利用報告書一覧

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[代表機関事務局]　[北海道大学創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室]　
[東北大学ナノテク融合技術支援センター微細加工プラットフォーム]　[物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム]　
[産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設]　 [筑波大学微細加工プラットフォーム]　
[東京大学超微細リソグラフィー/大規模集積システム設計教育研究センター]　
[早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター]　 [東京工業大学科学技術創成研究院未来産業技術研究所]　
[名古屋大学施設・機器共用推進部/ナノテクノロジープラットフォーム機構]　
[豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門]　
[京都大学学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点]　[大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点]　
[香川大学産学連携・知的財産センター/ナノテクノロジー支援室]　[広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室]　
[山口大学大学研究推進機構/微細加工支援室]　[北九州産業学術推進機構共同研究開発センター]　

利用課題番号/課題名	利用装置名
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0001]微細加工技術による立体サンプル形成と高機能化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0002]ホイスラー合金薄膜から半導体へのスピン偏極電子の注入に関する研究	F-TT-233 イオンミリング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0003]三次元微細加工に関する器具・設備類の開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0004]ナノカーボンの構造評価	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0005]半導体型CNTを使用したデバイス作製	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0006]水溶性ポリマーシートを用いた微細加工応用の工業化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-234 走査型電子顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0007]次世代太陽電池技術の開発のためのナノ材料とこれを利用した太陽電池の製作と分析	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0008]強磁性細線の磁壁構造の制御による電流磁壁駆動現象の効率化	F-TT-223 多機能薄膜作製装置 F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属） F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0009]両極性伝導体における無損失スピン流	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0010]自由曲面フォトマスク及び3D電子機器の作製③	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0012]溝形成ウエハへのパターニング	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0013]0402/0201サイズチップ部品のはんだ接合状態の観察	F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0014]プラズマプリンティングのための円筒面の微細パターニング	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0017]電流駆動磁壁移動を利用した全固体メモリに関する研究	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0018]磁気熱電発電効果に関する研究	F-TT-235 ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0019]パワエレ高周波磁気のための極薄多結晶鋼帯の試作	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0021]フォトレジスト材の検討	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0022]シリコン酸化膜上へのナノカーボンの直接合成	F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-221 ラマン分光装置 F-TT-234 走査型電子顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0023]細胞培養マイクロシャーレの試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0024]GaNデバイスの研究開発	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-228 原子層堆積装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0025]自由曲面フォトマスク及び3D電子機器の作製④	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0026]酸化物薄膜によるパッシベーションと蛍光	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0027]磁気光学材料への磁区パターン形成技術の研究	F-TT-229 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0028]単層グラフェン上での強誘電性フィルムの作製	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0029]単結晶シリコンの疲労過程における結晶すべり進展の動的その場観察	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0030]光ニューラルネットワーク評価用フォトマスクパターンの作製	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0031]宇宙探査機用Volume binary (VB) gratingの製作法の開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-210 気相フッ酸エッチング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0032]天文学観測用Trapezoid gratingの製作法の開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0033]インプラント型バイオデバイス向け最小スペース壁面配線	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0034]スペーサ高さの精度確認	F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0035]SOT書き込み細線を有する希土類細線中の電流誘起磁壁移動の観察	F-TT-229 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0036]高品質還元酸化グラフェンの作製のための還元手法の最適化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0037]スチール缶再加工の質向上に向けた天板切断面の観察（Ⅱ）	F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-234 走査型電子顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0039]微細加工技術によるレンズ曲面へのパター転写	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0040]MEMS技術を用いた機能性表面の創製	F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0041]電界・電荷による磁性ナノドットの磁化特性変調	F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0042]PE-ALD-MgO 薄膜のカバレッジ特性とWet 除去性能	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0043]シリコン上のマイクロ流体チップの微細加工	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0044]ALD MgO成膜　プロセス開発	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-21-TT-0045]PID評価用ウェハ作製のためのガラスマスク作製	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0001]水溶性ポリマーを用いた微細加工応用の高度化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0002]磁性膜を利用したグアニン結晶の磁気アシスト法に関する研究	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0003]微細加工技術による立体サンプルの製作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0005]マイクロコイルの試作検討	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0006]ポリカーボネートへの成膜とパターニング加工	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0007]液体分析用センサ電極形成のための金属成膜	F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0008]ナノカーボンの構造評価	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0009]自由曲面フォトマスク及び3D電子機器の作製	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0010]カーボンナノチューブ成長基板上へのアルミナバッファー層の形成	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0011]GaN などの化合物半導体デバイスの研究開発	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-228 原子層堆積装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0013]ナノカーボン材料を用いたバイオセンサーのための分子系の開発	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0014]三次元微細加工に関する器具・設備類の開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0015]反強磁性結合構造をもつ多層膜細線の磁壁構造に関する調査	F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属） F-TT-229 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能） F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0016]インプラント型デバイスのための最小スペース微細配線技術	F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0017]ターゲットを利用して作成した膜のエッチング試験	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0018]結晶系シリコン太陽電池への拡散ペーストの適合性評価	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0019]細胞培養に適した微細構造を持つSi基板の作製	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0020]スチール缶再加工の質向上にむけた天板切断面の観察	F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0021]鏡面鋼材への微細構造の加工	F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0022]MgZnO のALD 成膜	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0023]切削加工面性状の定量的評価	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0024]ホイスラー合金/半導体構造におけるスピン注入現象の観測	F-TT-233 イオンミリング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0025]アミドアルコール誘導体を利用したW/O型乳化物の相同定	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0026]単結晶シリコンの疲労過程における結晶すべり進展の動的その場観察	F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0027]スピントロニクスにおける次世代デバイスの開発	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0028]電流駆動磁壁移動を利用した全個体メモリに関する研究	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0029]プラズマプリンティングの微細化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機 F-TT-233 イオンミリング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0030]GaNウエハ上へのALDによるSiO2形成	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0031]自由曲面フォトマスク及び3D電子機器の作製②	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0032]フォトレジスト材の検討	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-20-TT-0033]天文学観測用Volume binary (VB) gratingの製作法の開発II	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0001]溝形成ウエハへのパターニング	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0002]電子ビーム励起プラズマ法を用いた新規の炭素系触媒材料の作製	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0003]微細加工技術による立体サンプル形成と高機能化（マイクロヒータの製作）	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0004]高輝度化された陽極酸化被膜型感圧塗料の応答特性評価	F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0005]シリコンオプティカルベンチ用レジストプロセス	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0006]走査プローブ顕微鏡を用いた表面科学研究	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0007]カーボンナノチューブのパターニング合成による撥水基板の作製と制御	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0008]GaNなどの化合物半導体デバイスの研究開発	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-228 原子層堆積装置 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0009]ナノカーボン材料を用いたバイオセンサーのための分子系の開発	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0010]両極性伝導体における無損失スピン流の発生と共鳴ホール効果	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0011]水溶性ポリマーの微細加工応用の高度化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0012]スピンエレクトロニクスの研究	F-TT-223 多機能薄膜作製装置 F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0013]CVDグラフェン単結晶を用いたゲルマネン合成	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0014]ナノカーボンの構造評価	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0015]多層グラフェンナノリボンの電気特性評価	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0016]塩ビ樹脂の劣化予測指標に関する研究	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡 F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0017]反強磁性結合構造をもつ強磁性細線の磁壁構造に関する調査	F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-229 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0018]透明電極パターンの試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0019]サブミクロンパターンを持つ流路デバイス用マスクの作製	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0020]微細パターン加工	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0021]カーボンナノチューブ合成におけるシリコン酸化膜厚の影響	F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0022]切削加工面性状の面品位の定量化	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0023]新半導体デバイスの熱処理	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0024]可視光型光触媒への応用を目指したCuドープZnSの作製と評価	F-TT-232 絶対ＰＬ量子収率測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0025]第33回半導体プロセス実習･講習会の受講	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0026]フォーミングガスアニールによるGaN-MOS界面の改質	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0027]鏡面鋼材への微細構造の加工	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0028]光学センサ応用を指向したナノインプリント用金型の作製	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0029]シリカガラス中のＰ周辺構造の探索	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0030]細胞に刺激を与えるためのマイクロ構造付き基板の試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0031]電流駆動磁壁移動を利用した全固体メモリに関する研究	F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0032]磁性体の磁区構造観察	F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0033]シリコン中のドーパントのアニールによる拡散評価	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0034]インプラント型デバイスのための最小スペース微細配線技術	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0035]透明電極パターンの試作	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0036]ALD膜の酸化状態に基板表面状態が及ぼす影響	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0037]撥水処理剤の応用検討	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0038]草本系バイオマスのガス化における共存ガスの影響	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0039]ゾルゲルガラスの膜厚測定	F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0041]「高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座(1)Ｘ線構造回析技術の習得」講習会の受講	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0042]Al2O3薄膜の形成	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0043]カー顕微鏡を用いた新奇窒化物スキルミオンの直接観測	F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0044]マイクロコイルの試作検討	