左：熊谷慎也 准教授，右：佐々木実 教授
2013年9月16日（金）～20日（金）に同志社大学（京都府京田辺市）で行われた『2013年応用物理学会秋季学術講演会』にて、豊田工業大学 熊谷慎也准教授、佐々木実教授、奈良先端科学技術大学院大学 浦岡行治教授、山下一郎教授らのグループがPoster Awardを受賞しました。
講演内容はセンサ等で用いられる微小振動子の作製技術に関するもので、JST CREST研究の一環として、ナノネット及びナノテクプラットフォームを活用して進められました。タンパク質分子を用いて合成されたNiナノ粒子を用いる金属誘起横方向結晶成長法によって、多結晶シリコン薄膜中の結晶粒界位置を制御することで内部エネルギー損失を抑え、振動子のQ値を高めるものです。多結晶シリコン薄膜を用いたMEMS振動型デバイスや、電子デバイスの高性能化に有効な技術です。研究グループは今後、応用デバイスの性能につながるよう、本技術を発展させていきたいと考えています。
参考URL:http://www.toyota-ti.ac.jp/mems/index.htm