Machine
| 拠点 | 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設 |
|---|---|
| 機器ID | F-AT-082 |
| 中分類ID |
F0703 F0705 |
| 装置名 | ナノサーチ顕微鏡SPM3〔SFT-3500〕 |
| Product | 島津製作所製 / SFT_3500 |
| 詳細 |
光学顕微鏡と、レーザ顕微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)、 走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)の3機能が 1台の顕微鏡に搭載された複合型顕微鏡です。 数十倍～百万倍以上の超ワイドレンジでの観察を行うことが可能です。 搭載の機能を組み合わせることで、SPM単体では困難であった 視野探しを試料を載せかえずに正確かつスピーディに行うことができます。 ●LSM部 観察視野:2,560μm～21μm 対物レンズ:5×,20×,100× (光学ズーム 1×～6×) ●SPM部 最大走査範囲:水平(X,Y)30μm, 垂直(Z)4μm 垂直分解能：0.1nm程度 検出方式:光てこ方式 測定モード:ダイナミックモード(タッピングモード)、コンタクトモード、位相モード、表面電位モード[KFM]、電流モード ●共通部 ステージストローク:100×100mm 試料最大高さ:54.5mm |
| 詳細2 |
島津製作所製 SFT_3500型 光学顕微鏡と、レーザ顕微鏡（LSM: Laser Scanning Microscope）、走査型プローブ顕微鏡（SPM: Scanning Probe Microscope）の3機能が1台の顕微鏡に搭載された複合型顕微鏡です。数十倍～百万倍以上の超ワイドレンジでの観察を行うことが可能です。搭載の機能を組み合わせることで、SPM単体では困難であった視野探しを試料を載せかえずに正確かつスピーディに行うことができます。 LSM部 観察視野:2,560μm～21μm 対物レンズ:5×,20×,100× （光学ズーム 1×～6×） SPM部 最大走査範囲:水平（X,Y）30μm, 垂直（Z）4μm 垂直分解能：0.1nm程度 検出方式:光てこ方式 測定モード:ダイナミックモード（タッピングモード）、コンタクトモード、位相モード、表面電位モード[KFM]、電流モード 共通部 ステージストローク:100×100mm 試料最大高さ:54.5mm |
| 更新日時 | 2021-04-20 14:39:30 |