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0045]天文学観測用Volume binary (VB) gratingの製作法の開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0046]フォトリソグラフィーによる小片基板へのパターン形成	F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0047]PDMSマイクロ流路作製体験コース	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0048]高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座(2)赤外ラマン振動解析の基礎と応用講座の受講	F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0049]細胞に電気刺激を与えるためのマイクロ電極対の試作	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0051]金属のプラズマエッチング	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-233 イオンミリング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0052]センサ電極形成のための金属成膜	F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0053]磁性膜を利用したグアニン結晶の磁気アシスト法に関する研究	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0054]2019年度実習コース「微細構造による撥水効果」講習会の受講	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0056]プラズマ曝露に対するセラミック材料の耐性評価	F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0057]新半導体材料の評価	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0058]ダイヤモンドNVセンター生成と計測	F-TT-232 絶対ＰＬ量子収率測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-19-TT-0059]天文学観測用の新しい回析格子の製作法の開発Ⅲ	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0001]GaN表面洗浄に関する研究	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0002]水溶性ポリマーの微細加工応用の高度化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0003]GaNなど化合物半導体デバイスの研究開発	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-228 原子層堆積装置 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0004]微細加工技術による立体サンプル形成と高機能化（マイクロヒータの製作）	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0005]自己組織化ナノ材料の選択的ドライエッチング及び表面構造観察	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0006]マイクロレンズアレイの試作加工の検証	F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0007]センサ素子のための不純物イオン注入	F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0008]反強磁性結合構造の磁壁構造に関する調査	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0009]ナノカーボン材料を用いたバイオセンサーのための分子系の開発	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡 F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0010]スピントロニクスの研究	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0011]両極性伝導体におけるスピン流の自律モード発生と共鳴ホール効果	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0012]電子線描画による流路デバイス用マスク作製	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0013]Al-Ti-N 薄膜サーミスタの形成	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0014]GaN 上へのSiO2 保護膜の成膜	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0015]ナノカーボンの構造評価	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0016]アルミ板表面微細加工による陽極酸化被膜型感圧塗料の高輝度化	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0017]天文学観測用の新しい回折格子の製作法の開発 II	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0018]カーボン材料の紫外光照射による構造変化の観察	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0019]熱絶縁性と機械強度を合わせ持つマイクロヒータの製作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0020]磁性ナノワイヤ用基板の絶縁膜の成膜	F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0021]シリコン単結晶の疲労に関する研究	F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0022]塩ビ樹脂の劣化予測に関する研究	F-TT-221 ラマン分光装置 F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0023]MOD 法により作製した磁性ガーネットの光学特性	F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0024]細胞培養用シリコンチップ型マイクロウェルデバイスの試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0025]MEMSプロセスに関する特別講義の受講	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0026]H30 年度電子線描画リソグラフィスクールの実施	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0027]ポリオレフィンの結晶化挙動	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0028]シリコンへのリン拡散	F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0029]第32 回半導体プロセス実習･講習会の受講	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0030]テラヘルツ領域シングルショット超高速２次元イメージング	F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0031]インプラント型デバイスのための最小スペース配線技術	F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0032]カーボンナノチューブのパターニング合成による撥水基板の作製と制御	F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0033]「高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座(1) X線構造解析技術の習熟」講習会に参加して	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0034]重金属下部層を用いた希土類細線中の電流誘起磁壁移動の観察	F-TT-229 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0035]シリコンオプティカルベンチ用レジストプロセス	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0036]ナノピラー付きマイクロ流路デバイス用パターン形成	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0037]光応答性近接ナノ構造の作製	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0038]Mg ドープGaN の活性化とオーミック電極の形成	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-228 原子層堆積装置 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0039]スパッタ薄膜の耐久性評価	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0040]外場を用いたフェリ磁性体の磁気的性質の制御	F-TT-223 多機能薄膜作製装置 F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0041]シリカガラス中のP 周辺構造の探索	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0042]ナノホールパターン形成	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0043]溝形成ウエハへのパターニング	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0044]デジタルマイクロスコープを用いた亜鉛ウィスカの観察	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0045]磁性膜を利用したグアニン結晶の磁気アシスト法に関する研究	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0046]太陽電池に関する体験実験	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0047]「高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座(2) 赤外ラマン振動解析の基礎と応用講座」に参加して	F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0048]2018 年度実習コース「微細構造による撥水効果」講習会の受講	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0049]2018 年度実習コース「微細構造による撥水効果」講習会の受講	