電子線描画装置(50 kV)
製造会社 / 型番 | ㈱エリオニクス社製 / ELS-7500EX |
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仕様 | 電子銃エミッタ―:ZrO/W熱電界放出型 加速電圧:5~50kV レーザー干渉計付き |
電子線描画装置(30 kV)
製造会社 / 型番 | ㈱エリオニクス社製 / ELS-3700 |
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仕様 | 電子銃エミッタ―:LaB6 加速電圧:1~30kV |
マスクアライナー
製造会社 / 型番 | カールズース社製 / SUSS-MJB3 |
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仕様 | 0.7μm L/S g線、密着露光 |
UHV10元スパッタ装置
製造会社 / 型番 | ㈱エイコー・エンジニアリング社製 / ES-350W |
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仕様 | 構成:5元×2チャンバ+LL 到達圧力:10-7 Pa |
触針式表面形状測定装置
製造会社 / 型番 | ㈱アルバック社 / Dektak3 |
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仕様 | 垂直解像度:1nm 測定距離範囲:50μm~30mm |
走査型電子顕微鏡
製造会社 / 型番 | ㈱日立ハイテクノロジーズ社製 / S-4700 |
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仕様 | 電界放出型 加速電圧:0.5~30 kV 倍率:X30-X500,000 EPMA:検出元素 B-U |
超高・極高真空ガス分析装置群
製造会社 / 型番 | ㈱アルバック社製 / – |
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仕様 | ガス放出速度測定装置(特別仕様) 真空:1×10-10 Pa 下限:6×10-13 Pa m/s 昇温脱離ガス分析装置 真空:1×10-9 Pa台 検知分圧:5×10-12 Pa 超高真空分圧測定装置 真空:1×10-8 Pa 最小分圧:10-11 Pa |