_東京工業大学 量子ナノエレクトロニクス研究センター – 装置リスト
電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン等を含む)
製造会社 / 型番 |
JEOL / JBX-6300SJ |
仕様 |
ビーム径10nm以下、位置合わせ精度3nm以下
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走査型電子顕微鏡
製造会社 / 型番 |
日立 / S5200 |
仕様 |
高解像度用インレンズ式
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製造会社 / 型番 |
– / S-4500 |
仕様 |
電界放射型
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高真空蒸着装置
製造会社 / 型番 |
エイコーエンジニアリング製 / – |
仕様 |
ロードロックチャンバ付 6連E-gun
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コンタクト光学露光装置
製造会社 / 型番 |
Suss / MJB-4 |
仕様 |
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リアクテブイオンエッチング装置
製造会社 / 型番 |
サムコ製 / RIE-10NR |
仕様 |
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製造会社 / 型番 |
サムコ製 / RIE-10NR |
仕様 |
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製造会社 / 型番 |
サムコ製 / RIE-10NR |
仕様 |
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製造会社 / 型番 |
サムコ製 / ICP-RIE |
仕様 |
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プラズマCVD 装置
製造会社 / 型番 |
サムコ製 / PD-240 1 |
仕様 |
シリコン酸化膜
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触針式段差計
製造会社 / 型番 |
アルファステップ500 / KLAテンコール |
仕様 |
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集束イオンビーム装置
製造会社 / 型番 |
日立 / FB2000A |
仕様 |
μサンプリング機能付き
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低真空 SEM
製造会社 / 型番 |
キーエンス / VHX-D510 |
仕様 |
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デジタル顕微鏡
製造会社 / 型番 |
キーエンス / VHX- 1000 |
仕様 |
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スパッタ成膜装置
製造会社 / 型番 |
– / – |
仕様 |
スパッタ成膜装置金属用 ロードロックチャンバ 付き
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基板貼付け装置
製造会社 / 型番 |
アユミ / VE-07-18 |
仕様 |
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ウェハ洗浄装置
有機金属気相成長装置
製造会社 / 型番 |
日本酸素製 / HR-3246 |
仕様 |
InP用
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