文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
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組織概要
利用方法
実施機関
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
筑波大学 微細加工プラットフォーム
東京大学 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点/大規模集積システム設計教育研究センター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
名古屋大学 施設・機器共用推進室/ナノテクノロジープラットフォーム機構
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
香川大学 産学連携・知的財産センター ナノテクノロジー支援室
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
装置リスト
トピックス
資料・動画
利用事例・加工事例
タイトル
金属チタンからの昇温脱離ガス分析(水素)
概要
真空材料等に用いられるチタン金属の昇温脱離ガス分析装置による水素、水の脱離状況
昇温脱離ガス分析装置(ダイナミック型)を用い、真空容器に使用される金属チタンからの昇温脱離ガス分析を実施した。 40℃~1000℃まで30℃/分で昇温し、発生する水素ガスと水を測定。
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コメント
支援機関
山口大学
技術分野・応用分野
マテリアルサイエンス
プロセス分類
分析
材料
チタン(Ti)
利用課題番号
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