文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

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装置リスト

共用設備利用案内YellowPage
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトです。
研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

技術分野一覧

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  • リソグラフィ・露光・描画装置
  • 成膜・膜堆積
  • 膜加工・エッチング
  • 合成、熱処理、ドーピング
  • 表面処理
  • 形状・形態観察、分析
  • 切削、研磨、接合
  • 電気計測
  • 機械計測
  • シミュレーション CAD

実施機関一覧

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