2018年2月14日（水）～16日（金）に東京ビッグサイト（東京都江東区）で行われたnano tech 2018国際ナノテクノロジー総合展・技術会議 及び 第16回ナノテクノロジーシンポジウム JAPAN NANO 2018にて、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成29年度技術スタッフ表彰が行なわれ、微細加工プラットフォームから以下の2機関（3名）の技術支援者の方が受賞されました。
・山口大学 岸村由紀子さん
『文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成29年度技術支援貢献賞』
・北九州産業学術推進機構（ＦＡＩＳ） 安藤秀幸さん、竹内修三さん
『文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成29年度技術支援貢献賞』（グループ受賞）
本賞は、文科省ナノテクノロジープラットフォーム事業を現場で支える技術支援者の中から、特に秀でた技術を有し、本事業に対する多大な貢献が認められる技術支援者を表彰するものです。
山口大学の岸村さんは、化学材料と半導体プロセス技術に造詣が深く、独自のアイデアをユーザー様に提案し、改良工夫を重ねることで高い評価を得ておられます。今回の電子線リソグラフィによるパターン形成に関する技術支援では、豊富なレジスト材料に関する知識経験を活かし、ユーザー様の成果に大きく貢献されました。また、女性技術支援者の交流会を立ち上げ、初代幹事として精力的に活動され、微細加工プラットフォーム全体の活性化に大きく貢献されました。
北九州産業学術推進機構の安藤さん、竹内さんは、ＩＣ設計、半導体プロセス技術、MEMSプロセス技術に造詣が深く、微細加工プラットフォームでは唯一CMOS ICを回路設計からパッケージまで作製支援できるプロセスを構築してきました。今回、CMOS集積回路とMEMSの集積という課題にチャレンジされ、ユーザー様からその支援成果を高く評価いただいたことで受賞に至りました。
今後さらに学術界、産業界問わず、大きな貢献が期待されるものです。
 岸村由紀子さん |
 安藤秀幸さん |