利用事例・加工事例

タイトル カーボンナノチューブの林
概要 カーボン用プラズマ成膜装置でAFM探針に成長
AFM探針の先鋭化
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支援機関 豊田工業大学
技術分野・応用分野 化学&分子テクノロジー、ナノエレクトロニクス、N&MEMS、マテリアルサイエンス
プロセス分類 合成、形状・形態観察
材料 シリコン（Si）、カーボンナノチューブ
利用課題番号
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