Machine
| 拠点 | 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設 |
|---|---|
| 機器ID | F-AT-073 |
| 中分類ID |
F0202 |
| 装置名 | スパッタ成膜装置(芝浦) |
| Product | 芝浦メカトロニクス社製 / CFS-4EP-LL |
| 詳細 |
ロードロック付RFマグネトロン・サイドスパッタ方式 スパッタ源：3台セット （内1台は強磁性材料用としてマグネットを強化改造 基板加熱：最大300℃ 基板エッチング(逆スパ)：可 基板サイズ：最大 φ200、10mmｔ 常備ターゲット数：約60 |
| 詳細2 |
芝浦メカトロニクス製CFS-4EP-LL型 ロードロック付RFマグネトロン・サイドスパッタ方式 スパッタ源：3台セット （内1台は強磁性材料用としてマグネットを強化改造） 基板加熱：最大300℃ 基板エッチング（逆スパ）：可 基板サイズ：最大 φ200、10mmｔ 常備ターゲット数：約60 |
| 更新日時 | 2021-04-20 12:33:58 |