- 北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
- 東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
- 物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
- 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設/ナノプロセシング・パートナリング・プラットフォーム
- 筑波大学 微細加工プラットフォーム
- 東京大学 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点/大規模集積システム設計教育研究センター
- 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
- 東京工業大学 量子ナノエレクトロニクス研究センター
- 名古屋大学 施設・機器共用推進室/ナノテクノロジープラットフォーム機構
- 豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
- 京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
- 大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
- 香川大学 社会連携・知的財産センター ナノテクノロジー支援室
- 広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
- 山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
- 北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター