利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学ナノテク融合技術支援センター微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学微細加工プラットフォーム]　
[東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名	利用装置名
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0002]プラズモン励起を利用するオプトエレクトロニック素子作製技術構築	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0004]液晶性混合伝導体の薄膜化	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0005]反射防止構造を有する干渉鮮明度向上マルチスリットの開発	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0008]半導体GaAsを用いた強磁性Feパタン埋め込み構造の作製	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0011]マイクロ流路を用いた細胞計測	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0012]環状DNA計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0014]余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0015]ヒ－トパルス型道管流センサの製作	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-328 ダイシングマシン F-GA-329 電子測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0017]メタマテリアルを含むTHz帯微小共振器の作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0018]強結合および超強結合を実現するための微小共振器の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0023]Siのニードル形状加工	F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0024]半導体の物性評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器 F-GA-339 膜厚測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0027]表面形状の測定	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0034]窒化シリコン薄膜基板上におけるシリコン薄膜のエピタキシャル成長に関する研究	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-339 膜厚測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0035]EBリソグラフィ用薄膜基板に関する研究	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-339 膜厚測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0041]カメラのみで触覚を検知する内視鏡用センサの開発	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0046]１分子DNA伸長技術のためのナノ流体デバイス開発	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0053]アルゴンイオンスパッタによる超硬材料の先鋭化加工	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0057]3線式測温抵抗体の形成	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0058]樹脂フィルム上への電極形成	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0069]マイクロプロ－ブ上への薄膜形成	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0071]THz帯メタマテリアルの作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0076]微細ナノ構造の作製	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0083]ニューラルネットワークにむけたセンサの製作と評価	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0084]せん断加工用デバイスのサブマイクロメートルの形状変化がせん断品に与える影響評価	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0086]細胞評価のためのデバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0087]木材の透明化とその表面形状の観察	F-GA-338 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0088]マイクロ構造の製作	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0089]プラズモン導波路を用いた高密度光配線技術の基本要素構造の検討	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0091]Dektakによるエッチング速度測定	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0093]医療用センサの製作と評価	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-21-GA-0094]RFスパッタリング法を用いた硬質膜密着性の改善	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0002]SiO2をコアとするチャネル型プラズモニック導波路作製	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0004]液晶性混合伝導体の薄膜化	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0005]超小型赤外分光イメージング装置における干渉鮮明度向上の為の回折格子	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0008]半導体GaAsを用いた強磁性Feパタン埋め込み構造の作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0011]マイクロ流路を用いた細胞計測	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0012]環状DNA計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0014]余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0015]マイクロセンサの製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-328 ダイシングマシン F-GA-329 電子測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-338 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0017]メタマテリアルを含むTHz帯微小共振器の作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0018]強結合および超強結合を実現するための微小共振器の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0020]医療用センサの製作	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0023]Si のニードル形状加工	F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0024]半導体の物性評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器 F-GA-339 膜厚測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0028]MEMSアクチュエータの研究	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0034]教育用シリコントランジスタの作製及び集積化に関する研究	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0035]選択熱拡散の微細化に関する研究	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0041]カメラのみで触覚を検知する内視鏡用センサの開発	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0045]構造色変化によるセンシングの研究	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0046]１分子DNA伸長技術のためのナノ流体デバイス開発	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0053]アルゴンイオンスパッタによる超硬材料の先鋭化加工	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0057]感水膜パタ－ンの製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0058]絶縁保護膜の形成	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0059]遺伝子導入に向けた細胞配列用デバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0069]マイクロリザーバ構造の製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0071]THz帯メタマテリアルの作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0076]微細ナノ構造のSi金型作製	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0083]ニューラルネットワークに向けたセンサ開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0084]せん断加工用デバイスのサブマイクロメートルの形状変化がせん断品に与える影響評価	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0085]溶接継手試験片の局所ひずみ計測	