Machine
拠点 | 産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設 |
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機器ID | F-AT-067 |
中分類ID |
F0102 |
装置名 | i線露光装置 |
Product | ニコンテック社製 / NSR-2205i12D |
詳細 |
最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載したi線縮小投影型露光装置。 投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、 実際のプロセス条件に応じて0.50~ 0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能。 そのほか特殊ステージを備えており、Φ2,3,4,6,8インチ(それぞれOFタイプ)ウェハ、 矩形20mm,18mm,15mm,10mmの切り出しチップへの露光が可能。 ●露光光源:i線(波長365 nm) ●解像度:350 nm以下 ●最大N.A.:0.63 ●縮小倍率:5分の1倍 ●露光範囲:□22 mm(ウェハ上) ●レチクル:6インチ石英ガラス ●総合アライメント精度:55 nm以下 |
詳細2 |
(株)ニコンテック社製 NSR-2205i12D 最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載したi線縮小投影型露光装置。投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、実際のプロセス条件に応じて0.50~ 0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能。そのほか特殊ステージを備えており、Φ2,3,4,6,8インチ(それぞれOFタイプ)ウェハ、矩形20mm,18mm,15mm,10mmの切り出しチップへの露光が可能。 露光光源:i線(波長365 nm) 解像度:350 nm以下 最大N.A.:0.63 縮小倍率:5分の1倍 露光範囲:φ22 mm(ウェハ上) レチクル:6インチ石英ガラス 総合アライメント精度:55 nm以下 |
更新日時 | 2021-04-20 12:10:10 |