資料・動画

こちらでは、利用報告書の書式やパンフレット等資料のダウンロード、および動画の視聴を行うことができます。

利用報告書の書式

利用報告の流れ

支援後、以下の流れで利用報告を行います。

書式一覧

利用報告書の書式は以下よりダウンロードしてください。

利用報告書の書式
利用報告書の書き方についての補足説明
利用報告書の記入例(機器利用・技術代行等)
利用報告書の記入例(技術相談)

ご不明な点は、事務局(nanoplat[at]t.kyoto-u.ac.jp)、もしくは支援機関の担当者にお尋ねください。

パンフレット

微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム パンフレット(4.66MB)
Nanofabrication Platform Consortium Pamphlet

新規利用促進制度

2021年度 『新規利用促進制度』(旧 試行的利用制度)

動画集

Youtube 微細加工ナノプラットフォーム チャンネル

1.微細加工プロセスの基礎(チュートリアル)

「ポイントビームによるEBリソグラフィ技術」
(第1回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年8月27日)
「可変成形ビームおよびキャラクタープロジェクションを用いた電子線描画の基礎」
(第1回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年8月27日)
「マスクレス・フォトリソグラフィ」
(第2回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年9月30日)
「レーザーリソグラフィによるグレースケール露光」
(第3回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年10月29日)
「めっき法を用いた膜作製とナノレベルの微細加工」
(第4回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年11月25日)
「原子層堆積(ALD)技術による薄膜形成」
(第5回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年1月13日)
「CMOS集積回路作製の基礎技術」
(第6回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年2月17日)

2.実施機関の特徴技術紹介
 <北海道大学>

「原子層堆積装置による多種多様な材料・デバイスへの薄膜形成技術」
(第3回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年10月29日)

 <東北大学>

「高周波誘導加熱CVD装置によるpoly Siとepipoly Siの成膜」
(第2回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年9月30日)

 <物質・材料研究機構>

「多様な材料・プロセス開発を叶えるドライエッチング技術」
(第6回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年2月17日)

 <産業技術総合研究所>

「電子ビームリソグラフィを用いた微細加工プロセス」
(第5回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年1月13日)

 <筑波大学>

「FIB-SEMによる多様な材料の加工観察技術」
(第4回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年11月25日)

 <東京大学>

「ナノテクPFとファウンドリLSIで開く高信頼MEMSデバイスへの招待」
(第3回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年10月29日)

 <早稲田大学>

「微細加工と異種材料接合技術を利用したバイオデバイスへの応用」
(第2回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年9月30日)

 <東京工業大学>

「電子ビーム露光とマスクレス露光の連携によるリソグラフィ」
(第5回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年1月13日)

 <名古屋大学>

「メタマテリアル研究のためのナノ構造薄膜作製技術」
(第5回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年1月13日)

 <豊田工業大学>

「曲面・立体への3次元フォトリソグラフィ微細加工」
(第3回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年10月29日)

 <京都大学>

「水蒸気プラズマ接合を用いたCOP製マイクロ流路作製技術」
(第6回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年2月17日)
「グレースケール露光によるPDMSマイクロ流路デバイスの作製」
(プロセス実習コース)

 <大阪大学>

「ヘリウムイオン顕微鏡によるサブナノ加工と超高分解能観察」
(第4回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年11月25日)

 <香川大学>

「バイオサンプル操作のためのマイクロ流体デバイス作製技術」
(第4回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年11月25日)

 <広島大学>

「短納期研究用CMOSデバイス・回路の設計ルールと作製プロセス」
(第5回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年1月13日)

 <山口大学>

「超高真空スパッタ装置を用いたスピントロニクス素子用薄膜の作製」
(第6回 微細加工プロセス技術セミナー:2021年2月17日)

 <北九州産業学術推進機構>

「微細加工(CMOS & MEMS)プロセスで新たな可能性を提供」
(第2回 微細加工プロセス技術セミナー:2020年9月30日)

3.シンポジウム講演

「微細加工プロセスの時代が来た」
(2020年度 微細加工プラットフォームシンポジウム:2021年3月1日)
「光触媒機能・超親水機能を備えた反射防止誘電体多層膜」
(2020年度 微細加工プラットフォームシンポジウム:2021年3月1日)