文部科学省委託事業である”ナノテクノロジープラットフォーム”の一環として、微細加工実践セミナーを開催します。産学官の研究者に、超微細加工に関する装置やその利用例を学習する場と、それらの技術を実地に習得する機会をご提供させていただき、ナノテクノロジーにおける技術力向上のための継続教育に貢献することを目指しています。
本セミナーでは、微細加工とその関連技術の概論を電子ビーム描画、反応性イオンエッチング、微細加工の応用事例(医療分野と計測・分析)のテーマで分かりやすく解説するとともに、ナノプロセシング施設における微細加工支援事例をご紹介することで、より具体的なイメージが持てるような構成になっています。産学官にかかわらず、多くの皆様のご参加をお待ちしています。
なお、台風19号が13日から14日にかけて九州や本州に上陸の恐れとの予報が出ていることから、当初10月14日(火)とアナウンスさせていただいておりました募集開始日を16日(木)に変更させていただきました。ご了承いただけますよう、お願い申し上げます。
概要
| 開催日 | 講義：2014年 11月 13日（木） 実習：2014年 11月 12日（水）,14（金） |
|---|---|
| 場所 | 講義：産業技術総合研究所 中央第2-12棟 第6会議室 実習：産業技術総合研究所 ナノプロセシング施設 |
| 詳細 |
＜講義＞ 日程 講義番号 内容 講師(敬称略)/所属 10:50-11:00 Opening 11:00-12:00 1 電子線描画技術（EB描画） 宮本 恭幸(東京工業大学） 12:00-13:00 昼食 13:00-14:00 2 プラズマエッチング 中村 敏幸（株式会社アルバック） 14:00-14:20 3 ICP-RIEを用いたエッチング事例紹介 廣沢 友二（産業技術総合研究所） 14:20-15:20 4 微細加工技術の医療応用 安 隆則（獨協医科大学医学部） 15:20-15:30 休憩 15:30-16:30 5 計測分析における微細加工の役割と事例紹介 杉山 直之（東レリサーチセンター） 16:30-16:50 6 FIBを用いた微細加工事例紹介 飯竹 昌則（産業技術総合研究所） 16:50-17:00 Closing 及び 実習スケジュールに関するご説明 ＜実習＞ 実習 日程 定員（人） 電子線描画技術（EB描画） 1日間（11/14） 3 ドライエッチング技術（RIE） 1日間（11/14） 3 集束イオンビーム加工・観察技術 2日間（11/12,14） 2 ※詳細はこちら |
| 主催・共催 |
主催：産業技術総合研究所 共催：東京工業大学 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム 微細加工プラットフォーム |
| 費用 |
参加費用は無料。 但し、参加者の講義および実習開催場所までの交通費と宿泊代は参加者負担。 |
| 応募資格 |
•学部卒業以上または、それと同等以上の経験を有する産官学の研究・開発従事者 （大学院生は指導教官の許可を得ることが条件） 。 •超微細加工に関する経験不問。 •実習期間中、各実習開催機関の安全ガイドラインと専任スタッフの指示を守れる事。 |
| 募集期間 | •平成26年10月16日(木)～ |
| 受講者の選定方法 |
•上記の応募資格をもとに、原則として先着順 （ただし、実習に関しては同一機関からの参加者が複数とならないように配慮します）。 •定員やスケジュール調整など当方の都合により、ご参加登録をいただいてもそのご希望にお応えできないことがありますことをご了承ください。 |
| お問い合わせ先 |
(独)産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部門 ナノプロセシング施設 TEL：029-861-3210 FAX：029-861-3211 Email：npf-info-ml(at)aist.go.jp ※(at)をアットマークに変更してご使用ください |