文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

リンク | お問い合わせ | サイトマップ

  • HOME
  • 組織概要
  • 利用方法
  • 実施機関
    • 北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
    • 東北大学 ナノテク融合技術支援センター　微細加工プラットフォーム
    • 物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
    • 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
    • 筑波大学 微細加工プラットフォーム
    • 東京大学 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点/大規模集積システム設計教育研究センター
    • 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
    • 東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
    • 名古屋大学 施設・機器共用推進室/ナノテクノロジープラットフォーム機構
    • 豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
    • 京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
    • 大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
    • 香川大学 産学連携・知的財産センター ナノテクノロジー支援室
    • 広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
    • 山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
    • 北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
  • 装置リスト
  • トピックス
  • 資料・動画
menu

装置リスト

共用設備利用案内YellowPage
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトです。
研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

技術分野一覧

sochi_01
　

  • リソグラフィ・露光・描画装置
  • 成膜・膜堆積
  • 膜加工・エッチング
  • 合成、熱処理、ドーピング
  • 表面処理
  • 形状・形態観察、分析
  • 切削、研磨、接合
  • 電気計測
  • 機械計測
  • シミュレーション CAD

実施機関一覧

sochi_03
　

  • 北海道大学
  • 東北大学
  • 物質・材料研究機構
  • 産業技術総合研究所
  • 筑波大学
  • 東京大学
  • 早稲田大学
  • 東京工業大学
  • 名古屋大学
  • 豊田工業大学
  • 京都大学
  • 大阪大学
  • 香川大学
  • 広島大学
  • 山口大学
  • 北九州産業学術推進機構

Copyright 2023 © Kyoto University. All Rights Reserved.