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0050]半導体ナノ粒子の応用	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0051]H30 年度切削加工面性状の面品位の定量化	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0052]8.2m すばる望遠鏡のMOIRCS 用高分散グリズムの開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-18-TT-0053]2018 年度実習コース「微細構造による撥水効果」講習会の受講	F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0001]GaNショットキーダイオードの作製	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0002]水溶性ポリマーの微細加工応用の高度化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0003]シリカ膜のドライエッチング及び表面構造観察	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0004]電流駆動磁壁移動を利用した全固体メモリに関する研究	F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0005]二次元物質をチャネルとしたFe-FET型不揮発性多値メモリデバイスの開発	F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0006]Siライン&スペース上へのSi量子ドットの高密度形成	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0007]マイクロ流路デバイスの作製	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0008]磁性ナノワイヤの絶縁膜の成膜	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0009]陽極酸化被膜型感圧塗料の高輝度化	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0010]走査プローブ顕微鏡による表面ナノ構造の計測	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0011]光計測用MEMSデバイスの試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0012]MOSFETの作製	F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0013]コーティング炭素薄膜の紫外光による表面劣化の観察	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0014]GaNなど化合物半導体デバイスの研究開発	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-228 原子層堆積装置 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0015]ナノカーボンおよび2次元材料の合成に関する研究	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0016]深紫外分光用マイクロ流路	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0017]マイクロデバイス電極と金属コンタクトの改良	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0018]磁気結合した「強磁性体/非磁性体/強磁性体」構造細線上の磁壁の電流駆動実験	F-TT-223 多機能薄膜作製装置 F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属） F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0019]トリアジンチオール処理の膜厚計測	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0020]Al-Ti -N薄膜サーミスタの形成	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0021]ナノカーボンの構造評価	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0022]レンチキュラーレンズの試作加工の低コスト化検証	F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0023]微細加工によるハイブリッド電気回路基板の試作	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0024]最小スペース配線技術の生物埋込センサ応用	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0025]細胞培養マイクロウェルデバイスの試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0026]天文学観測用の新しい回折格子の製作法の開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0027]次世代太陽電池技術開発	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0028]複数の重金属界面層を用いた希土類細線中の電流誘起磁壁移動の観察	F-TT-229 偏光顕微鏡（青色レーザー照射可能）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0029]微細パターンが接着細胞に与える影響の解明	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0030]平成29年度リソグラフィ・微細加工実習・講習会の受講	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0031]垂直磁化膜作製に関する技術相談	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0032]第31回半導体プロセス実習･講習会の受講	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-226 シート抵抗測定器
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0033]窒化物半導体ナノ構造の結晶成長メカニズムの検討	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0034]両極性伝導体YH2におけるスピン流の自律モード発生と共鳴ホール効果	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0035]乳化系クリームのX線散乱測定に基づく構造解析	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0036]シリコン単結晶の疲労に関する研究	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0037]外場を用いたフェリ磁性体の磁気的性質の制御	F-TT-223 多機能薄膜作製装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0038]熱・乾燥影響下にあるセメントペーストの中性化の評価	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0039]光反射特性測定のための微小回転プレート	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0040]ディンプル付き酸化膜付き基板の試作	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0041]赤外域におけるシリコン基材の低反射化	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0042]GaAs/AlAs超格子の形成	F-TT-199 分子線エピタキシー装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0043]シリコン単結晶の疲労に関する研究	F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0044]「高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座(1) X線構造解析技術の習熟」講習会を受講して	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0045]フォトリソグラフィ・微細加工の実習	F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0046]「高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座(2) 赤外ラマン振動解析の基礎と応用講座」講習会を受講して	F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0047]8.2mすばる望遠鏡のnuMOIRCS用エシェル・グリズムの開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0048]ナノカーボン材料を用いたバイオセンサーのための分子系の開発	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0049]位置選択的ポリ（３－アルキルチオフェン）の結晶構造解析	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-17-TT-0050]シリコンウェハの深堀加工	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0001]Siナノコンタクト作製プロセスの検討	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0002]プローブ顕微鏡を用いた表面科学計測およびナノ構造作製	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0003]ポリマー材料のドライエッチング	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0004]錠剤成分のラマンイメージング	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0005]水溶性ポリマーの微細加工応用	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0006]マイクロプラズマ源の開発	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0007]マイクロねじり振動子の開発	F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0008]走査型プローブ顕微鏡によるナノ構造観察	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0009]MOSFETの作製	F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0010]シリコン単結晶の疲労に関する研究	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0011]単色光用光電変換素子の作製	