電子線描画装置(50 kV)
| 製造会社 / 型番 | ㈱エリオニクス社製 / ELS-7500EX |
|---|---|
| 仕様 | 電子銃エミッタ―：ZrO/W熱電界放出型 加速電圧：5～50kV レーザー干渉計付き |
電子線描画装置(30 kV)
| 製造会社 / 型番 | ㈱エリオニクス社製 / ELS-3700 |
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| 仕様 | 電子銃エミッタ―：LaB6 加速電圧：1～30kV |
マスクアライナー
| 製造会社 / 型番 | カールズース社製 / SUSS-MJB3 |
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| 仕様 | 0.7μm L/S g線、密着露光 |
UHV10元スパッタ装置
| 製造会社 / 型番 | ㈱エイコー・エンジニアリング社製 / ES-350W |
|---|---|
| 仕様 | 構成：5元×2チャンバ+LL 到達圧力：10-7 Pa |
触針式表面形状測定装置
| 製造会社 / 型番 | ㈱アルバック社 / Dektak3 |
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| 仕様 | 垂直解像度：１nm 測定距離範囲：50μm～30mm |
走査型電子顕微鏡
| 製造会社 / 型番 | ㈱日立ハイテクノロジーズ社製 / S-4700 |
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| 仕様 | 電界放出型 加速電圧：0.5～30 kV 倍率：X30-X500,000 EPMA：検出元素 B-U |
超高・極高真空ガス分析装置群
| 製造会社 / 型番 | ㈱アルバック社製 / – |
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| 仕様 | ガス放出速度測定装置（特別仕様） 真空：1×10-10 Pa 下限：6×10-13 Pa m/s 昇温脱離ガス分析装置 真空：1×10-9 Pa台 検知分圧：5×10-12 Pa 超高真空分圧測定装置 真空：1×10-8 Pa 最小分圧：10-11 Pa |