新たに微細加工技術を利用してMEMSデバイスなどを作製したいと考える研究者・技術者や、センサーデバイスの応用研究に新規参入したいと考える研究者・技術者へのチュートリアル的なセミナー講演と実習を行います。これにより、プラットフォームの積極的利用を促し、研究開発の進展に寄与することを目的とします。
多くの皆様のご参加をお待ちしております。
フライヤー(pdf)
概要
| 開催日時 |
＜座学コース＞ 2016年 9月 30日(金) 13:00～17:10 ＜実習コース＞ 各実施機関の都合に合わせて決定される予定です。 |
|---|---|
| 場所 |
＜座学コース＞ 東京大学武田先端知ビル 1F セミナー室 ※実習コースを開催する機関のうち、以下の拠点ではＷＥＢによるＴＶ聴講が可能です。 北海道大学、東北大学、豊田工業大学、京都大学、広島大学 ＜実習コース＞ 各実施機関 |
| 主催 | 微細加工ナノプラットフォーム |
| 募集人数 |
＜座学コース＞ 30～40人程度＋Web配信 ＜実習コース＞ 数人／1実施機関 |
| 参加申し込み |
https://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/sensor_mems.html ※東大以外の拠点でＴＶ聴講による参加ご希望の方は、参加申込みの「その他」欄に参加希望の拠点名をお書きください。 ※セミナー本会場は定員に達しました。今後東大会場でのご参加ご希望の方には、別室でのTV聴講をご用意します。 北海道大学、東北大学、豊田工業大学、京都大学、広島大学でのTV聴講は引き続き受け付けております。 |
座学コースプログラム |
13:00～13:05 開会挨拶 微細加工PF代表機関 13:05～14:00 基調講演 東北大学大学院工学研究科 田中秀治先生 「センサー・MEMSの最新動向」 14:00～14:30 特別講演 株式会社村田製作所 センサー事業部事業部長 児堂義一様 「IOT市場におけるセンサの技術動向と応用事例」 14:30～15:00 特別講演 OMRON株式会社 技術知財本部 技術専門職 積知範様 「MEMS技術とセンサ応用」 <休憩15分> 15:15～15:35 最新の成膜技術の紹介 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 熊野勝文先生 「ALDプロセスに内在する課題」 15:35～15:55 最新のエッチング技術の紹介 サムコ株式会社 内田聡充様 「MEMSデバイスにおけるドライエッチング技術と応用」 15:55～16:15 最新のリソグラフィ技術の紹介 株式会社ナノシステムソリューションズ 木村一彦様 「デジタル投影によるマスクレス露光技術とその応用」 16:15～17:00 文科省ナノプラ事業・微細加工PFの紹介、実施機関事例紹介＆PR 微細加工PF・コーディネーター 実施機関担当者 17:00～17:10 閉会挨拶＆閉会 |
| 実習コース |
簡単な微細加工プロセス実習＜無料＞ ①フォトリソグラフィーを用いた櫛形電極デバイス作製 概要：電気化学等へ利用可能な櫛形電極の作製を通してフォトリソグラフ法の講習を行う。 日程：11月頃、応相談 定員：3名まで 場所：北海道大学(札幌市) ②マイクロ流路作製 概要：マイクロ流路作製に必要な微細加工要素技術を習得するため、 マスクレス露光装置を使用したリソグラフィ技術の実習を行う。 日程：応相談 定員：2名 場所：産総研(茨城県つくば市) ③マイクロ流路作製プロセス実習 概要：SU-8によるマイクロ流路作製を行います 日程：応相談 定員：3名程度 場所：東京大学(東京都文京区) ④流路付加バイオセンサーの作製・測定 概要：PDMSマイクロ流路の試作まで 日程：2017年1月初旬(2日間。有料コースと同時に行います。) 定員：3名程度 場所：広島大学(東広島市) 参加者の希望に合わせてカスタマイズした実習＜有料＞ ⑤グレイスケールリソグラフィ 概要：マイクロレンズなどの3次元形状をCADで設計する。膜厚10μ程度の厚膜レジストを基板に塗布後、 レーザ描画装置でグレイスケール露光を行う。現像後の3次元形状を共焦点顕微鏡で観察する。 日程：第一候補：10月20日(木)～ 21日(金) 第二候補：10月27日(木)～ 28日(金) 定員：3名程度 場所：東北大学(仙台市) 料金： 3万円 尚、参加者の希望にあわせた(持ち込みテーマ)実習もあり (日程、料金は内容に応じて別途ご相談) ⑥サーモパイルの作製 概要：熱電対、サーモパイルの基本から応用に関する講義、及びデバイス製作と評価を実習する。 日程：2017年3月頃(応相談) 場所：豊田工業大学(名古屋市) 定員：若干名 料金：1または3万円 ⑦静電容量型加速度センサーの設計から試作・評価まで 概要：静電容量型加速度センサーに関する講義に加えて、FEM解析を用いた設計から試作・評価までを行う。 日程：2016年11月14日(月)～16日(水) 3日間 定員：4名程度 場所：京都大学(京都市) 料金：2～4万円程度 ⑧流路付加バイオセンサーの作製・測定 概要：PDMSマイクロ流路を試作後、MOSFETと組み合わせてセンサーとし、検体模擬水溶液のpHセンシングまで 日程：2017年1月初旬(3日間) 定員：3名 場所：広島大学(東広島市) 料金：1人3万円(予定) |
| お問合せ先 |
微細加工プラットフォーム・コーディネーター TEL: 075-753-5656 Email: nanofab-coordinators(at)t.kyoto-u.ac.jp ※(at)をアットマークに変更してからご使用ください |