F-GA-338 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0086]細胞評価のためのデバイスの開発	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0087]ABS樹脂材料の表面形状観察	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0088]立体電極の製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0089]Auナノ構造を配置したSi導波路の作製技術の確立	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0090]個別細胞評価のためのデバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0091]有機薄膜の膜厚測定	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-20-GA-0092]マイクロプロ－ブの形状観察	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0002]SiO2をコアとするチャネル型プラズモニック導波路作製	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0004]液晶性混合伝導体の薄膜化	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0005]超小型赤外分光イメージング装置における干渉鮮明度向上の為の回折格子作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0007]GaN系半導体・光電子デバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0008]半導体GaAsを用いた強磁性Feパタン埋め込み構造の作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0011]マイクロ流路を用いた細胞計測	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0012]環状DNA計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0014]余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0015]Su-8の厚膜レジストを用いた構造体の形成	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0017]THz帯カットワイヤメタマテリアルの作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0018]強結合および超強結合を実現するための微小共振器の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0020]医療用センサの製作	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0023]Siのニードル形状加工	F-GA-323 イオンシャワー F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0024]半導体の物性評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0033]マルチスリットの作製	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0034]マイクロ合金トランジスタ作製用デバイスプロセスに関する研究	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0035]選択熱拡散の微細化に関する研究	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0040]臓器の層間滑りを検知する内視鏡用センサの開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0041]カメラのみで触覚を検知する内視鏡用センサの開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0045]構造色変化によるセンシングの研究	F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0046]１分子DNA伸長技術のためのナノ流体デバイス開発	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0049]金属破断面から金属破壊モードの推測	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0051]磁気テープの表面形状の測定	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0053]アルゴンイオンスパッタによる超硬材料の先鋭加工	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0054]超硬工具の面粗さ測定	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0057]温度補償に用いる測温抵抗体の形成	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0058]絶縁性基板上への電極形成	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0059]遺伝子導入に向けた細胞配列用デバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0064]採卵鶏におけるメラトニン摂取が卵殻及び骨組織に及ぼす影響の探索	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0069]薬剤注入用マイクロ流路構造の製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0070]分光光学系に用いるSi格子構造の作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0071]THz帯双曲線メタマテリアルの作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0072]豆粒大中赤外分光器の感度及び干渉鮮明度向上を目指した透過型回折格子作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0073]ミラー一体型SUSリングへのミラー面への高反射膜形成	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0074]漏水検知システム用マイクロ光学部品の作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0075]イオンビーム照射による酸化物半導体ガスセンサの表面改質	F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0076]微細ナノ構造の作製	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0077]有機薄膜デバイス作製のための微細加工	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0078]クロム膜の透過性確認	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0079]光センサのキー部品であるMEMSシリコン構造体の試作	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0080]位相シフターのミラー面の金の成膜と評価	F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0081]静電触覚ディスプレイの試作	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0082]ZnSe系ハイブリッドAPDの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0083]ニューラルネットワークに向けたセンサ開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-19-GA-0084]せん断加工用デバイスのサブマイクロメートルの形状変化がせん断品に与える影響調査	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0004]液晶性混合伝導体の薄膜化	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0005]Si基板を用いた超小型赤外分光イメージング装置鮮明化の為の回折格子作製	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0007]GaN系半導体・光電子デバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0008]遷移金属磁気ライン・メモリーの作製と電流駆動磁壁移動の検証	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0009]光導波路の観測及び作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0011]マイクロ流路を用いた細胞計測	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0012]環状ＤＮＡ計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0014]余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0015]Su-8の厚膜レジストを用いた構造体の形成	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0017]THz帯メタマテリアルの作製	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0018]強結合および超強結合を実現するための微小共振器の作製	F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0019]医療用センサの製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0020]医療用センサの製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0023]Siのニードル形状加工	F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0024]半導体の物性評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器 F-GA-339 膜厚測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0027]薄膜構造の解析	