文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

※最新の装置リストは、後継事業のARIMの装置検索サイト（https://nanonet.mext.go.jp/facility.php）をご確認ください

共用設備利用案内YellowPage 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトです。 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

技術分野一覧 　 リソグラフィ・露光・描画装置 成膜・膜堆積 膜加工・エッチング 合成、熱処理、ドーピング 表面処理 形状・形態観察、分析 切削、研磨、接合 電気計測 機械計測 シミュレーション CAD

実施機関一覧 　 北海道大学 東北大学 物質・材料研究機構 産業技術総合研究所 筑波大学 東京大学 早稲田大学 東京工業大学 名古屋大学 豊田工業大学 京都大学 大阪大学 香川大学 広島大学 山口大学 北九州産業学術推進機構