こちらでは、利用報告書の書式やパンフレット等資料のダウンロード、および動画の視聴を行うことができます。
利用報告書の書式
利用報告の流れ
支援後、以下の流れで利用報告を行います。
書式一覧
利用報告書の書式は以下よりダウンロードしてください。
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利用報告書の書式 |
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利用報告書の書き方についての補足説明 |
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利用報告書の記入例(機器利用・技術代行等) |
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利用報告書の記入例(技術相談) |
ご不明な点は、事務局(nanoplat[at]t.kyoto-u.ac.jp)、もしくは支援機関の担当者にお尋ねください。
パンフレット
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微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム パンフレット（4.66MB） Nanofabrication Platform Consortium Pamphlet |
新規利用促進制度
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２０２１年度 『新規利用促進制度』（旧 試行的利用制度） |
動画集
Youtube 微細加工ナノプラットフォーム チャンネル
１．微細加工プロセスの基礎（チュートリアル）
２．実施機関の特徴技術紹介
＜北海道大学＞
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「原子層堆積装置による多種多様な材料・デバイスへの薄膜形成技術」 （第３回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年１０月２９日） |
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「電子線描画装置を利用した金属ナノ構造作製技術」 （第９回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１０月２９日） |
＜東北大学＞
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「高周波誘導加熱CVD装置によるpoly Siとepipoly Siの成膜」 （第２回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年９月３０日） |
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「試作コインランドリにおけるウェハ接合技術」 （第１０回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１１月２４日） |
＜物質・材料研究機構＞
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「多様な材料・プロセス開発を叶えるドライエッチング技術」 （第６回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年２月１７日） |
＜産業技術総合研究所＞
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「電子ビームリソグラフィを用いた微細加工プロセス」 （第５回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１月１３日） |
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「原子層堆積による成膜と薄膜評価技術」 （第１０回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１１月２４日） |
＜筑波大学＞
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「FIB-SEMによる多様な材料の加工観察技術」 （第４回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年１１月２５日） |
＜東京大学＞
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「ナノテクPFとファウンドリLSIで開く高信頼MEMSデバイスへの招待」 （第３回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年１０月２９日） |
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「パッケージングで差を付ける! 東京大学微細加工拠点でのシステム実装環境」 （第８回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年８月２５日） |
＜早稲田大学＞
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「微細加工と異種材料接合技術を利用したバイオデバイスへの応用」 （第２回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年９月３０日） |
＜東京工業大学＞
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「電子ビーム露光とマスクレス露光の連携によるリソグラフィ」 （第５回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１月１３日） |
＜名古屋大学＞
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「メタマテリアル研究のためのナノ構造薄膜作製技術」 （第５回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１月１３日） |
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「フェムト秒レーザによる高アスペクト比加工」 （第９回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１０月２９日） |
＜豊田工業大学＞
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「曲面・立体への３次元フォトリソグラフィ微細加工」 （第３回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年１０月２９日） |
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「SiのCVDと薄膜利用MEMS」 （第８回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年８月２５日） |
＜京都大学＞
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「水蒸気プラズマ接合を用いたCOP製マイクロ流路作製技術」 （第６回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年２月１７日） |
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「グレースケール露光によるPDMSマイクロ流路デバイスの作製」 （プロセス実習コース） |
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「高分子マテリアルの微細加工技術」 （第７回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年６月３０日） |
＜大阪大学＞
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「ヘリウムイオン顕微鏡によるサブナノ加工と超高分解能観察」 （第４回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年１１月２５日） |
＜香川大学＞
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「バイオサンプル操作のためのマイクロ流体デバイス作製技術」 （第４回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年１１月２５日） |
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「集積化センサ/アクチュエータを形成可能なSOI-MEMS技術」 （第７回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年６月３０日） |
＜広島大学＞
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「短納期研究用CMOSデバイス・回路の設計ルールと作製プロセス」 （第５回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１月１３日） |
＜山口大学＞
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「超高真空スパッタ装置を用いたスピントロニクス素子用薄膜の作製」 （第６回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年２月１７日） |
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「デバイスからの放出ガス分析」 （第９回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２１年１０月２９日） |
＜北九州産業学術推進機構＞
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「微細加工（CMOS & MEMS）プロセスで新たな可能性を提供」 （第２回 微細加工プロセス技術セミナー：２０２０年９月３０日） |
３．シンポジウム講演
