ヘリウムイオン顕微鏡はヘリウムイオンビームを走査することによって試料より発生する2次電子から画像を得る。イオン源の特性から最小ビーム径が0.5nmと小さく、SEMと比べて被写界深度が深いのが特徴であり、電子中和銃を用いることで絶縁体を導電体コート無しで高分解能で観察できる。またヘリウムイオンを用いた試料のエッチングが可能であり、従来のガリウムイオンFIBと比べると10nm以下の微細加工が可能である。大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工プラットフォームでは平成25年度よりヘリウムイオン顕微鏡を導入し、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において共用装置として運用している。
本セミナーではヘリウムイオン顕微鏡の原理から応用例について紹介する。
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概要
| 開催日時 | 2018年 7月 6日(金) 13:30 ～ 16:30 |
|---|---|
| 場所 | 大阪大学中之島センター講義室304 |
| 主催 | 大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工プラットフォーム |
| 参加費 | 無料 |
| 参加申し込み | norizawa(at)sanken.osaka-u.ac.jp ※(at)をアットマークに変更してからご使用ください （7月4日までに法澤まで、当日参加可能） |
| プログラム |
13:00 受付開始 13:30 開会挨拶 13:35 サブナノメートル分解能を実現するヘリウムイオン顕微鏡の基本原理 田中かをり カールツァイス株式会社 13:55 ヘリウムイオン顕微鏡による観察・加工・分析の最新応用 Vignesh Viswanathan Carl Zeiss Microscopy GmbH 14:15 ヘリウムイオン顕微鏡技術が拓くナノエレクトロニクス、バイオの世界 小川真一 産業技術総合研究所ナノエレクトロ二クス研究部門 14:45 多重極子遷移を誘起する金属ナノギャップ構造 酒井恭輔 北海道大学電子科学研究所 15:15 休憩 15:30 ヘリウムイオン顕微鏡による高Q値ナノファイバブラッグ共振器の開発 高島秀聡 京都大学大学院工学研究科 16:00 ヘリウムイオン顕微鏡によるナノ加工と観察 法澤公寛 大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点 16:30 閉会 17:00 懇親会（2階カフェ「スコラ」にて、参加費無料） |
| お問合せ先 |
大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工PF 法澤 電話：06-6879-4654 Mail：norizawa(at)sanken.osaka-u.ac.jp ※(at)をアットマークに変更してからご使用ください |