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0012]強磁性微小細線中のバブル磁区に対する電流印加実験	F-TT-223 スパッタ（磁性材料）蒸着および分子線エピタキシー複合装置 F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属） F-TT-229 青色レーザー偏光顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0013]セラミックスの熱膨張率測定	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0014]MEMSインターフェイスを介したバイオサンプルへの大気圧プラズマ処理(II)	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0015]ガス封止型真空紫外プラズマ光源	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0016]超高精度・超小型磁気センサ素子の研究開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0017]高アスペクト比のVolume binary回折格子用シリコンの鋳型の開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0018]材料評価用ナノギャップ電極形成	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0019]カーボンナノチューブ成長における技術相談	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0020]微細加工によるハイブリッド回路基板の試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0021]加熱雰囲気制御下での赤外分光	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0022]シリカ膜のドライエッチング処理	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0023]酸化シリコン基板を用いた新材料開発	F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-200 カーボン用プラズマ成膜装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0024]ALD法による金属酸化物薄膜の被覆	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0025]GaNなど化合物半導体デバイスの研究開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0026]二次元物質をチャネルとした強誘電体ゲート電界効果トランジスタの創出	F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0027]外場を用いたフェリ磁性体の磁気的性質の制御	F-TT-223 スパッタ（磁性材料）蒸着および分子線エピタキシー複合装置 F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0028]生物埋込センサのための最小スペース配線技術	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0029]Poly(butylene adipate)のβ-α結晶相転移の再検討	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0030]ポリイミドヒータの製作	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0031]界面特性評価用テストデバイスのための不純物導入方法・条件の検討	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0032]界面特性評価用テストデバイスの作製プロセスの検討	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0033]薄膜へテロ構造における磁気光学効果とスピン軌道相互作用の相関に関する研究	F-TT-231 磁気光学効果測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0034]ナノカーボンの構造評価	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0035]マイクロヒータを利用する赤外光源のための波長選択格子	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0036]磁性細線用基板の絶縁膜の成膜	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0037]原子間力顕微鏡によるt-aC上深紫外光照射損傷部の雰囲気依存観察	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0038]電流駆動磁壁移動を利用した全固体メモリに関する研究	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0039]第30回半導体プロセス実習･講習会の受講	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機 F-TT-226 シート抵抗測定器 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0040]GaNショットキーダイオードの作製	F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0041]マイクロ流路デバイスとレーザー捕捉による微量分析	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0042]標準シリコン酸化膜の膜厚測定(2)	F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0043]グラフェン上への電極作製	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0044]Siライン&スペース上へのSi量子ドットの高密度形成	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0045]ステンレス板への耐熱微細マスク形成	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0046]セラミックス材への微小電極形成	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0047]電子ビーム励起プラズマ法を用いた新規の炭素系触媒材料の作製	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0048]レンチキュラーレンズの試作加工の低コスト化検証	F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0049]分子レベルでの構造制御に基づく再生可能資源としての高タフネスシルク素材の創成	F-TT-219 多目的X線回折装置 F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0050]MEMSデバイスに向けたCuSn薄膜によるウエハレベル真空封止接合評価	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0051]フォトリソグラフィ・微細加工の実習	F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0052]センサ・MEMS実践セミナー実習コースの受講	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-230 抵抗加熱蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-16-TT-0053]Boschプロセスおよびシリコン酸化による新しい回折格子の製作法の開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0001]ラマン分光を用いた非破壊加工ダメージ評価	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0002]FeRh薄膜の温度変化X線回折	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0003]強磁性微小細線中のバブル磁区の電流駆動に関する実験	F-TT-223 スパッタ（磁性材料）蒸着および分子線エピタキシー複合装置 F-TT-229 青色レーザー偏光顕微鏡 F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0004]単色光用光電変換素子の作製	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0005]カーボンナノウォールの物性と応用	F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0006]電子ビーム励起プラズマ法を用いた新規の炭素系触媒材料の作製	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0007]t-aCのアルゴンガス中での深紫外光照射損傷の観察	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0008]表面ナノ構造の構築および走査ﾌﾟﾛｰﾌﾞ法を用いた科学計測	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0009]レンチキュラーレンズの試作加工の低コスト化検証	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0010]CNTナノプローブの用途開発	F-TT-200 カーボン用プラズマ成膜装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0011]圧粉磁心の磁区構造解析Ⅱ	F-TT-229 青色レーザー偏光顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0012]MEMSインターフェイスを利用したバイオサンプルへの大気圧プラズマ照射	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0013]化合物半導体デバイスの研究開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0014]劈開グラファイトの微細構造観察	F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0015]マイクロプラズマ源の開発	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0016]マイクロねじり振動子の開発	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0017]磁性ナノワイヤ用基板の絶縁膜の成膜	F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0018]生物埋込センサのための素子配線基礎技術	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0019]ガス封止型真空紫外プラズマ光源	F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0020]3軸磁場計測のための超小型MIセンサ素子の研究開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0021]電流駆動磁壁移動を利用した全固体メモリに関する研究	