Machine
| 拠点 | 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設 |
|---|---|
| 機器ID | F-AT-080 |
| 中分類ID |
A0607 F0704 A0703 S0402 F0707 S0303 |
| 装置名 | X線回折装置(XRD) |
| Product | リガク社製 / Ultima_Ⅲ |
| 詳細 |
試料水平型 インプレーン測定機構付 傾斜多層膜放物面モノクロメータ付 チャンネルカットモノクロメータ 受光モノクロメータ 6試料交換装置 小角散乱光学系等の利用可 試料形態：薄膜、粉 薄膜試料：最大 φ100×9mm ソフトウエア：定性分析、定量分析、反射率、極点、逆格子マップ、 結晶子サイズ、結晶粒サイズ、結晶化度等 |
| 詳細2 |
リガク製 Ultima_III 試料水平型 インプレーン測定機構付 傾斜多層膜放物面モノクロメータ付 チャンネルカットモノクロメータ 受光モノクロメータ 6試料交換装置 小角散乱光学系等の利用可 試料形態：薄膜、粉 薄膜試料：最大 φ100×9mm ソフトウエア：定性分析、定量分析、反射率、極点、逆格子マップ、 結晶子サイズ、結晶粒サイズ、結晶化度等 |
| 更新日時 | 2021-04-20 12:00:19 |