 プラズマCVD装置 F-IT-150 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0015]Siチャネル・スピン輸送デバイス	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0016]InGaAs薄膜形成	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0017]半導体2次元素子へのスピン注入	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0018]回折格子の作製可能性検討	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0019]微細金2層構造非相反光学素子の下層の試作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0020]六方配置ホール向け微細周期構造パターン描画の開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0021]Si3N4基板裏面剥離	F-IT-130 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0022]溶液プロセス作製膜の表面断面構造観察	F-IT-135 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0023]水素化アモルファスシリコン磁気光学導波路	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0024]Waveguides fabrication on SOI	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-132 リアクテブイオンエッチング装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0025]半導体人工量子系による朝永-ラッティンジャー流体の実験的研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0026]ナノスケールスピントランジスタにおけるスピン依存伝特性	F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0027]GaAs オフ基板上への強磁性半導体(In,Fe)Asの結晶成長と磁気特性の評価	F-IT-127 コンタクト光学露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0028]BiSb系トポロジカル絶縁体の結晶成長とスピンホール効果の評価	F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0029]強磁性半導体p-n接合の作製とスピン依存伝導特性の評価	F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-127 コンタクト光学露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0030]標準シリコン酸化膜の膜厚測定	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0031]銀ドット配列中の線欠陥導波路	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0032]GaN系ナノ構造作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0033]SiO2上金属微細パターンの作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0034]フォトニック結晶を用いた蛍光計測デバイスの開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0035]CVD-SiN の調査	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0036]近接六方配置ホール周期構造パターン描画の開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-151 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0037]微細金2層構造非相反光学素子の上層の試作	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0038]電子顕微鏡用ゾーンプレートの作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0039]電子顕微鏡用デバイスの作製	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0040]GaNのキャリヤ濃度分布について	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0041]光パルス波形測定	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0042]ワイヤーグリッド式ビームスプリッター	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-15-IT-0043]GaAs薄膜上のフォトニック結晶パターン	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0001]薄膜デバイスの金属電極形成	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0002]2次元プラズモニック結晶のバンドギャップの表面形状依存性	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0003]エッジマグネトプラズモンのMach-Zehnder 干渉計の開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0004]金属ナノアンテナ構造の曲率がプラズモン共鳴波長におよぼす影響	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0005]EUV露光用レジスト及び周辺材料の開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0006]Study of Tri-Gate In0.6Ga0.4As mHEMTs for Low-Power Logic Applications	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0007]半導体レーザに関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0008]光変調器に関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0009]ダイヤモンドFET	F-IT-147 FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0010]フラーレン含有ZEP520レジストによるEB露光プロセス	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0011]金属マークの形成	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0012]フェノール多付加フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストの加速電圧変更時のEB露光での感度評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0013]シリコンフォトエレクトロニクスに関する研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0014]フッ化グラフェン上のアルミナ膜の作製	F-IT-148 原子層堆積装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0015]シリカzipper型光共振器を用いた光路変換応用の検討	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0016]金属ナノアンテナ構造に誘起されるプラズモン増強場の近接場イメージング	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0018]T-gate EBL for GaAs HEMT MMIC on 4” wafers	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0019]フッ化グラフェン上のアルミナ薄膜の電気的特性評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア F-IT-134 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0020]絶縁樹脂上での微細銅配線形成	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0021]六方格子プラズモニック結晶のSTEM-CL法分析	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0022]化合物半導体を用いた新規の医療画像スキャナー用放射線計測システムの基礎開発	F-IT-134 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0023]Study of Enhancement Mode In0.65Ga0.35As/InAs/In0.65Ga0.35As HEMTs using Au/Pt/Ti non-annealed Ohmic process for Low-Power Logic Applications	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0026]GaN/InGaNナノコラムLEDの保護膜	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0027]水素化アモルファスシリコン磁気光学導波路	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0028]選択成長法を用いた(111)ダイヤモンド微細構造の作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0029]Bow-tieナノアンテナの表面プラズモン由来の光学特性	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0030]センサ用基板の裏面薄膜剥離	F-IT-129 リアクテブイオンエッチング装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0031]MEMSナノメータサイズ流路	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0032]温度無依存シリコンリング共振器の開発	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0033]精製フェノール多付加フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストの EB露光での感度評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0034]プラズモニックナノ共振器のモードエネルギーと放射の角度分布	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0035]フォトニック結晶を用いたDNA蛍光測定チップの作製プロセスの簡易化	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0036]X線用FZPの製作のためのレジストパターン形成プロセスの検討	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0037]選択成長法による(100)傘型ダイヤモンドマイクロ構造の作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0038]トポロジカル絶縁体を通したスピン注入およびスピン検出	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0039]Siチャネル・スピン輸送デバイスの試作	F-IT-145 マスクレス露光装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0040]一次元電子系の非平衡状態のエネルギー分光	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0041]Effect of oxide quality on the DC Performance of InAs Quantum Well MOSFETs	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0042]半導体レーザ用誘電体膜の形成	F-IT-149 プラズマCVD装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0043]スパッタ薄膜における堆積初期段階の評価	F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0044]ALDによる誘電体薄膜形成	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0045]アリール多付加フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのEB露光での感度評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0046]X線用FZPの製作のためのSiNメンブレン上へのレジストパターンの形成	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0047]プラズモニックナノ共振器のSTEM-Cathodoluminescence(CL)法分析	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0048]Optimization of Gate Recess-etch Current for Device Performance	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0049]SiNメンブレン上へのレジストパターンの観察	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-146 電子ビーム露光データ加工ソフトウェア