F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0022]微細加工によるハイブリッド回路基板の試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0023]フィルム状フォトレジストの微細加工応用	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0024]材料評価用ナノギャップ電極形成	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0025]シリコン基板上へのパターン加工付きＳｉＯ2マスク作製	F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0026]n型結晶Si太陽電池の電気特性に対するAg/Alペースト中のガラスフリットの効果	F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0027]ナノデバイスのパターン化のための微細加工プロセス開発	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0028]磁性材料の局所構造解析および磁気特性との相関解析	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0029]深い溝の回折格子の試作	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0030]波長選択赤外光源のための表面プラズモン励起用格子の製作	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0031]外場を用いたフェリ磁性体の補償温度・磁気異方性制御	F-TT-223 スパッタ（磁性材料）蒸着および分子線エピタキシー複合装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0032]センサ素子のための不純物イオン注入	F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0033]フォトリソグラフィ・微細加工　実習・講習会の受講	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0034]ミラーの動的変形量の計測	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0035]ナノファイバー状芳香族ポリアミドと溶媒との分子間相互作用の解明	F-TT-219 多目的X線回折装置 F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0036]強磁性体薄膜における磁壁内のスピンブロッホラインの直接観測	F-TT-229 青色レーザー偏光顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0037]太陽電池用Siウエハの光閉じ込め構造の検討	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0038]広角X線回折と赤外分光法によるポリアクリルニトリルの結晶構造転移に関する研究	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0039]シリコン単結晶の疲労に関する研究	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0040]当社開発のバリ取りツール使用前後における金属表面の微細構造観察	F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0041]AlGaNを用いた深紫外発光素子およびパワーFETの作製	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0042]スピン偏極キャリヤを利用する排他的論理和ゲートの作製	F-TT-223 スパッタ（磁性材料）蒸着および分子線エピタキシー複合装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0043]標準シリコン酸化膜の膜厚測定	F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0044]AlGaNヘテロ接合トランジスタの研究開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-228 原子層堆積装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0045]窒化物半導体ナノ構造の結晶成長メカニズムの検討	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0046]薄膜型マイクロヒータの赤外線光源応用	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0047]極低雑音超伝導パラメトリック増幅器開発に向けた窒化ニオブチタン薄膜コプレーナ線路の作製	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0048]フォトリソグラフィ・微細加工の実習	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-15-TT-0049]Quasi-Bragg grating用ミラー基板の裏面の精密エンボス加工	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0001]両面受光n型結晶Si太陽電池の電気特性に対するAg/Alペースト中のガラスフリットの影響	F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0002]シリコン単結晶のドライエッチング速度に関する基礎検討	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0003]プローブ顕微鏡による表面科学計測	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0004]シリコンマイクロ構造体の破壊と疲労に関する研究	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0005]ポリビニルアルコール水溶性フィルムの構造解析	F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0006]フォトニック・テクスチャダブル構造を利用した太陽電池開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0007]ラマン分光による評価技術開発	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0008]微傾斜SiC表面のステップテラス構造の観察	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0009]MEMSノズルを利用したバイオサンプルへの大気圧プラズマ照射	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0010]金属微粒子の幾何学的構造と光学物性の微視的解析	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0011]ナノデバイスのパターン化のための微細加工プロセス開発	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0012]グラフェンの走査トンネル顕微鏡観察が微傾斜SiCの表面上に成長させた	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0013]ＣＮＴナノプローブの用途開発	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0014]準静条件下で育成された高品質結晶の表面微細構造の実験的検証	F-TT-213 デジタルマイクロスコープ一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0015]磁性ナノワイヤ形成用電子線描画基板の作製	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0016]磁性ナノワイヤ形成用電子線描画基板の作製	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計） F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0017]磁性ナノワイヤ用基板のAFM表面凹凸観察	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0018]カンチレバー酸化によるTERS探針開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0019]SiC基板エッジ面取り後の加工ダメージの測定	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0020]MEMS 犠牲層エッチングのためのプラズマレスSi ケミカルドライエッチング装置の開発	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0021]アップコンバージョン蛍光体の光学特性評価	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0022]強磁性微小細線中のバブル磁区の電流駆動に関する実験	F-TT-225 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0023]ポリマーの結晶化ならびに破断現象に及ぼす溶媒浸漬・超音波照射効果の検討	F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0024]省動力動作で高温が得られる薄膜型マイクロヒータの開発	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0025]マスクレス露光装置の限界解像度調査	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0026]カーボンナノウォールの物性と応用	F-TT-200 カーボン用プラズマ成膜装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0027]深い溝の回折格子の試作	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機 F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0028]立体規則性ポリノルボルネンの結晶構造解析	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0029]PDMS結晶における連続構造変化の解明	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0030]スピン偏極キャリヤを利用する排他的論理和ゲートの作製	F-TT-223 スパッタ（磁性材料）蒸着および分子線エピタキシー複合装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0031]MoS2の結晶方位決定	F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0032]材料評価のためのナノギャップ電極形成	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0033]結晶シリコンの電気的特性のテクスチャサイズ依存性の評価	