Machine

拠点 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設  
機器ID F-AT-068  
中分類ID F0104
装置名 電子ビーム描画装置(CRESTEC)  
Product クレステック社製 / CABLE_9410TFNA  
詳細 ZrO/W熱電界放射型電子銃
加速電圧50ｋV
ビーム電流0.1ｎA(デフォルト値）
描画可能な最小線幅10nm（レジスト膜厚100nmのとき）
試料寸法150ｍｍ×150ｍｍ（最大）
ビーム走査範囲1ｍｍ□（最大）
ステップ＆リピート方式のつなぎ合わせで走査範囲を広げる
手動操作による重ね合わせ精度50nm以下
XY方向ステージ制御レーザー干渉測長精度0.6nm
Z方向はハイトセンサーによる帰還制御
環境制御あり  
詳細2 クレステック社製 CABLE_9410TFNA型

ZrO/W熱電界放射型電子銃
加速電圧50ｋV
ビーム電流0.1ｎA（デフォルト値）
描画可能な最小線幅10nm（レジスト膜厚100nmのとき）
試料寸法150ｍｍ×150ｍｍ（最大）
ビーム走査範囲1ｍｍ□（最大）
ステップ&リピート方式のつなぎ合わせで走査範囲を広げる
手動操作による重ね合わせ精度50nm以下
XY方向ステージ制御レーザー干渉測長精度0.6nm
Z方向はハイトセンサーによる帰還制御
環境制御あり  
更新日時 2021-04-20 12:16:49