| タイトル | 微細構造による機能制御 |
|---|---|
| 概要 | Si基板上にピラー構造を作製し、その上の液滴の蒸発挙動などを研究 Si基板へマスクアライナー、深掘エッチング装置により高アスペクト比加工（5μmφ×30μm）、ピラー構造を作製（Fig.1)。ピラーを敷き詰めたシリコン基板上の液滴の状況（接触角：130°）（Fig.2) ※詳細画像はこちら※ |
| 支援機関 | 山口大学 |
| 技術分野・応用分野 | モデリング&シミュレーション |
| プロセス分類 | 膜加工・エッチング |
| 材料 | シリコン（Si） |
| 利用課題番号 |
F-13-YA-0019 |