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0034]平面基板タイプ超小型MIセンサ素子と3軸磁場計測検討	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理(アッシング)装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0035]細胞培養に向けたマイクロ流路デバイスの試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0036]低エネルギー損失振動型MEMSデバイスの試作	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0037]PP/PE芯鞘繊維の微細構造	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0038]結晶基板材料のナノレベル構造解析と最適加工技術	F-TT-227 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0039]PZT薄膜のサブミクロンパターン形成	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0040]シリコン深堀エッチング	F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0041]マスクレス露光装置を用いたTEG作製	F-TT-224 マスクレス露光装置 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0042]熱物性評価に向けたナノ半導体架橋構造の作製	F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-210 気相フッ酸エッチング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0043]リチウムイオン電池用シリコン活物質および集電体の構造調査	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0044]単色光用光電変換素子の作製	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0045]電子ビーム励起プラズマ法を用いた新規の炭素系触媒材料の作製	F-TT-221 ラマン分光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0046]外場を用いたフェリ磁性体の補償温度の制御	F-TT-223 スパッタ（磁性材料）蒸着および分子線エピタキシー複合装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0047]二軸延伸ポリ乳酸試料の力学、熱物性と構造との関わり解明	F-TT-219 多目的X線回折装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0048]AlGaN系深紫外発光素子の作製	F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0049]圧粉磁心の磁区構造解析	F-TT-223 スパッタ（磁性材料）蒸着および分子線エピタキシー複合装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0050]ナノファイバー状芳香族ポリアミドの相転移挙動の解明	F-TT-219 多目的X線回折装置 F-TT-220 高速フーリエ変換型赤外分光光度計
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0051]量子ドットを用いた共鳴トンネルダイオードの構築	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0052]レンチキュラーレンズの試作加工の低コスト化検証	F-TT-224 マスクレス露光装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-14-TT-0053]GaAs(001)基板上におけるInSb薄膜のヘテロエピタキシャル成長	F-TT-199 分子線エピタキシー装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0001]ラマン装置内部LED 白色光源を使用した反射光による短時間評価技術開発	F-TT-221 ラマン分光装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0002]シリコン深堀エッチング	F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0003]金属ナノ細線パターンの作製	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0004]カーボンナノウォールの物性と応用	F-TT-200 カーボン用プラズマ成膜装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0005]ナノデバイスのパターン化のための微細加工プロセス開発	F-TT-221 ラマン分光装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0006]グラファイト-カーボンナノチューブ複合体の成長	F-TT-200 カーボン用プラズマ成膜装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0007]数10nm～数100nm 微細パターンの形成	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0008]金属微粒子の構造解析およびＣＮＴ局所成長に関する研究	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0009]プローブ顕微鏡による表面科学計測、ナノカーボン創製と応用の支援	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0010]フォトニックナノ構造・量子ドット結合体を利用した太陽電池開発	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0011]MBE によるInAs 量子構造の作製	F-TT-199 分子線エピタキシー装置 F-TT-219 多目的X線回折装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0012]シリコンマイクロ構造体の破壊と疲労に関する研究	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0013]化合物太陽電池の微細構造観察	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0014]ランダム位相板の作製とレーザー照射強度均一性の評価	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0015]半導体選択成長用マスク付きSi 基板の作製	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0016]結晶基板材料のナノレベル構造解析	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0017]深い溝の回折格子の試作	F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0018]シリコンナノ粒子を活性層とした薄膜型太陽電池の開発	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0019]電流誘起磁壁移動を利用したフェリ磁性体ナノワイヤメモリの高性能化	F-TT-201 電子ビーム描画装置 F-TT-211 ダイシング装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0020]in vivoイメージング用プローブの合成	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0021]強磁性微小細線を用いた論理回路の作製	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0022]結晶シリコンの電気特性の面方位依存性の評価に関する技術支援	F-TT-198 電子ビーム(金属)蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0023]曲面に対する三次元リソグラフィの展開に関する研究	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0024]シリコン単結晶のナノ変形特性評価と環境脆化機構の解明	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属） F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0025]結晶シリコン太陽電池用受光面銀ペーストの焼成挙動	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0026]AFM Raman によるSi の高空間分解能歪測定	F-TT-221 ラマン分光装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0027]MBE 成長III-VI 族化合物の構造評価	F-TT-221 ラマン分光装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0028]全固体型Liイオン電池における固体・固体界面の解析	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0029]希土類ドープされた酸化物の蛍光計測	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0030]スピン偏極キャリヤを利用する排他的論理和ゲート動作の作製	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0031]AFM によるグラフェンの弾性率測定	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0032]ポリフッ化ビニリデンの結晶化挙動	F-TT-219 多目的X線回折装置一式 F-TT-220 フーリエ変換型赤外分光光度計一式 F-HK-001 超高精度電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0033]MEMS 静電プローブを援用した薄膜強度評価システムの開発	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-203 レジスト処理装置（UVキュア，アッシング） F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0034]Use of the apparatus for evalution of new semiconductor material	F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-210 気相フッ酸エッチング装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-202 マスクアライナ装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0035]ガス計測応用マイクロデバイスに関する研究	F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-209 Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-213 デジタルマイクロスコープ
