Machine

拠点 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設  
機器ID F-AT-085  
中分類ID A0201
F0701
S0301
装置名 電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM HITACHI〕  
Product 日立ハイテクノロジー社製 / S4800Ⅱ  
詳細 麗陰極電界放出型電子銃
加速電圧0.5ｋV～30ｋV
倍率20倍～800ｋ倍
分解能1.0nm（加速電圧15ｋV）
2次電子検出器（2系統）と透過電子検出器
2次電子像と反射電子像及びS-TEM像が観察できる、
試料ステージは5軸モーター制御、試料寸法φ150ｍｍ以内  
詳細2 日立ハイテクノロジー社製、S4800II型
麗陰極電界放出型電子銃
加速電圧0.5kV～30kV
倍率20倍～800k倍
分解能1.0nm（加速電圧15kV）
2次電子検出器（2系統）と透過電子検出器
2次電子像と反射電子像及びS-TEM像が観察できる、
試料ステージは5軸モーター制御、試料寸法φ150ｍｍ以内  
更新日時 2021-04-20 11:54:25