Machine
| 拠点 | 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設 |
|---|---|
| 機器ID | F-AT-081 |
| 中分類ID |
A0604 F0704 A0707 F0707 S0303 |
| 装置名 | 微小部蛍光X線分析装置(XRF) |
| Product | - / SEA_5210Ａ |
| 詳細 |
微小領域エネルギ分散型 上面照射方式 分析元素：Na～Ｕ 試料形態：固形、薄膜（液及び粉は要許可） サイズ：最大 □80×35mm コリメータ：φ0.1,1,2.5mm 雰囲気：大気、真空 ソフトウエア：定性分析、定量分析（FP法、検量線法）、薄膜分析（膜厚、組成）、元素マッピング |
| 詳細2 |
SEA_5210A 微小領域エネルギ分散型 上面照射方式 分析元素：Na～U 試料形態：固形、薄膜（液及び粉は要許可） サイズ：最大 □80×35mm コリメータ：φ0.1,1,2.5mm 雰囲気：大気、真空 ソフトウエア：定性分析、定量分析（FP法、検量線法）、薄膜分析（膜厚、組成）、元素マッピング |
| 更新日時 | 2021-04-20 12:00:30 |