2020年12月9日に東京ビッグサイトで行われた第20回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nanotech2020）に於いて、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム令和２年度「技術スタッフ表彰」が行なわれ、微細加工プラットフォームから２名の技術支援者の方が受賞されました。
■優秀技術賞 西山 文隆さん（広島大学）
「AN-2500バンデグラーフ加速器と共に37年」
↑リンクを追加(2021/3/12)
■若手技術奨励賞 吉田 美沙さん（物質・材料研究機構）
「バイオセンシングデバイスの実現に向けた微細加工技術」
↑リンクを追加(2022/1/21)
本賞は、文科省ナノテクノロジープラットフォーム事業を現場で支える技術支援者の中から、特に秀でた技術を有し、本事業に対する多大な貢献が認められる技術支援者を表彰するものです。
西山さんは、
AN-2500型バンデグラフ加速器（日新ハイボルテージ製）を用いたイオンビームによる表面・界面解析を長年担当し、イオンビーム分析として核反応法（NRA）や、イオンビームによるダイヤモンド結晶NVセンター形成による量子センサ作製なども支援し、極めて専門性の高いこの領域で優れた成果に多数貢献しました。
また、測定操作や解析だけでなく、既に装置メーカーは20年以上前に撤退している状況にあって、日常の設備点検・保守から改善・改造や代替ユニットの確保まで行って、広島大学の設備だけでなく、同型の設備を保有する他の研究施設も含めた設備の稼働維持に欠かせない人材として広く活躍されています。
吉田さんは、
リソグラフィ、成膜、エッチング等微細加工プロセス技術の根幹となるプロセス技術だけでなく、デバイスや材料の知識も豊富で、ユーザーの目的に応じて最適な装置選定やプロセスフローを構築できるプロセスインテグレーション技術を有し、特に、バイオ・ライフサイエンス分野においては、より高度で精密なバイオセンシング技術の発展が求められている中で、高精度・高効率・高生産性の微細構造デバイスを必要とするケースが増えているため、微細加工技術に知見の乏しいユーザーからの要望にも適切に応え、優れた研究成果の創出に貢献しました。
NanotechJapan 技術スタッフ表彰