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き) F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0033]回折格子の作製	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0034]マイクロ合金トランジスタ作製用デバイスプロセスに関する研究	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0035]選択熱拡散の微細化に関する研究	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0039]メカニカルプラズモンデバイスによるナノ空間プラットホームの構築	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0040]臓器の層間滑りを検知する内視鏡用センサの開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0041]カメラのみで触覚を検知する内視鏡用センサの開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0045]構造色変化によるセンシングの研究	F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0046]１分子DNA伸長技術のためのナノ流体デバイス開発	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0049]金属破断面から金属破壊モードの推測	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0050]金薄膜基板の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0051]磁気テープ表面形状の測定	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0052]金属配線用Ti蒸着における条件検討	F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0053]アルゴンイオンスパッタによる鉄系材料の加工	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0054]ステンレス材の面粗さ測定	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0055]磁気テープ表面の粗さ観察	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0058]切り込み付きマイクロニ－ドルのSEM観察	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0059]遺伝子導入に向けた細胞配列用デバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0060]光センサのキー部品であるマイクロミラーの試作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0061]光センサのキー部品であるMEMSシリコン構造体へのTiコート	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0062]金属表面の光沢化処理	F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0063]SOI基板を用いた超小型赤外分光イメージング装置鮮明化の為の回折格子の作製	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0064]妊娠期及び授乳期のラットにおけるメラトニン摂取が子ラットの骨石灰化に及ぼす影響	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0065]免疫染色を検出するためのマイクロホールアレイデバイスの作製	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0066]低電圧で駆動可能な静電摩擦触覚デバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-18-GA-0068]貴金属ナノ複合粒子の原子種分布測定	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0001]半導体表面におけるイオンビーム照射誘起微細規則構造の作製	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0003]液晶性半導体を用いたフレキシブルデバイスの作製と評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0004]液晶性混合伝導体の薄膜化	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0005]超小型赤外分光イメージング装置鮮明化の為の回折格子作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0006]紙切断刃の刃先形状測定	F-GA-338 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0008]遷移金属磁気ライン・メモリーの作製と電流駆動磁壁移動の検証	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0011]マイクロ流路を用いた細胞計測	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0012]環状DNA計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0014]余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0015]マイクロ流路構造への表面処理	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0017]THz帯メタマテリアルの作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0018]強結合および超強結合を実現するための微小共振器の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0019]医療用センサの製作	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0020]微細加工による治療用センサの製作	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0023]Siのニードル形状加工	F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0024]半導体の物性評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-339 膜厚測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0028]MEMS素子用マスクの作製	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0031]アオイ電子製FT-IR評価用サンプルの測定	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0032]発光性薄膜材料の開発	F-GA-339 膜厚測定器群 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0033]回折格子の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0034]教育用シリコンマイクロ合金バイポーラトランジスタの表面形状分析	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0035]選択熱拡散の微細化に関する研究	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0036]銅（I）錯体の薄膜化検討	F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0037]位置判別用の多段電極形成	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0039]メカニカルプラズモンデバイスによるナノ空間プラットホームの構築	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0040]臓器の層間滑りを検知する内視鏡用センサの開発	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0041]カメラで情報を検知する内視鏡用センサの開発	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0042]リード線破断面のSEM画像解析	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0043]GaNの表面観察	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0044]教育用シリコントランジスタの作製及び集積化に関する研究	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0045]構造色変化によるセンシングの研究	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0046]1分子DNA伸長技術のためのナノ流体デバイス開発	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0047]ステンレス鋼板の円柱貫通孔の変形挙動	F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-17-GA-0048]グリースの金属新生面による分解挙動に関する潤滑性能評価のための表面形状測定	F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0002]NEMSを用いたプラズモン変調器の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0003]液晶性半導体を用いたフレキシブルデバイスの作製と評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0004]液晶性混合伝導体の薄膜化	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0005]超小型赤外分光イメージング装置鮮明化の為の回折格子作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0006]2物体の接触面の表面性状の変化	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0007]GaN系半導体光・電子デバイスの開発	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0008]大面積の磁気ライン・メモリーの作製と電流駆動磁壁移動の検証	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0009]電子線露光装置により光導波路型回折格子作製	