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- 筑波大学 微細加工プラットフォーム
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- 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
- 東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
- 名古屋大学 施設・機器共用推進室/ナノテクノロジープラットフォーム機構
- 豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
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- 広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
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