Machine
| 拠点 | 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設 |
|---|---|
| 機器ID | F-AT-092 |
| 中分類ID |
F0305 |
| 装置名 | プラズマアッシャー |
| Product | ヤマト社製 / PR500型 |
| 詳細 |
最大4インチ この装置は、石英チャンバー内で酸素プラズマを発生させることにより、有機物のフォトレジストをCO2とH2Oに分解・酸化させて除去するものです。 ●型式:PR500 ●高周波電源:最大500W ●反応槽:石英チャンバーΦ215 mm×305 mm(高さ) ●放電時間設定:0.1秒～999時間 ●使用ガス:O2、パージ用N2ガス |
| 詳細2 |
ヤマト社製 PR500型、最大4インチ この装置は、石英チャンバー内で酸素プラズマを発生させることにより、有機物のフォトレジストをCO2とH2Oに分解・酸化させて除去するものです。 型式:PR500 高周波電源:最大500W 反応槽:石英チャンバーΦ215 mm×305 mm（高さ） 放電時間設定:0.1秒～999時間 使用ガス:O2、パージ用N2ガス |
| 更新日時 | 2021-04-20 11:08:44 |