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0050]Study of InGaAs Metamorphic HEMTs for Low Noise Amplifier Applications	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-14-IT-0051]合成法改良フェノール多付加フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのEB露光での感度評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0001]ピンホールアレイの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0002]一次元プラズモニック結晶の表面プラズモンポラリトン	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0003]電子ビーム描画法の研究(III)	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0004]フェノール多付加フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストの EB 露光での感度評価	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0005]表面弾性波共振器中の二重量子ドットの輸送特性	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0006]量子井戸 MOSFETs の DC/RF 特性に対するエピタキシャル構造の効果	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0007]Si基板上磁性体デバイス	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0008]メタ平面による平面フォトニクス	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0009]半導体レーザーに関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0010]光変調器に関する研究	F-IT-144 有機金属気相成長装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0011]磁性ガーネット上に成膜された a-Si 導波層を有する光非相反素子の研究	F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0012]1THz帯高検出能常温検出器技術の研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0013]結晶構造変化Quantum dotのバンド制御	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0014]金属ナノ構造近傍に作用する表面プラズモン光誘起力の定量測定	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0015]InAs 量子井戸 MOSFETs のヒステリシスのバイアス依存性	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0016]フッ化グラフェンの非対称なキャリア輸送特性	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0017]グラフェンチャネルの形成	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0018]テラヘルツ表面波伝搬のためのダイポールアレーの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0019]プラズモニックナノアンテナにおける局在表面プラズモン	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0020]電波望遠鏡応用に向けた低雑音HEMTs	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0021]Si基板上Ta2O5光導波路	F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0022]Si基板上SiN光導波路	F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0023]ダイアモンド JFET の微細加工	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0024]金属マークの作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0025]シリコンフォトエレクトロニクスに関する研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0026]光導波路型マイクロフォン	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0027]ZnO LED の結晶性向上	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0028]W バンド MMIC 応用に向けた InxGa1-xAs メタモルフィック HEMTs の研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0029]パワーアンプ応用の為の In0.4Ga0.6As メタモルフィック HEMT の研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0030]薄膜デバイスの金属電極形成	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0031]フッ化グラフェンの磁気抵抗効果	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0032]プラズモニックキャビティからの光放射	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0033]ダイヤモンドMISFETの絶縁体に向けたアルミナ堆積	F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0034]トップゲート型グラフェンMISFETの絶縁膜堆積	F-IT-133 プラズマCVD 装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0035]ダイヤモンドPN接合の断面構造の解析	F-IT-137 集束イオンビーム装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0036]BCBコーティング	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0037]フォトミキシング応用テラヘルツ帯アンテナ	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0038]横型フッ化グラフェン―グラフェンヘテロ構造の作製	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0039]低温・高周波応用の為のInAs HEMTsの研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0040]集積化エッジチャネルの熱輸送現象	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0041]高速・低電力論理応用の為のエンハンスメントモードInAs　HEMTｓの研究	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む）
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0042]金属細線の形成 (t_ox=30 nm)	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0043]金属細線の形成 (t_ox=10/20 nm)	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0044]表面プラズモン光誘起力の金属ナノ構造ギャップ長依存性	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-125 走査型電子顕微鏡 F-IT-126 高真空蒸着装置 F-IT-136 触針式段差計
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-13-IT-0045]2次元プラズモニック結晶のバンド端定在波の可視化	F-IT-124 電子ビーム露光装置　(スピンコータ・現像装置・ホットプレート・オーブン等を含む） F-IT-126 高真空蒸着装置
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0001]極微細ナノインプリント用モールドの作製とデバイス応用	(登録なし)
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東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0003]フラーレン誘導体ポジ型レジストのEB感度における保護基依存性	(登録なし)
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東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0024]ZEPレジストを用いた電子ビーム複数階調描画の研究	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0025]光学波面測定用ピンホールアレイの開発	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0026]イオン液体ゲート制御のフッ化グラフェンFETの作製	(登録なし)
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東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0028]W-band MMIC の為のInxGa1-xAs メタモルフィックHEMTs	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0029]グラフェン・電極コンタクトの電子輸送特性に対する酸素吸着効果	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0030]グラフェン抵抗変化型メモリの開発	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0031]金属ナノ構造近傍に作用する表面プラズモン光誘起力の定量測定	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0032]非局所配置法を用いたGaAsの純スピン流の検出	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0033]定量的なバイオセンシングを可能とする表面増強ラマン分光法(SERS)基板の開発	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0034]フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストの開発	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0035]HSQレジストを用いた電子ビーム複数階調描画の研究	(登録なし)
東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所 [F-12-IT-0036]グラフェンの電子輸送特性に対する吸着酸素の磁気効果	(登録なし)