Machines

 
 
機器ID 中分類ID 実施機関 装置名
F-AT-067  F0102
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
i線露光装置
ニコンテック社製 / NSR-2205i12D 
F-AT-068  F0104
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
電子ビーム描画装置(CRESTEC)
クレステック社製 / CABLE_9410TFNA 
F-AT-070  F0301
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
反応性イオンエッチング装置(RIE)
SAMCO社製 / CCP-RIE 
F-AT-071  F0306
A0502
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 及び イオンスコーター(FIB付帯装置)
日立ハイテクノロジーズ社製 / FB_2100 
F-AT-072  F0303
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
アルゴンミリング装置
伯東社製 / - 
F-AT-073  F0202
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
スパッタ装置(芝浦)
芝浦メカトロニクス社製 / CFS-4EP-LL 
F-AT-074  F0202
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
RF・DCスパッタ装置(ULVAC)
アルバック社製 / CS_200 
F-AT-075  F0201
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
電子ビーム真空蒸着装置
エイコーエンジニアリング社製 
F-AT-077  F0404
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
多目的高速加熱ランプ炉(RTA)
アルバック理工製 / Pss/85#/7089_1 
F-AT-079  F0602
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
ダイシングソー
Disco社製 / DAD522 
F-AT-080  A0607
F0704
A0703
S0402
F0707
S0303
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
X線回折装置(XRD)
リガク社製 / Ultima_Ⅲ 
F-AT-081  A0604
F0704
A0707
F0707
S0303
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
微小部蛍光X線分析装置
- / SEA_5210A 
F-AT-082  F0703
F0705
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
ナノサーチ顕微鏡SPM3
島津製作所製 / SFT_3500 
F-AT-083  F0703
A0302
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
走査プローブ顕微鏡SPM2
島津製作所製 / SPM-9700 
F-AT-084  F0704
S0704
A0707
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
顕微レーザーラマン分光装置
Thermo Fisher Scientific社製 / DXR-Raman 
F-AT-085  A0201
F0701
S0301
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
電界放出形走査電子顕微鏡(S4800/FE-SEM)
日立ハイテクノロジー社製 / S4800Ⅱ 
F-AT-086  F0707
S1009
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
分光エリプソメータ
堀場Jovin-Yvon社製 / UVISEL-M200-FUV-FGMS 
F-AT-088  F0306
F0701
A0502
A0201
S0301
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
集束イオン/電子ビーム観察加工装置(FIB-SEM)
エスアイアイ・ナノテクノロジー社 / XVision200DB 
F-AT-089  F0301
F0303
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
多目的エッチング装置(ICP-RIE)
サムコ社製 / - 
F-AT-090  S0402
A0607
F0704
 
産業技術総合研究所
AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
薄膜エックス線回折装置
Rigaku製 / ATX_G型 

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