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0011]マイクロ流路を用いた細胞計測	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0012]環状DNA計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0013]マイクロ電極による生体分子操作	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0014]余剰受容体計測に向けたマイクロ流体デバイス開発	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0015]植物生体情報計測に向けたマイクロ流路構造の製作（２）	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0016]マイクロ流体撹拌素子の製作・改良	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0017]THz帯メタマテリアルの作製	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0018]強結合および超強結合を実現するための微小共振器の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0019]医療用センサの製作	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0020]微細加工による治療用センサの製作	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0022]GaN系半導体の電気特性の評価に関する研究	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0023]金属材料との安定した接合抵抗を持つMEMSデバイスの作製	F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0024]MBE法によるシリコンウエハ上のGaN薄膜成長	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0025]3次元UVリソグラフィを用いたマイクロデバイス開発	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0026]標準シリコン酸化膜の膜厚測定(2)	F-GA-339 膜厚測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0027]表面形状の測定	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0028]エレクトレットデバイスの研究	F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0029]エレクトレット膜の研究	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0031]FT-IR用ミラーの内作	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0032]発光性薄膜材料の開発	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0033]回折格子の作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0036]銅（I）錯体の薄膜化検討	F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0037]マイクロヒ－タの作製	F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-16-GA-0038]テラヘルツデジタルホログラフィー用サンプルの形状解析	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器 F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0001]熱交換用マイクロ流路構造の作製	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0003]誘電体多層膜1次元フォトニック結晶の作製	F-GA-322 LP-CVD F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0004]金属-誘電体多層膜メタマテリアルの作製	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0005]テラヘルツ帯金属ロッドメタマテリアルの作製	F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-337 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0006]電子線露光装置により光導波路型回折格子作製	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0007]GaN系半導体光・電子デバイスの開発のためのEBレーザーによるフォトマスクの作製	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0008]超小型赤外分光イメージング装置鮮明化の為の多重スリット製作	F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0009]大面積の磁気ライン・メモリーの作製と電流駆動磁壁移動の検証	F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0010]金属材料との安定した接合抵抗を持つMEMSデバイスの作製	F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0011]オプトジェネティクス用細胞解析マイクロデバイスの開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-337 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0012]金属材料の微細加工	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0014]MBEで作製した半導体薄膜の研究	F-GA-328 ダイシングマシン
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0015]Si基板上のGaN、GaAs薄膜の評価	F-GA-322 LP-CVD F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0016]金属製品傷検査	F-GA-337 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0017]デバイス加工用マスクの形成	F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0018]マイクロ電極による生体分子操作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0019]液晶性半導体を用いたフレキシブルデバイスの作製と評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0020]遺伝子導入デバイスの作製	F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0021]バイオMEMS向け厚膜レジストの開発	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0023]環状DNA計測に向けたマイクロ流路デバイス開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0025]プラズモニックデバイスの製作	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0026]マイクロ流体撹拌素子の製作・改良	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き) F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0027]染色体伸張解析デバイスの開発	F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0028]植物生体情報計測用の温度センサの製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0029]植物生体情報計測に向けたマイクロ流路構造の製作	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0031]ナノスケール構造体の引張試験のためのMEMSデバイス開発	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0032]NEMSを用いたプラズモン変調器の作製	F-GA-329 電子測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0033]液晶性混合伝導体の薄膜化	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0034]2物体の接触面の表面性状の変化	F-GA-335 白色干渉式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0035]プラズマ処理を利用した特殊樹脂の接合	F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0037]パン粉の表面形状の研究	F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き) F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0038]太陽電池の開発	F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0039]板反りおよびシュー成形を利用した小径管の新成形法	F-GA-338 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0040]標準シリコン酸化膜の膜厚測定	F-GA-322 LP-CVD
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0041]UVナノインプリントを用いたセンサ基板の作製	F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0042]単分子膜を用いた金属微粒子配列法の開発とその応用	F-GA-322 LP-CVD
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0043]医療用センサの製作	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0045]光学デバイスにむけたアクチュエータの製作	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0046]高感度センサに向けた微小可動構造形成	F-GA-330 マスクレス露光装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0047]アライメントレスフォトリソグラフィーにおける位置合わせ精度の改善	F-GA-328 ダイシングマシン
