利用事例・加工事例

タイトル トレンチ構造への酸化物多層膜形成
概要 ナノメートルオーダーの膜厚で制御された様々な酸化物薄膜を凹凸構造上に均一に形成。
自動シーケンスで容易に多層膜作製が可能。
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支援機関 北海道大学
技術分野・応用分野 バイオ&ライフサイエンス、ナノエレクトロニクス、フォトニクス
プロセス分類 成膜・膜堆積
材料 Nb2O5、HfO2、NiO、Al2O3、SiO2、TiO2
利用課題番号
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