_東京工業大学 量子ナノエレクトロニクス研究センター – 装置リスト


電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン等を含む)
製造会社 / 型番 JEOL / JBX-6300SJ
仕様

ビーム径10nm以下、位置合わせ精度3nm以下

走査型電子顕微鏡
製造会社 / 型番 日立 / S5200
仕様

高解像度用インレンズ式

製造会社 / 型番 – / S-4500
仕様

電界放射型

高真空蒸着装置
製造会社 / 型番 エイコーエンジニアリング製 / –
仕様

ロードロックチャンバ付 6連E-gun

コンタクト光学露光装置
製造会社 / 型番 Suss / MA-8
仕様
製造会社 / 型番 Suss / MJB-4
仕様
リアクテブイオンエッチング装置
製造会社 / 型番 サムコ製 / RIE-10NR
仕様
製造会社 / 型番 サムコ製 / RIE-10NR
仕様
製造会社 / 型番 サムコ製 / RIE-10NR
仕様
製造会社 / 型番 サムコ製 / ICP-RIE
仕様
プラズマCVD 装置
製造会社 / 型番 サムコ製 / PD-240 1
仕様

シリコン酸化膜

触針式段差計
製造会社 / 型番 アルファステップ500 / KLAテンコール
仕様
集束イオンビーム装置
製造会社 / 型番 日立 / FB2000A
仕様

μサンプリング機能付き

低真空 SEM
製造会社 / 型番 キーエンス / VHX-D510
仕様
デジタル顕微鏡
製造会社 / 型番 キーエンス / VHX- 1000
仕様
スパッタ成膜装置
製造会社 / 型番 – / –
仕様

スパッタ成膜装置金属用 ロードロックチャンバ 付き

製造会社 / 型番 – / –
仕様

絶縁膜用

基板貼付け装置
製造会社 / 型番 アユミ / VE-07-18
仕様
ウェハ洗浄装置
製造会社 / 型番 – / EVG301
仕様
有機金属気相成長装置
製造会社 / 型番 日本酸素製 / HR-3246
仕様

InP用