| 開催日時 | 2021年 7月 28日(水) 9:30 ～ 12:00頃 |
|---|---|
| 開催形式 | Teams |
| 主催 | 東京大学超微細リソグラフィ・ナノ計測拠点 |
| 対象者 | グレースケール露光に関心のある方 |
| 費用 | 無料 |
| 言語 | 日本語 |
| 資料 | ダウンロード配付 |
| 申込URL |
https://forms.gle/UCVUQGDG2WEJEfMc7 締め切り：7月26日(月)12:00 ※申し込み受付後、メールで接続先のURLをご連絡いたします。7月26日(月)までに接続先の連絡がない場合は、下記のメール申し込みアドレスまでご連絡ください。 |
| プログラム |
9:30 挨拶： 東京大学超微細リソグラフィ・ナノ計測拠点 拠点長 准教授 三田吉郎 9:35 基調講演：「グレースケール露光の概要と応用例」 東北大学教授・マイクロシステム融合研究開発センターセンター長 戸津健太郎 10:20 「HIMT製DWLシリーズによるグレースケール露光」 ハイデルベルク・インストルメンツ（株）上瀧英郎 11:05 休憩 11:10 「グレースケール露光のためのデータ補正とシミュレーション」 GenISys(株) 清水諭 11:55 フリートーク |
| その他 |
申し込みページはGoogleFormsを利用しております。上記のURLからお申込みください。 セキュリティ等でGoogleFormsにアクセス出来ない場合は、メールにて以下の項目をご連絡ください。 メール申込先：seminar-grayscale@if.t.u-tokyo.ac.jp メールのタイトル:7/28グレースケール露光セミナー申し込み -メールアドレス -お名前 -所属大学・会社・機関名 -大学院名・学部名・部署名 -役職名 -電話番号 -ご興味のあるアプリケーション(例:マイクロオプティクス、マイクロ流路等) |