文部科学省委託事業である” ナノテクノロジープラットフォーム” の一環として、微細加工実践セミナーを開催します。産学官の研究者に、超微細加工に関する装置やその利用例を学習する場と、それらの技術を実地に習得する機会を提供し、ナノテクノロジーにおける技術力向上のための継続教育に貢献することを目的としています。
本セミナーでは、微細加工技術の概論を電子ビーム描画、マスクレス露光、反応性イオンエッチングに分けて分かりやすく解説するとともに、微細加工の異分野への応用事例を紹介することで、より具体的なイメージが持てるような構成になっています。 また、東京工業大学、産業技術総合研究所において、実際の装置を使った無料の操作実習プログラムをご用意しています。産学官にかかわらず、多くの皆様のご参加をお待ちしています。
概要
| 開催日時 | a)講義：2013年 9月 30日（月）13：00～17：10 b)実習：2013年 10月 1日（火）～10月 4日（金） |
|---|---|
| 主催 | 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム 微細加工プラットフォーム |
| 場所 | a)講義：産業技術総合研究所 つくば中央第2事業所2-12棟第6会議室 b)実習：東京工業大学、産業技術総合研究所 |
| 詳細 | a) 講義（定員50名） 13:00-13:05 Opening 13:05-14:05 1 電子線描画技術（EB描画） 14:05-14:50 2 マスクレス露光技術とその先端的活用技術 14:50-15:10 休憩 15:10-15:55 3 プラズマエッチング技術 15:55-16:15 4 微細加工の応用事例紹介 ～マイクロ流路作製の深堀エッチング支援～ 16:15-17:05 5 微細加工技術の医療応用 17:05-17:10 Closing b) 実習 ※講義のみの参加も可能です |
| 参加費 | 無料（但し、参加者の講義および実習開催場所までの交通費と宿泊代は参加者負担） |
| 応募資格 | ・学部卒業以上または、それと同等以上の経験を有する産官学の研究・開発従事者 （大学院生は指導教官の許可を得ることが条件） ・超微細加工・ナノ計測・分析に関する経験不問 ・実習期間中、各実習開催機関の安全ガイドラインと専任スタッフの指示を守れる事 |
| 応募期間 | 平成25年8月29日（木）10：00～9月27日（金）17：00 ・上記の応募資格をもとに、原則として先着順 （ただし、実習に関しては同一機関からの参加者が複数とならないように配慮します） ・定員やスケジュール調整など当方の都合により、ご参加登録をいただいてもそのご希望にお応えできないことがありますことをご了承ください |
| 参考URL | https://nanoworld.jp/npf/training/h25-2/ |
| 連絡先 | (独)産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部門 ナノプロセシング施設 TEL：029-861-3210 FAX：029-861-3211 Email：npf-info-ml(at)aist.go.jp |