産業技術総合研究所ナノプロセシング施設（NPF) は、「エッチング実践セミナー」を、
2017年 9 月13日（水）産業技術総合研究所ナノプロセシング施設にて開催いたします。
エッチング表面のケミストリーから最先端デバイス材料の加工技術について
講演していただく予定です。オーサーズ・インタビューの時間を設けましたので、
講師の方々に個別に質問を することが可能です。
産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしています。
また有料の実習コースでは、NPFの装置を使用して、
パターンデータの設計（ＣＡＤ）、 マスクレス 露光装置によるリソグラフィー、
エッチング加工、電子顕微鏡による形状観察工程を 盛り込み、
一連の微細加工の基礎的なスキルを獲得していただくことを期待してい ます。
※講演のみ、実習のみの参加申込も可能です。
講演
| 日時 | 2017年9月13日（水）12：55-17：１0 |
|---|---|
| 場所 | 産業技術総合研究所つくば中央2-12棟第6会議室 |
| 参加費 | 無料 |
| 定員 | 90 名（先着順、参加登録をお願いします） |
| セミナー案内／申し込み | https://ssl.open-innovation.jp/npf/training/h29-3/index.html |
| 講演プログラム |
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実習コース
平成29年9月から12月の間の2日間（スケジュール調整を行います）
| 場所 | 産業技術総合研究所つくば中央2-12棟ナノプロセシング施設（NPF） |
|---|---|
| 参加費 | 50,000円/人 |
| 定員 | ３名（同時に実施します） |
| 案内・申し込み | https://ssl.open-innovation.jp/npf/training/h29-3/index.html |
- 主催
- 産業技術総合研究所 ナノプロセッシング施設（NPF)
- 共催
- ナノエレクトロニクス計測分析技術 研究会（TSC)
電子メール：tia-npf-school3@aist.go.jp