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0036]走査型プローブ顕微鏡による酸化物ナノ構造体の電気的特性	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0037]ラマン分光法を用いたナノカーボン成長過程の観察	F-TT-221 ラマン分光装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0038]ＣＮＴナノプローブの用途開発	F-TT-200 カーボン用プラズマ成膜装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0039]単結晶Si 及びSiC を用いた自己冷却デバイスの開発	F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0040]微傾斜SiC 表面のステップテラス構造の観察	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0041]GaN デバイスプロセスの研究開発	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0042]MEMS ノズルを利用した大気圧プラズマ照射の微細化	F-TT-203 レジスト処理装置（UVキュア，アッシング） F-TT-211 ダイシング装置 F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0043]プラズマを利用しないMEMS 犠牲層 Si エッチング	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置 F-TT-202 マスクアライナ装置 F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-214 エリプソメーター F-TT-215 表面形状測定器（段差計）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0044]平面基板タイプの超小型MI センサ素子開発	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0045]結晶表面ナノ構造の作製と観察	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0046]シリコン基板に対する不純物イオン注入および活性化アニール	F-TT-204 洗浄ドラフト一式 F-TT-206 シリコン専用の各種熱処理（酸化，拡散）装置一式 F-TT-207 イオン打ち込み装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0047]ナノファイバー状芳香族ポリアミド構造体の構造解析	F-TT-219 多目的X線回折装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0048]振動型薄膜MEMS デバイスの試作	F-TT-207 イオン打ち込み装置 F-TT-212 電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0049]PZT 薄膜のサブミクロンパターン形成	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0050]電極形成材料の評価	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0051]シリコン単結晶のドライエッチング速度に関する基礎検討	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス） F-TT-214 エリプソメーター
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-13-TT-0052]PET ボトルにおける分子鎖凝集状態の検討	F-TT-220 フーリエ変換型赤外分光光度計一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0001]マイクロ流路の生産安定性向上に関する研究	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0002]結晶シリコン太陽電池用受光面銀ペーストの焼成挙動について	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0003]金属ナノ細線体の作製	F-TT-201 電子ビーム描画装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0004]マイクロマシン材料の破壊・疲労機構解明に関する研究	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0005]レーザ直接描画による高屈折角フォトニック結晶作成技術のフィージビリティ調査	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0006]輸送気相法有機結晶の表面モルフォロジー評価	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0007]ナノデバイスのパターン化のための微細加工プロセス開発	F-TT-208 Reactive Ion Etching 装置（非Boschプロセス）
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0008]化合物太陽電池の微細構造観察	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0009]マイクロ流路デバイスの試作	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0010]半導体電極の形成技術に関する技術支援	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0011]省電力動作で高温が得られるマイクロヒータの開発	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0012]バイオナノ分子測定用ギャップ電極の作製	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0013]金属微粒子の構造解析およびCNT局所成長に関する研究	F-TT-218 走査型プローブ顕微鏡
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0014]ＣＮＴナノプローブの用途開発	F-TT-200 カーボン用プラズマ成膜装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0015]サファイア薄板へのTiNのスパッタ成膜	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0016]フォトリソグラフィによる立体配線回路の開発	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0017]MEMS振動体における3次元振動状態の評価	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0018]中性子反射率測定用Si系ナノ薄膜試料の作製	F-TT-197 スパッタ（金属，絶縁体）蒸着装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0019]スーパーコンティニュアム光のMEMSマイクロ流路デバイスへの応用	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0020]プラズマを利用しないMEMS犠牲層Siエッチング	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0021]強磁性微小細線を用いた論理回路の作製	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0022]パワー半導体の開発	F-TT-216 非接触3次元表面形状・粗さ測定機
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0023]振動型MEMSデバイスの試作	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0024]ランダム位相板の作製とレーザー照射強度の均一化	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0025]スピントルクの研究	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0026]磁性細線メモリの研究	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0027]プローブ顕微鏡による表面科学計測	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0028]MEMSノズルを利用した大気圧プラズマ照射	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0029]グラフェンの誘電体被覆によるドーピング制御と光学素子の開発	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0030]ナノカーボン成長用基板	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0031]ナノカーボン成長用基板	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0032]Ⅲ-Ⅴ族半導体（GaAsNなど）の構造評価と伝導特性評価	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0033]結晶シリコン太陽電池反射防止膜の評価	F-TT-217 ライフタイム測定装置
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0034]ラマン分光法を用いたナノカーボン成長過程の観察	F-TT-221 ラマン分光装置一式
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0035]電子ビーム励起プラズマを利用した光輝窒化処理の評価	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0036]カルド系材料を添加したポリ乳酸(PLLA)の結晶化に及ぼす影響を検討する研究支援	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0037]スピンコート製膜家庭における鎖状高分子の薄膜結晶化挙動の解明	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0038]VDF、TrFEを含む3元系共重合体における結晶構造の相転移現象の研究	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0039]Ｘ線散乱とラマン散乱の同時測定に関する技術検討	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0040]MBEによるInAs量子構造の作製	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0041]マイクロマシン材料の破壊・疲労機構解明に関する研究	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0042]Properties and Applications of Carbon Nanowalls(CNW)	(登録なし)
豊田工業大学研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門 [F-12-TT-0043]太陽電池モジュールのラマン分光による評価技術開発	(登録なし)