2016年10月24～26日に長崎県平戸市で開催されました第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにおいて，ナノテクプラットフォーム微細加工部門，東北大学の鈴木裕輝夫助教と共著者が“優秀技術論文賞”を受賞いたしました。発表論文「表面実装型集積化MEMSのためのレーザー消去CMOS-LSI マルチプロジェクトウェハへの深いTSVの作製」は，ナノテクプラットフォーム東北大学微細加工部門の装置をおもに利用したMEMS-LSIの集積化製造技術に関する研究成果を報告したものです。
（受賞された鈴木助教のコメント）
「このような先端研究を行うことで蓄えられる知見や高度な技術をナノテクプラットフォーム利用者の皆さまへの支援に結びつけてまいります。」
 東北大学 鈴木裕輝夫助教 |
 授賞式 |
 表彰状 |