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-15-GA-0048]熱CVDによる窒化シリコン薄膜の作製	F-GA-322 LP-CVD
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0001]金属材料との安定した接合抵抗を持つMEMSデバイスの作製	F-GA-319 マスクアライナ F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-323 イオンシャワー F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0002]CVDによるシリコン窒化膜の作製とRIEによる微細加工	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-322 LP-CVD
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0003]超小型軽量赤外分光イメージング装置開発を目的とした薄型高反射率ミラーの作製	F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-328 ダイシングマシン
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0004]ICP-RIEによる回折格子の作製	F-GA-318 マスク描画装置 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0005]液晶性半導体を用いたフレキシブルデバイスの作製と評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0006]金属-誘電体多層膜メタマテリアルの作製	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-337 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0007]誘電体多層膜1次元フォトニック結晶の作製	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0008]香り発生デバイス用のバイメタル型マイクロバルブの製作	F-GA-318 マスク描画装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0010]遺伝子導入デバイスの作製	F-GA-323 イオンシャワー F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-331 スプレーコーター
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0011]MEMS技術を用いた超小型師管流モニタリングセンサの研究（２）	F-GA-323 イオンシャワー F-GA-328 ダイシングマシン F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0012]ナノスケール構造体の引張試験のためのMEMSデバイス開発	F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0013]FPC上に搭載した超小型道管流センサ	F-GA-323 イオンシャワー F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0014]MEMSデバイス製造のためのフォトリソグラフィ技術の検討	F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0015]光導波路型デバイス	F-GA-317 電子線描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0016]テラヘルツ帯金属ロッドメタマテリアルの作製	F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-337 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0017]バイオMEMS向け厚膜レジストの開発	F-GA-323 イオンシャワー F-GA-331 スプレーコーター
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0019]表面プラズモン共鳴センサ基板の製作	F-GA-318 マスク描画装置 F-GA-319 マスクアライナ F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-324 触針式表面形状測定器 F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0020]GaN系トランジスタ用電極の作製	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0021]反強磁性層を挿入したトンネル接合に関する研究	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0022]GaN系半導体光・電子デバイスの開発	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0023]細胞マイクロウェルの作製	F-GA-331 スプレーコーター F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0024]パン粉のＳＥＭ画像	F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0025]半導体微細領域の電気特性	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0027]グリースの金属新生面による分解挙動に関する潤滑性能評価のための表面形状測定	F-GA-336 レーザー式非接触三次元形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0028]磁性多層膜ラインパターン素子の作製と電流駆動磁壁移動の検証	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0030]光学デバイス性能向上に向けた細線形成	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0031]高感度センサに向けた微小可動構造形成	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0032]医療用センサの可動構造形成	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0033]シリコン加工用マスクの形成	F-GA-318 マスク描画装置 F-GA-319 マスクアライナ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0034]オプトジェネティクス用細胞解析マイクロデバイスの開発	F-GA-333 走査電子顕微鏡(LV付き) F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0035]アライメントレスフォトリソグラフィーにおける位置合わせ精度の改善	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-328 ダイシングマシン
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0036]面内高さ分布を付与した無痛剣山形マイクロ微小針の製造法の開発	F-GA-338 デジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0038]シリコンナノブレードアレイの製作	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-328 ダイシングマシン F-GA-330 マスクレス露光装置 F-GA-332 デュアルイオンビ－ムスパッタ装置 F-GA-334 走査電子顕微鏡(EDS付き)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0039]光学デバイスにむけた回転アクチュエータの形成	F-GA-317 電子線描画装置 F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0040]大変位センサに向けた表面マイクロマシニング構造形成	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0041]センサ検出回路の試作・評価	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0042]シリコン加工用マスクのマスターマスク描画	F-GA-318 マスク描画装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-14-GA-0043]液晶性混合伝導体の薄膜化	F-GA-324 触針式表面形状測定器
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0001]MEMSプロセスの加工精度のバラつき評価	F-GA-322 LP-CVD群 F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0002]高強度テラヘルツ光源用異方性メタマテリアルの製作	F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-322 LP-CVD群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0003]誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置による回折格子の作製	F-GA-318 マスク描画装置群 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0004]単一細胞薬剤刺激デバイスの開発	F-GA-318 マスク描画装置群 F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-325 走査電子顕微鏡群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0005]ドライエッチングによるフォトマスクの作製(2)	F-GA-317 電子線描画装置群 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0006]植物生体情報計測用道管流センサの製作・評価	F-GA-323 イオンシャワー F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0007]大変位センサに向けた表面マイクロマシニング構造形成	F-GA-317 電子線描画装置群 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-325 走査電子顕微鏡群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0008]単一細胞切断用マイクロデバイスの開発	F-GA-317 電子線描画装置群 F-GA-323 イオンシャワー F-GA-328 ダイシングマシン
