2016年1月29日（金）に東京ビッグサイト（東京都江東区）で行われた第14回ナノテクノロジーシンポジウム JAPAN NANO 2016にて、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成27年度技術支援表彰が行なわれ、微細加工プラットフォームから以下の3名の技術支援者の方が受賞されました。
・物質・材料研究機構 渡辺英一郎さん
『文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成27年度優秀技術賞』
『文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成27年度技術支援貢献賞』
・京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 佐藤政司さん
『文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成27年度技術支援貢献賞』
・産業技術総合研究所ナノプロセシング施設 山崎将嗣さん
『文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成27年度若手技術奨励賞』
本賞は、文科省ナノテクノロジープラットフォーム事業を現場で支える技術支援者の中から、特に秀でた技術を有し、本事業に対する多大な貢献が認められる技術支援者を表彰するものです。
渡辺さんは、物性探索のためのデバイスプロセス技術に造詣が深く、特に、あらゆるナノ材料にコンタクト電極を作製する技術を確立するとともに、量子ドット、ナノチューブ、ナノシート等をはじめとする新規ナノ材料の電子輸送特性の研究に数多く支援することで、その成果創出に大きく貢献されました。
佐藤さんは、MEMS分野の構造設計・プロセス技術に造詣が深く、特に、スパッタ装置の高温成膜による圧電薄膜技術、ICPプラズマによる石英エッチング、XeF2を用いたカーボンダイヤフラムの形成プロセスなどの支援で成果創出に大きく貢献されました。
山崎さんは、リソグラフィ、成膜、エッチング等の一連のプロセス技術に造詣が深く、特に、複数の装置を駆使しなければならないデバイス・インテグレーションが求められる高度な支援において成果創出に大きく貢献され、今後更なる活躍が期待されます。
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渡辺 英一郎さん |
佐藤 政司さん |
山崎 将嗣さん |