文部科学省委託事業である”ナノテクノロジープラットフォーム”の一環として、MEMS実践セミナーを開催します。
このセミナーでは、初めてMEMSを作りたい方から、制御回路を集積した高機能化を目指す方を対象とした、基礎から応用までの一貫した講座となっています。微細加工プラットフォームが保有する加工装置を使ってどのようなMEMSができるかがご理解いただけると思います。
また、このセミナーへの参加をより充実した機会にするために、実際にＭＥＭＳデバイスを作る有料の実習コースを併設しています。産学官にかかわらず、多くの皆様のご参加をお待ちしています。なお、アドバンストコースは、持ち込みの課題について参加者と相談の上決めます。
概要
| 開催日時 | 12月17日（火）13時～ |
|---|---|
| 場所 | 3元中継 東京大学／東北大学／京都大学 （同時配信） 北海道大学／香川大学 |
| 参加費 | 無料 |
| お申し込み開始 | 11月1日（金）10:00 |
| お申し込み先 | https://nanoworld.jp/npf/training/h25mems/ |
| お問合せ先 | (独)産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部門 ナノプロセシング施設 TEL：029-861-3210 FAX：029-861-3211 Email：npf-info-ml(at)aist.go.jp (at)を@に書き換えてください ポスター・チラシはこちら  |
| プログラム | 13:00~13:05 Opening 有本 宏（微細加工PFコーディネータ） 13:05~14:00 『MEMS作製プロセスの基礎』 田畑 修（京都大学） 14:00~14:30 『マイクロ流路作製』 横川 隆司（京都大学） 14:30~15:00 『マイクロアクチュエータの基礎』 佐々木 実（豊田工業大学） 15:00~15:10 休憩 15:10~15:40 『超音波による物体の非接触支持技術とそのMEMS圧力センサによる計測』 高崎 正也（埼玉大学） 15:40~16:10 『集積化MEMSのためのパッケージング』 戸津 健太郎（東北大学） 16:10~16:40 『集積化MEMSのメリットとその実例』 三田 吉郎（東京大学） 16:40~17:10 『MEMSの設計・評価におけるシミュレーション』 浅海 和雄（みずほ情報総研） 17:10~17:20 『微細加工プラットフォームの紹介』 落合 幸徳（微細加工PFコーディネータ） 17:20~ 技術相談コーナー |
| 実習コース （2013年12月 ~2014年3月） |
※アドバンストコースは，持込課題について参加者と相談のうえ決めます |
開催報告
微細加工プラットフォームに参画する 北海道大学、東北大学、産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、東京大学、豊田工業大学、京都大学、香川大学、広島大学、合わせて９機関の共催によるＭＥＭＳ実践セミナーを１２月１７日（火）に開催しました。初めての試みとして、ＷｅｂＥｘを利用した３元中継（東京大学 武田先端知ビル、東北大学 西澤潤一記念研究センター、京都大学 桂キャンパス）に加えて、日本を縦断するように、北海道大学、香川大学にも同時配信しました。
ＭＥＭＳ作製の基礎、要素技術から、様々なＭＥＭＳデバイスの特長を説明することで、初めてＭＥＭＳデバイスを作りたい方から、高機能を実現するための集積化を検討される方までをカバーする幅広いニーズに応えられるような内容で、当日の参加人数は、各会場を合わせて１００名となり、非常に盛況なセミナーになりました。
セミナー終了後のアンケート結果では、６割以上の方がこのセミナーが今後の研究や業務に役立ちそうであると答えています。また、微細加工プラットフォームを知らなかった、あるいはまだ利用したことがないと答えた方が、参加者全体の約半分を占め（その内半分は企業）、その内ほとんどの方が、今後何らかのかたちで、微細加工プラットフォームの利用を検討したいと回答しています。
是非、このようなセミナーをまた開催したいと思います。
このセミナーでは有料のMEMS実習コースを1-3月中に各機関で準備しています。
微細加工コーディネータ 有本
 北海道大学拠点 |
 東京大学拠点 |
 京都大学拠点 |
 香川大学拠点 |