平成27年度実践セミナー 『FIB実践セミナー』(2015/10/30)

文部科学省委託事業「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、一昨年に引き続き、第２回集束イオンビーム(Focused Ion Beam: FIB)実践セミナーを開催します。このセミナーでは、FIB技術の概論を各要素に分けて分かりやすく解説するとともに、FIB装置メーカからそれぞれの装置が持つ特長を紹介することで、利用者が最適な装置選択ができるような内容になっています。セミナー後半では、各実施機関におけるこれまでの加工事例を紹介することで、より具体的なイメージが持てるような構成になっています。また、このセミナーに併設して、物質・材料研究機構、筑波大学、東京工業大学、大阪大学、産総研において、実際の装置を使った実習プログラム（アドバンストコースは有料）を用意しています。産学官にかかわらず、多くの皆様のご参加をお待ちしています。

概要

開催日時 2015年　10月　30日(金)　12:55　～　17:00
場所 東京工業大学大岡山キャンパス西８号館10階 E情報理工学研究科大会議室
定員 100名(先着順)
費用 無料
プログラム 12:55-13:00 はじめに
　　　　　　産業技術総合研究所共用施設ステーション 多田 哲也
13:00-13:40「集束イオンビーム（FIB)加工・観察技術の基礎）」
　　　　　　元株式会社日立ハイテクノロジーズ 石谷 亨
13:40-14:10「FIB装置とその応用/最近のトピックス」
　　　　　　株式会社日立ハイテクサイエンス 大西 毅
14:10-14:40「FIBによる試料作製から広がる様々なアプリケーション」
　　　　　　日本電子株式会社 門井 美純
14:40-15:10「DualBeam装置と最新のアプリケーション」
　　　　　　日本エフイー・アイ株式会社ナノポートジャパン 完山正林
15:10-15:30 休憩
15:30-15:50「事例紹介 －Orion NanoFab He/Neイオン顕微鏡を用いた多彩な支援－」
　　　　　　大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点 近田和美
15:50-16:10「事例紹介 －Helios NanoLab600i によるFIB加工支援－ 」
　　　　　　筑波大学構微細加工プラットフォーム 加藤一郎
16:10-16:30「事例紹介 －XVision200DBを用いた多彩なFIB加工支援－」
　　　　　　物質・材料研究機構微細加工プラットフォーム 中島清美
16:30-16:50「事例紹介 －FB-2100によるデバイス加工－」
　　　　　　産業技術総合研究所共用施設ステーション 飯竹昌則
16:00-17:00 「 微細加工プラットフォームの紹介」
　　　　　　微細加工プラットフォーム・コーディネータ 島本直伸
17:00　閉会
参加申し込み https://nanoworld.jp/npf/training/h27-3/book/index.html
参考URL https://nanoworld.jp/npf/training/h27-3/index.html
お問い合わせ先 国立研究開発法人　産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進センター
共用施設運営ユニット・共用施設ステーション
ナノプロセシング施設
電子メール：tia-npf-school2(at)aist.go.jp
(at)をアットマークに変更してご使用ください。