Machine

拠点 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設  
機器ID F-AT-067  
中分類ID F0102
装置名 i線露光装置  
Product ニコンテック社製 / NSR-2205i12D  
詳細 最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載したi線縮小投影型露光装置。
投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、
実際のプロセス条件に応じて0.50~ 0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能。
そのほか特殊ステージを備えており、Φ2,3,4,6,8インチ(それぞれOFタイプ)ウェハ、
矩形20mm,18mm,15mm,10mmの切り出しチップへの露光が可能。
●露光光源:i線(波長365 nm)
●解像度:350 nm以下
●最大N.A.:0.63
●縮小倍率:5分の1倍
●露光範囲:□22 mm(ウェハ上)
●レチクル:6インチ石英ガラス
●総合アライメント精度:55 nm以下  
詳細2 (株)ニコンテック社製 NSR-2205i12D
最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載したi線縮小投影型露光装置。投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、実際のプロセス条件に応じて0.50~ 0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能。そのほか特殊ステージを備えており、Φ2,3,4,6,8インチ(それぞれOFタイプ)ウェハ、矩形20mm,18mm,15mm,10mmの切り出しチップへの露光が可能。

露光光源:i線(波長365 nm)
解像度:350 nm以下
最大N.A.:0.63
縮小倍率:5分の1倍
露光範囲:φ22 mm(ウェハ上)
レチクル:6インチ石英ガラス
総合アライメント精度:55 nm以下  
更新日時 2021-04-20 12:10:10