利用事例・加工事例

タイトル ダイヤモンドナノ突起
概要 TiN/Alマスクにより形成
2インチ多結晶ダイヤモンド上にTiN/Alの積層マスクおよびa-Siマスクをパターニング ※一部、本事業外での加工が含まれています。
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支援機関 広島大学
技術分野・応用分野 ナノエレクトロニクス
プロセス分類 リソグラフィ・露光・描画装置、成膜・膜堆積、膜加工・エッチング
材料 TiN、a-Si、アルミニウム（Al）
利用課題番号
※利用報告書の閲覧はこちら		 F-15-RO-0012

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