Machine
| 拠点 | 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設 |
|---|---|
| 機器ID | F-AT-072 |
| 中分類ID |
F0303 |
| 装置名 | アルゴンミリング装置 |
| Product | 伯東社製 / - |
| 詳細 |
伯東社製 イオンビームミリング装置 イオンガンで発生させたArイオンビームを試料に照射することで、エッチングを行います。 反応性イオンエッチング(RIE)装置などに比べ、 雰囲気が一桁低い圧力(10^-2 Pa台)でエッチングの処理が行えます。 ●型式:3-IBE ●ビーム直径: Φ3 cm ●ビーム加速電圧:500, 300 V ●イオン電流密度:1 cm2あたり1 mA(但し、入射角度0°の時) ●試料室の真空度: ～3×10-2 Pa ●試料サイズ:Φ75 mm までの試料 |
| 詳細2 |
伯東社製 イオンビームミリング装置 イオンガンで発生させたArイオンビームを試料に照射することで、エッチングを行います。反応性イオンエッチング（RIE）装置などに比べ、雰囲気が一桁低い圧力（10^-2 Pa台）でエッチングの処理が行えます。 型式:3-IBE ビーム直径: Φ3 cm ビーム加速電圧:500, 300 V イオン電流密度:1 cm2あたり1 mA（但し、入射角度0°の時） 試料室の真空度: ～3×10-2 Pa 試料サイズ:Φ75 mm までの試料 |
| 更新日時 | 2021-04-20 14:03:53 |