Machine
| 拠点 | 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設 |
|---|---|
| 機器ID | F-AT-091 |
| 中分類ID |
F0103 |
| 装置名 | マスクレス露光装置 |
| Product | ナノシステムソリューション社製 / - |
| 詳細 |
露光パターン発生用の空間光変調器にDMD(Digital Micromirror Device)を用いた マスクレス方式の露光装置です。 フォトマスクを使用せずに、CADデータ(GDSII形式)にした任意の形状を基板上の フォトレジストに直接パターニングすることができます。 光源は波長405nmのLEDです。 露光最小画素は□1μm、最大露光領域は□100mm、重ね合わせ精度は±1 μmです。 |
| 詳細2 |
ナノシステムソリューション社製 露光パターン発生用の空間光変調器にDMD（Digital Micromirror Device）を用いたマスクレス方式の露光装置です。フォトマスクを使用せずに、CADデータ（GDSII形式）にした任意の形状を基板上のフォトレジストに直接パターニングすることができます。光源は波長405nmのLEDです。露光最小画素は□1μm、最大露光領域は□100mm、重ね合わせ精度は±1 μmです。 |
| 更新日時 | 2021-04-20 11:08:29 |