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0009]オプトジェネティクス用細胞解析マイクロデバイスの開発	F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-327 ３Dデジタルマイクロスコープ F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0010]チオフェン系化学吸着単分子膜を用いた透明導電膜の導電性能の向上	F-GA-322 LP-CVD群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0011]大変位センサに向けた表面マイクロマシニング構造形成	F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0012]微細構造を有した表面プラズモン共鳴センサチップの開発	F-GA-318 マスク描画装置群 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-326 非接触三次元形状測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0014]磁気ライン埋め込み型メモリーデバイスの作製と評価	F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-324 触針式表面形状測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0015]細胞内抗体導入法による細胞機能計測の評価	F-GA-327 ３Dデジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0016]高感度センサに向けた微小可動構造形成	F-GA-317 電子線描画装置群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0017]MEMS技術を用いた超小型師管流モニタリングセンサの研究	F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-329 電子測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0018]植物細胞固定のためのマイクロオリフィスアレイを有するマイクロ流体デバイスの開発	F-GA-318 マスク描画装置群 F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-325 走査電子顕微鏡群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0019]重合性シクロテトラシロキサン部位を有する液晶性半導体薄膜の構造評価	F-GA-324 触針式表面形状測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0020]プレス加工による剣山形マイクロ微小針金型孔形形状評価	F-GA-327 ３Dデジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0021]電子線直接描画法を用いたハイブリッドフォトマスク作製プロセス	F-GA-317 電子線描画装置群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0022]バイオMEMS 用低自家蛍光レジストの開発	F-GA-318 マスク描画装置群 F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-325 走査電子顕微鏡群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0023]人工原子配列を制御するシリコンウエハ表面形状の作製	F-GA-324 触針式表面形状測定器群 F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-318 マスク描画装置群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0024]五感情報通信用香り発生デバイスの製作と評価	F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0025]グリースの金属新生面による分解挙動に関する潤滑性能評価のための表面形状測定	F-GA-326 非接触三次元形状測定器群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0026]学デバイスにむけた回転アクチュエータの形成	F-GA-325 走査電子顕微鏡群 F-GA-317 電子線描画装置群 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0027]イオンシャワー装置を利用したマイクロチップデバイスの表面改質	F-GA-325 走査電子顕微鏡群 F-GA-323 イオンシャワー F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0028]マイクロ鋳型を用いたマイクロ流体撹拌素子の製作	F-GA-318 マスク描画装置群 F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-325 走査電子顕微鏡群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0029]板材の複合ひずみ経路による成形限界の測定	F-GA-327 ３Dデジタルマイクロスコープ
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0030]顕微鏡用の微小流路の作成	F-GA-325 走査電子顕微鏡群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0031]高アスペクトなＳｉエッチングパターンに関する研究	F-GA-317 電子線描画装置群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0032]ナノワイヤ引張用Si-MEMSデバイスの作製	F-GA-323 イオンシャワー F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-321 真空蒸着装置
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0035]高精度ひずみ計測プラズモニックデバイスの開発	F-GA-317 電子線描画装置群 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0036]撥水撥油防汚フィルムの基礎開発	F-GA-322 LP-CVD群
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0038]片持ち梁構造と回折格子の製作	F-GA-319 マスクアライナ群 F-GA-321 真空蒸着装置 F-GA-323 イオンシャワー
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-13-GA-0039]教育用アライメントレスフォトリソグラフィープロセス	F-GA-328 ダイシングマシン
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0002]五感情報通信用香り発生デバイスの製作と評価	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0003]植物生態情報計測用センサデバイスの製作・評価	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0004]SU-8 を用いた超厚膜樹脂構造体の製作と評価	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0005]電子線描画装置を利用したシリコンナノ構造体の作製	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0006]マイクロ構造を有したSPR バイオセンサチップの開発	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0007]生体分子操作用ナノ構造体の開発	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0008]イオンシャワー装置を利用したマイクロチップデバイスの表面改質	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0009]静電櫛歯を用いたマイクロ発電機の作製	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0010]医療センサに向けたシリコンのマイクロ加工	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0011]電子線描画装置による回折格子マスクの作製	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0012]単一磁区ライン記憶デバイスの作製と評価	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0013]微小センサにむけた微小スプリングの形成	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0015]高反射金属膜形成	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0016]微細デバイスに向けた細線の形成	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0017]ナノ機械物性計測のための引張MEMS デバイスの開発	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0021]ドライエッチングによるフォトマスクの作製	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0023]スピンコート法による液晶性一軸配向薄膜の作製	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0024]高強度テラヘルツ光源用異方性メタマテリアルの製作	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0025]板材の張出し成形における破壊限界ひずみの測定	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0026]LED 光源向け反射構造の微細加工	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0027]全方位分光イメージングの鮮明度改善	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0028]植物生体情報計測用マイクロプロ－ブの製作	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0034]高増殖能力を有する海産微細藻類の種同定	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0036]金属新生面によるグリースの分解挙動におよぼす基油と添加剤の影響	(登録なし)
香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室 [F-12-GA-0037]シリコンゴムの転写精度評価	(登録なし)