PECVD群
製造会社 / 型番 | 住友精密 / MPX-CVD |
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仕様 | SiN、SiO2 最高温度:350℃ 低応力成膜 |
製造会社 / 型番 | 日本生産技術研究所 / VDS-5600 |
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仕様 | SiN、SiO2 |
スパッタ装置
製造会社 / 型番 | 芝浦メカトロニクス / CFS-4ESII |
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仕様 | 3インチターゲット×3 |
パターンジェネレータ
製造会社 / 型番 | 日本精工 / TZ-310 |
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仕様 | エマルジョンマスク Crマスク作製 最小描画パターン:1μm |
両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
製造会社 / 型番 | Suss / MA6/BA6 |
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仕様 | コンタクト露光 片面・両面アライメント 接合時のアライメント |
ステッパ装置一式(ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
製造会社 / 型番 | キヤノン / FPA1550M4W |
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仕様 | g線ステッパ 最小描画パターン:約0.6μm カセットtoカセット(4インチ) |
DeepRIE装置
製造会社 / 型番 | 住友精密 / MUC-21 |
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仕様 | Si深堀エッチング |
RIE装置群
製造会社 / 型番 | アネルバ / DEA-506 |
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仕様 | SiN、SiO2のドライエッチング 最大6インチ |
製造会社 / 型番 | アネルバ / L-507DL |
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仕様 | Siのドライエッチング 最大6インチ |
製造会社 / 型番 | 芝浦エレテック / HIRRIE-100 |
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仕様 | Al、Siのドライエッチング 最大6インチ |
製造会社 / 型番 | アルバック / RIH-1515Z |
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仕様 | ⾦属膜や圧電膜も対象とした多⽬的のドライエッチング 最大6インチ |
アッシング装置
製造会社 / 型番 | ブランソン / IPC4000 |
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仕様 | 13.56MHz |
サンドブラスト
製造会社 / 型番 | 新東 / – |
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仕様 | ガラスの穴あけ加工 |
酸化拡散炉
製造会社 / 型番 | 東京エレクトロン / XL-7 |
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仕様 | ウェット/ドライ酸化 P拡散、B拡散 |
イオン注入装置一式(イオン注入装置、ランプアニール炉)
製造会社 / 型番 | 日新イオン機器 / NH-20SR |
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仕様 | 最大加速電圧:180keV 常時注入可能元素:P、B カセットtoカセット |
拡がり抵抗測定装置
製造会社 / 型番 | Solid State Measurements / SSM150 |
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仕様 | 不純物濃度プロファイルの測定 |
電子顕微鏡群
製造会社 / 型番 | 日立 / S3700N |
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仕様 | 熱電子SEM EDX付 低真空モード付 光学画像ナビ付 |
製造会社 / 型番 | 日立 / S5000 |
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仕様 | インレンズ式FESEM 小片/断面観察用 |
膜厚計
製造会社 / 型番 | ナノメトリクス / NanoSpec3000 |
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仕様 | 光学式 |
段差計
製造会社 / 型番 | Tenchor / AlphaStep 500 |
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仕様 |
デジタル顕微鏡
製造会社 / 型番 | キーエンス、クノーテクノクラフト / – |
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仕様 | デジタル画像保存 電動ステージ(PC制御可) 20~200倍 500~5000倍 |
ウェハ接合装置
製造会社 / 型番 | Suss / SB6e |
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仕様 | 陽極接合 金属接合 ポリマー接合 |
EB描画装置
製造会社 / 型番 | Reith / 50 |
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仕様 | 最大30keV 最大3インチ 最小描画パターン:30nm |
製造会社 / 型番 | エリオニクス / ELS-G125S |
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仕様 | 最大130keV 最大6インチ 最小描画パターン:10nm以下 |
LPCVD群
製造会社 / 型番 | システムサービス |
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仕様 | SiN、SiON、SiO2、Poly-Si 最大6インチ |
製造会社 / 型番 | 国際電気 |
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仕様 | エピ炉、Poly-Si |
エッチングチャンバー一式
製造会社 / 型番 | |
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仕様 | 酸洗浄、ウェットエッチング |
Si結晶異方性(アルカリ)エッチング装置一式(KOH、TMAH)
製造会社 / 型番 | |
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仕様 | 最大6インチウェハ×10枚対応 |